JP4241529B2 - 超音波検査方法及び超音波検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガイド波を用いた超音波検査技術に係わり、特に埋設されている配管などの
被検査体を検査するのに好適な超音波探傷方法及び装置に関する。

発電プラントや化学プラントに用いられる配管構造物は、建設から長期間が経過すると、配管の内外面からの腐食や侵食が顕在化してくる。これらの劣化が進行して配管の肉厚を貫通するまでに至ると、配管内の液体や蒸気といった内部流体の漏洩につながる恐れがある。このため、配管の肉厚の状態を、非破壊的な手段により定量的に評価し、漏洩に至る以前に、配管の交換や補修といった対策を施す必要がある。

非破壊的且つ定量的に評価する手段の代表的なものに、超音波厚み計がある。超音波厚み計は、一般には、電気と音響を相互に変換する圧電素子を有する超音波センサを用いて、検査対象配管中にバルク波（縦波や横波といった弾性波）を励起して、配管底面で反射した弾性波を同一もしくは別の超音波センサで受信して、配管の肉厚を測定する装置である。この装置は、受信波の受信時間を肉厚に換算するという測定原理上、高い精度で配管の肉厚を測定することができる一方で、検査範囲は、センサの大きさとほぼ同等程度に限られる。長尺の配管のように検査要求範囲が広くなると、測定点の増加により、検査に長時間を要する欠点がある。また、保温材がある配管や、埋設配管，垂直配管などアクセス性に問題のある配管においては、検査の準備・片付けに要する時間も多大である。

このような問題に対する一つの対応策として、ガイド波（配管や板のように境界面を有する物体中を、反射やモード変換しながら進行する縦波・横波の干渉によって形成される弾性波）を用いて配管の長距離区間を一括して検査する方法がある。この方法は、ガイド波が配管の周方向断面積が変化する位置で反射する特徴を利用した方式である。配管の軸方向に、配管の中心軸に対して対称の単一モードのガイド波を伝播させて、その反射波の波高値や出現時間から配管に生じた減肉あるいは欠陥の大きさと軸方向位置を測定する。減肉あるいは欠陥以外に、溶接線からの反射波も得られるが、減肉あるいは欠陥からの反射波が、配管の中心軸に対して非軸対称に振動するのに対して、溶接線からの反射波が軸対称に振動する特徴を捉えて識別する（例えば、特許文献１参照）。

特表平１０−５０７５３０号公報

前記の従来技術は、複数のガイド波の励振リングに時間遅延を与えてトーンバースト波（４サイクルのトーンバースト波を図１０に例示）を印加し、被検査体である配管にガイド波を発生させて、そのガイド波をその配管の配管軸方向の一方向（検査対象部位のある方向）に伝播する技術である。しかしながら、その配管がコンクリートなどに埋設されていた場合、伝播中のガイド波が著しく減衰することが知られている。

このガイド波の減衰の現象について詳細に説明する。初めに、材質が炭素鋼（縦波音速＝５９４０ｍ／ｓ，横波音速＝３２６０ｍ／ｓ）で、外径１１４.３mm ，肉厚６mm（肉厚と外径の比が０.０５２ ）の配管の場合の、周波数と肉厚の積とガイド波の音速の関係を、図１１に示す。同図において、４１はＴ（０，１）モード、４２はＴ（０，２）モード、４３はＴ（０，３）モード、４４はＴ（０，４）モードと呼ばれ、Ｔ（０，ｍ）で表すｍの数字が大きいほど肉厚方向、即ち板厚方向の変位分布が複雑になる。

前記の従来技術では、図１１のモードの中で、例えばＴ（０，１）モードを選択的に送受信する訳であるが、このときの配管が埋設されていない場合と埋設されている場合の波形の比較を図１２を用いて説明する。図１２（ａ）は、配管が埋設されていない場合に、管端から０.６ｍの位置にガイド波トランスデューサ５１を設置して、管端に向けてガイド波５２を送信したときの受信波形であり、良好なＳＮ比が確保されているが、配管がコンクリートに埋設されている場合には、図１２（ｂ）のように、管端の信号が殆ど受信できない状態になる。これは、ガイド波の伝播に伴いエネルギーがコンクリート側に漏洩して、配管内を伝播するガイド波のエネルギーが減衰するためである。

