JP4230408B2 - 深穴計測装置および深穴計測方法 - Google Patents
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Description
上記深穴計測プローブ5は、計測ユニット8と圧電アクチュエータ(姿勢修正手段)15を備える圧電アクチュエータ保持部とを含んで構成される。圧電アクチュエータ保持部は回転することなく、深穴計測中において深穴計測プローブ5の姿勢(変位および傾き)を検出し、正常位置からのずれを修正する。なお、姿勢の検出や修正の詳細に関しては、各種光学検出系の項で詳述する。
上記深穴計測プローブ5には、その先端に計測ユニット8が設けられている。計測ユニット8は、図2に示すように、スタイラス(針状部材)31、コーナーキューブプリズム32、直角プリズムミラー33、リニアブシュ34等を備える構成となっている。上記スタイラス31は、被加工物4に対して回転可能に設けられており、回転の中心軸(計測バーの中心軸7)方向に対して交差する方向に突出し、かつその先端が穴壁に接触した状態で、穴壁の表面に沿って交差方向に可動するようになっている。
本実施の形態では、図1および図3に示すように、上記スタイラス31へのレーザ光の照射により当該スタイラス31の動き(変位)を、深穴3の外部に設けられている測長器(レーザ照射検出手段)16で検出する。本実施の形態では、直角プリズムミラー33を介してコーナーキューブプリズム(レーザ光反射部材)32からの反射光から、上記スタイラス31の動きを検出することになる。
本発明にかかる深穴計測装置は、上記のように、穴に挿入される回転体(深穴計測プローブ5)の端部に、深穴3の内壁(穴壁)に当接するように突出するスタイラス31を設け、このスタイラス31の動き(変位)をレーザ光により検出することで、深穴3の加工精度を計測している。さらに、本発明にかかる深穴計測装置においては、各種光学検出系を設け、深穴3の計測中において深穴計測プローブ5の姿勢(変位および傾き)を検出し、姿勢の正常位置からのずれを修正するようになっていることが好ましい。
本発明にかかる深穴計測方法は、上述した深穴計測装置により実現される方法である。すなわち、本実施の形態では、上記深穴計測プローブ5の端部に、被加工物4に対して回転可能に設けられ、回転の中心軸方向に対して交差(好ましくは直交)する方向に突出し、かつその先端が穴壁に接触した状態で、穴壁の表面に沿って交差方向(好ましくは直交方向)に可動するスタイラス31を設け、この深穴計測プローブ5を深穴3に挿入した状態で、当該深穴3の加工精度を計測する。このとき、上記スタイラス31に、好ましくはコーナーキューブプリズム32等を介して間接的にレーザ光を照射することで、当該スタイラスの動きを検出して数値化することにより加工精度を計測する。さらにこのとき、深穴3に挿入された深穴計測プローブの姿勢の乱れを検出し、これを修正することが好ましい。
上述したように、本発明では、スタイラス31により深穴3の加工精度を計測するようになっているが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではなく、少なくとも、レーザ光を用いて、回転体から静止体へ計測データを効率的かつ確実に送信するようになっていればよい。
まず、被加工物4としてジュラルミン材(JIS 2017T−4)を用い、深穴加工装置を用いて深さ500mmの深穴3を形成した。この深穴3の曲がりの度合い、すなわち穴の曲がりを、前述し穴計測装置10を用いて計測した。計測時の条件は、テーブル6の送り速度を100mm/分とし、前方の圧電アクチュエータ15のサポーティングパッドが、深穴の深さh=133mmの位置で深穴3の穴壁に当接するようにして、深穴計測プローブ5を当該深穴3に挿入した。
