JP4257786B2 - 活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂、活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物、ソルダーレジスト用組成物、プリント配線板および感光性ドライフィルム - Google Patents

活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂、活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物、ソルダーレジスト用組成物、プリント配線板および感光性ドライフィルム Download PDF

Info

Publication number
JP4257786B2
JP4257786B2 JP2003397340A JP2003397340A JP4257786B2 JP 4257786 B2 JP4257786 B2 JP 4257786B2 JP 2003397340 A JP2003397340 A JP 2003397340A JP 2003397340 A JP2003397340 A JP 2003397340A JP 4257786 B2 JP4257786 B2 JP 4257786B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
group
imide resin
active energy
energy ray
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003397340A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005154643A (ja
Inventor
雅裕 土屋
章一郎 成瀬
隆生 大野
Original Assignee
タムラ化研株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by タムラ化研株式会社 filed Critical タムラ化研株式会社
Priority to JP2003397340A priority Critical patent/JP4257786B2/ja
Publication of JP2005154643A publication Critical patent/JP2005154643A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4257786B2 publication Critical patent/JP4257786B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Description

本発明は、活性エネルギー線硬化型樹脂ならびに活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に関し、特にソルダーレジストなどのプリント配線板材料、プラスチックレリーフ材料、フラットパネルディスプレイ用材部、コーティング保護膜等に好適に用いられる活性エネルギー線硬化型樹脂ならびに活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に関する。
ソルダーレジストは、印刷配線板の製造に際し、回路導体のはんだ付け部分以外の部分に全面にわたって皮膜形成するために用いられるもので、印刷配線板に電子部品を半田付けする際、はんだが不必要な部分に付着するのを防止し、かつ回路導体が空気に直接さらされて酸素や湿気により腐食されるのを防止するための保護膜としての役割を果たしている。
そして、このような要求にこたえるために、解像性や再現性に限度のあるスクリーン印刷法から、位置精度、導体エッジ部の被覆性が良好なドライフィルムや液状フォトソルダーレジスト法への転換がはかられ、既に、この方法に適したものとして、ビスフェノール型エポキシアクリレートと増感剤とエポキシ化合物とエポキシ硬化剤と有機溶剤とを含有した液状ソルダーレジスト組成物が提案されている(特許文献1、2)。
特開昭50−144431号公報 特公昭51−40451号公報
これらの液状ソルダーレジスト組成物を用いてパターン形成するには、これを印刷配線板上にスクリーン印刷法、カーテンコーター,スプレーコーター及びロールコーター等により全面に塗布し、有機溶剤を揮散させたのち、画像形成露光し、未露光部分を有機溶剤で除去して現像することによって行われる。しかし、この有機溶剤による未露光部分の除去(現像)は、有機溶剤を多量に使用するため、環境汚染や火災などの危険性があるのみならず、環境汚染の問題があり、特に人体に与える影響が最近大きくクローズアップされてきていることから、その対策に苦慮しているのが現状である。
このような欠点を克服するために、希アルカリ水溶液現像タイプの感光性樹脂、例えばノボラック型エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸との反応生成物に、多塩基性酸無水物を反応させたものと、光重合開始剤と希釈剤とエポキシ化合物とを含有するフォトソルダーレジスト組成物(特許文献3)などが提案されている。しかし、これらの感光性樹脂は樹脂に導入されたラジカル重合性不飽和基の量が少ないため、充分な光硬化性が得られないという欠点がある。この、問題点を解決するために(特許文献4)では、上記希アルカリ水溶液現像タイプの感光性樹脂のカルボキシル基に1個のエポキシ基と1個以上のラジカル重合性不飽和基を有する化合物を反応させてなる感光性樹脂を提案している。
特公平1−54390号公報 特許第2900137号公報
しかしながら、近年のエレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴い、プリント配線版も高密度化に向かっており、ソルダーレジストに対しても、より高精細なパターニングが要求され、それに伴い、ソルダーレジストの硬化膜の一層の薄膜化が必要とされるようになってきている。しかしながら上記したような従来の感光性樹脂を用いたフォトソルダーレジスト組成物では、その分子骨格に起因してガラス転移点温度(Tg)等で示される耐熱性が低く、ソルダーレジストとして薄膜使用を検討した場合に半田耐熱性や高温・高湿下での電気絶縁性が不充分であった。また最近登場したBGA(ボールグリッドアレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに用いられるソルダーレジストに対応し、パッケージの信頼性確保のため、長期信頼性試験であるPCT耐性等が要求されるが、上記した従来のソルダーレジストでは、これらの特性も満足するものではなく、より高い耐熱性、電気絶縁性に優れた感光性樹脂の開発が必要とされている。
一方、従来から、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁材料等として、耐熱性、電気絶縁性、機械強度等に優れたポリイミド樹脂が用いられている。更にポリイミド樹脂パターンの形成を容易にするためにポリイミド自身に感光性を付与する技術が近年多く試みられ、メタクリロイルオキシエチル基を導入したポリイミド前駆体組成物(特許文献5、6)が報告されている。しかしこれらはポリイミド前駆体であるポリアミック酸に感光性基が導入されたものであり、硬化膜としてポリイミドを得るためには、パターン形成後、200℃以上あるいは300℃以上の高温でのポストベークが必要である。またポリイミド化が脱水閉環反応であることから硬化収縮を大きく引き起し、パターン精度や硬化後の反り量が大きくなるという問題があった。またこれに対し、最近ではあらかじめイミド化を行った上で溶剤溶解性を持つ構造をとった樹脂を用いる技術が検討されるようになり、溶剤溶解性を持つポリイミド樹脂にカルボキシル基と感光基を導入した、ネガ型のアルカリ現像型ポリイミド樹脂が報告されている(特許文献7)。しかしこれらは溶剤としてN−メチル2−ピロリドンといった、極性及び毒性が高く、また揮発性が低い溶剤を使用して樹脂を溶解させているため、塗工工程や乾燥工程で使用環境が限定されてしまうものであり、また現像もテトラメチルアンモニウムピロオキサイド等の有機アルカリ水溶液や溶剤含有水を使用しなければならず、対環境性が劣るものであった。
特公昭55−30207号公報 特公昭55−41422号公報 特開2000−147768号公報
本発明の課題は、優れた汎用溶剤溶解性、感光性、弱アルカリ現像性を持ち、イミド骨格を有する活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂を提供することである。
また、本発明の課題は、このような活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂を用い、プリント配線基板ソルダーレジストに要求される密着性や電気絶縁性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性、耐酸性、耐メッキ性を満足し、特に耐熱性、電気絶縁性に優れた活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物を提供することである。
本発明者らは、一般式(1)
Figure 0004257786
〔Xは3価の有機基を表し、Yは、後述する4価の有機基であり、aは、一般式(2)で表される二塩基酸無水物基あるいは一般式(3)で表されるイミド連結基である〕で表される構造を含む、分子鎖末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂と不飽和基含有アルコールと反応させることにより、部分的にエステル化することで、分子鎖末端にカルボン酸と不飽和基を有する活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂(A)を用いることにより、上記課題を克服できることを見出した。
Figure 0004257786
Figure 0004257786
本発明のイミド樹脂は、一般式(1)の構造を有することから、分岐状である。この結果、高分子量成分ほど末端基を多く有し、すなわち末端の不飽和基及びカルボン酸を有することから、本発明のイミド樹脂は、優れた光硬化性やアルカリ溶解性を有する。また分岐構造をもつことから、分子鎖同士の会合性が低く、通常の直鎖状のイミド樹脂に対して優れた溶剤溶解性を示すものである。
