JP4220214B2 - 光ファイバーを光電素子と接続/切断するための方法及び装置 - Google Patents

光ファイバーを光電素子と接続/切断するための方法及び装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバーを光電素子と接続/切断するための方法及び装置に関する。本発明による方法は、高精度組立体を作るために、少なくとも1つの光ファイバーを少なくとも1つの光電素子に整合させることを備える。この組立体は一時的なものとし得る。
【0002】
光電素子は、フォトエミッタ、フォトデテクタ、他のファイバー、導波路網、及び光ファイバーに接続し得る光回路又は電気回路とし得る。
【0003】
【従来の技術】
従来技術においては、光ファイバーを光電素子と整合させて組み立てるための異なる技法が周知である。最も頻繁に使用される技法は、2つの異なるグループ、すなわち“能動”技法と“受動”技法に分類される。
【0004】
“能動”技法では、光ファイバーと光電素子の整合は2段階で行われる。第1段階で、光ファイバーと光電素子が互いにほぼ整合される。第2段階で、光ファイバーと光電素子に電力を供給してこれらが実際に作動するかチェックする(光および/または電気の供給)。その後、光および/または電気の計測値を最適化することによって、光ファイバーと光電素子の間の精密な整合が行われる。一旦、最適な位置が求められると、光ファイバーと光電素子は、接合、はんだ付け、又は何れか他の既知の機械的支持手段によって互いに固定される。例えば、このようにして、光ファイバー内に加えられたレーザから出力された光を計測することによって光ファイバーと該レーザを整合させることが可能である。
【0005】
“受動”技法では、整合すべき複数の光電素子は自己整合手段を含む。例えば、はんだビードを使用する、一般に“フリップチップ”方法と呼ぶ自己整合方法がこれに当てはまる。
【0006】
図1は“光ファイバを、表面が能動的な光電素子に受動的に整合させるための、貫通エッチングされたシリコン担持体”(センサとアクチュエータ 82(2000)、245〜248頁(“Trough-etched silicon carriers for passive alignment of optical fibers to surface-active optoelectronic components” (Sensors and Actuators 82 (2000), 245-248))と題する文献に記載された従来技術による自己整合装置の原理の概念図を示す。
【0007】
図1の装置は、進入口2を設けた光電素子1と、該進入口2と整合すべき光ファイバー3と、円錐状穴5を貫通形成したプレート4と、はんだビード6とを備える。
【0008】
光ファイバー3と進入口2の整合は、該光ファイバーを円錐状穴5に挿入することによって行われる。
【0009】
しかしながら、この技法には幾つかの欠点がある。まず、円錐状の穴を形成することがかなり難しいから整合精度は良くない。すなわち、整合精度はテーパが増すにつれて低下する。さらにまた、一旦、光ファイバーが円錐状穴に挿入されると、該光ファイバーを所定位置に保持する力が存在しない。この場合、光ファイバーは接着によって固定しなければならず、しかも、該接着の間中ずっと機械的に所定位置に保持しなければならない。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述した欠点を有していない。
【0011】
本発明は、少なくとも1つの光ファイバーを光電素子に接続するための装置に関する。該装置は少なくとも1つの可動アームを備えた少なくとも1つのハウジングを備えており、該ハウジングが、
可動アームに何等圧力を加えずに光ファイバーをハウジング内に挿入するための第1の区域であって、該第1の区域の境界がハウジングの壁の一部分と可動アームとによって画定される第1の区域、および
光ファイバーにより可動アームに圧力を加えた後で該光ファイバーをハウジング内に固定するための第2の区域を備えている。
【0012】
本発明は、少なくとも1つの光ファイバーを光電素子に接続するための方法にも関する。該方法は以下の連続する段階を備えている。
可動アームに何等圧力を加えずに光ファイバーを少なくとも1つの可動アームが内在するハウジングの第1の区域内に挿入する段階、
光ファイバーを1つ以上の可動アームの一端部に向けて動かす段階、
1つ以上の可動アームが最終的にハウジングの第1の区域のファイバー保持位置に固定されるように、光ファイバーが該可動アームの端部に圧力を加える段階。
【0013】
本発明は、光ファイバーを嵌合させたコネクターを光電素子に取り付ける取付構造体にも関し、該コネクターは少なくとも1つの案内ピンを備えている。該構造体は少なくとも1つのアームを備えた少なくとも1つのハウジングを備えており、該ハウジングが、、
可動アームに何等圧力を加えずに案内ピンをハウジング内に挿入するための第1の区域であって、該第1の区域の境界がハウジングの壁の一部と可動アームとによって画定される第1の区域、および
光ファイバーにより案内ピンに圧力を加えた後で該案内ピンをハウジング内に固定するための第2の区域を備えている。
【0014】
本発明は、光ファイバーを嵌合させたコネクターを光電素子に取り付ける取付方法にも関し、該コネクターは少なくとも1つの案内ピンを備えている。該方法は以下の連続する段階を備えている。
1つ以上の可動アームに何等圧力を加えずに案内ピンを少なくとも1つの可動アームを備えたハウジングの第1の区域内に挿入する段階、
1つ以上の可動アームの一端部に向けて案内ピンを動かす段階、
1つ以上の可動アームが最終的にハウジングの第2の区域のファイバー保持位置に固定されるように、光ファイバーが該可動アームの端部に圧力を加える段階。
【0015】
本発明の他の特徴及び利点は添付図面に関する本発明の好ましい実施形態を読めば明らかとなる。なお、全図面に関する同一の参照数字は同一の部材を示している。
【0016】
【発明の実施の形態】
図2Aは、本発明の第1実施形態による、光ファイバーを光電素子に接続するための接続装置の平面図を示す。図2Bは、図2Aの断面A−Aに沿った図である。
【0017】
接続装置は、例えば、シリコン製の機械部分7から構成され、その内部にはハウジング8が形成されている。ハウジング8は、例えば、シリコン製の複数の微小な機械式ばねアームのような、2つの可動アーム9、10を備えている。可動アーム9、10は、ハウジング8内に2つの区域Z1、Z2を画定する。第1の区域Z1の境界は、ハウジング8の壁の一部と、圧力が作用していない可動アーム9、10とによって画定される。第1の区域Z1は光ファイバーが挿入される区域である。第2の区域Z2は、光ファイバーが可動アームの両端部に圧力を加えた後で、該光ファイバーが保持位置で不動にされる、ハウジング8内の区域として画定される。可動アーム9、10に圧力を加えない時には、これらのアームの両端部を離隔する距離Lは光ファイバーの直径Dより小さい。
【0018】
ファイバーを接続装置に取り付ける取付方法は以下の段階を備える。
可動アームに圧力が作用しない場合に、光ファイバーを第1の区域Z1に挿入する段階(図2Aの位置a)、
光ファイバーを可動アーム9、10の端部に向けて動かし、該光ファイバーがこれらの両端部9、10と接触するようにする段階(図2Aの位置b)、
光ファイバーが可動アーム9、10の両端部に圧力を加え、もってこれらのアームを互いに離すように動かす段階(図2Aの位置c)、
可動アーム9、10の両端部にある光ファイバーによって圧力を加え続け、これにより可動アームをファイバー保持位置内の所定位置に最終的に固定する段階。
【0019】
非限定的な実施形態として、光ファイバーFが挿入される第1の区域Z1は、少なくとも、125μmの直径を備えた光ファイバーに対する輪郭C1の直径が140μmとなる区域である。
【0020】
上述した動きと反対に動かすことによって光ファイバーを取り除くことができ、それからもう一度、必要に応じて何度でも再挿入できることは自明である。光ファイバーを挿入した後で該ファイバーを取り除く必要がない時は、組立体は、例えば、紫外線硬化されたエポキシ接着剤を使って固めることができる。
【0021】
図3Aは、光ファイバーの帯状体を光電装置に接続する装置の平面図を示す。図3Bは、図3Aの断面B−Bに沿った図である。
【0022】
帯状体11に取り付けた4つの光ファイバーF1、F2、F3、F4は、光電装置13内の対応する進入口A1、A2、A3、A4に接続されている。接続装置12は、図2A及び図2Bに示したものと類似の接続装置をそれぞれ4つ備える。各接続装置は、光ファイバーを進入口(図3B参照)と整合させるために使用することができる。はんだビード14は接続装置12を光電装置13に接続する。
【0023】
接続装置12がシリコン基板から構成され、かつ複数のハウジング8がシリコン基板に(プラズマ、化学的方法等による)エッチングを施すことによって一緒に製造することが好ましい。
【0024】
図4Aは、複数の光ファイバーを嵌合させたコネクターを光電要素に取り付けるための取付構造体の平面図を示す。図4Bは、図4Aの断面C−Cに沿った図を示す。
【0025】
例えば、MT(機械的搬送)コネクターのような、コネクター15は複数の光ファイバーF1、F2、F3、F4、F5を備え、案内ピン16、17を使ってシリコン基板19に挿入される。各案内ピン16、17は、本発明による接続装置によってシリコン基板に固定される。進入口A1、A2、A3、A4、A5を設けた光電素子18は、はんだビード20によってシリコン基板19の一方の面に固定される。複数の光ファイバーF1、F2、F3、F4、F5が対応する進入口A1、A2、A3、A4、A5と整合されるように、光電要素18は案内ピン16及び17の間に配置される。本発明による接続の精度により、複数の光ファイバーF1、F2、F3、F4、F5は、対応する進入口A1、A2、A3、A4、A5とほぼ完全に整合される。
【0026】
図5は本発明の第2の実施形態による、光ファイバーを光電要素に接続する接続装置を示す。
【0027】
本発明の第2の実施形態による接続装置は軸線XX´に関して対称に位置づけた2つの可動アーム21及び22を備える。そこで、光ファイバーは、該光ファイバーが可動アーム21及び22の間の所定位置に保持されるような位置に取り付けられる。
【0028】
図6は本発明の第3の実施形態による、光電要素に接続する光ファイバ接続装置を示す。
【0029】
この実施形態では、本発明による装置は単一の可動アーム23を備える。この実施形態では、光ファイバーがハウジング内で保持される区域(Z2)の境界は、可動アーム23の一端部と、ハウジングの壁の一部とによって画定される。
【0030】
図7は本発明の第4の実施形態による、光ファイバーを光電素子に接続する接続装置を示す。
【0031】
この実施形態では、ファイバーFは3つの可動アーム24、25及び26によって所定位置に保持される。第1の区域Z1の境界は、ハウジングの壁の一部と、2つの可動アーム24及び25とによって画定される。第2の区域Z2は、押圧された光ファイバーが接触する2つの可動アーム24及び25の両端部と、光ファイバーが圧力を加える第3の可動アーム26の本体とによって境界が画定される。この実施形態は、光ファイバーFを単に支持し続けるには有利である。他の利点として、光ファイバーの整合がシリコン基板のエッチング寸法の変動に依存しないことがある。
【0032】
全ての光学継手、すなわち、ファイバー/VCSEL(鉛直空洞表面照射レーザ)の継手、ファイバー/ファイバーの継手、ファイバー/検出器の継手、ファイバー/導波管の継手は、本発明による接続装置を使って有利に製造することができる。光電素子が永久に固定される前に、全ての光学試験を容易に行い得る。光ファイバーの複数の入口は、その際、最終的な組立体をシミュレートするために使われる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来技術による、光ファイバーを光電素子に接続するための接続装置を示す図である。
【図2A】 本発明の第1の実施形態による、光ファイバーを光電素子に接続するための接続装置の平面図である。
【図2B】 本発明の第1の実施形態による、光ファイバーを光電素子に接続するための接続装置の断面図である。
【図3A】 光ファイバー帯状体を光電素子に接続するための接続装置の平面図である。
【図3B】 光ファイバー帯状体を光電素子に接続するための接続装置の断面図である。
【図4A】 複数の案内ピンを嵌合させた光コネクターを光電素子に接続するための構造体の平面図である。
【図4B】 複数の案内ピンを嵌合させた光コネクターを光電素子に接続するための構造体の断面図である。
【図5】 本発明の第2の実施形態による、光ファイバーを光電素子に接続するための接続装置を示す図である。
【図6】 本発明の第3の実施形態による、光ファイバーを光電素子に接続するための接続装置を示す図である。
【図7】 本発明の第4の実施形態による、光ファイバーを光電素子に接続するための接続装置を示す図である。
【符号の説明】
8 ハウジング
9、10、21、22、23、24、25、26 可動アーム
12 光電素子
16、17 案内ピン
F、F1、F2、F3、F4、F5 光ファイバー
Z1 第1の区域
Z2 第2の区域

Claims (3)

  1. 少なくとも1つの光ファイバー(F)を光電素子(12)に接続するための接続装置において、
    少なくとも1つの可動アーム(9、10)を備えた少なくとも1つのハウジング(8)を備えており、
    該ハウジングが、
    前記可動アームに何等圧力を加えずに前記光ファイバーを前記ハウジング内に挿入するための第1の区域であって、該第1の区域が該ハウジングの壁の一部と前記可動アームとによって境界が画定される第1の区域、および
    前記光ファイバーによって前記可動アームに圧力を加えた後で該光ファイバーを前記ハウジング内に固定するための第2の区域を備え、
    前記ハウジングが2つの可動アーム(9、10)を備え、また前記第2の区域(Z2)の境界が2つの前記可動アーム(9、10)の両端部と前記ハウジングの壁の一部とによって画定されることを特徴とする接続装置。
  2. 少なくとも1つの光ファイバー(F)を光電素子(12)に接続するための接続装置において、
    少なくとも1つの可動アーム(24、25、26)を備えた少なくとも1つのハウジング(8)を備えており、
    該ハウジングが、
    前記可動アームに何等圧力を加えずに前記光ファイバーを前記ハウジング内に挿入するための第1の区域であって、該第1の区域が該ハウジングの壁の一部と前記可動アームとによって境界が画定される第1の区域、および
    前記光ファイバーによって前記可動アームに圧力を加えた後で該光ファイバーを前記ハウジング内に固定するための第2の区域を備え、
    前記ハウジングが3つの可動アーム(24、25、26)を備え、また前記第1の区域(Z1)の境界が前記ハウジングの壁の一部と2つの前記可動アーム(24、25)とによって画定され、さらに前記第2の区域(Z2)の境界が2つの前記可動アーム(24、25)の端部と前記光ファイバーが圧力を加える第3の可動アーム(26)の本体とによって画定されることを特徴とする接続装置。
  3. 前記接続装置がシリコン製であり、また1つ又は複数の前記可動アームがシリコン製の微小な機械式ばね形式のものである、請求項1または請求項2に記載の接続装置。
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