本発明では、少なくとも一部分が埋設されている被検査体をガイド波を用いて検査する場合に、ガイド波の減衰を抑制して被検査体のできるだけ長い区間を一括して検査するに好適な超音波検査方法及び装置を提供することを目的とする。

本発明の超音波検査方法は、被検査体に、前記被検査体が接触する物体の横波音速よりも位相速度の遅いガイド波を伝播させ、前記被検査体を伝播してきた前記ガイド波を受信し、前記受信したガイド波に基づいて前記被検査体の検査を行う超音波検査方法であり、同じく超音波検査装置は、被検査体にガイド波を伝播及び前記被検査体に伝播したガイド波を受信するガイド波トランスデューサと、前記ガイド波トランスデューサで受信したガイド波に基づく受信信号を解析する解析手段とを備えた超音波検査装置において、前記被検査体が接触する物体の横波音速よりも位相速度の遅いガイド波を前記被検査体に伝播させる送信波形を前記ガイド波トランスデューサに印加するガイド波送受信器を備えている超音波検査装置である。
本発明の目的は、本発明の実施例で示された手段においては、ガイド波を用いて被検査体（本発明の実施例では主に配管を対象としている。）の割れもしくは減肉を検出する超音波検査方法において、前記被検査体が接触する物体の横波音速よりも位相速度の遅いガイド波を前記被検査体に伝播させるステップと、前記伝播したガイド波を受信するステップと、前記受信したガイド波を解析して前記被検査体の割れや減肉を検出するステップとからなることにより達成される。

さらに、ガイド波を用いて被検査体の割れもしくは減肉を検出する超音波検査装置において、振動方向を前記被検査体の検査方向(被検査体が配管である場合には、配管軸方向)になるように傾斜して配置した剪断振動子と、前記剪断振動子に固定した音響伝達物質とを備えたガイド波トランスデューサがガイド波を用いた超音波検査方法や装置に有用である。

また、被検査体が配管である場合には、ガイド波を用いて配管の割れもしくは減肉を検出する超音波検査方法や装置で用いられるガイド波トランスデューサとしては、ガイド波トランスデューサから配管の略周方向に伝播した周方向のガイド波を吸音する吸音体を備えている円環状ガイド波トランスデューサが好ましい。

また、配管の円周方向に少なくとも２つ以上のガイド波トランスデューサを配列し、前記２つ以上のガイド波トランスデューサの振動の極性が全て略同一配管軸方向に向いて配置した円環状ガイド波トランスデューサを用いても良い。

また、ガイド波を用いて配管の割れもしくは減肉を検出する超音波検査方法や装置において、振動方向を被検査体の配管の軸方向にガイド波を伝播できるように傾斜して配置した剪断振動子を配管の円周方向に少なくとも２つ以上配列し、前記２つ以上の剪断振動子による振動の極性が全て略同一方向に向いて音響伝達媒質に配置した円環状ガイド波トランスデューサを用いても良い。

さらに、ガイド波を用いて配管の割れもしくは減肉を検出する超音波検査方法や装置において、ガイド波トランスデューサと、ガイド波を受信する受信手段と、前記受信したガイド波を解析する解析手段を備えることが好ましい。

以上のように、本発明によれば、少なくとも一部分が埋設されている被検査体をガイド波を用いて超音波検査する場合に、ガイド波の伝播中における減衰を抑制して、被検査体の長い区間を超音波検査することが可能となる。

はじめに、本発明の第１の実施形態における超音波検査装置の構成を、図１を用いて説明する。図１において、１はガイド波トランスデューサ、２はガイド波送受信器、３はＡ／Ｄ変換器、４はコンピュータ、１１は配管、１３は被検査体である配管１１中を伝播するガイド波である。

