JP4247999B2 - High frequency line-waveguide converter - Google Patents
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Description
本発明は、マイクロ波やミリ波の領域において使用される、高周波回路を形成するコプレーナ線路またはグランド付きコプレーナ線路等の高周波線路を導波管に変換し、高周波回路とアンテナあるいは高周波回路間の接続を導波管で行なうことにより、システムの実装、評価を容易に行なえる高周波線路−導波管変換器に関するものである。 The present invention converts a high-frequency line such as a coplanar line forming a high-frequency circuit or a coplanar line with a ground, which is used in a microwave or millimeter wave region, into a waveguide, and connects the high-frequency circuit and the antenna or the high-frequency circuit. The present invention relates to a high-frequency line-waveguide converter that can easily mount and evaluate a system by performing the above-described process using a waveguide.
近年、情報伝達に用いられる高周波信号は、マイクロ波領域からミリ波領域の周波数までを活用することが検討されている。例えば、ミリ波の高周波信号を用いた応用システムとして車間レーダーが提案されている。このような高周波用のシステムにおいて、高周波回路モジュールとアンテナとの間の伝送に導波管を用いたフロントエンドが採用されてきた。 In recent years, high-frequency signals used for information transmission have been studied to utilize frequencies from the microwave region to the millimeter wave region. For example, an inter-vehicle radar has been proposed as an application system using millimeter-wave high-frequency signals. In such a high frequency system, a front end using a waveguide has been adopted for transmission between the high frequency circuit module and the antenna.
このような高周波フロントエンドとしては、誘電体層と、その表面に形成した線路導体およびその両側に配置された同一面接地導体層から成るコプレーナ線路と、このコプレーナ線路の先端に形成したアンテナとして機能するスロットと、誘電体層の裏面のスロットと対向する位置に接続した導波管と、誘電体層の内部に導波管および同一面接地導体層を接続するように形成したシールド導体とを具備する高周波線路−導波管変換器が提案されている(下記の特許文献1参照)。誘電体層の裏面には、スロットに対向する開口を有する接地導体層が形成されている。
しかしながら、従来の高周波線路−導波管変換器は、シールド性を向上させるために、誘電体層の開口より外側にシールド導体が設けられているため、特性インピーダンスが急激に変化して、接地導体層の開口とシールド導体部とにおいてインピーダンスの不整合が生じやすく、その結果、高周波線路−導波管変換器内での反射損失が増加し、高周波線路と導波管との間における伝送の変換効率が低いという問題があった。 However, in the conventional high-frequency line-waveguide converter, since the shield conductor is provided outside the opening of the dielectric layer in order to improve the shielding performance, the characteristic impedance changes abruptly and the ground conductor Impedance mismatch tends to occur between the layer opening and the shield conductor, resulting in increased reflection loss in the high-frequency line-waveguide converter, and conversion of transmission between the high-frequency line and the waveguide. There was a problem of low efficiency.
本発明は上記問題点を鑑み案出されたもので、その目的は、高周波線路と導波管との間における伝送の変換効率の高い高周波線路−導波管変換器を提供することにある。 The present invention has been devised in view of the above problems, and an object thereof is to provide a high-frequency line-waveguide converter having high transmission conversion efficiency between a high-frequency line and a waveguide.
