JP4218398B2

JP4218398B2 - Peripheral exposure equipment for film circuit board

Info

Publication number: JP4218398B2
Application number: JP2003105297A
Authority: JP
Inventors: 正則佐藤
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2003-04-09
Filing date: 2003-04-09
Publication date: 2009-02-04
Anticipated expiration: 2023-04-09
Also published as: JP2004309901A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パーフォレーションホールを有するＴＡＢテープ等のフィルム回路基板の周辺部の不要レジストを露光する周辺露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
パーフォレーションホールを有するＴＡＢテープ等のフィルム回路基板（以下、テープと呼ぶ）の導電体（例えば銅箔）の周辺部のレジストを露光する装置として、先に特許文献１に記載のものを提案した。
上記特許文献１に記載のものは、テープに貼り付けられた銅箔のエッジを検出し、該エッジから所望の幅で露光する装置であり、銅箔のエッジを検出するセンサ光が、パーフォレーションホールにかかっても、銅箔のエッジを正確に検出するようにしたものである。
上記の特許文献１に記載のものは、銅箔エッジを検出するものであるが、銅箔のエッジからではなく、テープのエッジから所定の幅で露光を行ないたいとする要望もある。
その理由は以下の通りである。
図６（ａ）にフィルム回路基板の構成を示す。
同図に示すように、フィルム回路基板（テープＴＰ）には、回路等のパターン（以下パターンという）を形成するための銅箔Ｃｕが貼り付けられ、その両側にパーフォレーションホールＰＨが設けられる。
上記銅箔Ｃｕの部分にレジストＲを塗布し、回路パターンを露光する。その際、銅箔Ｃｕの周辺部の不要なレジストを除去するために、図６（ｂ）に示すように、露光光（ＵＶ光）を照射して銅箔のエッジから所望の幅で周辺露光を行う。
【０００３】
上記周辺露光において、銅箔Ｃｕ上に形成するパターンのテープ幅方向の位置は、パーフォレーションホールＰＨの位置を基準にして位置合せされ露光される。そして、パーフォレーションホールＰＨは、テープＴＰのエッジを基準にして形成される。一方、テープに貼り付けられている銅箔は、上記特許文献１の段落〔０００６〕にも記載されているように蛇行しており、銅箔エッジを基準としたのでは回路パターンの露光領域に食い込むことなく、周辺露光を行うのは難しい。
したがって、銅箔のエッジを基準にするよりも、テープエッジを基準にして所定幅を露光するほうが、銅箔上に形成したパターンに沿って、パターンのより近傍まで不要なレジストを露光することができるものと考えられる。そこで、エッジを基準として、周辺露光を行いたいという希望が増えてきた。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−６５０７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、まず、上記特許文献１に記載の装置におけるエッジ検出方法について簡単に説明する。
図７に示すように、フィルム回路基板ＴＰ（テープ）の銅箔部のエッジ部分を挟んでエッジ検出センサの投光部４ａと受光部４ｂを設け、受光部４ｂにより、投光部４ａからのセンサ光を受光する。
受光部４ｂからの出力は、図示しないセンサアンプにより電圧に変換され、周辺露光装置の制御部に入力される。
受光部５ｂが銅箔部に隠れてしまい、投光部４ａからのセンサ光が受光部４ｂに入力されないと受光量は０％となる。センサ光がテープＴＰの銅箔部分にかからず遮蔽されないで受光部に入力されると受光量は１００％となる。
そこで、センサの受光量が０％と１００％の中間、例えば５０％の時、エッジ検出位置と判断するように、エッジ検出センサから出力される電圧範囲を、センサアンプのオフセットやゲインのトリマにより調整し設定する。
具体的には、受光量が０％の時は出力電圧を−５Ｖ, １００％の時は＋５Ｖとし、０Ｖの時エッジ検出位置とする。周辺露光装置の制御部は、エッジ検出センサから入力される電圧がマイナスの時は、エッジ検出手段及び露光光照射領域を、テープ（の中心）から離れる方向に、また、入力される電圧がプラスの時は、テープ（の中心）に近づく方向に移動させ、０Ｖの時は移動を停止するように制御する。
【０００６】
上記特許文献１に記載のものは、銅箔のエッジを検出して該エッジから所望の幅で露光するものであるが、銅箔のエッジではなく、テープエッジを基準として上記のような制御を行なう場合には、エッジ検出センサでテープエッジを検出する必要がある。
しかし、それには次のような問題がある。
フイルム回路基板のテープ（フィルム）の材質は、上記特許文献１の段落〔０００２〕にも書かれているように、厚さ２５μｍ〜１２５μｍ程度のポリエステルやポリイミド等の樹脂フィルムであり、肉眼では濃く見えるものの透明である（可視光を透過する）。
上記特許文献１の装置においては、エッジを検出するために透過型のセンサを用いている。一般的な透過型センサは赤色ＬＥＤから出射する赤色光をセンサ光として使用する。しかし、波長の長い赤色光は上記の樹脂フィルムを透過しやすい。
【０００７】
図８に、フィルム回路基板に使用されているフイルムの透過率を示す。横軸は透過する光の波長（ｎｍ）、縦軸は透過率（％）である。同図は、サンプルとして５つの試料(1) 〜(10)の測定結果を示している。
透過型センサに使用される赤色光の波長は約６６０ｎｍで、この波長では、同図のサンプル(1) 〜(5) に示すように約３０％〜約７９％g 光が透過する。
例えば７９％透過するサンプル(5) のフィルムの場合、フィルムに遮蔽されていない時と、完全に遮蔽された時とでは受光部に受光される光量の差に２１％の違いしかなく、その範囲が狭い。
したがって、上記のようにエッジ検出するためのセンサアンプの調整が難しくなる。例えば、２１％の光量差を−５Ｖ〜＋５Ｖに対応するように、従来（光量差１００％）よりもゲインを上げなければならないが、そうするとノイズの影響を受けやすくなる。
【０００８】
また、たとえ調整ができたとしても次のような問題がある。
図８のように、樹脂フィルムは透過率が種類によって異なるため、露光を行なうフィルムの材質が変わると、受光量が何％のときにエッジを検出したとするか、という設定を変えなければならない。
すなわち、フィルムの材質が変わる毎に、調整と設定をやり直す必要がある。特に、異なった材質のテープが連続的に流れてくる場合には、短時間の間に設定し直さなければならず、事実上、設定をやり直すことは困難である。また、同じ材質のフィルムであっても、厚さが異なる場合があり、そうなると透過率も異なるので、同じ問題が生じる。
例えば、図８のサンプル(5) のフィルムは完全遮蔽でも７９％透過するので、受光量９０％の時エッジ検出位置（センサからの出力が０Ｖ）と調整したとする。次にサンプル(4) のフィルムのテープを処理しようとすると、このテープは透過率が(5) に比べると低いので、受光量９０％となる受光部の位置（センサからの出力が０Ｖとなる位置）は、サンプル(5) のフィルムの時に比べてテープから離れた位置になる。
このことは、テープの種類または透過率の違いによって、テープエッジ検出位置が異なるということである。特許文献１に記載される装置の場合、前記したように、テープエッジ検出位置を基準にして所定の幅で周辺露光を行なうようにしているので、テープエッジ検出位置が違ってしまうと、所望の露光幅で周辺露光を行なうことができなくなる。
【０００９】