ガイド波トランスデューサ１は、配管１１にガイド波１３を発生させる素子で、剪断振動圧電素子５，くさび６で構成される。剪断振動圧電素子５は、斜め上側に電気的なプラス極を斜め下側に電気的なマイナス極を有して両極がガイド波の伝播方向に間隔を有してくさび６上に固定され、剪断振動圧電素子５の両極間に電荷が印加された際に剪断振動圧電素子５が歪んでくさび６の中に横波垂直波（Shear vertical波、以下、横波またはＳＶ波という。）７を発生させることができる。その剪断振動圧電素子５は、配管１１に対して横波７を入射角度θで入射するように斜角に配置され、入射角度θは、屈折角度を90°としたスネルの法則θ＝sin^-1（Ｃｗ／ｃ(ω)）で算定される。ここで、Ｃｗはくさび６の横波音速、ｃ(ω)（ωはガイド波の中心角周波数）は、発生させたいモードの位相速度である。例えば、くさび６の材質をアクリル（横波音速＝１４３０ｍ／ｓ）とする場合では、Ｌ（０，１）モードのｆｄ＝１ＭＨｚmmでは、位相速度が２３７９ｍ／ｓ(図２参照)なので、入射角θは３７°に決定される。なお、位相速度とは、波の山谷が伝わる速度のことで、波の固まり（波束）の伝わる速度である群速度と対比して使用される。数式による表現は、例えば「物理学 小出昭一郎著 裳華房、ｐ．１２２」に記載されているが、詳細は省略する。

ガイド波トランスデューサ１で、横波（ＳＶ波）を入射する構造とする理由は次の通りである。通常、圧電素子を斜角に配置したトランスデューサでは、厚み振動型の圧電素子を利用して、くさび６中に縦波を発生させるが、本発明では、後述する理由で、音速の遅いガイド波を送信する必要がある。その際、ガイド波の音速がアクリルの縦波音速より遅くなるので、縦波の入射では臨界角を超えてしまい効率良くガイド波を送信することができないためである。

図１における各手段の接続関係を説明する。ガイド波トランスデューサ１は、配管１１にくさび６部分が接触して配置され、ガイド波送受信器２と同軸ケーブルを介して電気的に接続されている。ガイド波送受信器２は、ガイド波を送信するためにガイド波トランスデューサ１に送信波形を印加して、さらにガイド波トランスデューサ１からの受信波形を増幅する手段で、コンピュータ４とデジタルデータを通信できるように接続され、また、受信波形を、Ａ／Ｄ変換器３に送るように同軸ケーブルを介して接続されている。このガイド波送受信器２は、例えば、送信波形の周波数を任意に設定できるシンセサイザ、もしくは任意波形発生器と、それらの信号を増幅するパワーアンプと、市販の超音波レシーバ、もしくは広帯域アンプで構成することができる。Ａ／Ｄ変換器３は、アナログ信号をデジタル信号に変換する機能を有し、ガイド波送受信器２から出力されるガイド波の受信波形をデジタル波形としてコンピュータ４に通信するように接続される。このＡ／Ｄ変換器３は、例えば、市販のオシロスコープやコンピュータ組み込み式のボードタイプが利用される。

次に、本発明の第１の実施形態におけるガイド波送受信装置の動作を、図２から図５を用いて説明する。図２は、材質が炭素鋼(縦波音速＝５９４０ｍ／ｓ,横波音速＝３２６０ｍ／ｓ) で、外径１１４.３mm，肉厚６mm（肉厚と外径の比が０.０５２ ）の配管で、配管が埋設されていない状態のガイド波の周波数と位相速度の関係を示す分散曲線である。同図において、３０はコンクリート中を伝播する縦波音速、３１はコンクリート中を伝播する横波音速、３２はＬ（０，１）モードガイド波の位相速度、３３はＬ（０，２）モードガイド波の位相速度、３４はＬ（０，３）モードガイド波の位相速度、３５はＬ（０，４）モードガイド波の位相速度である。各モードは、振動の形態が異なるために、コンクリートに埋設されたときにコンクリートへのエネルギーの漏洩の程度が異なる。この中で、最も減衰が少ないのは、Ｌ（０，１）モードの周波数領域３６であることが実験でわかった。この周波数帯域では、Ｌ（０，１）モードの位相速度が、コンクリートの遅い方の音速、即ち横波音速よりもさらに音速が遅くなるので、全反射によりエネルギーの閉じ込めが起こるものと推定できる。

この現象を図３を用いて説明する。通常は図３（ｂ）のように、配管１１中を伝播するガイド波１３ｂが、コンクリート１２に漏洩超音波１４ｂを放出しながら伝播する一方で、Ｌ（０，１）モードの周波数帯域３６では、図３（ａ）のように、配管１１中を伝播するガイド波１３ａは、コンクリート１２に漏洩超音波１４ａをほとんど放出せずに伝播することができる。