本発明の高周波線路−導波管変換器は、第1および第2の面を有する誘電体層と、該誘電体層の前記第1の面に形成されており、線路導体および該線路導体の端部を取り囲む第1の接地導体層からなる高周波線路と、前記誘電体層の前記第1の面に前記線路導体と交差して形成されており、前記線路導体に電磁的に結合されたスロットと、前記誘電体層の内層または前記第2の面に形成されており、前記スロットに対向する開口を有する第2の接地導体層と、前記誘電体層の内部に形成されており、前記第1の接地導体層および前記第2の接地導体層を電気的に接続するシールド導体とを備え、前記第2の接地導体層における前記シールド導体の接続領域が、前記第2の接地導体層の前記開口に突出していることを特徴とするものである。 The high-frequency line-waveguide converter of the present invention is formed on a dielectric layer having first and second surfaces, and the first surface of the dielectric layer, and a line conductor and the line conductor A high-frequency line composed of a first ground conductor layer surrounding the end, and a slot formed on the first surface of the dielectric layer so as to intersect the line conductor and electromagnetically coupled to the line conductor A second grounding conductor layer formed in an inner layer of the dielectric layer or the second surface, having an opening facing the slot, and formed in the dielectric layer, 1 ground conductor layer and a shield conductor that electrically connects the second ground conductor layer, and a connection region of the shield conductor in the second ground conductor layer is the second ground conductor layer. It protrudes into the opening.
また、本発明の高周波線路−導波管変換器は、前記シールド導体が複数形成されており、前記第2の接地導体層の前記開口に突出した前記第2の接地導体層における前記シールド導体の接続領域が、前記複数のシールド導体に対応して複数設けられていることを特徴とするものである。 In the high-frequency line-waveguide converter of the present invention, a plurality of the shield conductors are formed, and the shield conductors in the second ground conductor layer projecting into the opening of the second ground conductor layer. A plurality of connection regions are provided corresponding to the plurality of shield conductors.
本発明の高周波線路−導波管変換器は、第2の接地導体層におけるシールド導体の接続領域が、第2の接地導体層の開口に突出していることにより、インピーダンスの不連続部を減少させることが可能となる。よって、高周波線路−導波管変換器内での反射損失を減少させ、高周波線路と導波管との間における伝送特性を向上できるとともに使用可能な帯域を広げることが可能となり、高周波線路と導波管との間における伝送の変換効率を高めることができる。 The high-frequency line-waveguide converter according to the present invention reduces the impedance discontinuity due to the connection area of the shield conductor in the second ground conductor layer protruding into the opening of the second ground conductor layer. It becomes possible. Therefore, the reflection loss in the high-frequency line-waveguide converter can be reduced, the transmission characteristics between the high-frequency line and the waveguide can be improved, and the usable band can be widened. The conversion efficiency of transmission to and from the wave tube can be increased.
また、本発明の高周波線路−導波管変換器は、前記第2の接地導体層の前記開口に突出した前記第2の接地導体層における前記シールド導体の接続領域が、前記複数のシールド導体に対応して複数設けられていることにより、インピーダンスの不連続をさらに減少させることができる。 In the high-frequency line-waveguide converter of the present invention, a connection region of the shield conductor in the second ground conductor layer protruding from the opening of the second ground conductor layer is formed on the plurality of shield conductors. Correspondingly, the discontinuity of impedance can be further reduced by providing a plurality.
本発明の高周波線路−導波管変換器を添付資料に基づき詳細に説明する。図1(a)は本発明の高周波線路−導波管変換器の実施の形態の一例を示す平面図であり、図1(b)は図1(a)の高周波線路−導波管変換器のA−A’線断面図であり、図1(c)は図1(a)の高周波線路−導波管変換器の接地導体層8の平面図である。 The high-frequency line-waveguide converter of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying materials. FIG. 1A is a plan view showing an example of an embodiment of a high-frequency line-waveguide converter of the present invention, and FIG. 1B is a high-frequency line-waveguide converter of FIG. FIG. 1C is a plan view of the ground conductor layer 8 of the high-frequency line-waveguide converter of FIG. 1A.
本発明の高周波線路−導波管変換器は、誘電体層2と、誘電体層2に形成された高周波線路1と、スロット5と、スロット5に対向する開口11を有する第2の接地導体層8と、シールド導体7とを備えている。
The high-frequency line-waveguide converter of the present invention includes a dielectric layer 2, a high-
高周波線路1は、誘電体層2の第1の面(上面)2aに形成された線路導体3と、線路導体3を取り囲むように形成された第1の接地導体層(同一面接地導体層)4とによってコプレーナ線路状に形成されている。また、誘電体層2の上面2aの同一面接地導体層4にはスロット5が設けられており、線路導体3の一端と電磁的に結合されている。これにより、高周波線路1に伝送された高周波信号は、スロット5から電磁波として、下方に延びるように配置された導波管6内に放射される。
The high-
本実施の形態において、線路導体3の先端は、図1に示すように、同一面接地導体層4と短絡した短絡端である。他の例として、線路導体3の先端が短絡せずに開放端となっているものがある。 In this Embodiment, the front-end | tip of the line conductor 3 is a short circuit end short-circuited with the same surface grounding conductor layer 4, as shown in FIG. As another example, there is one in which the end of the line conductor 3 is an open end without being short-circuited.
また、誘電体層2は、その側面に形成された側面導体または図1のような誘電体層2の内部に配された貫通導体から成るシールド導体7によりシールドされており、スロット5から誘電体層2中に放射された電磁波が漏れ出すことを防ぎ、変換効率が低下することを防止している。なお、シールド導体7は、平面透視してスロット5を取り囲むように一定間隔(高周波線路1を伝送する信号の波長の1/4倍以下)を空けて形成されている。 The dielectric layer 2 is shielded by a shield conductor 7 formed of a side conductor formed on its side surface or a through conductor disposed inside the dielectric layer 2 as shown in FIG. The electromagnetic wave radiated into the layer 2 is prevented from leaking and the conversion efficiency is prevented from being lowered. The shield conductor 7 is formed with a predetermined interval (not more than 1/4 times the wavelength of the signal transmitted through the high-frequency line 1) so as to surround the slot 5 when seen in a plan view.
また、誘電体層2の内層や第2の面(下面)2bには平面透視してスロット5を取り囲むように形成された枠状の接地導体層8が配され、この同一面接地導体層4と接地導体層8とがシールド導体7を介して接続されている。なお、接地導体層8は複数層形成されていてもよい。 Further, a frame-like ground conductor layer 8 formed so as to surround the slot 5 in a plan view is disposed on the inner layer and the second surface (lower surface) 2b of the dielectric layer 2, and the same-surface ground conductor layer 4 is disposed. And the ground conductor layer 8 are connected via a shield conductor 7. The ground conductor layer 8 may be formed in a plurality of layers.
そして、本発明の高周波線路−導波管変換器は、図1に示すように平面透視してスロット5を取り囲むように開口11が形成された接地導体層8において、突出した開口11を形成している。これにより、シールド導体7と突出した開口11において、積層ズレによる接地不良を防止し、安定した接地が可能となる。よって、高周波線路−導波管変換器内での反射損失を減少させ、高周波線路1と導波管6との間における伝送性を向上できるとともに使用可能な帯域を広げることが可能となり、高周波線路1と導波管6との間における伝送の変換効率を高めることができる。
The high-frequency line-waveguide converter according to the present invention forms a protruding opening 11 in the ground conductor layer 8 in which the opening 11 is formed so as to surround the slot 5 as seen in a plan view as shown in FIG. ing. As a result, the shield conductor 7 and the projecting opening 11 are prevented from being grounded due to misalignment and stable grounding is possible. Therefore, it is possible to reduce reflection loss in the high-frequency line-waveguide converter, improve the transmission between the high-
誘電体層2を形成する誘電体材料としては、酸化アルミニウム,窒化アルミニウム,窒化珪素,ムライト等を主成分とするセラミック材料、ガラス、ガラスとセラミックフィラーとの混合物を焼成して形成されたガラスセラミック材料、エポキシ樹脂,ポリイミド樹脂,四フッ化エチレン樹脂を始めとするフッ素系樹脂等の有機樹脂系材料、有機樹脂−セラミック(ガラスも含む)複合系材料等が用いられる。 Examples of the dielectric material for forming the dielectric layer 2 include ceramic materials mainly composed of aluminum oxide, aluminum nitride, silicon nitride, mullite, and the like, and glass ceramic formed by firing a mixture of glass and glass and ceramic filler. Materials, organic resin materials such as epoxy resins, polyimide resins, fluororesins such as tetrafluoroethylene resin, and organic resin-ceramic (including glass) composite materials are used.
線路導体3,同一面接地導体層4,貫通導体等のシールド導体7,接地導体層8を形成する導体材料としては、タングステン,モリブデン,金,銀,銅等を主成分とするメタライズ、あるいは金,銀,銅,アルミニウム等を主成分とする金属箔等が用いられる。 The conductor material for forming the line conductor 3, the ground conductor layer 4 on the same plane, the shield conductor 7 such as the through conductor, and the ground conductor layer 8 is metallized mainly composed of tungsten, molybdenum, gold, silver, copper, or gold. Metal foils mainly composed of silver, copper, aluminum or the like are used.
特に、高周波線路−導波管変換器を、高周波部品を搭載する配線基板に内蔵する場合は、誘電体層2を形成する誘電体材料として、誘電正接が小さく、かつ気密封止が可能であることが望ましい。このような誘電体材料としては、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体などのセラミックスやガラスセラミック材料が挙げられる。このような硬質系材料で構成すれば、誘電正接が小さく、かつ搭載した高周波部品を気密に封止することができるので、搭載した高周波部品の信頼性を高める上で好ましい。この場合、導体材料としては、誘電体材料との同時焼成が可能なメタライズ導体を用いることが、気密封止性と生産性を高める上で望ましい。 In particular, when the high-frequency line-waveguide converter is built in a wiring board on which high-frequency components are mounted, the dielectric material for forming the dielectric layer 2 has a small dielectric loss tangent and can be hermetically sealed. It is desirable. Examples of such a dielectric material include ceramics and glass ceramic materials such as an aluminum oxide sintered body and an aluminum nitride sintered body. Such a hard material is preferable in terms of improving the reliability of the mounted high-frequency component because the dielectric loss tangent is small and the mounted high-frequency component can be hermetically sealed. In this case, it is desirable to use a metallized conductor capable of co-firing with a dielectric material as the conductor material in order to improve hermetic sealing and productivity.
本発明の高周波線路−導波管変換器は以下のようにして作製される。例えば誘電体材料に酸化アルミニウム質焼結体を用いる場合であれば、まず酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化マグネシウム,酸化カルシウム等の原料粉末に適当な有機溶剤,溶媒を添加混合してスラリー状にし、これを周知のドクターブレード法やカレンダーロール法によりシート状に成形してセラミックグリーンシートを作製する。また、タングステンやモリブデン等の高融点金属,酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化マグネシウム,酸化カルシウム等の原料粉末に適当な溶剤,溶媒を添加混合してメタライズペーストを作製する。 The high-frequency line-waveguide converter of the present invention is manufactured as follows. For example, when an aluminum oxide sintered body is used as a dielectric material, first, an appropriate organic solvent or solvent is added to and mixed with raw material powders such as aluminum oxide, silicon oxide, magnesium oxide, and calcium oxide to form a slurry. This is formed into a sheet shape by a known doctor blade method or calendar roll method to produce a ceramic green sheet. Further, a metallized paste is prepared by adding and mixing an appropriate solvent and solvent to a raw material powder such as refractory metal such as tungsten or molybdenum, aluminum oxide, silicon oxide, magnesium oxide, calcium oxide or the like.
次に、誘電体層2となるセラミックグリーンシートに、例えば打ち抜き法により貫通導体であるシールド導体7を形成するための貫通孔を形成し、例えば印刷法によりその貫通孔にメタライズペーストを埋め込み、続いて線路導体3や同一面接地導体層4,接地導体層8,上部導体層9の形状にメタライズペーストを印刷する。また、誘電体層2,が複数の誘電体層の積層構造からなる場合には、同様にメタライズペーストが印刷されたり貫通孔に埋め込まれたセラミックグリーンシートを積層し、加圧して圧着してもよい。 Next, a through hole for forming a shield conductor 7 as a through conductor is formed in the ceramic green sheet to be the dielectric layer 2 by, for example, a punching method, and a metallized paste is embedded in the through hole by, for example, a printing method. The metallized paste is printed in the shape of the line conductor 3, the same-surface ground conductor layer 4, the ground conductor layer 8, and the upper conductor layer 9. Further, when the dielectric layer 2 has a laminated structure of a plurality of dielectric layers, a ceramic green sheet printed with a metallized paste or embedded in a through-hole may be similarly laminated and pressed and pressed. Good.
そして、これらの誘電体層2となるセラミックグリーンシートをそれぞれ高温(約1600℃)で焼成する。さらに、必要に応じて、線路導体3や同一面接地導体層4,接地導体層8等のように上下面に露出する導体の表面に、例えば、ニッケルめっきおよび金めっきを被着させる。 The ceramic green sheets to be the dielectric layers 2 are fired at a high temperature (about 1600 ° C.). Furthermore, for example, nickel plating and gold plating are applied to the surfaces of conductors exposed on the upper and lower surfaces, such as the line conductor 3, the same-surface ground conductor layer 4, and the ground conductor layer 8 as necessary.
本発明のシールド導体7は、スロット5を取り囲むよう誘電体層2の側面または内部に配され、同一面接地導体層4と接地導体層8とを電気的に接続している。 The shield conductor 7 of the present invention is disposed on the side surface or inside of the dielectric layer 2 so as to surround the slot 5 and electrically connects the same-surface ground conductor layer 4 and the ground conductor layer 8.
なお、シールド導体7は、同一面接地導体層4と接地導体層8とを電気的に接続できれば良く、側面導体や貫通導体等、種々の手段が用いられる。例えば、誘電体層2の側面に被着された導体や、誘電体層2の側面の切り欠き部の内壁に導体層が被着されたいわゆるキャスタレーション導体、貫通孔の内壁に導体層が被着されたいわゆるスルーホール導体、貫通孔の内部が導体で充填されたいわゆるビア導体などが挙げられる。 The shield conductor 7 only needs to be able to electrically connect the same-surface ground conductor layer 4 and the ground conductor layer 8, and various means such as a side conductor and a through conductor are used. For example, a conductor deposited on the side surface of the dielectric layer 2, a so-called castellation conductor in which a conductor layer is deposited on the inner wall of the notch on the side surface of the dielectric layer 2, or a conductor layer is coated on the inner wall of the through hole. Examples include so-called through-hole conductors that are attached, and so-called via conductors in which the insides of the through-holes are filled with a conductor.
導波管6の形状は特に制約はなく、例えば方形導波管として規格化されているWRシリーズを用いると、測定用校正キットが充実しているので種々の特性評価が容易になるが、使用する高周波信号の周波数に応じてシステムの小型軽量化のために導波管のカットオフが発生しない範囲で小型化した方形導波管を用いてもよい。また、円形導波管を用いてもよい。
The shape of the
導波管6は、金属または内面に金属層が形成された誘電体等で構成することができ、例えば、金属を管状に成型したり、セラミックスや樹脂等の誘電体を必要な導波管形状に成型した後に内面を金属で被覆したものが用いられる。なお、電流による導体損低減や腐食防止のために導波管6の内面を金,銀等の貴金属で被覆するとよい。導波管6の接地導体層8への取り付けは、ろう材による接合やねじによる締め付け等によって行なわれ、導波管6と接地導体層8とが電気的に接続される。
The
ろう材によって導波管6を接地導体層8へ取り付けるためには、同一面接地導体層4およびシールド導体7と電気的に接続された接続用導体層8を、取り付けられる導波管6の開口に合わせて形成しておくとよい。例えば、図1に示したように、誘電体層2の下面に、シールド用貫通導体から成るシールド導体7と接続されたメタライズ層から成る接地導体層8を形成しておくとよい。このような接地導体層8を形成しておくと、導波管6を高周波線路−導波管変換器へ取り付けた際の導波管6とシールド導体7および同一面接地導体層4との電気的接続がより確実なものとなるので、信頼性の高い高周波線路−導波管変換器を構成することができる点で好ましいものとなる。
In order to attach the
本発明の高周波線路−導波管変換器は、第2の接地導体層8におけるシールド導体の接続領域Rが、第2の接地導体層8の開口11に突出している。本発明の高周波線路−導波管変換器は、このような構成により、インピーダンスの不連続部を減少させることが可能となる。よって、高周波線路−導波管変換器内での反射損失を減少させ、高周波線路と導波管との間における伝送特性を向上できるとともに使用可能な帯域を広げることが可能となり、高周波線路と導波管との間における伝送の変換効率を高めることができる。 In the high-frequency line-waveguide converter of the present invention, the shield conductor connection region R in the second ground conductor layer 8 projects into the opening 11 of the second ground conductor layer 8. With such a configuration, the high-frequency line-waveguide converter of the present invention can reduce impedance discontinuities. Therefore, the reflection loss in the high-frequency line-waveguide converter can be reduced, the transmission characteristics between the high-frequency line and the waveguide can be improved, and the usable band can be widened. The conversion efficiency of transmission to and from the wave tube can be increased.
また、本発明の高周波線路−導波管変換器は、図1に示すように、第2の接地導体層8の開口11に突出した第2の接地導体層8におけるシールド導体7の接続領域Rが、複数のシールド導体7に対応して複数設けられていることにより、インピーダンスの不連続をさらに減少させることができる。 Further, as shown in FIG. 1, the high-frequency line-waveguide converter of the present invention has a connection region R of the shield conductor 7 in the second ground conductor layer 8 protruding into the opening 11 of the second ground conductor layer 8. However, by providing a plurality of shield conductors 7 corresponding to the plurality of shield conductors 7, impedance discontinuities can be further reduced.
また、図2に本発明の高周波線路−導波管変換器の実施の形態の他の例の断面図を示す。図2に示すように、本発明の高周波線路−導波管変換器は、誘電体層2の下面の導波管6の内側に位置する部位に誘電体板15が設けられている。
FIG. 2 shows a sectional view of another example of the embodiment of the high-frequency line-waveguide converter of the present invention. As shown in FIG. 2, the high-frequency line-waveguide converter of the present invention is provided with a dielectric plate 15 at a position located inside the
これにより、誘電体層2に生じる共振モードであるTMモードの最も磁界が強い、導波管6の内部に接している誘電体板15と、高周波線路1が形成された誘電体層2とを下部接地導体層10によって分離することができるので、高周波線路1を伝送する電磁界モードであるTEモードとTMモードとが結合して高周波線路1を伝送する信号エネルギーがTMモードへ移行するのを有効に防止することができる。その結果、共振による信号反射を有効に防止して高周波線路1から導波管6への良好な信号変換を行なうことができる。
Thus, the dielectric plate 15 in contact with the inside of the
さらに、誘電体板15の周囲を導波管6で隙間無く覆っているので、導波管6により接地性をより良好にすることができ、誘電体板15中を伝送する電磁波の伝送性をより良好にすることができる。
Furthermore, since the periphery of the dielectric plate 15 is covered with the