本発明においては、主鎖が、実質的に、一般式(1)の構造のみからなっていてよい。あるいは、他の構造を有していて良い。
分子鎖末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂について説明する。式中Xは3価の有機基を表し、分岐状イミド樹脂の分岐点となる部分である。
Xは、イミド基中の窒素と脂肪族鎖もしくは芳香族環により連結しており、骨格中に例えば、飽和・不飽和の脂肪族鎖、シクロヘキサン環、ジシクロペンタジエン環等の脂環構造、ベンゼン環、ナフタレン環、ビフェニル環等の芳香族環構造、トリアジン環、イミド環、オキサゾール環、ピリジン環、イソシアヌレート環、スピロ環、イミダゾール環等の複素環構造、ホスファゼン骨格、リン酸エステル骨格、シロキサン骨格、エーテル骨格、エステル骨格、アミド結合、イミド結合、イミン結合、ウレタン結合、スルフィド結合、直鎖・分岐状のアルキル基、スルホン基、カルボニル基、水酸基、カルボキシル基、塩素、臭素、フッ素等のハロゲン基、トリフルオロメチル基等のハロゲン化アルキル基等の構造を含むものである。
Xは好ましくは、一般式(5)
Figure 0004257786
〔Xは3価の有機基を表し、R〜Rは1価の有機基を表し、互いに同一でも異なっていても良く、同一の芳香環に複数個結合していても良い。〕で表されるように、3つの芳香族環に分岐する構造である。XはN、Pの3価の原子もしくは3価の有機基を表し、1つ以上の芳香族系炭化水素基、脂環式炭化水素基または、複素環構造を有して、連結基を介してイミド基が結合した3つの芳香環と連結している。好ましいXとしては、一般式(6)、
Figure 0004257786
一般式(7)、
Figure 0004257786
一般式(8)、
Figure 0004257786
一般式(9)、
Figure 0004257786
一般式(10)、
Figure 0004257786
〔上記一般式(6)〜(10)中のR〜R33は水素原子あるいは、メチル基、エチル基、t−ブチル基、シクロヘキシル基等の直鎖、分岐状もしくは環状のアルキル基や、フェニル基等のアリール基、フッ素、塩素等のハロゲン基あるいは、トリフルオロメチル基等のハロゲン化アルキル基であり、好ましくは、水素あるいはメチル基であり、それぞれ同一でも異なっていても良く、芳香環に結合しているものは同一の芳香環に複数個結合していても良い。〕
一般式(11)、
Figure 0004257786
一般式(12)、
Figure 0004257786
〔式中R34〜R36は、−NR34−(Rは、水素、メチル基、エチル基、t−ブチル基等の直鎖あるいは分岐状のアルキル基)、−O−、−S−で表される連結基であり、互いに同一でも異なっていても良い。〕等で表される3価の有機基であり、これらは2種以上を併用することも可能である。
一般式(1)中のYは、4価の有機基である。Yは、イミド基の電荷移動錯体形成による活性エネルギー線の吸収を抑制するために、下記のような脂環構造とする。具体的には、
一般式(13)、
Figure 0004257786
一般式(14)、
Figure 0004257786
一般式(15)、
Figure 0004257786
一般式(16)、
Figure 0004257786
で表される4価の有機基が挙げられ、これら2種以上を併用することも可能である。より好ましくは、イミド樹脂の溶剤溶解性を高くするためや入手のしやすさから、一般式(13)あるいは一般式(14)で表される構造を有するものである。
本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂は、上記の「分子鎖末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂」と不飽和基含有アルコールとを反応させることにより得られる、分子鎖末端にカルボン酸と不飽和基を有する分岐状イミド樹脂である。これに限定されないが、不飽和基含有アルコールとして、具体的には、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−(ヒドロキシメチル)シクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート等の、単官能ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多官能ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類、グリシジルメタクリレートの(メタ)アクリレート、フェニルグリシジルエーテル・(メタ)アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート、ビスフェノールA型エポキシアクリレート等のエポキシ(メタ)アクリレート類、オキセタンアクリレート類、N−ヒドロキシメチルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド等のN−ヒドロキシアルキルアクリルアミド類、N−ヒドロキシメチルマレイミド、N−ヒドロキシエチルマレイミド等のN−ヒドロキシアルキルマレイミド類、アリルアルコール類等が挙げられる。好ましくは、分岐状イミド樹脂の末端二塩基酸無水物基への付加反応の容易さから、1級あるいは2級水酸基をもつものであり、更に好ましくは、感光性の高さや入手の容易さからヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類が好適である。
以下、これに限定されることはないが、上記活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂の合成方法について例示する。
本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂は、分子鎖末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂と不飽和結合含有アルコールを反応させて合成することができる。
一般式(1)の構造(必要に応じて(4)の構造)を有する末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂は、(a)テトラカルボン酸無水物、(b)トリアミン、及び必要に応じて(c)ジアミンを、有機溶剤中で縮合させて得られるイミド前駆体樹脂を脱水閉環することで得られる。
(a)テトラカルボン酸無水物は、ビシクロ[2,2,2]−オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、一般式(22)
Figure 0004257786
で示される5−(2,5−ジオキソテトラヒドロー3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸二無水物(例えば、大日本インキ製エピクロンB-4400)、下記一般式(23)
Figure 0004257786
で示される3,4−ジカルボキシテトラリン−1−コハク酸二無水物(例えば、新日本理化(株)製リカシッドTDA−100)が、得られるイミド樹脂の溶剤溶解性の高さや入手の容易さから好ましく、これらは2種以上併用して用いることも可能である。
上記テトラカルボン酸無水物と縮合させるトリアミンは、3つの末端がアミノ基で封止された有機基であり本発明の分岐状イミド樹脂主鎖中の分岐点(一般式(1)中のX)となる構造を含むものである。これに限定されないが、好ましい構造としては一般式(24)、
Figure 0004257786
〔式中、X及びR〜Rは前記と同じである。〕
で表されるように、3つの芳香環に結合したアミノ基を有する構造を持つものであり、これらは2種以上を併用することも可能である。上記一般式(22)で示されるアミンは、公知の方法で合成することが可能であるが、例えば、上記式中Xが前記した一般式(6)〜(11)の構造を有するトリアミンの場合は、対応する構造を持つ3官能フェノール化合物とハロゲン化ニトロベンゼン類とのアルカリの存在下での縮合反応により、3つのニトロフェノキシ基を持つ化合物を合成した後、還元することで合成することができる。また一般式(12)の構造を有するトリアミンの場合には、ニトロ基もしくは保護されたアミノ基と活性水素を有する置換基(アミノ基、水酸基、チオール基等)を持つベンゼン類と塩化シアヌルをアルカリの存在下で縮合させた後、ニトロ基の還元もしくは、脱保護によりアミノ基を生成して合成することができる。
(C)成分であるジアミンは、2つの末端がアミノ基で封止された有機基であり、ポリイミド樹脂原料として公知のものであり、これに限定されないが、具体的にはp−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、5−アミノ−1−(4’−アミノフェニル)−1,3,3−トリメチルインダン、6−アミノ−1−(4’−アミノフェニル)−1,3,3−トリメチルインダン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,7−ジアミノフルオレン、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)−ビフェニル、9,9’−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、4,4’−(p−フェニレンイソプロピリデン)ビスアニリン、4,4’−(m−フェニレンイソプロピリデン)ビスアニリン、2,2’−ビス[4−(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−2−トリフルオロメチル)フェノキシ]−オクタフルオロビフェニル等の芳香族ジアミン、ジアミノテトラフェニルチオフェン等のヘテロ環を有する芳香族ジアミンおよび1,1−メタキシリレンジアミン、1,3−プロパンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、4,4−ジアミノヘプタメチレンジアミン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、イソフォロンジアミン、テトラヒドロジシクロペンタジエニレンジアミン、ヘキサヒドロ−4,7−メタノインダニレンジメチレンジアミン、トリシクロ[6,2,1,02,7]−ウンデシレンジメチルジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)等の脂肪族ジアミンまたは脂環式ジアミンがあげられる。また、下記一般式(25)、