上記のような問題に対処するため、青色のセンサ光を出力する青色ＬＥＤを用いたセンサ（以下青色センサという）を使うことが考えられる。青色ＬＥＤが出力する光の波長は、図８に示すように約４５０ｎｍである。同図に示すように、波長４５０ｎｍの光は、ほとんどのフィルムにおいて透過しない。
したがって、青色センサを用いれば、従来と同様の方法でテープエッジを検出することができる。しかし、これにも次のような問題がある。
現在市販されている青色ＬＥＤを用いたセンサは、スポット形状のセンサ光を出射し受光するタイプのものしかなく、上記特許文献１の装置に用いた赤色ＬＥＤのセンサのような、長方形状の広い面積の光を出射し受光するものは市販されていない。また、このために製造すると非常に高価なものとなる。
【００１０】
したがって、青色ＬＥＤを用いる場合には、上記スポット形状のセンサ光を出射するものを用いることになるが、この場合、次のような問題が生ずる。
図９に示すように、Ａ点は、センサ光が正常にテープのエッジを検出している状態である。しかし、ＴＡＢテープには、パーフォレーションホールＰＨが形成されており、予期せぬ外部からの衝撃による装置の振動や、テープ搬送中の急激で大きな蛇行などが発生すると、エッジ検出センサに対してテープの位置がずれ、センサ光がパーフォレーションホールＰＨの中に入ることがある。
センサ光がパーフォレーションホールＰＨの中に入ると、センサは所定の受光量になるように位置を移動する。しかし、センサ光の位置がＢまたはＣの位置（パーフォレーションホールのエッジ）に来ると、Ａの位置（テープのエッジ）と受光量が等しくなるので、装置は、テープエッジを検出したと判断し、センサ光の移動がその位置で止まる。したがって、装置はテープエッジを正しく検出できなくなる。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、スポット形状のセンサ光を投光するセンサを用いて、フィルム回路基板のテープエッジを検出し、テープエッジから所定の幅でフィルム回路基板の周辺露光を行うに際し、センサ光がパーフォレーションホールの中に入ったとしても、正しくテープエッジを検出できる位置にまで、センサ光が移動できるようにするとともに、フィルムの材質や厚さによってエッジ検出位置が異なることがないようにすることである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を次のようにして解決する。
（１）エッジ検出手段として、パーフォレーションホールの開口よりも小さいセンサ光を用いた投光手段とこの光を受光する受光手段を２組使用する。また、一方のセンサ光がパーフォレーションホールに入ったとしても、もう一方は入らないように、このセンサ光の間隔Ｐを、フィルム回路基板の搬送方向に沿って、パーフォレーションホールの幅ＰL よりも大きく、ピッチＰp からパーフォレーションホールの幅ＰL を引いた値よりも小さい所定の間隔Ｐ〔即ち、ＰL ＜Ｐ＜（Ｐｐ−ＰL ）〕または、この間隔ＰにピッチＰp のｎ倍（ｎ：自然数）を加えた値（Ｐ＋Ｐｐ×ｎ）となるように設定する。
そして、上記２個の受光手段で受光した受光量に基づき、上記移動制御手段によりエッジ検知手段を移動制御するとともに、上記照射領域移動機構により上記露光光の照射領域を移動させ、上記フィルム回路基板のエッジに沿って、該フイルム回路基板の周辺部のレジストを露光する。
上記のように、２つのセンサ光の間隔を所定の間隔Ｐとなるように設定すれば、パーフォレーションホールの開口よりも小さいセンサ光を用いて、フィルム回路基板に対して、エッジ検出手段がどの位置にあるかを確実に検出することが可能となり、フイルム回路基板の周辺部を該フィルムのエッジに沿って精度よく露光することが可能となる。
（２）上記（１）において、２つのセンサ光を２個の受光手段で受光して受光量を加算し、該加算した受光量が、１個の受光手段における最大受光量（例えば１００）よりも多く、また、２個の受光手段における最大受光量の和（例えば２００）より少ないある一定の値（例えば１５０）になるように、移動制御手段によりエッジ検知手段を移動制御するとともに、上記照射領域移動機構により、上記露光光の照射領域を移動させる。
上記のように受光量を加算し、その値が例えば１５０になるように制御することにより、一方のセンサ光がパーフオレーションホールに入り、受光量が１００になったとしても、もう一方はフィルムに遮蔽されており受光量は０で、受光量を加算すると１００であり、エッジ検出手段は、受光量が１５０になる位置まで移動する。このため、テープエッジを正しく検出して、ならい制御をスムースに行うことが可能となる。
（３）フィルム回路基板に使用される樹脂フィルムを透過しない波長を出射する、青色ＬＥＤからの出射される青色光をセンサ光として用いる。
上記のように青色光をセンサ光とすることにより、テープの種類に応じて、設定を調整することなく、テープエッジを正しく検出することができ、作業効率を向上させることができる。
また、フィルムを透過してしまう赤色光をセンサ光とする場合に比べ、エッジ検出するためのセンサアンプの感度を低く抑えることができ、ノイズ等の影響を受けにくくすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１、図２は本発明の実施例の周辺露光装置の構成を示す図であり、図１は、周辺露光装置をフィルム回路基板（以下、テープという）の搬送方向に直交する方向から見た図、図２は、フィルム回路基板の搬送方向からみた図である。
図１、図２に示す周辺露光装置は、パターン露光後のテープを現像する装置の上流側（現像前段階）に、テープ１本につき、両側に２台設けられ、テープは、現像のスピードに合わせて１. ０〜３. ０ｍ／分で連続的に搬送される。この搬送中に、銅箔周辺部の露光が行われる。
テープＴＰは、図１に示すように、送りローラＲ１, Ｒ２により、ステージ３上を、同図矢印方向に搬送される。ステージ３は、搬送中にテープＴＰが周辺露光光の光軸方向（図１の上下方向）に移動しないように設けられたものであり、テープを保持する機構を備えていない。
テープＴＰ上のレジストを露光するための露光光（紫外光）は、ランプ１ａ、集光鏡１ｂを備えた光源部１から、石英ライトガイド１ｃにより、投影レンズユニット２に導かれる。
投影レンズユニット２は露光光（紫外光）を集光し、出射部２ａから露光光を放射してステージ３上のテープＴＰの銅箔周辺部に照射する。
【００１４】
テープＴＰのエッジの検出は、センサ光を投光する投光部４ａと、投光部からのセンサ光を受光する受光部４ｂとからなるエッジ検出センサ４によって行なう。受光部４ｂは、センサ光の受光量に応じた信号を出力する。
上記投光部４ａと受光部４ｂは、後述するように、それぞれ２個の投光手段と２個の受光手段から構成され、上記投光部４ａの２個の投光手段は前記したようにスポット状の青色センサ光を投光し、受光部４ｂの２個の受光手段は、それぞれの投光手段の光を受光する。
エッジ検出センサ４の投光部４ａと受光部４ｂは、エッジ検出センサ取り付け部材６に取り付けられ、エッジ検出センサ取り付け部材６は、図２に示すようにセンサ光／露光光相対位置調整機構７（以下位置調整機構７と略記する）を介して、スライド台５に取り付けられる。
スライド台５は、駆動モータ８により図２（ａ）の矢印方向（ＴＡＢテープＴＰの搬送方向に直行する方向）に駆動される。スライド台５には投影レンズユニット２が取り付けられており、駆動モータ８により、スライド台５が図２の矢印方向に移動すると、それ時応じて投影レンズユニット２、エッジ検出センサ４も同方向に移動する。
【００１５】
位置調整機構７は、センサ光と露光光の相対位置を調整する機構であり、図２（ｂ）に示すように、位置調整機構７はマイクロメータ７ａを備え、マイクロメータ７ａにより、スライド台５と光センサ取り付け部材６の相対位置を調整することができる。
スライド台５には前記したように投影レンズユニット２が取り付けられ、光センサ取り付け部材６にはエッジ検出センサ４が取り付けられているので、マイクロメータ７ａを調整することにより、投影レンズユニット２から照射される露光光の照射位置と、エッジ検出センサ４の投光部４ａから照射されるセンサ光の相対位置を調整することができる。
図３にエッジ検出センサの構成を示す。
同図に示すように、エッジ検出センサ４は、２個の投光手段４１, ９１と、それぞれの投光手段４１, ９１からのスポット状の青色センサ光を受光する受光手段４２, ９２からなる。投光手段４１, ９１の先端には、レンズが設けられており、センサ光の大きさをパーフォレーションホールの孔の大きさよりも小さくなるように成形する。
【００１６】
投光手段４１, ９１からテープＴＰの周辺部に投光されるセンサ光のピッチＰは、次のように設定する。以下図４を用いて説明する。
図４はテープＴＰのパーフォレーションホールＰＨの周辺にスポット状のセンサ光が投光されている様子を示し、Ｌ１は投光手段４１からのセンサ光、Ｌ２は投光手段９１からのセンサ光である。なおセンサ光は、図３に示されるように斜めに投影されるため、テープＴＰ上に投影されるセンサ光の形状は楕円になるが、図４ではわかりやすいように円で示している。また、Ｐはセンサ光Ｌ１，Ｌ２の間隔（以下、センサのピッチＰという）、ＰL はパーフォレーションホールＰＨの開口部のテープ移動方向の幅（以下、パーフォレーションの幅ＰL という) 、ＰｐはパーフォレーションホールＰＨ間の距離（以下、パーフォレーションのピッチＰp という）である。
上記構成のエッジ検出センサ４により、テープＴＰのエッジを検出するには、２個のセンサ光Ｌ１，Ｌ２が丸ごとパーフォレーションホールＰＨの中に投光されてしまわないように、投光手段４１と投光手段９１の距離（図３の構成の場合は、受光手段４２と受光手段９２の距離でもある）を設定する必要がある。
これは、２個のセンサ光Ｌ１，Ｌ２が丸ごとパーフォレーションホールＰＨの中に入ってしまうと、その位置がパーフォレーションなのか、テープＴＰの外側なのか、判別がつかないからである。
【００１７】
このため、上記センサのピッチＰを以下のように設定する。
(1) 両方のセンサ光Ｌ１，Ｌ２が２個とも同じパーフォレーションホールＰＨに入らないようにするため、センサのピッチＰを、少なくともパーフォレーションの幅ＰL よりも広くする。即ち、ＰL ＜Ｐとする（図４ＡのピッチＰ以上）。
なお、後述するが、図４Ａに示すように両方のセンサ光Ｌ１，Ｌ２が一部ずつパーフォレーションホールＰＨに入っても問題ない。
(2) 一方のセンサ光が丸ごとパーフォレーションホールに入った時、もう一方のセンサ光が、となりのパーフォレーションホールに丸ごと入らないようにするため、センサのピッチＰを、２個のパーフオレーションホールＰＨに挟まれた幅（パーフォレーションのピッチＰp からパーフォレーションホールの幅ＰL 引いた長さ）よりも狭くする。すなわち、Ｐ＜（Ｐｐ−ＰL ）とする（図４ＢのピッチＰ以下）。
ただし、この場合、パーフォレーションの幅ＰL とピッチＰp の関係が、Ｐp −ＰL ＞ＰL 即ちＰｐ＞２ＰL の場合しか成り立たない。しかし、実用上は、ＴＡＢテープのパーフォレーションホールの幅ＰL とピッチＰp は、業界の規格により、ＰL ＝１. ４２ｍｍまたは１. ９８ｍｍ、Ｐp ＝４. ７５ｍｍと定められており、Ｐp ＝４. ７５ｍｍ＞２ＰL ＝２. ８４ｍｍまたは３. ９６ｍｍとなるので問題ない。
したがって、２個のセンサのピッチＰはＰL ＜Ｐ＜（Ｐp −ＰL ）の範囲で設定する。なお、センサのピッチは、上記ＰにパーフォレーションのピッチＰｐを自然数ｎ倍したものを加えた値（Ｐ＋Ｐｐ×ｎ）でも良い。
例えば、ｎ＝１（Ｐ＋Ｐｐ×ｎ）の場合、２個のセンサ光の位置はＬ１とＬ２’に示されるようになる。
なお、実際には、上記したパーフオレーションの幅ＰL ＝１. ９８ｍｍ、パーフォレーションのピッチＰｐ＝４. ７５ｍｍのＴＡＢテープの場合、ＰL ＝１. ９８ｍｍ＜Ｐ＜（Ｐｐ−ＰL ）＝２. ７７ｍｍとなる。
本実施例では、２個のセンサ光Ｌ１，Ｌ２のピッチＰが、この範囲のほぼ中間値である２. ３ｍｍになるように、投光手段４１と投光手段９１（受光手段４２と受光手段９２）間の距離を設定した。
【００１８】
図１、図２に戻り、図２の制御部９は、上記エッジ検出センサ４の出力に基づき、駆動モータ８を制御して、スライド台５を同図の矢印方向に移動させ、前記したように、投影レンズユニット２、エッジ検出センサ４を移動させてテープＴＰ上の露光光の照射領域を制御する。
すなわち、上記エッジ検出センサ４の２つの受光手段４２, ９２のそれぞれから受光される光の量（受光量）に応じた大きさのアナログ（電圧）信号が制御部９の加算部９ａに入力され、加算部９ａは２つの信号を加算する。
制御部９は、後述するように上記加算部９ａの出力に基づき、受光量に応じた電圧値が所定の値（例えば電圧が０Ｖ）になるように、エッジ検出センサ４を駆動モータ８により移動させる。この移動量に基づいて周辺露光光の照射領域が移動制御される。
例えば、受光量が設定された値より少なく、受光量に応じた電圧がマイナスの場合は、エッジ検出センサ４及び照射領域がテープＴＰの中心から離れるように、また、この電圧がプラスの場合はテープＴＰの中心に近づくように移動する。
さらに、受光量が設定された値に等しく、受光量に応じた電圧が０Ｖの場合、エッジ検出センサ４及び照射領域の移動は停止する。
図１、図２の構成の場合、エッジ検出センサ４と、投影レンズユニット２とが同一のスライド台５に固定されており、周辺露光光を出射する投影レンズユニット２の出射部２ａは光センサの移動とともに移動する。したがって、受光量が常に一定になるように、エッジ検出センサ４を移動させると、該センサ４の移動方向移動量と、同じ方向に同じ量だけ、出射部２ａ、即ち、露光光照射領域が移動する。
なお、この移動制御については、本出願人が先に提案した特許第２１４０５４１号に記載のものと基本的には同様である。
【００１９】
次に、図５を参照しながら本実施例のテープエッジの検出方法について説明する。
図５（ａ）は、テープＴＰ（フィルム回路基板）の周辺部に、２個の青色センサ光Ｌ１, Ｌ２が投光されている状態を示す。
ここで、説明を容易にするため、センサ光Ｌ１, Ｌ２の直径は１０ｍｍ（φ１０ｍｍ）、テープエッジＡからパーフォレーションホールＰＨのエッジＣまでの距離を２０ｍｍ、パーフォレーションホールＰＨの幅（テープ移動方向に対して直交方向の幅）を２０ｍｍ、パーフォレーションホールＰＨのエッジＥから銅箔のエッジＦまでの距離を５ｍｍとする。ここで、ＡはテープＴＰのエッジ、ＣはパーフォレーションホールＰＨのエッジ、ＥはエッジＣとは逆側のパーフォレーションホールＰＨのエッジ、Ｆは銅箔のエッジであり、ＢはテープＴＰのエッジＡとパーフォレーションホールＰＨのエッジＣの中間点、ＤはパーフォレーションホールＰＨの中間点である。
２個の青色センサ光Ｌ１，Ｌ２のピッチＰは、上記のようにして求めた間隔であり、２個のセンサ光Ｌ１，Ｌ２が同時に両方丸ごとパーフォレーションホールＰＨに入ってしまうことはない。
【００２０】
図５（ｂ−１）（ｂ−２）は、センサ光Ｌ１, Ｌ２がテープエッジの位置Ａから銅箔エッジの位置Ｆに向かって移動したときの受光手段４２，９２が出力するアナログ電圧値の変化を示す図である。横軸はセンサ光Ｌ１, Ｌ２の中心Ｏ１，Ｏ２の位置を示す。
なお、ここでは説明を容易にするため、縦軸に示した受光手段４２，９２が出力するアナログ電圧値は受光量に比例するとし、センサ光Ｌ１，Ｌ２がテープＴＰのエッジＡ，Ｃ，Ｅによって遮られる時、受光量（＝電圧値）が直線的に変化するとしている。
図５（ａ）において、センサ光Ｌ１，Ｌ２がテープＴＰのエッジＡから中間点Ｄ方向に移動する時、センサ光Ｌ１，Ｌ２の各位置における２つの受光手段４２，９２の受光量（電圧値）は次のようになる。
(1) 図５（ｂ−１）に示すように、センサ光Ｌ１がテープエッジＡよりも外にある時、受光手段４２の受光量は最大であり、センサ光Ｌ１の一部がテープエッジＡにかかると徐々に低下する。
センサ光Ｌ１の中心Ｏ１がＡの位置にきた時、センサ光Ｌ１の半分がテープによって遮られる。受光量は最大のときの値と、次に示すセンサ光Ｌ１が全てテープＴＰにより遮られている時の値との半分になる。
【００２１】
(2) センサ光Ｌ１が全てテープＴＰに遮られている時（例えば中心Ｏ１がＢの位置にある時）は、受光量が最も低くなる。なお、青色センサを用いた場合でもフィルムの材質によっては若干透過するものもあるので、ここでは受光量を０とはしていない。
(3) センサ光Ｌ１の一部がエッジＣをすぎると、受光量は徐々に増加し、中心Ｏ１がＣにある時、Ａの時と同じ受光量になる。センサ光Ｌ１全体がパーフォレーションホールＰＨにある時（例えば中心Ｏ１がＤの位置）受光量が最大となる。
(4) センサ光Ｌ１の一部がエッジＥをすぎると再び受光量は減少する。中心Ｏ１がＥにある時、受光量は、Ａ, Ｃと同じ量になる。
(5) センサ光Ｌ１の一部が、銅箔のエッジＦに達するとさらに受光量は低下する。銅箔によりセンサ光Ｌ１は完全に遮光されるからである。
中心Ｏ１が銅箔のエッジＦにある時、受光量はＢの時の半分になり、センサ光Ｌ１全体が銅箔にかかると、完全に遮光されて受光量は０になる。
【００２２】
一方、センサ光Ｌ２の場合は、次のようになる。
(1) 図５（ｂ−２）に示すように、センサ光Ｌ２全体がテープにより遮られるまではセンサ光Ｌ１の場合と同じ受光量変化を示す。しかし、その後は途中にパーフォレーションホールＰＨがないので（中心Ｏ２がＢからＥまでの間）、低い受光量で一定である。
(2) その後、センサ光Ｌ２の中心Ｏ２が銅箔のエッジＦにある時、受光量が半分になり、センサ光Ｌ２全体が銅箔にかかると、完全に遮光されて受光量は０になる。
【００２３】
図５（ｃ）は、上記センサ光Ｌ１，センサ光Ｌ２を受光する受光手段４２，９２から出力されるアナログ電圧値を加算した値を示す図である。
図５（ｃ）では、片方の受光手段による受光量が最大となったときを受光量１００としており、両方の受光手段４２，９２の受光量が最大となると、両者を加算した値は２００となる。したがって、両者を加算した値は、次のようになる。
(1) 両方のセンサがテープエッジから外にある場合、受光量は２００となる。
(2) 片方のセンサ光がパーフォレーションホールＰＨ内にある場合、該センサ光を受光する受光手段の受光量は１００となる。
【００２４】
一方、もう片方のセンサ光は、前記のピッチＰで設定してあるので、パーフォレーションホールＰＨ内に入ることはない。このため、該センサ光を受光する受光手段の受光量は０かテープを透過する光を考慮しても０に近い小さな受光量になる。
したがって、両者を加算するとほぼ１００になる。この状態は図５（ｃ）ではＤの位置であり、この例では受光量を加算した値は１１０となっている。
(3) 両方のセンサ光Ｌ１，Ｌ２の一部がパーフォレーションＰＨに含まれても、上記したピッチで設定されているので、上記と同様にほぼ１００になる。
(4) 両方のセンサ光Ｌ１，Ｌ２が、銅箔以外のテープにより遮られている状態の場合は、両者の受光量を加算すると、０か透過光分を含めても近い小さな値になる。図５（ｃ）ではＢの位置であり、受光量はほぼ２０である。
(5) 両方のセンサ光が銅箔上の場合は、完全に遮光されて受光量は０となる。
【００２５】
以上のことから、本実施例では、図５（ｃ）に示すように、テープエッジＡを検出するための一定の受光量を、一方のセンサ光がパーフォレーションホールＰＨに入った時の加算受光量と、両方のセンサがテープエッジＡの外側にあるときの受光量との間の値、例えば１５０に設定する。
すなわち、受光手段４２，９２の出力を加算した受光量が１５０になる場合は、２個のセンサ光Ｌ１，Ｌ２がテープエッジＡをとらえた状態しかありえない。このように設定することにより、片方のセンサ光が丸ごと、または両方のセンサ光の一部がパーフォレーションホールＰＨ内に入ったとしても、制御部９は、受光量が１５０になるテープエッジ位置にまでエッジ検出センサ４を移動させる。これにより、テープエッジＡを正しく検出することができる。
【００２６】
以上に基づき、前記制御部９は以下のように、エッジ検出センサ４及び露光光照射領域の位置を制御する。
エッジ検出センサ４のセンサ光Ｌ１，Ｌ２がテープＴＰの内側に位置する場合、その加算した受光量は常に１５０以下であり、設定された値より小さいので、受光量に応じた電圧値はマイナスになる。
したがって、エッジ検出センサ４及び照射領域は、テープＴＰの中心から離れる方向に移動し、やがてテープエッジＡに達し、受光量が１５０となりその位置で停止する。
また、エッジ検出センサ４がテープＴＰの外側に位置する場合、その加算した受光量は常に１５０以上であり、設定された値より大きいので、受光量に応じた電圧値はプラスになる。
したがって、エッジ検出センサ４及び照射領域は、テープの中心に近づく方向に移動し、やがてテープエッジＡに達し、受光量が１５０となりその位置で停止する。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）エッジ検出手段として、パーフォレーションホールの開口よりも小さいセンサ光を用いた投光手段とこの光を受光する受光手段を２組使用し、２つのセンサ光の間隔を所定の間隔Ｐとなるように設定したので、フィルム回路基板に対して、エッジ検出手段がどの位置にあるかを確実に検出することが可能となる。このため、フイルム回路基板の周辺部を該フィルムのエッジに沿って精度よく露光することが可能となる。
（２）２つのセンサ光を２個の受光手段で受光して受光量を加算し、該加算した受光量が、１個の受光手段における最大受光量よりも多く、また、２個の受光手段における最大受光量の和より少ないある一定の値になるように、移動制御手段によりエッジ検知手段を移動制御するとともに、上記照射領域移動機構により、上記露光光の照射領域を移動させることにより、テープエッジを正しく検出して、ならい制御をスムースに行うことが可能となる。
（３）フィルム回路基板に使用される樹脂フィルムを透過しない波長を出射する、青色光をセンサ光とすることにより、テープの種類に応じて、設定を調整することなく、テープエッジを正しく検出することができ、作業効率を向上させることができる。
また、フィルムを透過してしまう赤色光をセンサ光とする場合に比べ、エッジ検出するためのセンサアンプの感度を低く抑えることができ、ノイズ等の影響を受けにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の周辺露光装置の構成を示す図（１）である。
【図２】本発明の実施例の周辺露光装置の構成を示す図（２）である。
【図３】本発明の実施例のエッジ検出センサの構成を示す図である。
【図４】センサ光のピッチＰの設定を説明する図である。
【図５】本発明の実施例のエッジ検出センサの出力によりテープエッジを検出する方法を説明する図である。
【図６】フィルム回路基板の一部と、レジストを塗布して露光光を照射して周辺露光を行う状態を説明する図である。
【図７】従来のエッジ検出方法を説明する図である。
【図８】フィルム回路基板に使用されているフイルムの透過率を示す図である。
【図９】スポット形状のセンサ光を用いた場合に生ずる問題点を説明する図である。
【符号の説明】
１光源部
１ａランプ
１ｂ集光鏡
１ｃ石英ライトガイド
２投影レンズユニット
２ａ出射部
３ステージ
４エッジ検出センサ
４ａ投光部
４ｂ受光部
４１，９１投光手段
４２，９２受光手段
５スライド台
６エッジ検出センサ取付け部材
７センサ光／露光光相対位置調整手段
７ａマイクロメータ
８駆動モータ
９制御部
９ａ加算部
ＴＰテープ（フィルム回路基板）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a peripheral exposure apparatus that exposes an unnecessary resist at the periphery of a film circuit board such as a TAB tape having a perforation hole.
[0002]
[Prior art]
As an apparatus for exposing a resist around a conductor (for example, a copper foil) of a film circuit board (hereinafter referred to as a tape) such as a TAB tape having a perforation hole, the apparatus described in Patent Document 1 has been proposed.
The one described in Patent Document 1 is an apparatus that detects an edge of a copper foil attached to a tape and exposes the edge with a desired width. The sensor light for detecting the edge of the copper foil is a perforation hole. In this case, the edge of the copper foil is accurately detected.
Although the thing of said patent document 1 detects a copper foil edge, there is also a request to perform exposure with a predetermined width not from the edge of the copper foil but from the edge of the tape.
The reason is as follows.
FIG. 6A shows the configuration of the film circuit board.
As shown in the figure, a copper foil Cu for forming a circuit pattern (hereinafter referred to as a pattern) is attached to a film circuit board (tape TP), and perforation holes PH are provided on both sides thereof.
A resist R is applied to the copper foil Cu and the circuit pattern is exposed. At that time, in order to remove unnecessary resist in the peripheral part of the copper foil Cu, as shown in FIG. 6B, exposure light (UV light) is irradiated and the peripheral exposure is performed with a desired width from the edge of the copper foil. I do.
[0003]
In the peripheral exposure, the position of the pattern formed on the copper foil Cu in the tape width direction is aligned and exposed with reference to the position of the perforation hole PH. The perforation hole PH is formed with reference to the edge of the tape TP. On the other hand, the copper foil affixed to the tape meanders as described in paragraph [0006] of the above-mentioned Patent Document 1, and the exposure area of the circuit pattern is based on the copper foil edge. It is difficult to perform peripheral exposure without digging in.
Therefore, it is possible to expose an unnecessary resist to the vicinity of the pattern along the pattern formed on the copper foil, by exposing the predetermined width based on the tape edge rather than using the edge of the copper foil as a reference. It is considered possible. Therefore, there has been an increase in the desire to perform peripheral exposure based on edges.
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2002-6507 A
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
Here, first, an edge detection method in the apparatus described in Patent Document 1 will be briefly described.
As shown in FIG. 7, a light projecting portion 4a and a light receiving portion 4b of an edge detection sensor are provided across the edge portion of the copper foil portion of the film circuit board TP (tape), and from the light projecting portion 4a by the light receiving portion 4b. Receives sensor light.
The output from the light receiving unit 4b is converted into a voltage by a sensor amplifier (not shown) and input to the control unit of the peripheral exposure apparatus.
If the light receiving part 5b is hidden behind the copper foil part and the sensor light from the light projecting part 4a is not input to the light receiving part 4b, the amount of received light is 0%. If the sensor light does not cover the copper foil portion of the tape TP and is not shielded and is input to the light receiving portion, the amount of received light is 100%.
Therefore, when the received light amount of the sensor is between 0% and 100%, for example, 50%, the voltage range output from the edge detection sensor is determined by the offset or gain trimmer of the sensor amplifier so that it is determined as the edge detection position. Adjust and set.
Specifically, the output voltage is -5V when the amount of received light is 0%, + 5V when it is 100%, and the edge detection position when 0V. When the voltage input from the edge detection sensor is negative, the control unit of the peripheral exposure apparatus moves the edge detection means and the exposure light irradiation area away from the tape (center) and the input voltage is positive. In this case, the tape is moved in a direction approaching the tape (center), and when it is 0V, the movement is stopped.
[0006]
Although the thing of the said patent document 1 detects the edge of copper foil, and exposes by the desired width from this edge, not the edge of copper foil but the above control on the basis of a tape edge. When performing, it is necessary to detect a tape edge with an edge detection sensor.
However, it has the following problems.
The material of the tape (film) of the film circuit board is a resin film such as polyester or polyimide having a thickness of about 25 μm to 125 μm as described in paragraph [0002] of the above-mentioned Patent Document 1, and is dark to the naked eye. What is visible is transparent (transmits visible light).
In the apparatus of Patent Document 1, a transmissive sensor is used to detect an edge. A general transmission type sensor uses red light emitted from a red LED as sensor light. However, red light having a long wavelength easily passes through the resin film.
[0007]
FIG. 8 shows the transmittance of the film used for the film circuit board. The horizontal axis represents the wavelength (nm) of transmitted light, and the vertical axis represents the transmittance (%). The figure shows the measurement results of five samples (1) to (10) as samples.
The wavelength of red light used in the transmission type sensor is about 660 nm, and at this wavelength, about 30% to about 79% g of light is transmitted as shown in samples (1) to (5) in FIG.
For example, in the case of the film of sample (5) that transmits 79%, there is only a difference of 21% in the difference in the amount of light received by the light receiving part between when the film is not shielded and when it is completely shielded. Is narrow.
Therefore, it becomes difficult to adjust the sensor amplifier for edge detection as described above. For example, the gain must be increased as compared with the conventional case (light amount difference 100%) so that the light amount difference of 21% corresponds to −5V to + 5V, but this makes it more susceptible to noise.
[0008]
Even if the adjustment can be made, there are the following problems.
As shown in FIG. 8, since the transmittance of the resin film varies depending on the type, if the material of the film to be exposed changes, the setting of what percentage of the received light amount should detect the edge must be changed. .
That is, every time the film material changes, adjustment and setting need to be performed again. In particular, when tapes of different materials flow continuously, they must be set again in a short time, and it is practically difficult to redo the setting. Moreover, even if it is a film of the same material, thickness may differ, and since the transmittance | permeability also changes in that case, the same problem will arise.
For example, since the film of sample (5) in FIG. 8 transmits 79% even with complete shielding, it is assumed that the edge detection position (output from the sensor is 0 V) is adjusted when the amount of received light is 90%. Next, when trying to process the film tape of the sample (4), the transmittance of this tape is lower than that of (5). Therefore, the position of the light receiving portion where the received light amount becomes 90% (the output from the sensor becomes 0V). The position is far from the tape as compared to the film of sample (5).
This means that the tape edge detection position differs depending on the type of tape or transmittance. In the case of the apparatus described in Patent Document 1, as described above, the peripheral exposure is performed with a predetermined width on the basis of the tape edge detection position. The peripheral exposure cannot be performed with the exposure width.
[0009]
In order to deal with the above problems, it is conceivable to use a sensor using a blue LED that outputs blue sensor light (hereinafter referred to as a blue sensor). The wavelength of light output from the blue LED is about 450 nm as shown in FIG. As shown in the figure, light having a wavelength of 450 nm is not transmitted through most films.
Therefore, if the blue sensor is used, the tape edge can be detected by the same method as the conventional one. However, this also has the following problems.
Currently, commercially available sensors using blue LEDs are only of a type that emits and receives spot-shaped sensor light, and have a wide rectangular shape, such as the red LED sensor used in the apparatus of Patent Document 1. There are no commercially available products that emit and receive light of an area. Moreover, if it manufactures for this purpose, it will become very expensive.
[0010]
Therefore, when a blue LED is used, one that emits the spot-shaped sensor light is used. In this case, the following problem occurs.
As shown in FIG. 9, point A is a state in which the sensor light normally detects the edge of the tape. However, the TAB tape has a perforation hole PH, and if the device vibrates due to an unexpected external shock or a sudden large meander during tape transport, the tape is detected against the edge detection sensor. The position may shift, and sensor light may enter the perforation hole PH.
When the sensor light enters the perforation hole PH, the sensor moves its position so that a predetermined amount of light is received. However, when the position of the sensor light comes to the position B or C (perforation hole edge), the received light amount is equal to the position A (tape edge), so the apparatus determines that the tape edge has been detected, The movement of the sensor light stops at that position. Therefore, the apparatus cannot correctly detect the tape edge.
[0011]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to detect a tape edge of a film circuit board by using a sensor that projects spot-shaped sensor light, and to detect a predetermined width from the tape edge. When performing peripheral exposure of the film circuit board, even if the sensor light enters the perforation hole, the sensor light can be moved to a position where the tape edge can be detected correctly, and the material and thickness of the film. This is to prevent the edge detection position from being different depending on the case.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The present invention solves the above problems as follows.
(1) Two sets of light projecting means using sensor light smaller than the opening of the perforation hole and light receiving means for receiving this light are used as edge detecting means. Further, even if one sensor light enters the perforation hole, the interval P of the sensor light is larger than the width PL of the perforation hole along the transport direction of the film circuit board so that the other does not enter, A predetermined interval P smaller than the value obtained by subtracting the width PL of the perforation hole from the pitch Pp [ie, PL <P <(Pp−PL)], or n times the pitch Pp (n: natural number) is added to the interval P. The value is set to (P + Pp × n).
Then, based on the amount of received light received by the two light receiving means, the movement control means controls the movement of the edge detecting means, and the irradiation area moving mechanism moves the exposure light irradiation area, thereby the film circuit board. The resist on the periphery of the film circuit board is exposed along the edges of the film.
As described above, if the distance between the two sensor lights is set to be the predetermined distance P, the position of the edge detection means with respect to the film circuit board using the sensor light smaller than the opening of the perforation hole. Therefore, it is possible to accurately detect whether the film is in the peripheral portion of the film circuit board along the edge of the film.
(2) In the above (1), the two sensor lights are received by the two light receiving means and the received light amounts are added, and the added light reception amount is based on the maximum received light amount (for example, 100) in one light receiving means. In addition, the edge detection means is moved and controlled by the movement control means so that it becomes a certain value (for example, 150) smaller than the sum of the maximum light receiving amounts (for example, 200) in the two light receiving means, and the irradiation The irradiation area of the exposure light is moved by the area moving mechanism.
By adding the received light amount as described above and controlling the value to be, for example, 150, even if one sensor light enters the perforation hole and the received light amount reaches 100, the other is film. The amount of received light is 0, and the amount of received light is 100 when the amount of received light is added. The edge detecting means moves to a position where the amount of received light is 150. For this reason, it becomes possible to detect the tape edge correctly and perform smooth control.
(3) Blue light emitted from a blue LED that emits a wavelength that does not pass through a resin film used for a film circuit board is used as sensor light.
By using blue light as sensor light as described above, it is possible to correctly detect the tape edge without adjusting the setting in accordance with the type of tape, and work efficiency can be improved.
In addition, the sensitivity of the sensor amplifier for detecting the edge can be kept low compared to the case where the red light that passes through the film is used as the sensor light, so that it can be made less susceptible to noise and the like.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
1 and 2 are views showing the configuration of a peripheral exposure apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a view of the peripheral exposure apparatus as viewed from a direction perpendicular to the transport direction of a film circuit board (hereinafter referred to as a tape). FIG. 2 and FIG. 2 are views as seen from the transport direction of the film circuit board.
The peripheral exposure apparatus shown in FIG. 1 and FIG. 2 is provided on the upstream side (pre-development stage) of the apparatus for developing the tape after pattern exposure on each side of the tape. In total, it is continuously conveyed at 1.0 to 3.0 m / min. During this conveyance, exposure of the copper foil peripheral part is performed.
As shown in FIG. 1, the tape TP is conveyed on the stage 3 in the direction of the arrow by the feed rollers R1 and R2. The stage 3 is provided so that the tape TP does not move in the optical axis direction of the peripheral exposure light (up and down direction in FIG. 1) during conveyance, and does not include a mechanism for holding the tape.
Exposure light (ultraviolet light) for exposing the resist on the tape TP is guided to the projection lens unit 2 by the quartz light guide 1c from the light source unit 1 including the lamp 1a and the condenser mirror 1b.
The projection lens unit 2 condenses the exposure light (ultraviolet light), emits the exposure light from the emission part 2a, and irradiates the copper foil peripheral part of the tape TP on the stage 3.
[0014]
The edge of the tape TP is detected by an edge detection sensor 4 including a light projecting unit 4a that projects sensor light and a light receiving unit 4b that receives sensor light from the light projecting unit. The light receiving unit 4b outputs a signal corresponding to the amount of sensor light received.
As will be described later, the light projecting unit 4a and the light receiving unit 4b are each composed of two light projecting units and two light receiving units, and the two light projecting units of the light projecting unit 4a are as described above. The spot-like blue sensor light is projected, and the two light receiving means of the light receiving unit 4b receive the light of the respective light projecting means.
The light projecting portion 4a and the light receiving portion 4b of the edge detection sensor 4 are attached to an edge detection sensor attachment member 6, and the edge detection sensor attachment member 6 is a sensor light / exposure light relative position adjustment mechanism 7 (see FIG. 2). (Hereinafter abbreviated as “position adjustment mechanism 7”).
The slide table 5 is driven by a drive motor 8 in the direction of the arrow in FIG. 2A (a direction perpendicular to the transport direction of the TAB tape TP). The projection lens unit 2 is attached to the slide table 5. When the slide table 5 is moved in the direction of the arrow in FIG. 2 by the drive motor 8, the projection lens unit 2 and the edge detection sensor 4 are also moved in the same direction. Moving.
[0015]
The position adjustment mechanism 7 is a mechanism for adjusting the relative position of the sensor light and the exposure light. As shown in FIG. 2B, the position adjustment mechanism 7 includes a micrometer 7a, and the slide table 5 is provided by the micrometer 7a. And the relative position of the optical sensor mounting member 6 can be adjusted.
Since the projection lens unit 2 is attached to the slide base 5 as described above, and the edge detection sensor 4 is attached to the optical sensor attachment member 6, irradiation from the projection lens unit 2 is performed by adjusting the micrometer 7a. The exposure light irradiation position and the relative position of the sensor light irradiated from the light projecting unit 4a of the edge detection sensor 4 can be adjusted.
FIG. 3 shows the configuration of the edge detection sensor.
As shown in the figure, the edge detection sensor 4 includes two light projecting units 41 and 91 and light receiving units 42 and 92 for receiving spot-like blue sensor light from the respective light projecting units 41 and 91. . A lens is provided at the tip of the light projecting means 41 and 91, and the size of the sensor light is formed to be smaller than the size of the hole of the perforation hole.
[0016]
The pitch P of the sensor light projected from the light projecting means 41, 91 to the peripheral portion of the tape TP is set as follows. This will be described below with reference to FIG.
FIG. 4 shows a state in which spot-like sensor light is projected around the perforation hole PH of the tape TP, L1 is sensor light from the light projecting means 41, and L2 is sensor light from the light projecting means 91. . Since the sensor light is projected obliquely as shown in FIG. 3, the shape of the sensor light projected on the tape TP is an ellipse, but in FIG. 4, it is shown as a circle for easy understanding. P is the distance between the sensor lights L1 and L2 (hereinafter referred to as the sensor pitch P), PL is the width of the opening of the perforation hole PH in the tape moving direction (hereinafter referred to as the perforation width PL), and Pp is the perforation hole PH. Distance (hereinafter referred to as perforation pitch Pp).
In order to detect the edge of the tape TP by the edge detection sensor 4 having the above configuration, the light projecting means 41 and the light projecting means 41 are projected so that the entire two sensor lights L1 and L2 are not projected into the perforation hole PH. It is necessary to set the distance of the light means 91 (in the case of the configuration of FIG. 3, it is also the distance between the light receiving means 42 and the light receiving means 92).
This is because if the two sensor lights L1 and L2 enter the perforation hole PH as a whole, it is impossible to determine whether the position is perforation or outside the tape TP.
[0017]
For this reason, the pitch P of the sensor is set as follows.
(1) In order to prevent both of the sensor lights L1 and L2 from entering the same perforation hole PH, the sensor pitch P is made wider than at least the perforation width PL. That is, P L <P (pitch P or more in FIG. 4A).
As will be described later, there is no problem even if both sensor lights L1 and L2 partially enter perforation hole PH as shown in FIG. 4A.
(2) When one sensor light enters the entire perforation hole, the sensor pitch P is set to two perforation holes PH so that the other sensor light does not enter the entire perforation hole. It is made narrower than the width (the length obtained by subtracting the perforation hole width PL from the perforation pitch Pp). That is, P <(Pp−PL) (below the pitch P in FIG. 4B).
In this case, however, the relationship between the perforation width PL and the pitch Pp is valid only when Pp−PL> PL, that is, Pp> 2PL. However, in practice, the width PL and pitch Pp of the perforation holes of the TAB tape are determined by the industry standard as PL = 1.42 mm or 1.98 mm and Pp = 4.75 mm, and Pp = 4.75 mm. Since> 2PL = 2.84 mm or 3.96 mm, there is no problem.
Therefore, the pitch P of the two sensors is set in the range of PL <P <(Pp−PL). The sensor pitch may be a value (P + Pp × n) obtained by adding the perforation pitch Pp multiplied by a natural number n to P.
For example, when n = 1 (P + Pp × n), the positions of the two sensor lights are as indicated by L1 and L2 ′.
Actually, in the case of a TAB tape having a perforation width PL = 1.98 mm and a perforation pitch Pp = 4.75 mm, PL = 1.98 mm <P <(Pp-PL) = 2.77 mm. It becomes.
In the present embodiment, the light projecting means 41 and the light projecting means 91 (the light receiving means 42 and the light receiving means) are set so that the pitch P of the two sensor lights L1 and L2 is approximately 2.3 mm which is an intermediate value in this range. 92) was set.
[0018]
1 and 2, the control unit 9 in FIG. 2 controls the drive motor 8 based on the output of the edge detection sensor 4 to move the slide base 5 in the direction of the arrow in FIG. Further, the projection lens unit 2 and the edge detection sensor 4 are moved to control the irradiation area of the exposure light on the tape TP.
That is, an analog (voltage) signal having a magnitude corresponding to the amount of light received from each of the two light receiving means 42 and 92 of the edge detection sensor 4 (light reception amount) is input to the adding unit 9 a of the control unit 9. The adder 9a adds the two signals.
As will be described later, the control unit 9 moves the edge detection sensor 4 with the drive motor 8 so that the voltage value corresponding to the amount of received light becomes a predetermined value (for example, the voltage is 0 V) based on the output of the addition unit 9a. Let Based on this movement amount, the irradiation area of the peripheral exposure light is controlled to move.
For example, when the amount of received light is less than the set value and the voltage corresponding to the amount of received light is negative, the edge detection sensor 4 and the irradiation area are separated from the center of the tape TP, and when this voltage is positive Move so as to approach the center of the tape TP.
Further, when the received light amount is equal to the set value and the voltage corresponding to the received light amount is 0 V, the movement of the edge detection sensor 4 and the irradiation region is stopped.
In the case of the configuration of FIGS. 1 and 2, the edge detection sensor 4 and the projection lens unit 2 are fixed to the same slide base 5, and the emitting portion 2a of the projection lens unit 2 that emits the peripheral exposure light is an optical sensor. Move with the move. Therefore, when the edge detection sensor 4 is moved so that the amount of received light is always constant, the emission part 2a, that is, the exposure light irradiation region moves by the same amount in the same direction as the movement direction movement amount of the sensor 4. To do.
This movement control is basically the same as that described in Japanese Patent No. 2140541 previously proposed by the present applicant.
[0019]
Next, the tape edge detection method of this embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 5A shows a state in which two blue sensor lights L1 and L2 are projected on the peripheral portion of the tape TP (film circuit board).
Here, for ease of explanation, the diameters of the sensor lights L1 and L2 are 10 mm (φ10 mm), the distance from the tape edge A to the edge C of the perforation hole PH is 20 mm, and the width of the perforation hole PH (with respect to the tape moving direction) And the distance from the edge E of the perforation hole PH to the edge F of the copper foil is 5 mm. Here, A is the edge of the tape TP, C is the edge of the perforation hole PH, E is the edge of the perforation hole PH opposite to the edge C, F is the edge of the copper foil, and B is the edge A of the tape TP. The middle point of the edge C of the perforation hole PH, D is the middle point of the perforation hole PH.
The pitch P of the two blue sensor lights L1 and L2 is the interval obtained as described above, and the two sensor lights L1 and L2 do not enter the perforation hole PH all together.
[0020]
5B-1 and 5B-2 show analog voltage values output by the light receiving means 42 and 92 when the sensor lights L1 and L2 move from the tape edge position A toward the copper foil edge position F. FIG. It is a figure which shows the change of. The horizontal axis indicates the positions of the centers O1 and O2 of the sensor lights L1 and L2.
For ease of explanation, it is assumed that the analog voltage values output from the light receiving means 42 and 92 shown on the vertical axis are proportional to the amount of received light, and the sensor lights L1 and L2 are the edges A, C, and E of the tape TP. It is assumed that the amount of received light (= voltage value) changes linearly when it is blocked by.
5A, when the sensor lights L1 and L2 move in the direction of the intermediate point D from the edge A of the tape TP, the received light amounts (voltage values) of the two light receiving means 42 and 92 at the respective positions of the sensor lights L1 and L2. ) Is as follows.
(1) As shown in FIG. 5 (b-1), when the sensor light L1 is outside the tape edge A, the amount of light received by the light receiving means 42 is maximum, and a part of the sensor light L1 is part of the tape edge A. When it takes, it gradually decreases.
When the center O1 of the sensor light L1 reaches the position A, half of the sensor light L1 is blocked by the tape. The amount of received light is half of the maximum value and the value when all the sensor light L1 shown below is blocked by the tape TP.
[0021]
(2) When all of the sensor light L1 is blocked by the tape TP (for example, when the center O1 is at the position B), the amount of received light is the lowest. Even when a blue sensor is used, some light may be transmitted depending on the material of the film, so the amount of received light is not set to 0 here.
(3) When a part of the sensor light L1 passes the edge C, the amount of received light gradually increases. When the center O1 is at C, the amount of received light is the same as that at A. When the entire sensor light L1 is in the perforation hole PH (for example, the position where the center O1 is D), the amount of received light becomes maximum.
(4) When a part of the sensor light L1 passes the edge E, the amount of received light decreases again. When the center O1 is at E, the amount of received light is the same as A and C.
(5) When a part of the sensor light L1 reaches the edge F of the copper foil, the amount of received light further decreases. This is because the sensor light L1 is completely shielded by the copper foil.
When the center O1 is at the edge F of the copper foil, the amount of received light is half that of B, and when the entire sensor light L1 is applied to the copper foil, it is completely shielded and the amount of received light becomes zero.
[0022]
On the other hand, the case of the sensor light L2 is as follows.
(1) As shown in FIG. 5B-2, the same change in the amount of received light as in the case of the sensor light L1 is shown until the entire sensor light L2 is blocked by the tape. However, thereafter, since there is no perforation hole PH in the middle (between the center O2 from B to E), the amount of received light is constant at a low level.
(2) Thereafter, when the center O2 of the sensor light L2 is at the edge F of the copper foil, the amount of received light is halved. When the entire sensor light L2 is applied to the copper foil, the light is completely shielded and the amount of received light becomes zero. .
[0023]
FIG. 5C shows a value obtained by adding analog voltage values output from the light receiving means 42 and 92 that receive the sensor light L1 and the sensor light L2.
In FIG. 5 (c), when the amount of light received by one of the light receiving means is maximized, the amount of received light is 100. When the amounts of light received by both the light receiving means 42 and 92 are maximized, the sum of both is 200. Become. Therefore, the value obtained by adding both is as follows.
(1) When both sensors are outside the tape edge, the amount of received light is 200.
(2) When one sensor light is in the perforation hole PH, the amount of light received by the light receiving means for receiving the sensor light is 100.
[0024]
On the other hand, since the other sensor light is set at the pitch P, it does not enter the perforation hole PH. For this reason, the amount of light received by the light receiving means for receiving the sensor light is 0 or a small amount of light received that is close to 0 even when light passing through the tape is taken into consideration.
Therefore, when both are added, it becomes almost 100. This state is the position D in FIG. 5C, and the value obtained by adding the amount of received light is 110 in this example.
(3) Even if a part of both the sensor lights L1 and L2 is included in the perforation PH, it is set to the above-mentioned pitch, so that it becomes almost 100 as described above.
(4) When both sensor lights L1 and L2 are shielded by a tape other than copper foil, adding the amounts of light received from both of them becomes 0 or a small value that is close to including the transmitted light. In FIG. 5C, the position is B and the amount of received light is approximately 20.
(5) When both sensor lights are on a copper foil, they are completely shielded and the amount of received light is zero.
[0025]
From the above, in this embodiment, as shown in FIG. 5C, a constant received light amount for detecting the tape edge A is added, and the added received light amount when one sensor light enters the perforation hole PH. And a value between the received light amount when both sensors are outside the tape edge A, for example, 150.
That is, when the amount of light received by adding the outputs of the light receiving means 42 and 92 becomes 150, the two sensor lights L1 and L2 can only be in a state of capturing the tape edge A. By setting in this way, even if one of the sensor lights is wholly or part of both sensor lights enters the perforation hole PH, the control unit 9 can reach the tape edge position where the received light amount is 150. The edge detection sensor 4 is moved. Thereby, the tape edge A can be detected correctly.
[0026]
Based on the above, the control unit 9 controls the positions of the edge detection sensor 4 and the exposure light irradiation region as follows.
When the sensor lights L1 and L2 of the edge detection sensor 4 are located inside the tape TP, the added light reception amount is always 150 or less and smaller than the set value, so that the voltage value corresponding to the light reception amount is negative. Become.
Therefore, the edge detection sensor 4 and the irradiation region move in a direction away from the center of the tape TP, eventually reach the tape edge A, and the received light amount becomes 150 and stops at that position.
Further, when the edge detection sensor 4 is located outside the tape TP, the added light reception amount is always 150 or more and is larger than the set value, so that the voltage value corresponding to the light reception amount is positive.
Therefore, the edge detection sensor 4 and the irradiation region move in a direction approaching the center of the tape, eventually reach the tape edge A, and the received light amount becomes 150 and stops at that position.
[0027]
【The invention's effect】
As described above, the following effects can be obtained in the present invention.
(1) As the edge detection means, two sets of light projecting means using sensor light smaller than the opening of the perforation hole and light receiving means for receiving this light are used, and the interval between the two sensor lights becomes a predetermined interval P. Thus, it is possible to reliably detect the position of the edge detection means with respect to the film circuit board. Therefore, it is possible to accurately expose the peripheral portion of the film circuit board along the edge of the film.
(2) Two sensor lights are received by two light receiving means, and the received light amounts are added, and the added light reception amount is larger than the maximum received light amount in one light receiving means, and the two light receiving means. The edge detection means is moved and controlled by the movement control means so as to be a certain value smaller than the sum of the maximum received light amounts in the tape, and the irradiation area moving mechanism moves the exposure light irradiation area, thereby It is possible to detect edges correctly and perform smooth control smoothly.
(3) By emitting a wavelength that does not pass through the resin film used for the film circuit board and using blue light as sensor light, the tape edge can be detected correctly without adjusting the setting according to the type of tape. Work efficiency can be improved.
In addition, the sensitivity of the sensor amplifier for detecting the edge can be kept low compared to the case where the red light that passes through the film is used as the sensor light, so that it can be made less susceptible to noise and the like.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram (1) showing a configuration of a peripheral exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram (2) showing a configuration of a peripheral exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of an edge detection sensor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram for explaining setting of a pitch P of sensor light.
FIG. 5 is a diagram illustrating a method for detecting a tape edge based on an output of an edge detection sensor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a diagram illustrating a part of a film circuit board and a state in which a resist is applied and exposure light is irradiated to perform peripheral exposure.
FIG. 7 is a diagram illustrating a conventional edge detection method.
FIG. 8 is a diagram showing the transmittance of a film used for a film circuit board.
FIG. 9 is a diagram for explaining problems that occur when spot-shaped sensor light is used.
[Explanation of symbols]
1 Light source
1a lamp
1b Focusing mirror
1c Quartz light guide
2 Projection lens unit
2a Output part
3 stages
4 Edge detection sensor
4a Floodlight
4b Light receiver
41, 91 Light projection means
42,92 light receiving means
5 Slide table
6 Edge detection sensor mounting member
7 Sensor light / exposure light relative position adjustment means
7a micrometer
8 Drive motor
9 Control unit
9a Adder
TP tape (film circuit board)

Claims

An exposure having a predetermined area from the light irradiation means on the resist on the periphery of the film circuit board while conveying the film circuit board provided with the perforation holes with the predetermined opening width PL at the predetermined pitch Pp in a certain direction. A peripheral exposure apparatus for a film circuit board that exposes the peripheral resist by irradiating light,
Two sets of edge detection means composed of sensors that receive the sensor light projected from the light projecting means by the light receiving means;
A movement control means for controlling the movement of the two sets of edge detection means in a direction substantially perpendicular to the conveyance direction of the film during conveyance of the film circuit board;
A movement direction and a movement amount of the edge detection means, and a light irradiation means moving mechanism for moving the light irradiation means by the same amount in the same direction,
The interval between the sensor lights of the two sets of edge detection means is a predetermined interval that is larger than the opening width PL and smaller than a value obtained by subtracting the opening width PL from the pitch Pp along the conveyance direction of the film circuit board. P or a value obtained by adding n times the pitch Pp (n: a natural number) to the interval P,
Each sensor light is projected onto the periphery of the film circuit board, the projected sensor light is received by the two light receiving means, and the movement control means is based on the amount of light received by the two light receiving means. The edge detecting means is moved and controlled by the light irradiating means moving mechanism, and the light irradiating means is moved by the light irradiating means moving mechanism to expose the resist on the periphery of the film circuit board along the edge of the film circuit board. A peripheral exposure apparatus for a film circuit board.

The two light receiving amounts received by the two light receiving means are added, and the movement control means makes an edge so that the added light receiving amount becomes constant with an amount larger than the maximum light receiving amount of one light receiving means. 2. The peripheral exposure apparatus for a film circuit board according to claim 1, wherein the light irradiating means is moved by the light irradiating means moving mechanism while the movement of the detecting means is controlled.

3. The peripheral exposure apparatus for a film circuit board according to claim 1, wherein the sensor light projected from the light projecting means of the edge detecting means is blue light emitted from a blue LED.