JP4255126B2 - 電気泳動表示装置及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、電気泳動表示装置及びその製造方法に関する。

近年、情報携帯端末が急速に発展し、低消費電力、軽量、薄型の表示装置のニーズが高まってきている。現状では、情報携帯端末のディスプレイとして反射型液晶表示装置が広く用いられている。しかし、反射型液晶表示装置は偏光板を使用するため光の利用効率が低いために使用環境によっては十分な明るさが得られず、表示の視認性が悪い場合がある。

偏光板を使用せずに明るい反射型ディスプレイが得られる方式として、電気泳動表示装置が知られている。この装置は、透明電極を形成した一対の透明基板の間に、分散液を挟んだ構造を持っている。分散液は、黒色の帯電粒子と透明な絶縁性液体等からなる。一方の基板上には全面に透明電極を形成する。もう一方の基板上には、網目状に電極を形成する。電極を介して分散液に電圧を印加すると、電荷を有する帯電粒子はその電荷とは逆の極性の電極へ移動する。基板全面に形成した電極に帯電粒子が集まると、帯電粒子の黒色が視認され遮光状態となる。一方、網目状に形成した電極に帯電粒子が集まると、網目状の電極を形成した以外の領域は透明の絶縁性液体で満たされ、光透過状態となる。電極間に印加する電圧の極性を変えることで、この遮光状態と光透過状態を切り替えて表示が行われる。しかしながら、この表示方式の場合、基板全面に形成した電極上に帯電粒子が広がらず、十分な遮光状態が得られないという問題があった。また、網目状に形成した電極に帯電粒子が完全に集まらないなどの理由で、十分な光透過状態が得られないという問題があった。

この問題を解決する試みの一つとして、交流電圧を印加することで表示素子の遮光状態を得ることが知られている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、網目状に形成した電極に帯電粒子と逆の極性電圧を印加した場合、基板上全面に形成した透明電極に吸着したままの帯電粒子が存在するため、十分な光透過状態が得られないという問題があった。また、基板上全面に透明電極を形成すると、透明電極の屈折率が基板や絶縁性液体よりも大きいため、表示素子に斜めから入った光が素子を透過せず十分な光透過状態が得られない、透明電極の内部の多重反射によって透過光量が減少するといった問題があった。
特開平３−９１７２２号公報（第２−４頁、第１図）

上述したように、従来は、優れた表示特性を有する電気泳動表示装置を得ることが出来なかった。

本発明はこの問題に鑑み、優れた表示特性を有する電気泳動表示装置と、それを製造する方法とを提供することを目的とする。

そこで本発明は、互いに対向して配置される第１基板及び第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられる絶縁性液体と、前記絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、前記第１基板の前記第２基板に対向する側の面に、各画素に対応して前記各画素の周辺部に設けられる第１電極と、前記第２基板の前記第１基板に対向する側の面に、前記各画素に対応して前記各画素の周辺部に設けられる第２電極と、第１の表示状態では前記帯電粒子を前記第１電極近傍に移動させるように前記第１電極と前記第２電極との間に直流電圧を印加し、第２の表示状態では前記帯電粒子を前記絶縁性液体中に分散させて帯電粒子の色を視認させるように前記第１電極と前記第２電極との間に交流電圧を印加する駆動手段を具備することを特徴とする電気泳動表示装置を提供する。

また、本発明は、互いに対向して配置される第１基板及び第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられる絶縁性液体と、前記絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、前記第１基板の前記第２基板に対向する側の面に、各画素に対応して前記各画素の半分以下の面積となるよう設けられる第１電極と、前記第２基板の前記第１基板に対向する側の面に、前記各画素に対応して前記各画素の周辺部に設けられる第２電極と、第１の表示状態では前記帯電粒子を前記第１電極近傍に移動させるように前記第１電極と前記第２電極との間に直流電圧を印加し、第２の表示状態では前記帯電粒子を前記絶縁性液体中に分散させて帯電粒子の色を視認させるように前記第１電極と前記第２電極との間に交流電圧を印加する駆動手段を具備することを特徴とする電気泳動表示装置を提供する。