実施例1において、深穴計測プローブ5の先端に、本発明の計測ユニット8の代わりに、ダイヤルゲージスタンドおよび電気マイクロメータを取り付けた以外は同様にして、固定軸から深穴の中心位置Xの軌跡を計測し、深穴3の穴の曲がりを評価した。その結果を図4(c)・(d)に示す。
被加工物4として工作物YR2および工作物J6を用いて、実施例1と同様の方法で深さ500mmの深穴3を形成した。これら各被加工物4の深穴について、前述した深穴計測装置10を用いて真円度を計測・評価した。なお、計測は送りを止めて行った。工作物YR2の結果を図5(a)に、工作物J6の結果を図5(c)に示す。工作物YR2に形成した深穴3の真円度は63.3μmであり、工作物J6の真円度は8.6μmであった。
市販の真円度測定器(テーラーホブソン社製、タリロンド100型)を用いた以外は、実施例2と同様にして真円度を計測・評価した。なお、計測は送りを止めて行った。YR2の結果を図5(b)に、J6の結果を図5(d)に示す。YR2に形成した深穴3の真円度は75.1μmであり、J6の真円度は5.9μmであった。
実施例1で計測した深穴3について、さらに、前述した深穴計測装置10を用いて誘導しながら穴壁をらせん状に走査した。その結果を図6(a)に示す。なお、同図に示す結果では、100mmまでの深さを表示しているが、実際の計測は487mm(工作物の全長)まで可能であった。また、図6(b)に、ZY面における計測結果を示す。+Yの頂点をたどれば+Y方向の穴壁面の変位となり、−Y方向をたどれば−Y方向の穴壁面の変位となる。なお、実施例1の場合は、+Y方向、−Y方向の壁面をZ軸方向へ走査している。図6(a)のらせんピッチを小さくすれば、図4(a)・(b)に示す結果と同じとなる。図6(a)・(b)に示す結果から明らかなように、本発明にかかる深穴計測装置を用いれば、より高精度な深穴計測が可能になったことがわかる。
2 カップリング
3 深穴
4 被加工物
5 深穴計測プローブ
6 テーブル(送り台)
7 計測バーの中心軸
8 計測ユニット(回転体)
9 ステッピングモータ
10 深穴計測装置
11 ベルト
12 半導体レーザ(発光手段)
13 2次元PSD(Position-Sensitive Detector)(姿勢検出手段)
14 2次元PSD
15 圧電アクチュエータ(姿勢修正手段)
16 測長器(レーザ照射検出手段、静止体)
17 検出結果解析部(レーザ検出結果解析手段)
18 ローリング検出用半導体レーザ(発光手段)
19 ミラー
20 1次元PSD
21 ビームスプリッタ
22 出力部
31 スタイラス(針状部材)
32 コーナーキューブプリズム
33 直角プリズムミラー
34 リニアブシュ
35 固定部材
Claims (16)
- 被加工物に形成された穴に挿入された状態で、当該穴の加工精度を計測する深穴計測プローブを備えている深穴計測装置において、
上記深穴計測プローブの端部には、回転の中心軸方向に対して直交する方向に突出し、かつその先端が穴壁に接触した状態で、穴壁の表面に対して直交方向に可動する針状部材が、前記被加工物に対して前記中心軸の周りに回転可能に備えられているとともに、
さらに、上記針状部材へのレーザ光の照射により当該針状部材の動きを検出するレーザ照射検出手段が、上記穴の外部に設けられており、
上記針状部材には、上記針状部材の可動方向に沿って入射する上記レーザ光を受光して上記可動方向に沿って反射するレーザ光反射部材が設けられており、
上記深穴計測プローブの端部の前面には、上記レーザ光を受光して上記レーザ光反射部材側に向かって上記可動方向に沿って上記中心軸から離れる方向にレーザ光の進路を曲げるとともに、当該レーザ光反射部材により反射されたレーザ光を受光して入射側にレーザ光の進路を曲げるレーザ光中間受光部材が、上記針状部材と一体に前記中心軸の周りに回転可能に設けられていることを特徴とする深穴計測装置。 - 上記レーザ照射検出手段は、レーザ光反射部材からの反射光から、上記針状部材の動きを検出することを特徴とする請求項1に記載の深穴計測装置。