Figure 0004257786
〔式中R37〜R40、i1及びi2は前記と同じ。〕で示されるシリコンジアミン等が挙げられる。これら同時に2種以上を併用することも可能である。
本発明の分岐状イミド樹脂は、テトラカルボン酸無水物の未反応酸無水物基を樹脂末端に有した構造を取る事から、テトラカルボン酸無水物、トリアミン、及びジアミンの比率は、酸無水物基1molに対してトリアミン、及びジアミンのアミノ基の合計で1molより少ない必要があり、好ましくは、0.3〜0.8mol、より好ましくは、0.4〜0.7molである。0.8molより多い場合には、樹脂中の酸無水物基が少なくなり、この後不飽和基含有アルコールと反応させた後生成される不飽和基及びカルボキシル基の量が少なくなり、感光性及びアルカリ溶解性が不充分となる傾向がある。また0.3molより少ない場合には、ポリマーの分子量が低くなりすぎ、各種の特性が低下する傾向がある。
また酸無水物基1molに対してトリアミン中のアミノ基は好ましくは0.2〜0.7molであり、より好ましくは0.25〜0.65molである。0.2mol以下の場合には、得られる樹脂の分岐度が低下して感光性やアルカリ現像性が不十分となり、また0.7mol以上では溶液重合中にゲル化が起こりやすくなる傾向がある。
イミド前駆体樹脂は、これに限定されないが、溶液中で重合させるのが好ましい。反応手順としては、テトラカルボン酸無水物を有機溶媒中に、スラリー状もしくは溶解させた後攪拌しながら、トリアミン及びジアミンを固体のまま少量ずつ投入するか、それらを有機溶媒中にスラリー状もしくは溶解させた後、投入することで混合し、反応させるのが好ましい。特にトリアミン投入の際は、トリアミンが高濃度で存在した状態で反応した場合に、速やかに多点架橋が起こりゲル化しやすいことから、トリアミンを溶解させた溶液を滴下し、十分に攪拌しながら均一に反応させることが好ましい。この際の反応温度は、特に限定されないが、−20℃〜200℃、好ましく0℃〜80℃であり、反応時間は、0.5〜100時間程度であり、好ましくは作業性の面から0.5〜24時間である。
溶液重合に使用される溶剤としては、N, N-ジメチルホルムアミド、N, N-ジエチルホルムアミド、N, Nジメチルアセトアミド、N, N-ジエチルアセトアミド、N-メチルー2−ピロリドン、N-メチルカプロラクタム、1,3−ジメチルー2−イミダゾリジノン、フェノール、クレゾール、カテコール、ジメチルスルホキシド、ジメチルスルホン、スルホラン、γ―ブチロラクトン、ジエチレングリコールジメチルエーテル(ジグライム)、トリエチレングリコールジメチルエーテル(ジメチルトリグライム)、トリエチレングリコールジメチルエーテル(ジエチルトリグライム)、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、アセトン、酢酸エチル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
続いて、上記の様にして得られた末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド前駆体樹脂を、脱水閉環により、末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂にするには、公知の方法を用いることができる。例えば以下の方法を例示できる。
溶液中でトルエン、キシレン等の共沸溶媒を加えて加熱共沸脱水する方法
減圧下での加熱により脱水するイミド化法
無水酢酸等の脂肪族酸二無水物とトリエチルアミン・ピリジン等の3級アミンを加えることで脱水する化学的イミド化法
また前記したようなテトラカルボン酸二無水物と、トリアミン及びジアミンからの合成以外にも、以下を例示できる。
1.テトラカルボン酸二無水物と低沸点アルコール(例えばメタノール)とのハーフエステル化物とトリアミン及びジアミンとをアミド化の縮合剤(例えば(2,3−ジヒドロ−2−チオキソー3−ベンズオキサゾリル)ホスホン酸ジフェニル等)を用いてエステル化イミド前駆体樹脂を合成した後、脱アルコール閉環によりイミド化する。
2.テトラカルボン酸二無水物とトリイソシアネート及びジイソシアネートとの脱炭酸により縮合イミド化する。
続いて、上記の様にして得られた分子鎖末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂を有機溶剤中に溶解させた後、もしくは溶解させながら、不飽和基含有アルコールと反応させることにより、本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂を得ることができる。この際反応温度は、50〜150℃であることが好ましく、特に好ましくは60〜130℃である。反応温度が150℃を超えるとラジカル重合性不飽和モノカルボン酸が熱重合を起こし易くなり、また50℃未満では反応速度が遅くなりすぎ、実際の製造上好ましくないことがある。反応時間は0.5〜50時間であり、好ましくは0.5〜24時間である。また反応を促進するために触媒を使用することもでき、例としては、トリエチルアミン、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミンなどの三級アミン、トリメチルベンジルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライドなどの4級アンモニウム塩、トリフェニルホスフィンなどのりん系化合物等が挙げられる。またヒドロキノン又はメチルヒドロキノンなどの熱重合禁止剤を使用しても良い。
本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂は、通常、有機溶剤に溶解した状態で使用するが、溶液重合によるイミド前駆体樹脂の合成、脱水閉環によるイミド樹脂化、更には不飽和基含有アルコールとの反応を溶液から取り出さずに1ポットで行うこともできる。または、イミド前駆体樹脂の段階やイミド樹脂化の段階で貧溶媒(例えば水、、メタノール)に投入して析出させた後に再溶解させて次のステップに進むこともできる。
上記の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂は、更に樹脂の有するカルボキシル基に、1つ以上の不飽和基とエポキシ基、イソシアネート基等のカルボキシル基との反応性を有する官能基を持つ化合物を公知の方法で反応させることにより、さらに感光性を向上させることも可能である。
分子中にエポキシ基及び不飽和基を持つ化合物としては、これに限定されないが例えばグリシジル(メタ)アクリレ−ト、サイクロマーA200(ダイセル化学工業(株)社製)、サイクロマーM100(ダイセル化学工業(株)社製)、4-ヒドロキシルブチルアクリレートグリシジルエーテル、β−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、並びに(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレ−ト等の(メタ)アクリル酸のエポキシシクロヘキシル誘導体類、並びに(メタ)アクリレ−トの脂環エポキシ誘導体類及びエポキシ化ステアリルアクリレートなどが挙げられ、分子中にイソシアネート基及び不飽和基を持つ化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアネート、(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシネート等が挙げられ、これらの化合物は単独で用いてもよく、混合して用いてもよい。
本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物は、(A)活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂、(B)光重合開始剤,(C)希釈剤,(D)熱硬化性エポキシ化合物を含む。特に好ましくは、必要に応じて、熱硬化性エポキシ化合物(D)の反応促進剤(E)を含んでいる。
(B)光重合開始剤としては、特に制限はなく、例えば従来知られているものはいずれも使用できる。具体的には、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、2, 2- ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2- ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノ−プロパン−1−オン、4−
(2−ヒドロキシエトキシ) フェニル−2−(ヒドロキシ−2− プロピル) ケトン、ベンゾフェノン、p−フェニルベンゾフェノン、4, 4′−ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロルベンゾフェノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−
ターシャリーブチルアントラキノン、2−アミノアントラキノン、 2−メチルチオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−クロルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、P−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル等が挙げられるが上記化合物のみに限定されるものではない。これらの光重合開始剤は、単独で用いてもよいし複数併用してもよい。光重合開始剤の使用量は、上記感光性樹脂100gに対して、通常0.1〜30gである。0.1g未満では、感光性樹脂の光硬化反応が進行し難くなり、30gを超えるとその加える量の割には効果は向上せず、むしろ経済的には不利となったり、硬化塗膜の機械的特性が低下したりすることがある。光硬化性、経済性、硬化塗膜の機械的特性などの点からは、その使用量は、好ましくは1.0〜25gである。
希釈剤(C)は、光重合性モノマー及び有機溶剤の少なくとも1種を意味する。光重合性モノマーは反応性希釈剤といわれるもので、樹脂(A)の光硬化を更に十分にして、耐酸性、耐熱性、耐アルカリ性などを有する塗膜を得るために使用するもので、1分子中に二重結合を少なくとも2個有する化合物が好ましく用いられる。樹脂(A)を含有する感光性樹脂組成物の粘度や乾燥性を調節するために有機溶剤を用いても良いが、その必要がなければ用いなくて良い。
