JP4234614B2 - 圧接型半導体装置、及びこれを用いた変換器 - Google Patents
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Description
前記主電極板の少なくとも一方とこれに対向する中間電極との間に、弾性体および金属メッシュシートを介在させた。
図1は、本発明の他の一実施例を説明するための圧接型パッケージ100の断面概略図である。
(ロ)弾性体105は、圧接型パッケージの使用時における部材間の温度膨張変化や加圧圧力の変動を吸収して部材間に隙間が生じるのを防止する。それによって、半導体チップと主電極板の間に良好な導通を得ることができる。また、弾性体105は、金属メッシュシートで吸収できないような部材間の厚みのばらつきが生じた場合には、それを吸収し得る。
〔実施例2〕
図6は半導体素子104のそりやうねりが大きい場合の実施例である。本実施例では、第一の中間電極102と半導体チップ104の間、および半導体チップ104と第二の中間電極103の両方に金属メッシュシート107(a)、107(b)を介在させている。
〔実施例3〕
本発明の圧接型パッケージでは、実装する半導体チップの数を増やして大型化、すなわち大容量化しても安定した電極間の接触状態が得られるため、電気抵抗の小さな半導体装置を得られる。従って、この圧接型半導体装置を用いることにより、変換器容積、及びコストを大幅に削減した大容量変換器が実現できるようになる。
Claims (11)
- 平型パッケージの構成要素となる一対の主電極板の間に、少なくとも一つの半導体チップと該半導体チップを挟み込んだ一対の中間電極とが組み込まれた半導体装置において、
前記主電極板の少なくとも一方とこれに対向する中間電極との間に、弾性体および金属メッシュシートを介在させたことを特徴とする圧接型半導体装置。 - 平型パッケージの構成要素となる一対の主電極板の間に、少なくとも一つの半導体チップと該半導体チップを挟み込んだ一対の中間電極とが組み込まれた半導体装置において、
前記主電極板の少なくとも一方とこれに対向する中間電極との間に弾性体を介在させ、さらに、少なくとも一方の中間電極とこれに対向する半導体チップの電極との間に金属メッシュシートを介在させたことを特徴とする圧接型半導体装置。 - 請求項1または2において、前記弾性体は、板状の弾性体であることを特徴とする圧接型半導体装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記弾性体はスプリング構造を有していることを特徴とする圧接型半導体装置。
- 請求項1ないし4のいずれか1項において、前記弾性体はスプリングワッシャよりなることを特徴とする圧接型半導体装置。
- 請求項1ないし5のいずれか1項において、前記金属メッシュシートは多孔質の金属板もしくは金網もしくは凸凹加工した金属板よりなることを特徴とする圧接型半導体装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1項において、前記金属メッシュシートの形状および寸法が、平型パッケージ内での半導体チップの配置形状および寸法に合わせて加工されていることを特徴とする圧接型半導体装置。
- 請求項1ないし7のいずれか1項において、前記弾性体には、白金、クロム、ニッケル、及び金のいずれか一つによるコーティングが施されていることを特徴とする圧接型半導体装置。
- 請求項1ないし8のいずれか1項において、前記金属メッシュシートに白金、クロム、ニッケル、及び金のいずれか一つによるコーティングが施されていることを特徴とする圧接型半導体装置。
- 請求項1ないし9のいずれか1項において、前記半導体チップがシリコン、シリコンカーバイド、ダイヤモンドあるいは窒化ガリウムを主成分とすることを特徴とする圧接型半導体装置。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載した圧接型半導体装置を主変換素子として用いたことを特徴とする電力変換器。
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