次に、超音波検査装置の動作を、図１のブロック図と図４のフローチャートを用いて説明する。始めに、コンピュータ４は、ガイド波送受信器２に対して送信のトリガを送出し、それに同期して、ガイド波送受信器２は、ガイド波トランスデューサ１に対してガイド波を駆動する信号を印加する。この印加された信号によって、ガイド波トランスデューサ１の剪断振動圧電素子５には、周期的な剪断変形が生じ、くさび６中にＳＶ波７（Shear vertical波、図１の紙面に平行方向に振動する横波）を励起する（ステップＳ１０１）。ＳＶ波７は、剪断振動圧電素子５の配管１１に対する傾斜角度に従って斜めに入射し、上述のスネルの法則により、配管１１にコンクリートよりも音速の遅いガイド波１３を送信する（ステップＳ１０２）。ガイド波１３は、配管１１を軸方向に伝播するが、このうち、割れや減肉などの不連続な点でガイド波が反射した成分は、ガイド波トランスデューサ１で受信され、受信波形としてガイド波送受信器２に入力される（ステップＳ１０３）。ガイド波送受信器２は、受信波形を増幅して、増幅した受信波形をＡ／Ｄ変換器３に送る。Ａ／Ｄ変換器３は、ガイド波送受信器２がガイド波トランスデューサ１に送信波形を印加すると同時に発生させたトリガ信号に同期して、信号のデジタル化を開始しており、増幅した受信波形は、Ａ／Ｄ変換器３でデジタル信号に変換され、コンピュータ４に転送される。次に、コンピュータ４は、ガイド波の受信波形（時間軸波形）を、分散曲線を参照して距離軸波形に変換する（ステップＳ１０４）。ユーザは、距離軸波形を見て欠陥の有無を判定する。

次に、本実施形態を用いた場合の効果を図５を用いて説明する。図５は、埋設配管において、漏洩減衰の少ないＬ（０，１）モードの周波数領域３６を用いたときの受信信号を、従来のモードを用いたときの受信信号と比較した実験結果である。図５（ａ）は、測定体系であり、奥行き１ｍのコンクリート１２を貫通するように配管１１が埋設されている。配管１１の材質は、ＳＵＳ３０４鋼であり、外径が４８.６mm、厚さが３.７mmである。配管１１の一端側部分にガイド波トランスデューサ１を設置し、ガイド波１３を配管１１の他端側部分（以下、反対側端と言う。）に向けて送信する。図５（ｂ）は、そのときの受信波形であり、信号ｓ１は、配管１１の反対側端からの反射信号であり、ガイド波１３がコンクリート１２を通過していることが確認された。一方で、従来のモードのガイド波を用いたときの受信信号が、図５（ｃ）であり、配管１１の反対側端からの反射信号は受信されていない。

以上のように、本実施形態によれば、ガイド波トランスデューサ１から配管１１の軸方向に送信されたガイド波１３の音速が、配管１１が埋設される媒質（例えば、コンクリート）よりも遅くなるという条件を満たすガイド波のモードと周波数を選定するので、その媒質へのガイド波成分の漏洩減衰が少なく、遠方の欠陥を検出することができるようになる。

次に、本発明の第２の実施形態を図６から図７を用いて説明する。

図６は、本発明の第２の実施形態におけるガイド波トランスデューサの構成であり、第１の実施形態と同じガイド波トランスデューサ１に加えて、吸音材８が、ガイド波トランスデューサ１の周囲に配管１１を囲むようにして配置される。以下、ガイド波トランスデューサ１と吸音材８をあわせて、吸音材付き円環状ガイド波トランスデューサ９ａとする。吸音材８は、例えばアクリルで構成され、配管の外周に密着するように、外径に合わせて加工するのが望ましい。吸音材８を配管１１に接して設置することによって、配管１１の周方向に送信されるガイド波１５は、伝播するにつれて吸音材８に超音波１４ｃとして漏洩するので、配管１１を一周して再度ガイド波トランスデューサ１に戻ってくる割合が減少する。図６では、吸音材８が配管１１を囲むようにして全周に配置されるが、部分的に配置しても良い。この場合は、ガイド波１５を吸収する効果が若干低下する。装置構成や装置の動作は、第１の実施形態と同じであるので、説明は省略する。

図７は、本実施形態における吸音材付き円環状ガイド波トランスデューサ９ａを用いたときの効果を説明する図である。図７（ａ）には、本発明の第１の実施形態で、非埋設配管を検査したときの試験結果の一例を示した。配管１１の管端からの信号ｓ２を検出できているが、その前にノイズｎ２が出現している。このノイズの原因は、ガイド波トランスデューサ１から配管の周方向に送信されるガイド波１５であり、周回するたびに受信されることによって、ノイズとなって現れる。図７（ｂ）は、本実施形態における吸音材付き円環状ガイド波トランスデューサ９ａを用いたときの試験結果の一例である。配管の周方向に送信されたガイド波によるノイズｎ２が軽減されたことがわかる。配管１１の管端でガイド波が反射して得られた信号ｓ３は、図７（ａ）で示した条件と同じ振幅で検出されており、ＳＮ比を向上できている。

以上のように、本実施形態を用いれば、ガイド波トランスデューサ１から送信されたガイド波が、配管１１の円周方向に伝播することを抑制できるので、ノイズを低減できる。

次に、本発明の第３の実施形態を図８を用いて説明する。

図８は、本発明の第３の実施形態におけるガイド波トランスデューサの構成であり、第１の実施形態と同じガイド波トランスデューサ１を、ガイド波の送信方向（伝播方向）や振動極性が同じになるように配管１１の周囲に複数個配置したものである。以下、ガイド波トランスデューサ１を円環状に複数個配置した構成のトランスデューサを、複数配列型円環状ガイド波トランスデューサ９ｂとする。複数配列型円環状ガイド波トランスデューサ９ｂでは、全てのトランスデューサにおいて図１中の剪断振動圧電素子５のように電気的極がガイド波の伝播方向に間隔を置いて配置される。このことにより、全てのトランスデューサで振動極性を同一にして配置されるので、軸対称ガイド波を送信することが可能となる。装置構成や装置の動作は、第１の実施形態と同じであるが、一部異なる使用方法があるので、付け加えて説明する。本実施の形態においては、ある一つのトランスデューサで送信して同じトランスデューサで受信するという使用方法ができる。図８の構成においては、トランスデューサが８個あるので、８個を切り替えて送受信すれば、トランスデューサを一箇所に固定したままで、周方向の８ラインの検査ができることとなる。さらには、８個のトランスデューサ全てで送信して、受信のトランスデューサを切り替えるという方法もある。この場合でも、同様に８ライン分の検査が可能となる。

本実施形態を用いれば、本発明の第２の実施形態の吸音材の効果、すなわちノイズの低減に加えて、トランスデューサを配管の周方向に回転させなくても、電気的に使用する剪断振動圧電素子５を切り替えるだけで、配管の全周を検査できるという効果がある。ガイド波の送信強度を高めることができるので、受信信号の振幅を向上することができるようになり、ＳＮ比を向上させることができる。

次に、本発明の第４の実施形態を図９を用いて説明する。図９は、本発明の第４の実施形態におけるガイド波トランスデューサの構成であり、第１の実施形態と同じ性質の剪断振動圧電素子５ａ，５ｂ，５ｃを、くさび６に接着した構造である。以下、複数の剪断振動圧電素子５ａ，５ｂ，５ｃを同じくさび６に接着したタイプのトランスデューサを、マルチ素子型円環状ガイド波トランスデューサ９ｃとする。装置構成や装置の動作は、第１の実施形態と同じであるので、説明は省略する。

本実施形態では、複数の剪断振動圧電素子５ａ，５ｂ，５ｃでくさび６を共通にしているので、剪断振動圧電素子５ａ，５ｂ，５ｃを密に配置できるようになり、ガイド波の強度を高めることができるので、受信信号の振幅を向上することができるようになり、本発明の第３の実施形態に比べてさらにＳＮ比を向上させることができる。

このように、いずれの実施例でも、埋設された配管１１をガイド波を用いて検査する場合に、減衰が少ないガイド波１３を利用するので、配管１１の長距離区間を感度良く検査することが可能となる。