その光重合成モノマーの代表的なものとしては、例えば、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性燐酸ジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ウレタン変性(メタ)アクリレート、ウレタン変性の多価(メタ)アクリレート(例:新中村化学工業社製、NKオリゴU-15HA)、及びクレゾールノボラック型エポキシアクリレート、ビスフェノールA型エポキシアクリレートなどのエポキシアクリレート類等の反応性希釈剤が挙げられるが、上記化合物のみに限定されるものではない。これらの反応性希釈剤は、単独で用いてもよいし、複数併用してもよい。
上記の2〜6官能その他の多官能反応性希釈剤は単品又は複数の混合系のいずれにおいても使用可能である。この反応性希釈剤の添加量は、塗布方法に応じて樹脂組成物全体に対して5-90重量%の範囲で使用することが好ましい。
上記の有機溶剤としては、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メタノール、イソプロパノール、シクロヘキサノール、などのアルコール類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、石油エーテル、石油ナフサ等の石油系溶剤類、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート等の酢酸エステル類やジメチルトリグライム、ジエチルトリグライム等を挙げることができるが、上記化合物のみに限定されるものではない。これらの有機溶剤は、単独で用いてもよいし、複数併用してもよい。
熱硬化性エポキシ化合物(D)としては、特に制限は無く代表的なものとしては、例えばビスフェノールA型エポキシ樹脂(例:大日本インキ化学工業(株)製エピクロン1050、ジャパンエポキシレジン(株)社製エピコート828)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(例:大日本インキ化学工業(株)製エピクロン830、東都化成(株)製YDF−2001)、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂(例:大日本インキ化学工業(株)製エピクロンEXA−1514)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例:大日本インキ化学工業(株)社製エピクロンN−770、ジャパンエポキシレジン(株)製エピコート152,154)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(例:大日本インキ化学工業(株)製エピクロンN−660,N−673,N−695、東都化成(株)社製YDCN−702)、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(例:東都化成(株)社製ST−3000)アミノ基含有エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂(例:大日本インキ化学工業(株)製HP−4032)、複素環式エポキシ樹脂(例:日産化学工業(株)社製TEPIC)、ビフェニル型エポキシ樹脂(例:ジャパンエポキシレジン(株)製エピコートYX−4000)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(例:大日本インキ化学工業(株)製HP−7200)、ビスフェノールA型ノボラックエポキシ樹脂(例:ジャパンエポキシレジン(株)製エピコート157S70)、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、トリフェノールアルカン型エポキシ樹脂、テルペン変性フェノール型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂などがあげられるが、上記化合物のみに限定されるものではない。これらの熱硬化性エポキシ化合物(D)は、単独で用いてもよいし複数併用してもよい。上記エポキシ化合物の配合量は、要求される塗膜特性に応じ、任意の量とすることができる。
熱硬化性エポキシ化合物の反応促進剤(E)としてはメラミン化合物、イミダゾール化合物、フェノール化合物等、ジシアンジアミド、トリアゾール化合物、芳香族ポリアミン、脂環族ポリアミン、脂肪族ポリアミンなどの公知のエポキシ反応促進剤を用いることができ、特に制限されるものではない。例えば、メラミン、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、エチルジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−トリル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−キシリル−S−トリアジンおよびそれらの類似体であるS-トリアジン化合物。ジシアンジアミドおよびその誘導体(特開平11-119429号に記載の一般式および具体的例示のもの。)。イミダゾール化合物としては、キュアゾール2MZ、 キュアゾールC11Z ,
キュアゾールC17Z, キュアゾール2E4MZ , キュアゾール2PZ , キュアゾール2P4MZ , キュアゾール1B2MZ , キュアゾール1B2PZ
, キュアゾール2MZ-CN , キュアゾール2E4MZ-CN , キュアゾールC11Z-CN , キュアゾール2PZ-CN , キュアゾールC11Z-CNS
, キュアゾール2PZ-CNS , キュアゾール2MZ-A , キュアゾールC11Z-A , キュアゾール2E4MZ-A , キュアゾール2MA-OK , キュアゾール2PZ-OK
, キュアゾール2MZ-OK , キュアゾール2PHZ , キュアゾール2P4MHZ , キュアゾール2MZL-F , キュアゾール2PZL , キュアゾールTBZ
, キュアゾール2MZ-P , キュアゾールSFZ , キュアゾール1B2PZ-HBR(以上四国化成工業(株)製)。などが挙げられるが、上記化合物のみに限定されるものではない。
この熱硬化性エポキシ化合物の反応促進剤(E)の併用により、塗膜の硬化を促進させることができ、また得られるレジスト皮膜の耐熱性、耐酸性、耐溶剤性、密着性、硬度などの諸特性を向上させることができ、プリント配線板用のソルダーレジストとして有用である。この熱硬化性エポキシ化合物の反応促進剤(E)は、上記感光性樹脂(A)100gに対し、通常0.1〜20g(好ましくは0.5〜15.0g)の割合で添加される。
本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物には、上記の成分のほかに、必要に応じて種々の添加剤、例えばシリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム、硫酸バリウム等の無機顔料からなる充填剤、フタロシアニングリーン、フタロシアニンブルー等のフタロシアニン系、アゾ系等の有機顔料や二酸化チタン等の無機顔料の公知の着色顔料、アクリル及びスチレンなどの共重合樹脂やジアリルフタレート,ジアリルイソフタレートなどのプリポリマー(例:ダイソー株式会社製ダイソーダップ及びダイソーイソダップ)などのタック切り剤,消泡剤、レベリング剤等の塗料用添加剤などを含有させることができる。また上記組成によって最適な塗工性を発揮するため、チキソ剤や溶剤等の比率を変化させ、適正な粘度やチキソ比にすることができる。
上述のようにして得られた本発明の樹脂組成物は、例えば銅張り積層板の銅箔をエッチングして形成した回路のパターンを有するプリント配線板に所望の厚さで塗布し、60〜120℃程度の温度で15〜60分間程度加熱して溶剤を揮散させた後、これに上記回路のパターンのはんだ付けランド以外は透光性にしたパターンのネガフィルムを密着させ、その上から紫外線を照射させ、このはんだ付けランドに対応する非露光領域を希アルカリ水溶液で除去することにより塗膜が現像される。この際使用される希アルカリ水溶液としては0.5〜5%の炭酸ナトリウム水溶液が一般的であるが、他のアルカリも使用可能である。次いで、好ましくは諸特性向上のために、紫外線の照射及び/または130〜180℃で加熱を行うことにより、目的とする硬化皮膜を得ることができる。
このようにしてソルダーレジスト膜で被覆したプリント配線板が得られ、これに電子部品が噴流はんだ付け方法や、リフローはんだ付け方法により半田付けされることにより接続、固定されて搭載され、一つの電子回路ユニットが形成される。本発明においては、その電子部品搭載前のソルダーレジスト皮膜を被覆したプリント配線板、このプリント配線板に電子部品を搭載した後のプリント配線板のいずれをもその対象に含む。
本発明において開発された上記樹脂(A)または組成物から溶剤を除去し、ポリエチレンやポリエステル等のフィルムによりサンドイッチすることによって、感光性ドライフィルムを作製することができる。ここでいうドライフィルムは、平滑性が高く,溶剤を含まないため環境に優しく,ゴミがつかず,約60μmの薄板にソルダーレジストの塗工が可能であり、さらに両面同時処理できるため設備が半減でき、生産効率が高いといった利点がある。
次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例によってなんら限定されるものではない。
(原料合成例1) 下記式(26)に示すトリアミン化合物(1)
Figure 0004257786
(トリス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)メタン)の原料トリニトロ化合物(1)(トリス(4−(4−ニトロフェノキシ)フェニル)メタン)の合成:
攪拌機、還流管と窒素導入管を備えた500mlの4つ口フラスコにトリス(4−ヒドロキシフェニル)メタン(本州化学工業社製 tris-PHBAトリアミン化合物(1))29.2g(0.1mol)とp−クロロニトロベンゼン50.4g(0.32mol)と炭酸カリウム55.3g(0.4mol)を加え、ジメチルホルムアミド溶媒中で、窒素気流下3時間還流、攪拌し反応させた。室温まで冷却した後、酢酸エチル及び水を加えて攪拌し、析出した粗結晶を減圧濾過で回収した。粗結晶を酢酸エチル及び水で洗浄、風乾した後、酢酸エチル中での加熱攪拌により精製してトリニトロ化合物(1)の黄白色の結晶を得た。収量54.4g(収率83%)であった。HPLC面積% 99.5%
