JP4237652B2 - X線平面検出器 - Google Patents
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Description
本実施例に係るX線平面検出器の画素断面図を図1に示す。以下、図1を参照して本実施例に係るX線平面検出器の形成方法について説明する。
ただし、Bi酸化膜210aの表面は完全に酸化されていても良いが、表面自体もBi沃化酸化物(BiIx Oy )であってもよい。この場合、Iのモル比がOのモル比より大きいことが好ましく、BiIx Oy の表記でx≧yであるのが好ましい。
本実施例に係るX線平面検出器の画素断面図を図2に示す。以下、図2を参照して本実施例に係るX線平面検出器の形成方法について説明する。
本実施例に係るX線平面検出器の画素断面図を図3に示す。以下、図3を参照して本実施例に係るX線平面検出器の形成方法について説明する。
本実施例に係るX線平面検出器の画素断面図を図4に示す。以下、図4を参照して本実施例に係るX線平面検出器の形成方法について説明する。
Claims (4)
- 金属ハロゲン化物を含み、入射X線を電荷に変換するX線電荷変換膜と、
前記X線電荷変換膜の少なくとも一方の面に接して設けられた、前記金属ハロゲン化物の金属の酸化物、窒化物、これら酸化物及び窒化物の混合物、又はこれら酸化物若しくは窒化物と前記金属のハロゲン化物との混合物を含むブロッキング層と、
前記X線電荷変換膜の一方の面に直接又は前記ブロッキング層を間に介して電気的に接続した電極と、前記X線電荷変換膜の他方の面に直接又は前記ブロッキング層を間に介して電気的に接続した電極とからなる一対の電極と
を備えることを特徴とするX線平面検出器。 - 前記X線電荷変換膜は、PbI2 、HgI2 、SnI2 、BiI3 、及びInIx からなる群より選択される少なくとも1種の沃化金属を含み、前記ブロッキング層は、前記沃化金属の酸化物を含むことを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出器。
- 前記X線電荷変換膜は、BiI3 を含み、前記ブロッキング層はBiIx とBiOx の混合物を含むことを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出器。
- 金属ハロゲン化物を含み、入射X線を電荷に変換するX線電荷変換膜と、
前記X線電荷変換膜の少なくとも一方の面に接して設けられた、前記金属ハロゲン化物の金属の酸化物、窒化物、これら酸化物及び窒化物の混合物、又はこれら酸化物若しくは窒化物と前記金属のハロゲン化物との混合物を含むブロッキング層と、
アレイ状に配列されたそれぞれの画素に対応して前記X線電荷変換膜の下に直接又はブロッキング層を間に介して電気的に接続した画素電極と、
それぞれの画素電極と接続されたスイッチング素子と、
各々1行のスイッチング素子に接続された信号線と、
各々1列のスイッチング素子に駆動信号を送る走査線と、
前記X線電荷変換膜の上に直接又はブロッキング層を間に介して設けられた共通電極と、
を備えることを特徴とするX線平面検出器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004036958A JP4237652B2 (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | X線平面検出器 |
US11/052,799 US7126128B2 (en) | 2004-02-13 | 2005-02-09 | Flat panel x-ray detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004036958A JP4237652B2 (ja) | 2004-02-13 | 2004-02-13 | X線平面検出器 |
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JP2005228964A JP2005228964A (ja) | 2005-08-25 |
JP4237652B2 true JP4237652B2 (ja) | 2009-03-11 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9416022B2 (en) | 2013-11-13 | 2016-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for preparing bismuth iodide article and method for manufacturing radiation detecting element |
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- 2004-02-13 JP JP2004036958A patent/JP4237652B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US9416022B2 (en) | 2013-11-13 | 2016-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for preparing bismuth iodide article and method for manufacturing radiation detecting element |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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