本発明の第１の実施形態による超音波検査装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第１の実施形態における超音波検査方法で使用する振動モードと周波数帯域を説明するグラフ図である。 本発明の第１の実施形態により、ガイド波を送信した場合のガイド波の減衰の様相を（ａ）図で、従来技術によりモードや周波数を特に選定せずに、ガイド波を送信した場合のガイド波の減衰の様相を（ｂ）図で示して比較した説明図である。 本発明の第１の実施形態により、コンクリートに埋設された配管を検査する方法を示すフローチャート図である。 本発明の第１の実施形態により、（ａ）図で示す水平方向の壁厚さ１ｍのコンクリート壁を貫通した配管を検査した結果の受信波形を（ｂ）図で示し、従来の検査結果における受信波形を（ｃ）図で示して比較した説明図である。 本発明の第２の実施形態による吸音材付き円環状ガイド波送受信センサの配管へ装着した状態での配管管軸方向から見た図である。 本発明の第２の実施形態において、長さ１.２ｍ の配管を検査した結果を、吸音材のないガイド波送受信素子で検査した結果を示す（ａ）図と、吸音材が有る場合の検査した結果を示す（ｂ）図とで比較した説明図である。 本発明の第３の実施形態による複数配列型円環状ガイド波送受信センサの構造を配管に装着した状態で示した図にして、左図は配管軸方向から見た図、右図はその側面から見た図である。 本発明の第３の実施形態によるリング状ガイド波送受信センサの構造を配管に装着した状態で示した図にして、左図は配管軸方向から見た図、右図はその側面から見た図である。 トーンバースト波の波形図である。 Ｔモードガイド波の位相速度の分散曲線を表すグラフ図である。 Ｔ（０，１）モードのガイド波で配管を検査したときの管端からの受信波形を、被検査体が非埋設配管の場合を（ａ）図に、被検査体が埋設配管の場合を(ｂ)図に表して比較した説明図である。

符号の説明

１…ガイド波トランスデューサ、２…ガイド波送受信器、３…Ａ／Ｄ変換器、４…コンピュータ、５…剪断振動圧電素子、６…くさび、７…横波（ＳＶ波）、８…吸音材、９ａ…吸音材付き円環状ガイド波トランスデューサ、９ｂ…複数配列型円環状ガイド波トランスデューサ、９ｃ…マルチ素子型円環状ガイド波トランスデューサ、１１…配管、１２…コンクリート、１３…ガイド波。

Claims (9)

1. 被検査体に、前記被検査体が接触する物体の横波音速よりも位相速度の遅いガイド波を伝播させ、
   前記被検査体を伝播してきた前記ガイド波を受信し、
   前記受信したガイド波に基づいて前記被検査体の検査を行う超音波検査方法。
2. 請求項１において、
   前記ガイド波の位相速度よりも音速の遅い横波を、前記被検査体に接触する音響伝達物質中に発生させ、
   前記音響伝達物質中に発生した横波を前記被検査体に斜めに入射させることによって、前記ガイド波を前記被検査体に伝播させる超音波検査方法。
3. 請求項１または請求項２において、
   前記受信したガイド波の時間軸波形を距離軸波形に変換して前記被検査体の検査結果を表す超音波検査方法。
4. 被検査体にガイド波を伝播及び前記被検査体に伝播したガイド波を受信するガイド波トランスデューサと、前記ガイド波トランスデューサで受信したガイド波に基づく受信信号を解析する解析手段とを備えた超音波検査装置において、
   前記被検査体が接触する物体の横波音速よりも位相速度の遅いガイド波を前記被検査体に伝播させる送信波形を前記ガイド波トランスデューサに印加するガイド波送受信器を備えている超音波検査装置。
5. 請求項４において、
   前記ガイド波トランスデューサは、
   被検査体にガイド波を検査方向へ伝播させる超音波検査装置のガイド波トランスデュー
   サであって、前記被検査体に接触する音響伝達物質に、横波垂直波を発信する剪断振動圧電素子を、前記被検査体の面に対して斜めになるように設けたガイド波トランスデューサである超音波検査装置。
6. 請求項５において、
   前記ガイド波トランスデューサは、
   前記検査方向とは異なる方向へ前記被検査体に伝播したガイド波を吸音する吸音体を備えたガイド波トランスデューサである超音波検査装置。
7. 請求項５において、
   前記ガイド波トランスデューサは、
   前記剪断振動圧電素子の電気的極が前記ガイド波の伝播方向に間隔を置いて前記ガイド波トランスデューサに配置され、複数の前記ガイド波トランスデューサが、前記検査方向とは異なる方向に配置されているガイド波トランスデューサである超音波検査装置。
8. 請求項７において、
   前記被検査体は配管であり、複数の前記ガイド波トランスデューサが前記配管の円周方向に配置されている超音波検査装置。
9. 請求項４から請求項８までのいずれか一項において、前記解析手段は、前記受信信号内のガイド波の波形の情報を距離軸波形の情報に変換する手段を含んでいる超音波検査装置。

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