(原料合成例2) トリニトロ化合物(1)の還元によるトリアミン化合物(1)の合成:攪拌機、温度計、還流管と窒素導入管を備えた300mlの4つ口フラスコに原料合成例1で得られたトリニトロ化合物(1)32.8g(0.05mol)、5%パラジウム炭素0.5gを加え、フラスコ内を窒素置換した後、2−メトキシエタノールを加え攪拌しながら80〜85℃に昇温してから60%ヒドラジン水溶液50mlをゆっくり滴下し、反応温度を80〜95℃になるように調節しながら3時間加熱攪拌した。その後HPLCで反応液を分析しながら、原料のニトロ化合物や還元中間体のピークが消失したのを確認した後反応を停止した。冷却後濾過によりパラジウム炭素を取り除いた反応液を減圧下濃縮して得られたやや粘調の液体を攪拌している水中に滴下し、析出物を減圧濾過で回収し、水洗した後真空乾燥してトリアミン化合物(1)の白色粉末を得た。収量25.5g(収率90%)であった。HPLC面積% 99.2% H−NMR(DMSOd−6、TMS)δ7.00(d、6H)、6.76(dd、12H)、6.56(d、6H)、5.43(s、1H)、4.97(s、6H)
(原料合成例3) 下記式(27)に示すトリアミン化合物(2)
Figure 0004257786
トリス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)エタンの原料トリニトロ化合物(2)(トリス(4−(4−ニトロフェノキシ)フェニル)エタン)の合成:
原料合成例1のトリス(4−ヒドロキシフェニル)メタン29.2gをトリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン(本州化学工業社製TrisP-HAP)30.6g(0.1mol)に変えた以外は同様にしてトリニトロ化合物(2)の黄白色結晶を53.2g(収率80%)得た。HPLC面積% 99.3%
(原料合成例4) トリアミン化合物(2)の合成:
原料合成例2のトリニトロ化合物(1)32.8gを合成例3で得られたトリニトロ化合物(2)33.5gに、2−メトキシエタノールを2−メトキシエタノール/ジメチルホルムアミドの2:1の混合溶媒に変えた以外は同様にしてトリアミン化合物(2)の白色粉末20.9g(72%)を得た。HPLC面積% 98.5%、H−NMR(DMSOd−6、TMS)δ6.94(d、6H)、6.75(dd、12H)、6.57(d、6H)、4.96(s、1H)、2.02(s、6H)
(原料合成例5) 下記式(28)に示すトリアミン化合物(3)
Figure 0004257786
(1,3,5−トリ(4−アミノフェノキシ)ベンゼン)の原料トリニトロ化合物(3)1,3,5−トリ(4−ニトロフェノキシ)ベンゼンの合成:
原料合成例1のトリス(4−ヒドロキシフェニル)メタン29.2gを1,3,5−トリヒドロキシベンゼン(石原産業社製1,3,5−THB)12.6g(0.1mol)に、反応3時間を反応50時間に変え、更に酢酸エチルでの精製の後、ジメチルホルムアミド/メタノールで再結晶した以外は同様にしてトリニトロ化合物(3)の白色結晶を得た。収量20.0g(収率41%)であった。HPLC面積% 98.5%
(合成例6トリアミン化合物(3)の合成)
合成例2のトリニトロ化合物(1)32.8gを合成例3で得られたトリニトロ化合物(3)24.5gに変えた以外は同様に反応して得られた反応液の濃縮液にメタノールを加えて析出した結晶を、減圧濾過により回収し、メタノールで洗浄後減圧乾燥して、トリアミン化合物(3)の白色結晶を得た。収量7.8g(39%)であった。HPLC面積% 99.3%、H−NMR(DMSOd−6、TMS)δ6.73(d、6H)、6.54(d、6H)、5.92(s、3H)、4.98(s、6H)
(原料合成例7) 下記式(29)に示すトリアミン化合物(4)
Figure 0004257786
2,4,6−トリ(4−アミノアニリノ)―1,3,5−トリアジンの原料トリニトロ化合物(4)2,4,6−トリ(4−ニトロアニリノ)―1,3,5−トリアジンの合成:
攪拌機、還流管と窒素導入管を備えた1000mlの4つ口フラスコにp−ニトロアニリン62.2g(0.45mol)と炭酸カリウム62.4g(0.45mol)及びアセトン200mlを加え、10〜15℃に冷却しながら攪拌しているところへ、塩化シアヌル18.4g(0.1mol)を溶解させた1,4−ジオキサン70mlを30分かけて滴下後、室温で2時間攪拌した後、3時間還流下攪拌後、ジメチルホルムアミドを150ml加え更に10時間還流下攪拌した。冷却後、析出した粗結晶を減圧濾過で回収し、アセトンで洗浄、風乾した後、ジメチルホルムアミドで再結晶及びアセトンで洗浄した後減圧乾燥してトリニトロ化合物(4)の黄色結晶を得た。収量35.2g(72%)であった。HPLC面積% 99.5%
(原料合成例8) トリアミン化合物(4)の合成:
原料合成例2のトリニトロ化合物(1)32.8gを合成例6で得られたトリニトロ化合物(4)24.5gに、2−メトキシエタノールを2−メトキシエタノール/ジメチルホルムアミドの1:2の混合溶媒に変え、更に加熱攪拌3時間を10時間に変えた以外は同様にして得られた反応液に、水を加えて析出した結晶を減圧濾過により回収し、水で洗浄後減圧乾燥して、トリアミン化合物(4)の白色結晶を得た。収量17.0g(収率85%)であった。HPLC面積% 99.5%、H−NMR(DMSOd−6、TMS)δ8.47(s、6H)、7.33(d、6H)、6.49(d、6H)、4.75(s、6H)
(樹脂合成例1) 末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(1)の合成:
攪拌機、窒素導入管、温度計を備えた200ml4つ口フラスコに5−(2,5−ジオキソテトラヒドロー3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸二無水物(大日本インキ製 エピクロンB-4400)31.7g(0.12mol)及び溶媒としてジメチルトリグライム30gとN-メチルピロリドン20gを加え、10〜15℃に冷却下攪拌しながら、原料合成例2で得られたトリアミン化合物(1)22.6g(0.04mol)をN-メチルピロリドン30gに溶解させた溶液を1時間かけて滴下した後、室温で10時間攪拌してイミド前駆体樹脂溶液を得た。得られたイミド前駆体樹脂溶液に無水酢酸20.4g(0.2mol)とピリジン3.2g(0.04mol)を滴下し、室温下1時間攪拌した後、70℃で3時間攪拌して脱水閉環によるイミド化を行った。得られた反応液を冷却後1N塩酸水100mlを溶かした水500ml中に滴下し、析出物を減圧濾過で回収し、水洗、120℃で減圧乾燥して末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(1)の白色粉末を得た。収量47.1g(収率90.4%)であった。この粉末の赤外分光法(IR)からイミド基のC=O結合(1710cm-1付近及び1780cm-1付近)及びC−N結合(1380cm-1付近に基づく吸収と酸無水物基(1850cm-1及び1780cm-1)に基づく吸収を確認した。
(樹脂合成例2) 本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂1の合成:
攪拌機、温度計を備えた200ml3つ口フラスコに樹脂合成例1で得られた末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(1)を35g(樹脂合成例1の配合から計算した二塩基酸無水物基のmol数:0.081mol)、溶媒としてカルビトールアセテート25.2g及びジメチルトリグライム8.4g、不飽和結合を有するアルコールとして2−ヒドロキシエチルアクリレート(以下2−HEAと表す)10.3g(0.089mol)を加え、90℃で10時間攪拌下、二塩基酸無水物基と水酸基との反応を行った。 得られた感光性樹脂溶液(1)の固形分酸価は103であった。
(樹脂合成例3) 本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂(2)の合成:
樹脂合成例2の2−HEA10.3gを4−ヒドロキシブチルアクリレート(日本化成社製4−HBA)12.8g(0.089mol)に変えた以外は同様にして感光性樹脂溶液(2)を得た。得られた感光性樹脂溶液(2)の固形分酸価は99であった。
(樹脂合成例4) 末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(2)の合成:
樹脂合成例1の5−(2,5−ジオキソテトラヒドロー3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸二無水物31.7g(0.12mol)を3,4−ジカルボキシテトラリン−1−コハク酸二無水物(新日本理化社製リカシッドTDA―100)36.0g((0.12mol)に変えた以外は同様にして末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂2の白色粉末を得た。収量51.6g(収率91.5%)であった。この粉末のIRから分岐状イミド樹脂(1)の場合と同様にイミド基と酸無水物基に基づく吸収を確認した。
(樹脂合成例5) 本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂(3)の合成:
樹脂合成例2の分岐状イミド樹脂(1)の35gを樹脂合成例4で得られた分岐状イミド樹脂(2)の35g(樹脂合成例4の配合から計算した二塩基酸無水物基のmol数:0.074mol)に、2−HEA10.3gを9.4g(0.081mol)に変えた以外は同様にして感光性樹脂溶液(3)を得た。得られた感光性樹脂溶液(3)の固形分酸価は97であった。
(樹脂合成例6) 本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂(4)の合成:
樹脂合成例5の2−HEA9.4g(0.081mol)を4−HBA11.7gに変えた以外は同様にして感光性樹脂溶液(4)を得た。得られた感光性樹脂溶液(4)の固形分酸価は93であった。
(樹脂合成例7) 末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(3)の合成:
樹脂合成例1のトリアミン化合物(1)22.6gを原料合成例4で得られたトリアミン化合物(2)23.2g(0.04mol)に変えた以外は同様にして末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(3)の白色粉末を得た。収量48.3g(収率91.5%)であった。この粉末のIRから分岐状イミド樹脂(1)の場合と同様にイミド基と酸無水物基に基づく吸収を確認した。
