JP4225358B2 - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
また、アライメントマークの外形を規定する辺部分における段差を、アライメントパターン部分における段差よりもなだらかになるようにしている。このため、露光装置においてアライメントを行う際に、アライメントパターンとアライメントマークの外形を規定する辺部分における段差とを同じパターンと誤認識することがなくなる。
図1は本願発明の実施例1のアライメントマークを示す上面図である。この図1において、アライメントマーク1は、半導体ウエハ2に形成されたグリッドライン3上に形成される。グリッドライン3は、半導体ウエハ2に形成される複数の回路素子領域6間に形成される領域であり、個々の半導体チップに分割する際にはこのグリッドライン3の部分で切断される。このグリッドライン3は、例えば100μmの幅で形成される。
2 半導体ウエハ
3 グリッドライン
4 凹部
5 凸部
6 回路素子領域
7 アライメントパターン
10 下地層
12 凹部に対応する波形
13 凸部に対応する波形
Claims (10)
- 半導体基板上にアライメントマークが形成された半導体装置において、
前記アライメントマークは、平面方向に凹凸を有する互いに平行に配置される1対の辺と、前記1対の辺間に前記1対の辺と実質的に平行に配置される前記アライメントマーク内に設けられた複数のアライメントパターンとを備えている連続する外周辺を有する膜から構成されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、前記複数のアライメントパターンは前記1対の辺間に実質的に等間隔に配置されることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、さらに前記1対の辺と直交する方向に延在する辺間に、この直交する辺と実質的に平行な複数のアライメントパターンを含むことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、前記凹凸は、前記一対の辺の一端から他端に亙って凹部と凸部とが交互に繰り返して形成されることを特徴とする半導体装置。
- 基板上に、平面方向に凹凸を有する互いに平行に配置される1対の辺と、前記1対の辺間に前記1対の辺と実質的に平行に配置される複数のアライメントパターンとを備えたアライメントマークを形成する工程と、
前記アライメントパターンにおける前記1対の辺の前記凹部に対応する部分と、前記アライメントパターンにおける前記1対の辺の前記凸部に対応する部分とを用いて前記アライメントマークの位置合わせを行う工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項5記載の半導体装置の製造方法において、前記アライメントマークの位置合わせを行う工程は、前記アライメントパターンにおける前記1対の辺の前記凹部に対応する部分と、前記アライメントパターンにおける前記1対の辺の前記凸部に対応する部分とを含む領域の複数箇所における検出結果を平均化して行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上にアライメントマークが形成された半導体装置において、
前記アライメントマークは、互いに平行に配置される1対の辺と、前記1対の辺間に前記1対の辺と実質的に平行に配置される複数のアライメントパターンとを備え、
前記1対の辺部分における段差は前記アライメントパターン部分の段差と比較してなだらかな段差であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項7記載の半導体装置において、前記複数のアライメントパターンは前記1対の辺間に実質的に等間隔に配置されることを特徴とする半導体装置。
- 請求項7記載の半導体装置において、さらに前記1対の辺と直交する方向に延在する辺間に、この直交する辺と実質的に平行な複数のアライメントパターンを含むことを特徴とする半導体装置。
- 請求項7記載の半導体装置において、前記複数のアライメントパターンは前記1対の辺間に実質的に等間隔に配置され、最外側の前記アライメントパターンと前記辺との間隔は前記辺間の間隔と実質的に等しいことを特徴とする半導体装置。
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