JP4226522B2 - 記録再生装置 - Google Patents
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Description
前記問題点は、先端にプローブチップ持つカンチレバーと前記カンチレバーを記録媒体の記録ドット形成部に対し接触させて電流を流す、または電圧をかけることにより記録媒体の抵抗等を変化させて通電記録を行う記録再生装置において、前記カンチレバー先端のプローブチップを多数配置したマルチチップを形成し、前記マルチチップを前記カンチレバーを両持ちはりにしてその中央に配置すると共に、前記マルチチップを前記記録ドット部に1対1に対応するように配置してカンチレバー部をマルチチップ形成面が記録媒体面と平行になるように吸引力(クーロン力等)により上下に移動させて各マルチチップを対応するドット部に接触させ、接触後に通電し、記録を行う構成とすることにより達成される。
また、チップ先端の曲率半径を例えば50nm以上の大きさにすることにより従来の20nm以下のチップに比較して摩耗を効果的に低減できる。
本発明によれば、カンチレバー先端の記録再生部(チップ)を多数配置したマルチチップを形成し、前記カンチレバーを両持ちはりにして、前記マルチチップをはりの中央に配置し、前記マルチチップの記録再生部が前記記録ドット部に1対1に対応するように配置してマルチチップ形成面が記録媒体面と平行に移動するようにクーロン力等により上下に移動させて各記録再生部を対応する記録ドットに接触させ、接触後に通電し、記録を行う構成とすることにより一度に多量のデータをR/Wできるため、データ転送速度を向上させることができる。
また、前記チップ先端部は曲率半径が50nm以上と大きく、また、記録媒体面と平行の状態で移動するため点接触でなく、平面接触に近い形で接触させることができるため、さらに摩耗を効果的に低減できる。
また、前記クーロン力を各カンチレバーのバネ定数に応じて適切に設定することにより、チップ先端部とドット先端部間にかかる圧力を最小に設定することができ、摩耗をさらに効果的に低減することが可能となる。
図15に、従来のカンチレバー100を用いた記録再生装置の一例を示す。従来のAFM等に使用されるカンチレバーを用いた記録再生装置は、図15に示したシングルチップ101を有する片持ちはり方式のカンチレバー100が記録媒体に接触し、電圧を印加することにより記録媒体の所定領域の電荷移動または分極反転により情報を記録、消去する構成となっている。このような片持ちはり式のカンチレバーを用いて情報を記録再生する場合、カンチレバー100がはりの回転運動により記録媒体102に接触するため、はりと記録媒体の接触部分が点接触となる。従って、その部分に高圧力がかかり、摩耗が進行しやすい構成になっている。また、1本のカンチレバー100で広範囲の情報のR/Wを行うため、カンチレバーの摩耗が非常に早く進行しやすい。さらにカンチレバーの速度を高速にすると、摩耗速度も上がるため、高速にR/Wを行うことが難しく、転送速度を上げにくい等の問題があった。
次に、Siウェハー31の表面上(主面上)にレジスト&メタル膜32を成膜し、EB、FIB等のリソグラフィ(直接描画)方式を用いて、図6に示した2層目の配線を描画する。その後、酸化シリコン(SiO2)膜33をスパッタリング等で成膜する〈2〉。
次に、酸化シリコン膜33が形成されたSiウェハー31を上下反転し、背面(主面とは反対側の裏面)をエッチング等により加工し、所望の厚さ(ex.3um)の両持ちはりを形成する〈3〉。さらに、エッチングにより、はり部34にマルチチップ1の先端と配線20をつなぐスルーホール35を作成し、金属を電界メッキ法等で埋め込み成膜する〈4〉。
次に、はり部34の表面にレジスト&メタル膜36を再度成膜し、図6に示した第1層の配線20を描画する〈5〉。
次に、配線描画後、その上部に酸化シリコン(SiO2)膜37をスパッタリング等で成膜する〈6〉。
次に、エッチングによりマルチチップ部1を形成し、その後チップ先端部と配線部をつなぐスルーホール35を作成する〈7〉。
次に、図6に示した配線(第1,第2層)のための金属をスルーホール35内に電界メッキ法等で埋め込み成膜し、最後に先端部にPt等の貴金属をコーティングする〈8〉。その後、必要があれば摩耗低減のため、マルチチップ部1の表面を少し研磨する。
マルチチップ1で記録再生、または消去等に用いられたR/W信号は、両持ちはり2内に形成された配線20内を通り(図13(a)参照)、両持ちはり2の上部に設けられた信号処理回路13に入力される(図13(b)参照)。100個の記録再生部14により検出されたR/W信号は、図13(c)に示した信号処理回路13により100bitの信号となり、図13(d)に示したフレーム集合体3'に形成された電線を伝い、さらに上部の支持部40を通って、図1に示した電圧印加(R/W)回路12に送られる。
Claims (9)
- 先端にチップが形成されたはり式アームを持つプローブにより記録媒体に対して情報を記録再生する記録再生装置であって、
前記チップは、複数の導電性の記録再生部を設けたマルチチップであり、
前記マルチチップは、2層以上の配線を有し、
前記はり式アームは、その表面又は内部に配線を有し、
前記はり式アームは、両持ちはりであることを特徴とする記録再生装置。 - 請求項1に記載の記録再生装置において、
前記記録媒体は、強磁性体/非磁性体/強磁性体の多層膜のピラーにより構成され、各々が電気的に絶縁された複数の記録ドットを有することを特徴とする記録再生装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の記録再生装置において、
前記マルチチップに複数設けられた記録再生部の先端は、曲率半径50nm以上の球面でかつ前記記録ドットの表面積以下の面積で形成されていることを特徴とする記録再生装置。 - 請求項1に記載の記録再生装置において、
前記プローブは4角形に構成されたフレームに支持されており、前記フレームが多数配置された格子状のフレーム集合体は、前記記録媒体表面の対向面に配置される構成であって、前記フレーム集合体と前記記録媒体表面の平行度を前記フレーム集合体の四隅に設けたセンサで検知することを特徴とする記録再生装置。 - 請求項4に記載の記録再生装置において、
前記フレーム集合体は、上部四隅を伸縮部材で支持されており、前記伸縮部材を電圧または電流でコントロールすることにより前記フレーム集合体と前記記録媒体表面の平行度を制御することを特徴とする記録再生装置。 - 請求項5に記載の記録再生装置において、
前記フレーム集合体、又は前記記録媒体は、上下及び左右に移動可能なX、Y、Zスキャナにより支持されていることを特徴とする記録再生装置。 - 請求項1乃至請求項6のうち何れか1項に記載の記録再生装置において、
前記プローブのアーム部分に金属薄膜を形成し、前記プローブ、前記記録媒体間に電圧をかけることにより吸引力を発生させ、前記マルチチップの記録再生部を前記記録媒体の記録ドットに1対1に対応させて接触させ、情報を記録再生することを特徴とする記録再生装置。 - 請求項7に記載の記録再生装置において、
前記プローブに形成された前記マルチチップは、前記フレーム移動時には前記吸引力を消去され、非接触状態となって移動することを特徴とする記録再生装置。 - 請求項1に記載の記録再生装置は、前記マルチチップを有した前記両持ちはり式プローブとそのプローブを支持するフレーム集合体、前記フレーム集合体、又は前記記録媒体を位置決めするXYZスキャナ、平行度を検知するセンサ、平行度を調整するPZT、及び媒体より形成される記録再生ユニットと前記記録再生ユニットを制御する制御回路1式により構成されることを特徴とする記録再生装置。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
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