(樹脂合成例8) 本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂5の合成:
樹脂合成例2の分岐状イミド樹脂(1)の35gを樹脂合成例7で得られた分岐状イミド樹脂(3)の35g(樹脂合成例4の配合から計算した二塩基酸無水物基のmol数:0.080mol)に、2−HEA10.3gを10.2g(0.088mol)に変えた以外は同様にして感光性樹脂溶液(5)を得た。得られた感光性樹脂溶液(5)の固形分酸価は105であった。
(樹脂合成例9) 末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(4)の合成:
樹脂合成例1のトリアミン化合物(1)22.6gを原料合成例6で得られたトリアミン化合物(3)16.0g(0.036mol)に変えた以外は同様にして末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(4)の白色粉末を得た。収量37.7g(収率85.4%)であった。この粉末のIRから分岐状イミド樹脂(1)の場合と同様にイミド基と酸無水物基に基づく吸収を確認した。
(樹脂合成例10) 本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂(6)の合成:
樹脂合成例2の分岐状イミド樹脂1の35gを樹脂合成例7で得られた分岐状イミド樹脂(4)の35g(樹脂合成例9の配合から計算した二塩基酸無水物基のmol数:0.080mol)に、2−HEA10.3gを12.2g(0.105mol)に変えた以外は同様にして感光性樹脂溶液(6)を得た。得られた感光性樹脂溶液(6)の固形分酸価は123であった。
(樹脂合成例11) 末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(5)の合成:
樹脂合成例1のトリアミン化合物(1)22.6gの溶液を原料合成例8で得られたトリアミン化合物(4)9.6g(0.024mol)とジアミン成分として2,2−ビス〔4−4(アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(和歌山精化工業社製BAPP)7.4g(0.018mol)の混合溶液に変えた以外は同様にして末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂(5)の白色粉末を得た。収量39.0g(収率83.4%)であった。この粉末のIRから分岐状イミド樹脂(1)の場合と同様にイミド基と酸無水物基に基づく吸収を確認した。
(樹脂合成例12) 本発明の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂(7)の合成:
樹脂合成例2の分岐状イミド樹脂(1)の35gを樹脂合成例11で得られた分岐状イミド樹脂(5)の35g(樹脂合成例9の配合から計算した二塩基酸無水物基のmol数:0.080mol)に、2−HEA10.3gを12.7g(0.109mol)に変えた以外は同様にして感光性樹脂溶液(7)を得た。得られた感光性樹脂溶液(7)の固形分酸価は128であった。
(比較樹脂合成例1) 末端が二塩基酸無水物基である直鎖状イミド樹脂1の合成:
樹脂合成例1のトリアミン化合物(1)22.6gをBAPPの24.6g(0.06mol)に変えた以外は同様にして末端が二塩基酸無水物基である直鎖状イミド樹脂(I)の白色粉末を得た。収量は48.7g(収率91.0%)であった。この粉末のIRから分岐状イミド樹脂(1)の場合と同様にイミド基と酸無水物基に基づく吸収を確認した。
(比較樹脂合成例2) 樹脂合成例2の分岐状イミド樹脂1の35gを比較樹脂合成例1で得られた末端が二塩基酸無水物基である直鎖状イミド樹脂(I)の35g(比較樹脂合成例1の配合から計算した二塩基酸無水物基のmol数:0.078mol)に、2−HEA10.3gを10.0g(0.086mol)に変えた以外は同様にして比較例の感光性樹脂溶液(I)を得た。得られた比較例の感光性樹脂溶液(I)の固形分酸価は101であった。
(比較樹脂合成例2(エポキシアクリレート類の酸無水物付加樹脂の合成))
攪拌機、温度計を備えた1000ml3つ口フラスコに、エポキシ樹脂成分としてクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業株式会社社製、エピクロンN-680)210gをカルビトールアセテート280gに溶解したものにアクリル酸72gを加え加熱還流条件下、定法により反応させて得られる反応生成物に、テトラヒドロ無水フタル酸112gを定法により反応させて比較例の感光性樹脂溶液(II)を得た。得られた比較例の感光性樹脂溶液(II)の固形分酸価は78であった。
(エポキシアクリレートFの合成) 攪拌機、温度計を備えた500ml3つ口フラスコに、エポキシ成分としてN−680の210gをカルビトールアセテート120gに溶解したものにアクリル酸72gを加え加熱還流条件下、定法により反応させエポキシアクリレート(樹脂F)を得た。
前記にて合成された樹脂を用いた表1に示す配合成分を、3本ロールミルで分散し、感光性及び熱硬化性樹脂組成物を得た。表2に各成分の評価結果を記載する。
Figure 0004257786
Figure 0004257786
感光性樹脂組成物の塗膜の感度、熱管理幅及び塗膜性能の評価方法は、以下のとおりである。予め面処理済みの基板に、スクリーン印刷法により、感光性樹脂組成物を35μmの厚さ(乾燥前)に塗工してそれぞれの塗工基板を作製した。
塗膜性能の評価用試験片は、上記塗工基板にアートワークフィルムを通しメインピ−クが365nmの波長の紫外線の照射光量をオ−ク製作所社製の積算光量計を用い400mJ/cm
照射し、1%の炭酸ナトリウム水溶液を用い、2.0kg/cm のスプレ−圧で60秒間現像を行った後、150℃、1時間ポストキュアして硬化塗膜を有する基板を作成した。
(現像性) 下記の評価基準で評価した。
○・・・現像時、未露光部分が完全に除去され、現像できた。
× ・・・現像時、未露光部分が完全に除去されない。
(感度) 上述の塗工基板を80℃、20分予備乾燥した後の塗工基板に感度測定用ステップタブレット(コダック21段)を設置し、ステップタブレットを通しメインピ−クが365nmの波長の紫外線の照射光量をオ−ク製作所社製の積算光量計を用い300mJ/cm
照射したものをテストピ−スとし、1%の炭酸ナトリウム水溶液を用い、2.0kg/cm のスプレ−圧で60秒間現像を行った後の露光部分の除去されない部分を数字(ステップ数)で表した。ステップ数が大きいほど感光特性が良好であることを示す。
(タック性(指触乾燥性)) 上述の塗工基板を80℃、20分予備乾燥した後、塗膜表面にネガフィルムを密着させ、露光した後に、ネガフィルムへの塗膜の付着の程度を調べ、以下のように評価した。
◎:まったく付着、貼り付き跡が認められないもの
○:塗膜表面に貼り付き跡が認められるもの
△:剥離に際し、抵抗が生じるもの
×:ネガフィルムへの塗膜の付着が認められるもの
(鉛筆硬度) 硬化塗膜をJIS K−5400 6.14に準拠して測定した。
(はんだ耐熱性) 硬化塗膜を有する試験片を、JIS C 6481の試験方法に従って、260℃のはんだ槽に30秒浸漬後、セロハンテープによるピーリング試験を1サイクルとした計1〜3サイクルを行った後の塗膜状態を目視により評価した。
◎:3サイクル後も塗膜に変化がないもの
○:3サイクル後に僅かに変化しているもの
△:2サイクル後に変化しているもの
×:1サイクル後に剥離を生じるもの
(耐酸性) 硬化塗膜を有する塗工基板を常温の10%の硫酸水溶液に30分間浸漬したのち、水洗後、セロハン粘着テープによるピーリング試験を行い、塗膜の剥がれ、変色について観察し、耐酸性を評価した。
◎:全く変化が認められないもの
○:ほんの僅かに変化したもの
△:顕著に変化しているもの
×:塗膜が膨潤して剥離したもの
(耐溶剤性) 硬化塗膜を有する試験基板を常温の塩化メチレンに30分間浸漬したのち、水洗後、セロハン粘着テープによるピーリング試験を行い、塗膜の剥がれ、変色について観察し、耐溶剤性を評価した。
◎:全く変化が認められないもの
○:ほんの僅か変化しているもの
△:顕著に変化しているもの
×:塗膜が膨潤して剥離したもの
(耐金メッキ特性(塗膜の剥がれ、及び変色)) 硬化塗膜を有する試験基板に金メッキ加工後、セロハン粘着テープによるピーリング試験を行い、塗膜の剥がれ、変色について観察し、耐金メッキ性を評価した。
◎:全く変化が認められないもの
○:ほんの僅かに変化したもの
△:顕著に変化しているもの
×:塗膜が膨潤して剥離したもの
(電気絶縁性(絶縁抵抗))
硬化塗膜を有するIPC−SM−840B B−25テストクーポンのくし型基板を作成し、60℃、90%RH(相対湿度)の恒温恒湿槽中で100Vの直流電圧を印加し、500時間後の絶縁抵抗を評価した。
(Tg) テフロン板にスクリーン印刷法により、感光性樹脂組成物を乾燥後40μmになるように塗工し、80℃で乾燥後、メインピ−クが365nmの波長の紫外線の照射光量をオ−ク製作所社製の積算光量計を用い400mJ/cm
照射後、150℃、1時間ポストキュアして硬化塗膜を作成した。作成した硬化塗膜をテフロン板から剥離して、TMA法により(JIS K0129に準拠)ガラス転移点温度(Tg)を測定した。
本発明内の実施例1〜7においては、通常の溶媒を使用し、アルカリ現像した際に、現像性、感度、タッチ、硬度、はんだ耐熱性、耐酸性、耐溶剤性、耐メッキ性、変色防止、絶縁抵抗、Tgの各項目において優れている。比較例1、2では直鎖状イミド樹脂を使用している。そして、比較例1では、現像性、感度、はんだ耐熱性、耐メッキ性、絶縁抵抗特性が劣っている。比較例2では、はんだ耐熱性、絶縁抵抗、Tgが劣っていることが判った。
以上のように、本発明により開発された活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂は、イミド化が不要であるため200℃以上の高温での硬化が不要であり、また汎用溶剤に良好な溶解性を示すとともに優れたアルカリ現像性を有する。本発明の樹脂組成物は、弱アルカリでの現像性、指触乾燥性、光硬化性に優れ、得られた硬化塗膜は、はんだ耐熱性、耐酸性、耐溶剤性、電気絶縁性やTgに優れた特性を示す。