本発明においては、第１基板と第２基板との間に、１つ若しくは複数の画素で構成される小区域を囲むよう設けられる隔壁をさらに含んでも良い。

また本発明においては、小区域が１つの画素で構成され、第２電極の基板面に沿った断面形状と隔壁の基板面に沿った断面形状とが同じであっても良い。

また本発明は、第１基板の主面上に、各画素に対応して設けられる第１電極を形成する工程と、第２基板の主面上に、全面に導電層を形成する工程と、導電層上に、各画素に対応して各画素を囲むような形状の隔壁を形成する工程と、隔壁をマスクとし導電層をエッチングして、第２電極を形成する工程と、隔壁で囲まれた領域に、絶縁性液体中に複数の帯電粒子を分散させた分散液を充填し、第１基板と第２基板の主面同士を対向させて配置する工程とを具備することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法を提供する。

本発明においては、第１電極を各画素の周辺部に設けても良い。

また本発明においては、第１電極の面積を各画素の面積の半分以下としても良い。

本発明によれば、優れた表示特性を有する電気泳動表示装置と、それを製造する方法とを提供することが出来る。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る電気泳動表示装置について詳細に説明する。

（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置を図１及び図２を用いて説明する。

図１の断面図に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置は、第１基板１と第２基板２とが対向して配置され、第１基板１と第２基板２との間には、各画素を囲むように隔壁４が設けられる。図１では便宜的に２つの画素を抽出して示しており、図の中央の一点鎖線は、この２つの画素の境界部を示す。すなわち、１つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。そして、第１基板１上には、隔壁４で囲まれた画素領域の周辺部に、隔壁４に接するように各画素を囲む枠状の画素電極（第１電極）３が形成され、第２基板２上には隔壁４に対応する領域に各画素を囲むよう設けられる対向電極（第２電極）５が形成される。各々の画素電極３は、第１基板１上に形成されたＴＦＴ素子１１に接続されている。ＴＦＴ素子１１の詳細については後述するが、ＴＦＴ素子１１のソース電極１５は信号線９に接続し、ゲート電極１２はゲート線（図１では図示せず）に接続する。そして、これらの電極が形成された第１基板１、第２基板２、及び隔壁４の間に、帯電粒子７を分散した絶縁性液体６からなる分散液８が配置される。本実施形態は、枠状に設けられた第１電極３と第２電極５との間に交流電圧を印加して、優れた表示特性を有する電気泳動表示装置を得るものである。

図２は本実施形態の電気泳動表示装置の一部を示す平面図であり、第１基板１の平面図が図２（ａ）であり、第２基板２の平面図が図２（ｂ）である。図２（ａ）に示すように、第１基板１には、行方向に延びる複数の信号線９及び列方向に延びる複数のゲート線１０が交差するよう設けられている。第１基板１上にはまた、信号線９とゲート線１０との交点に各画素のスイッチングを行うＴＦＴ素子１１が、信号線９とゲート線１０とで囲まれた画素に対応する領域の周辺部（隔壁の内側部分）に画素電極３が設けられている。図１及び図２に示すように、ＴＦＴ素子１１は、島状に形成されたゲート電極１２と、ゲート電極１２を覆うよう全面に形成されたゲート絶縁膜１３、ゲート絶縁膜１３上のゲート電極１２に対応する領域に島状に形成された半導体層１４を有する。そして、半導体層１４を形成したゲート絶縁膜１３上には、半導体層１４と接しつつ半導体層１４を挟むよう分離されたソース電極１５及びドレイン電極１６が配置される。このＴＦＴ素子１１の上には平坦化膜１８が形成され、ドレイン電極１６は平坦化膜１８に形成されたスルーホール１７を介して画素電極３に接続している。また、ＴＦＴ素子１１のゲート電極１２はゲート線１０に、ソース電極１５は信号線９に接続している。また、図２（ｂ）に示すように、第２基板２には、信号線９やゲート線１０、隔壁４に対応する領域、つまり画素領域の周辺に一定幅の対向電極５が格子状に設けられている。

本実施形態では、以下の特性の部材を使用した場合について表示原理を説明する。帯電粒子７は黒色で、正に帯電している。帯電粒子７を分散させている絶縁性液体６は可視光領域で光透過性を有する液体を使用している。第１基板１および第２基板２にはガラスなどの透明基板を使用し、画素電極３および対向電極５にはＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）などの透明電極を用いている。第１基板１の外側には白色の板（図示せず）を置いている。隔壁４材料は光透過性であるものを使用している。図１では第２基板２側を観測面として、左側の画素が白表示、右側の画素が黒表示を行っているものである。

左側の画素に関し、対向電極５を基準電位（ゼロボルト）とし、信号線９経由で画素電極３に負極性の電圧を印加すると、図１の左側の画素に示すように帯電粒子７は画素電極３近傍へ移動する。この電気泳動表示装置を第２基板２側から見ると、画素電極３は面積が小さく、第１基板１、第２基板２は光透過性であるため、第１基板１の外側に置いた白色の板の色を視認することになり、白表示となる。

他方、右側の画素に関し、対向電極５を基準電位（ゼロボルト）とし、信号線９経由で画素電極３に交流電圧を印加すると、図１の右側の画素に示すように、帯電粒子７は絶縁性液体６の中を分散する。この電気泳動表示装置を第２基板２側から見ると、第２基板２は光透過性であり、帯電粒子７の黒色を視認することになり、黒表示となる。

従来の交流電圧を用いた電気泳動表示装置では、全面に形成した電極に吸着したままで移動しない帯電粒子があり、この帯電粒子が光を吸収して白表示時の反射率（明るさ）が低下するという問題があった。また、全面に形成された電極があると、白表示の際にＩＴＯからなる電極を透過した光を視認することになる。ＩＴＯの屈折率は１．７で、ガラス（屈折率は約１．５）や分散液（屈折率は約１．５）の屈折率より大きい。そのため、基板と電極の界面で全反射が起こりやすくなり、白表示時の反射率が低下する。また、ＩＴＯ自体の光吸収やＩＴＯ内の多重反射によっても、白表示時の反射率が低下するという問題があった。

これに対し、本実施形態では、対向電極５は隔壁４と同じ形状で画素周辺を囲むよう設けられており、対向電極５が分散液８と接する面積は小さく、画素の大部分は第１基板１、第２基板２及び隔壁４と、分散液８とが直接接している。そのため、画素電極３に負極性の電圧を印加した場合の、帯電粒子７が対向電極５に吸着したまま動かないという問題は、画素の大部分の領域では生じない。また、画素に対する対向電極５の面積の割合が小さくなるため、白表示の際にＩＴＯからなる対向電極５を透過する光の割合が減少し、ＩＴＯの全反射、光吸収および多重反射による反射率の低下はわずかとなる。その結果、白はより白くなり、表示の視認性やコントラストが向上する。

次に、本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法を図３、図４、図５及び図６を用いて説明する。これらの図は、本実施形態の電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図であり、２つの画素を抽出して説明している。

まず、図３に示すように、透明な第２基板２上にＩＴＯなどからなる導電層２０を全面に形成する。この導電層２０上に、感光性樹脂を塗布し、プリベークした後に露光した。これを現像液に浸漬することで現像し、その後、ポストベークして、図４に示すように隔壁４を形成した。

次に、これをエッチング液に一定時間浸し、隔壁４以外の部分の導電層２０を除去した。最後にエッチング液を洗い流した。これにより、図５に示すように、隔壁４と第２基板２の間に、隔壁４と形状と位置が同じ対向電極５を作製することができた。

その後、第２基板２の周辺部（図示せず）に接着剤を塗布し、図６に示すように、隔壁４内に、絶縁性液体６中に帯電粒子７が分散した分散液８を充填した。定法によりＴＦＴ１１及びこれに接続した画素電極３を形成した第１基板１を、この第２基板２と貼り合わせ、位置合わせを行いながら固定し、接着剤を硬化させた。これに電圧印加回路（駆動手段、不図示）を接続して電気泳動表示装置とした。

本実施形態では、隔壁４と対向電極５の形状及び位置を同一としている。これによって、対向電極５を形成する際、隔壁４をレジストマスクの代替として使用できるため、工程が簡略化できる。また、隔壁４と対向電極５の合わせマージンが不要となるため、開口率を向上することができる。

なお、画素電極３に正極性の電圧を印加して、対向電極５に帯電粒子７を集めて白表示を行おうとすると、明るい白表示を行うことができない。この理由を以下に記す。隔壁４と対向電極５の形状及び位置を同一とすると、対向電極５の側面以外は隔壁４及び第２基板２で覆われていることから、対向電極５は露出した表面積が小さい。隔壁４が存在する部分には、物理的に帯電粒子７を集めることができない。したがって、対向電極５に帯電粒子７を十分に集めることができず、明るい白表示を行うことができない。この理由により、本実施形態では画素電極３に帯電粒子７を集めて白を表示し、また、画素電極３と対向電極５の間に交流を印加することで帯電粒子７を分散させて黒を表示している。対向電極５を自己整合的に作製する場合は、上述したように対向電極５に帯電粒子７を集めることが困難であることから、本実施形態のように交流電圧を印加して帯電粒子７を分散させるのに適しているといえる。