誘電体板15は誘電体層2と一体化していてもよく、図2のように別の誘電体板15を接合してもよい。このように別の誘電体板15を接合する場合、誘電体板15の上面に枠状の上側接地導体層16を形成し、誘電体板15の下面に枠状の下側接地導体層17を形成し、上側接地導体層16と下部接地導体層10とをAu−Snろう材等でろう付けすることにより接合できる。
The dielectric plate 15 may be integrated with the dielectric layer 2, or another dielectric plate 15 may be joined as shown in FIG. When joining another dielectric plate 15 in this way, a frame-shaped upper
このように、別の誘電体板15を誘電体層2に接合する場合、これらを一体に作製したものに比べ、所望の厚みに調整した誘電体板15を接合させるだけでよく、誘電体板15の厚みばらつきが生じて不良となるのを有効に防止して製造歩留まりを向上させることができるとともに、誘電体板15の厚みを非常に精度のよいものとすることができる。その結果、スロット5から放射されて誘電体板15の下面と導波管6内部との界面で反射し、下部接地導体層10で再度反射して再び誘電体板15の下面と導波管6内部との界面に戻ってきた反射波と、スロット5から誘電体板15の下面と導波管6内部との界面まで伝送してきた直接波との行路差がばらつくのを有効に防止し、直接波と反射波とが重なって導波管6に導波される電磁波の伝送性のばらつきをきわめて小さくすることができる。
In this way, when another dielectric plate 15 is bonded to the dielectric layer 2, it is only necessary to bond the dielectric plate 15 adjusted to a desired thickness as compared with a case where these are integrally manufactured. The manufacturing yield can be improved by effectively preventing the occurrence of defects due to the thickness variation of 15 and the thickness of the dielectric plate 15 can be made very accurate. As a result, the light is radiated from the slot 5 and reflected at the interface between the lower surface of the dielectric plate 15 and the inside of the
1・・・・・高周波線路
2・・・・・誘電体層
3・・・・・線路導体
4・・・・・同一面接地導体層
5・・・・・スロット
6・・・・・導波管
7・・・・・シールド導体
8・・・・・接地導体層
11・・・・接地導体層の開口
DESCRIPTION OF
Claims (2)
該誘電体層の前記第1の面に形成されており、線路導体および該線路導体の端部を取り囲む第1の接地導体層からなる高周波線路と、
前記誘電体層の前記第1の面に前記線路導体と交差して形成されており、前記線路導体に電磁的に結合されたスロットと、
前記誘電体層の内層または前記第2の面に形成されており、前記スロットに対向する開口を有する第2の接地導体層と、
前記誘電体層の内部に形成されており、前記第1の接地導体層および前記第2の接地導体層を電気的に接続するシールド導体とを備え、
前記第2の接地導体層における前記シールド導体の接続領域が、前記第2の接地導体層の前記開口に突出していることを特徴とする高周波線路−導波管変換器。 A dielectric layer having first and second surfaces;
A high-frequency line formed on the first surface of the dielectric layer and comprising a line conductor and a first ground conductor layer surrounding an end of the line conductor;
A slot that is formed on the first surface of the dielectric layer so as to intersect the line conductor, and is electromagnetically coupled to the line conductor;
A second grounding conductor layer formed on an inner layer or the second surface of the dielectric layer and having an opening facing the slot;
A shield conductor that is formed inside the dielectric layer and electrically connects the first ground conductor layer and the second ground conductor layer;
A high-frequency line-waveguide converter, wherein a connection region of the shield conductor in the second ground conductor layer protrudes into the opening of the second ground conductor layer.
前記第2の接地導体層の前記開口に突出した前記第2の接地導体層における前記シールド導体の接続領域が、前記複数のシールド導体に対応して複数設けられていることを特徴とする請求項1記載の高周波線路−導波管変換器。 A plurality of the shield conductors are formed;
The connection region of the shield conductor in the second ground conductor layer protruding from the opening of the second ground conductor layer is provided corresponding to the plurality of shield conductors. 1. The high-frequency line-waveguide converter according to 1.
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