Claims (6)

  1. 一般式(1)で表される構造を含む、分子鎖末端が二塩基酸無水物基である分岐状イミド樹脂を、不飽和基含有アルコールと反応させることにより得られた、分子鎖末端にカルボン酸基と不飽和基とを有する活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂。
    Figure 0004257786
    〔Xは3価の有機基を表し、Yは、一般式(13)の有機基、一般式(14)の有機基、一般式(15)の有機基および一般式(16)の有機基からなる群より選ばれた一種以上の4価の有機基であり、aは、一般式(2)で表される二塩基酸無水物基あるいは一般式(3)で表されるイミド連結基である〕
    Figure 0004257786
    Figure 0004257786
    Figure 0004257786
    Figure 0004257786
    Figure 0004257786
    Figure 0004257786
  2. 前記一般式(1)中のXが、下記一般式(5)
    Figure 0004257786
    〔Xは3価の有機基を表し、R〜Rは1価の有機基を表し、互いに同一でも異なっていても良い。〕である、請求項1記載の樹脂。
  3. 請求項1または2記載の活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂(A)、光重合開始剤(B)、希釈剤(C)および熱硬化性エポキシ化合物(D)を含有することを特徴とする、活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物。
  4. 請求項記載の組成物からなることを特徴とする、ソルダーレジスト用組成物。
  5. 請求項記載の組成物から作製されたことを特徴とする、感光性ドライフィルム。
  6. 請求項記載の組成物の硬化膜を有する、プリント配線板。
JP2003397340A 2003-11-27 2003-11-27 活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂、活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物、ソルダーレジスト用組成物、プリント配線板および感光性ドライフィルム Expired - Fee Related JP4257786B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003397340A JP4257786B2 (ja) 2003-11-27 2003-11-27 活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂、活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物、ソルダーレジスト用組成物、プリント配線板および感光性ドライフィルム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003397340A JP4257786B2 (ja) 2003-11-27 2003-11-27 活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂、活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物、ソルダーレジスト用組成物、プリント配線板および感光性ドライフィルム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005154643A JP2005154643A (ja) 2005-06-16
JP4257786B2 true JP4257786B2 (ja) 2009-04-22