交流電圧の印加条件は、例えば対向電極に印加する電圧を０Ｖとして、画素電極に周波数１０〜１００Ｈｚ、印加電圧±２Ｖ〜±１０Ｖとして印加すれば良い。

また、良好な白表示を行うには、画素電極３の面積は画素の面積の半分以下とすることが好ましい。また、白表示時に帯電粒子７を安定に引き寄せるために、画素電極３の面積を画素の面積の２０分の１以上程度とすることが好ましい。画素電極３の面積を画素の２０分の１以上とすることで、白表示時に泳動粒子を画素電極３上にほぼ完全に捕集することが可能となる。また、画素電極３の面積を画素の半分以下とすることで、本発明の効果（コントラスト向上）を十分に発揮することができる。このようにすることにより、画素中に、第１基板１側でも第２基板２側でもＩＴＯが形成されない部分が出来、ＩＴＯへの帯電粒子の吸着、ＩＴＯの全反射、光吸収等の問題が生じ難くなる。本実施形態では、画素電極３の形状として隔壁４の内側を囲むロ型としているが、これに限られるものではない。例えば、コ型やＬ型に画素を囲む形、画素の一辺に線状に設ける形としても良い。また、隔壁４に接触していなくても良い。どのような形状であっても、画素の一部に設けることにより、ＩＴＯによる吸収や反射を最小限に抑えることが可能となる。

なお、本実施形態では帯電粒子７が黒色の場合を説明したが、帯電粒子７が赤、緑、青、紫、灰色などの色をした光吸収性の粒子であっても同様に表示を行うことが出来、同様な効果が得られる。なお、黒色の粒子はカーボンブラックを主成分として容易に作製することができ、他の色と比べると比較的安価に入手することができる。また、第２基板２の外側に白色の板や拡散反射板等を置くことにより、第１基板１側を観測面とすることが出来る。帯電粒子７の極性や各電極に印加する電圧の極性も、上述したものに限られるものではない。

また、本実施形態では、隔壁４が光透過性、絶縁性液体６が光透過性、帯電粒子７が光吸収性となる材料を使用している。

隔壁４を光透過性、すなわち透明もしくは透明に近いものとする場合、以下の利点がある。隔壁４材料に感光性樹脂を用い、フォトリソグラフィーで隔壁４を形成する際、隔壁４材料が光透過性であると、露光する光が感光性樹脂の内部まで到達するので、高アスペクト比で隔壁４を形成することができる。特に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂は、高アスペクト比が得られるため、第１基板１と第２基板２の距離が広い場合でも、幅の狭い隔壁４を形成できる。よって、各画素の開口率が増加し、ディスプレイのコントラストが向上する。また、これをマスクとして対向電極５を形成する際に、高精度に対向電極５を形成可能となる。

また、絶縁性液体６を光透過性することについては、以下の利点がある。多くの有機溶媒は無色透明であり、絶縁性液体６に色をつけるには有機溶媒に色素を溶かしたものが使用される。この色素にはイオン性不純物が多く含まれる。そのため、色素を含まない光透過性の絶縁性液体６は、色素を混ぜた有色の絶縁性液体６と比べて、抵抗率が高い。したがって、光透過性の絶縁性液体６を用いた電気泳動表示装置では、より低い電圧での駆動や、より信頼性の高い動作が可能となる。なお、光透過性の絶縁性液体６を用いて高い反射率および高コントラストを得るには、帯電粒子７を光吸収性とし、基板の外側に反射板を貼付するか、電極あるいはその上に反射板を作り込めばよい。

また、基板上には赤、緑、青などのカラーフィルタを形成し、カラー表示を行っても良い。

また、絶縁性液体６と帯電粒子７の比重は概ね等しいことが好ましい。また、帯電粒子７の平均粒径は、０．０５μｍ以上かつ５μｍ以下程度であると、安定した分散状態が得られるため好ましい。また、隔壁４の幅が１μｍ以上であると、容易に感光性樹脂を用いて形成でき、基板との密着性も良好となり、好ましい。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態では、第１の実施形態と同様な部分については説明を省略する。

図７の断面図に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置は、画素電極３を画素の中央に設けた点が、第１の実施形態とは異なる。画素電極３の大きさは、上述したのと同様な理由から、画素の大きさの２０分の１以上半分以下としている。

本実施形態においても、画素電極３及び対向電極５が基板全面を覆っていないため、明るい白表示が実現でき、表示の視認性やコントラストが向上する。また、本実施形態においては、画素の中央部に画素電極３があるため、隣接する画素間でクロストークが起こりにくいという利点がある。また、第１基板１と第２基板２の位置合わせのマージンが広いという利点もある。

以下、各実施形態に関する実施例を説明する。

（実施例１）
図１、図２、図３、図４、図５および図６に示すような第１の実施形態に関する実施例１の電気泳動表示装置について説明する。なお、１画素毎の周りを隔壁で囲むものとし、１画素のサイズは縦１２５μｍ、横１２５μｍとした。

図１及び図２に示すように、厚さ約０．７ｍｍの無アルカリガラス基板からなる第１基板１上にＴＦＴ素子１１、信号線９、ゲート線１０、補助容量線（図示せず）を常法により形成した。次に、ＩＴＯからなる第１電極３を、外周が画素の内側となるようにして幅が５μｍの枠状に形成した。なお、第１電極３とＴＦＴ素子１１のドレイン電極１６、信号線９とＴＦＴ素子１１のソース電極１５、ゲート線１０とＴＦＴ素子１１のゲート電極１２は夫々電気的に接続されている。

図３に示すように、厚さ約０．７ｍｍの無アルカリガラス基板からなる第２基板２上にＩＴＯからなる導電層２０を全面にスパッタ法で製膜した。厚さは１２０ｎｍとした。

このＩＴＯ２０上に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂（ネガ型）を、スピンナーを用いて３０μｍの厚さに塗布した。９５℃のホットプレートでプリベークした後、フォトマスクを介して露光した。これを９５℃のホットプレートでベークした後、有機溶媒中に浸漬することで現像し、その後、１８０℃のホットプレート上でポストベークし、図４に示すように、高さ３０μｍ、幅５μｍの隔壁４を形成した。

隔壁４を形成した後、これを塩酸と硝酸の混合水溶液中に７分間浸し、隔壁４以外の部分のＩＴＯ２０を除去した。最後に純水をかけて、塩酸と硝酸を洗い流した。これにより、図５に示すように、隔壁４と第２基板２の間に、隔壁４と形状と位置が同じ第２電極５を作製することができた。

図６に示すように、第２基板２の周辺部（図示せず）に、直径３０μｍの円筒形のガラスロッドを混ぜた室温硬化型２液性エポキシ接着剤を、ディスペンサーを用いて塗り、隔壁４内に分散液８を充填した後、第１基板１を貼り合わせ、位置合わせを行いながら固定し、室温硬化型２液性エポキシ接着剤を硬化させた。これに電圧印加回路（駆動手段、不図示）を接続して電気泳動表示装置とした。分散液８は、絶縁性液体６としてシリコーンオイルを、帯電粒子７として表面にポリスチレンをコートした平均粒径が０．５μｍのカーボン粒子を使用した。このとき、絶縁性液体６は透明であり、帯電粒子７は黒色であった。なお、この帯電粒子７は正に帯電している。また、第１基板１の画素電極３を形成した面とは反対の面には、光沢紙（不図示）を貼り付け、白色を呈する反射板とした。

この電気泳動表示装置を以下の方法で駆動した。ゲート線１０にゲートパルス（低電圧値−９Ｖ、高電圧値＋２０Ｖ、パルス幅４２マイクロ秒、周波数６０Ｈｚ）を入れた。対向電極５は＋６Ｖの一定の電圧に保った。白表示を行う場合は、このゲートパルスと同期して、信号線９に＋１Ｖの直流を印加したところ、ゲートがオフとなる保持時間の間も電荷がほぼ保持されて＋１Ｖの直流を保った。黒表示を行う場合は、このゲートパルスと同期して、信号線９に周波数２０Ｈｚで高電圧値＋１１Ｖ、低電圧値＋１Ｖの矩形波を印加したところ、ゲートがオフとなる保持時間の間も電荷がほぼ保持されて周波数２０Ｈｚで高電圧値＋１１Ｖ、低電圧値＋１Ｖの交流（矩形波）を保った。その結果、コントラスト８：１で、白表示時に反射率５０％という優れた表示特性が得られた。

（実施例２）
図７に示すような、第２の実施形態に関する実施例２について説明する。本実施例では、実施例１と同様な部分については説明を省略する。

本実施例では、第１電極３を画素の中央に設けた以外は、実施例１と同様にして電気泳動表示装置を作製した。画素のサイズが１２５μｍ角である中、第１電極３の大きさは、縦３０μｍ、横３０μｍとした。

この電気泳動表示装置を実施例１と同様にして駆動したところ、のコントラストは８：１で、白表示時の反射率は５０％と優れた表示特性が得られた。

本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置の２つの画素を示す断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置を示す図であり、（ａ）が第１基板の平面図、（ｂ）が第２基板の平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法を説明する断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法を説明する断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法を説明する断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法を説明する断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る電気泳動表示装置の２つの画素を示す断面図である。

符号の説明

１…第１基板
２…第２基板
３…第１電極
４…隔壁
５…第２電極
６…絶縁性液体
７…帯電粒子
８…分散液
９…信号線
１０…ゲート線
１１…ＴＦＴ素子
１２…ゲート電極
１３…ゲート絶縁膜
１４…半導体層
１５…ソース電極
１６…ドレイン電極
１７…スルーホール
１８…平坦化膜
２０…導電層

Claims (7)

1. 互いに対向して配置される第１基板及び第２基板と、
   前記第１基板と前記第２基板との間に設けられる絶縁性液体と、
   前記絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、
   前記第１基板の前記第２基板に対向する側の面に、各画素に対応して前記各画素の周辺部に設けられる第１電極と、
   前記第２基板の前記第１基板に対向する側の面に、前記各画素に対応して前記各画素の周辺部に設けられる第２電極と、
   第１の表示状態では前記帯電粒子を前記第１電極近傍に移動させるように前記第１電極と前記第２電極との間に直流電圧を印加し、第２の表示状態では前記帯電粒子を前記絶縁性液体中に分散させて帯電粒子の色を視認させるように前記第１電極と前記第２電極との間に交流電圧を印加する駆動手段
   を具備することを特徴とする電気泳動表示装置。
2. 互いに対向して配置される第１基板及び第２基板と、
   前記第１基板と前記第２基板との間に設けられる絶縁性液体と、
   前記絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、
   前記第１基板の前記第２基板に対向する側の面に、各画素に対応して前記各画素の半分以下の面積となるよう設けられる第１電極と、
   前記第２基板の前記第１基板に対向する側の面に、前記各画素に対応して前記各画素の周辺部に設けられる第２電極と、
   第１の表示状態では前記帯電粒子を前記第１電極近傍に移動させるように前記第１電極と前記第２電極との間に直流電圧を印加し、第２の表示状態では前記帯電粒子を前記絶縁性液体中に分散させて帯電粒子の色を視認させるように前記第１電極と前記第２電極との間に交流電圧を印加する駆動手段
   を具備することを特徴とする電気泳動表示装置。
3. 前記第１基板と前記第２基板との間に、１つ若しくは複数の前記画素で構成される小区域を囲むよう設けられる隔壁をさらに含むことを特徴とする請求項１若しくは２に記載の電気泳動表示装置。
4. 前記小区域が前記１つの画素で構成され、前記第２電極の基板面に沿った断面形状と前記隔壁の前記基板面に沿った断面形状とが同じであることを特徴とする請求項３に記載の電気泳動表示装置。
5. 第１基板の主面上に、各画素に対応して設けられる第１電極を形成する工程と、
   第２基板の主面上に、全面に導電層を形成する工程と、
   前記導電層上に、前記各画素に対応して前記各画素を囲むような形状の隔壁を形成する工程と、
   前記隔壁をマスクとし前記導電層をエッチングして、第２電極を形成する工程と、
   前記隔壁で囲まれた領域に、絶縁性液体中に複数の帯電粒子を分散させた分散液を充填し、前記第１基板と前記第２基板の前記主面同士を対向させて配置する工程と
   を具備することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
6. 前記第１電極を前記各画素の周辺部に設けることを特徴とする請求項５に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
7. 前記第１電極の面積を前記各画素の面積の半分以下とすることを特徴とする請求項５に記載の電気泳動表示装置の製造方法。

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