- 上記針状部材は、上記中心軸方向に対して直交する方向に突出しており、
上記レーザ光中間受光部材およびレーザ光反射部材により形成されるレーザ光の入反射の経路は、全ての曲げ方向が直角方向となっていることを特徴とする請求項1に記載の深穴計測装置。 - 上記針状部材は、リニアブシュにより回転の中心軸方向に対して直交する方向に可動するように支持されていることを特徴とする請求項3に記載の深穴計測装置。
- 上記レーザ光中間受光部材が直角プリズムミラーであることを特徴とする請求項3または4に記載の深穴計測装置。
- 上記レーザ光反射部材がコーナーキューブプリズムであることを特徴とする請求項3、4または5に記載の深穴計測装置。
- さらに、上記針状部材の動きを数値化して、加工精度情報として生成するレーザ検出結果解析手段を備えていることを特徴とする請求項1ないし6の何れか1項に記載の深穴計測装置。
- 上記レーザ検出結果解析手段は、上記穴の横断面の中心を通過して横断する方向をX方向、このX方向に直交する方向をY方向とし、上記針状部材の動きをこれらX方向および/またはY方向への移動距離として数値化することを特徴とする請求項7に記載の深穴計測装置。
- 上記レーザ検出結果解析手段は、さらに、穴の深さ方向をZ方向として、上記針状部材の位置をZ方向への移動距離として数値化することを特徴とする請求項8に記載の深穴計測装置。
- 上記レーザ光検出結果解析手段は、針状部材の動きを、X、YおよびZ方向のうち少なくとも1方向についての軌跡として表示可能とするように、加工精度情報を生成することを特徴とする請求項8または9に記載の深穴計測装置。
- 上記加工精度として、穴の真直度、横断面の真円度、円筒度、横断面の直径、および穴の深さの少なくとも何れかを計測することを特徴とする請求項1ないし10の何れか1項に記載の深穴計測装置。
- さらに、深穴計測プローブの姿勢を検出する姿勢検出手段と、当該姿勢検出手段により検出された深穴計測プローブの姿勢の乱れを修正する姿勢修正手段とを備えていることを特徴とする請求項1ないし11の何れか1項に記載の深穴計測装置。
- 被加工物に形成された穴に深穴計測プローブを挿入した状態で、当該穴の加工精度を計測する深穴計測方法において、
上記深穴計測プローブの端部に、回転の中心軸方向に対して直交する方向に突出し、かつその先端が穴壁に接触した状態で、穴壁の表面に対して直交方向に可動する針状部材を、被加工物に対して前記中心軸の周りに回転可能に設けるとともに、
この針状部材にレーザ光を照射することで当該針状部材の動きを検出して数値化することにより加工精度を計測する深穴計測方法であって、
上記針状部材には、上記針状部材の可動方向に沿って入射する上記レーザ光を受光して上記可動方向に向かって反射するレーザ光反射部材が設けられており、
上記深穴計測プローブの端部の前面には、上記レーザ光を受光して上記レーザ光反射部材側に向かって上記可動方向に沿って上記中心軸から離れる方向にレーザ光の進路を曲げるとともに、当該レーザ光反射部材により反射されたレーザ光を受光して入射側にレーザ光の進路を曲げるレーザ光中間受光部材が、上記針状部材と一体に前記中心軸の周りに回転可能に設けられていることを特徴とする深穴計測方法。 - 穴の横断面の中心を通過して横断する方向をX方向としたときに、このX方向に直交する方向をY方向とし、上記針状部材の動きをこれらX方向および/またはY方向への移動で数値化することを特徴とする請求項13に記載の深穴計測方法。
- さらに、穴の深さ方向をZ方向として、上記針状部材の位置をZ方向への移動で数値化することを特徴とする請求項14に記載の深穴計測方法。
- 上記加工精度として、穴の真直度、横断面の真円度、円筒度、横断面の直径、および穴の深さの少なくとも何れかを計測することを特徴とする請求項13、14または15に記載の深穴計測方法。
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