Family

ID=34722519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003397340A Expired - Fee Related JP4257786B2 (ja) 2003-11-27 2003-11-27 活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂、活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物、ソルダーレジスト用組成物、プリント配線板および感光性ドライフィルム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4257786B2 (ja)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010070604A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Hitachi Chem Co Ltd 反応性二重結合を有する溶剤可溶性イミド化合物、この化合物を含む樹脂組成物及びこれらを用いた電子材料
TWI501027B (zh) * 2008-11-18 2015-09-21 Sumitomo Chemical Co Photosensitive resin composition and display device
US20120308816A1 (en) * 2010-02-10 2012-12-06 Ube Industries, Ltd. Polyimide film, polyimide laminate comprising same, and polyimide/metal laminate comprising same
US9024037B1 (en) 2011-05-19 2015-05-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Two-photon absorbing polymers based on triarylamine-benzobisthiazole-triarylamine quadrupolar-structure motif
US8791227B1 (en) 2012-04-20 2014-07-29 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Crosslinked aromatic polyimides and methods of making the same
US8962890B1 (en) 2012-04-20 2015-02-24 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multifunctional crosslinkers for shape-memory polyimides, polyamides and poly(amide-imides) and methods of making the same
US9085661B1 (en) 2012-10-26 2015-07-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Photomechanically active copolyimides derived from an azobenzenediamine, a rigid dianhydride, and a flexible dianhydride
JP6468198B2 (ja) * 2013-12-24 2019-02-13 日産化学株式会社 トリアジン環含有重合体およびそれを含む組成物
JP6515811B2 (ja) * 2013-12-24 2019-05-22 日産化学株式会社 トリアジン系重合体含有組成物
US9139696B1 (en) 2014-03-28 2015-09-22 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Air Force Aromatic diamines containing three ether-linked-benzonitrile moieties, polymers thereof, and methods of making the same
US9644071B1 (en) 2014-09-05 2017-05-09 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Bis(azobenzene) diamines and photomechanical polymers made therefrom
US10239254B1 (en) 2015-08-07 2019-03-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Method of fabricating shape memory films
US10294255B1 (en) 2015-08-07 2019-05-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multifunctional crosslinking agent, crosslinked polymer, and method of making same
TW201905017A (zh) * 2017-06-14 2019-02-01 日商迪愛生股份有限公司 含有酸基之(甲基)丙烯酸酯樹脂及阻焊劑用樹脂材料
WO2019065562A1 (ja) * 2017-09-28 2019-04-04 東レ株式会社 感光性樹脂組成物、感光性シート、ならびにそれらの硬化膜、その製造方法、それを用いた中空構造体および電子部品
JP7259475B2 (ja) * 2019-03-27 2023-04-18 東レ株式会社 感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物フィルムおよびこれらを用いた半導体装置
CN113215827A (zh) * 2021-05-28 2021-08-06 安徽弋尚纺织科技有限公司 一种抗菌耐污的西服面料及其生产工艺
CN116082817A (zh) * 2021-11-05 2023-05-09 台光电子材料(昆山)有限公司 一种树脂组合物以及由其制造的制品
WO2024122542A1 (ja) * 2022-12-08 2024-06-13 Jsr株式会社 感光性樹脂組成物、パターンを有する樹脂膜並びにその製造方法、および半導体回路基板

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005154643A (ja) 2005-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4257786B2 (ja) 活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂、活性エネルギー線硬化型アルカリ可溶性イミド樹脂組成物、ソルダーレジスト用組成物、プリント配線板および感光性ドライフィルム
US20050112500A1 (en) Photocurable/therosetting resin composition, photosensitive dry film formed therefrom and method of forming pattern with the same
US8026036B2 (en) Photosensitive resin composition and circuit substrate employing the same
KR20170017999A (ko) 경화성 수지 조성물, 드라이 필름, 경화물 및 프린트 배선판
US20120070780A1 (en) Photosensitive resin composition, dry film solder resist, and circuit board
JPWO2007007730A1 (ja) ポジ型感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
CN101233452A (zh) 光敏性树脂组合物及其固化制品
KR20190010614A (ko) 네거티브형 감광성 수지 조성물, 경화막, 경화막의 제조 방법, 반도체 디바이스, 적층체의 제조 방법, 반도체 디바이스의 제조 방법 및 폴리이미드 전구체
JP6111248B2 (ja) アルカリ現像型樹脂、それを用いた感光性樹脂組成物
JP2004062057A (ja) 感光性熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物
TWI775993B (zh) 硬化性樹脂組成物、乾膜、硬化物及印刷配線板
US5620831A (en) Cyanoguanidine derivatives, and thermosetting or photocurable, thermosetting resin composition using the same
CN100519630C (zh) 活性能量线固化性树脂、含有该树脂的光固化性和热固化性树脂组合物及其固化物
JP2022169681A (ja) 感光性樹脂組成物、その硬化物及び多層材料
JP4611554B2 (ja) 感光性組成物およびその硬化物ならびにそれを用いたプリント配線基板
JP7113644B2 (ja) ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板
TWI824035B (zh) 樹脂組成物、硬化膜、積層體、硬化膜的製造方法及半導體元件
TWI811313B (zh) 硬化性樹脂組成物、乾膜、硬化物,及電子零件
JP3095658B2 (ja) シアノグアニジン誘導体及びそれを用いた熱硬化性又は光硬化性熱硬化性樹脂組成物
CN114945611A (zh) 固化性组合物、其干膜和固化物
WO2021044984A1 (ja) 硬化性樹脂組成物、そのドライフィルムおよび硬化物、およびその硬化物を含む電子部品
JP2007112908A (ja) 酸変性ポリエステルイミド樹脂、感光性樹脂組成物、レジストパターンの形成方法、プリント配線板及び半導体素子。
KR20120033968A (ko) 감광성 수지 조성물
TWI704174B (zh) 硬化性樹脂組成物、乾膜、硬化物以及印刷配線板
CN117120929A (zh) 层叠结构体、干膜、固化物和电子部件

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060307

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080716

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080722

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080922

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090128

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090129

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4257786

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213

Year of fee payment: 3

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213

Year of fee payment: 3

R370 Written measure of declining of transfer procedure

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130213

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130213

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140213

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees