JP4213668B2 - 分子エレクトロニクスと分子エレクトロニクスに基づいたバイオセンサーデバイスのための半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
分子エレクトロニクスと分子エレクトロニクスに基づいたバイオセンサーデバイスのための半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4213668B2 JP4213668B2 JP2004544131A JP2004544131A JP4213668B2 JP 4213668 B2 JP4213668 B2 JP 4213668B2 JP 2004544131 A JP2004544131 A JP 2004544131A JP 2004544131 A JP2004544131 A JP 2004544131A JP 4213668 B2 JP4213668 B2 JP 4213668B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- biosensor
- layer
- conductive
- source
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
- G01N33/50—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
- G01N33/53—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor
- G01N33/543—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals
- G01N33/54366—Apparatus specially adapted for solid-phase testing
- G01N33/54373—Apparatus specially adapted for solid-phase testing involving physiochemical end-point determination, e.g. wave-guides, FETS, gratings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/701—Organic molecular electronic devices
Description
また、付記5に記載の半導体装置の製造方法であって、前記材料積層体を層平面に対して垂直に劈開し、得られた劈開面を、次に当該劈開面から(一般に1nm〜50nmの)深さまで前記ドープされた層だけを除去するように選択的エッチングし、そしてエッチングした当該劈開面に薄い(一般に1nm〜20nm)金属層を角度をつけて被着させて導電性のソース及びドレイン電極を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法によって、特に付記12〜14との組み合わせでもって、解決される。
上記のヘテロ構造の半導体構造は、リード線が3つのシステム(トランジスタ)などのMEデバイスを製造するための基礎としての役目を果たす。比類のない精度と柔軟性のために、電極間隔と導電性有機ワイヤー(共役有機分子、DNA、カーボンナノチューブなど)でブリッジを架ける能動領域を、nmスケールで設計することができる。これには具体的に言うと、数ナノメートルのオーダーの間隔が含まれ、そしてこれは短い(1〜3nm)有機共役分子、例えばオリゴフェニルのようなものの、クラス全体を調べる上で特に重要なものである。この範囲の間隔は、現状のリソグラフィー技術では手に入らない。有機ワイヤーに特別な官能基(レセプタ分子のサブユニット)を付加することによって、結果として得られるハイブリッド構造体を、生体分子の高感度検出器として、あるいは生体分子の特異的相互作用を研究するための直接の手段として、用いることができる。
上記のデバイスベース構造により、MEの用途やMEに基づくバイオセンシング用途のために短い(数nmの長さ)ワイヤー状の有機分子を用いるのに必要とされるコンタクトスキームを極めて正確に作り出すことができる。相互の間隔が極めて狭い電極は、埋め込まれたゲートの機能と本質的に組み合わされて、静電場の効果により分子の導電率を調整する。精度と再現性が優れているのは、a)単原子層の精度で調整することができる出発半導体多層構造、b)原子レベルで平坦で且つはっきりとした劈開面とコーナーを最終的に形成する積層体の(順次2回の)単結晶の劈開、c)1:100のオーダーの選択比を超えることができる選択的湿式エッチング、及び、d)予測表面粗さが約1nmである滑らかな金属コンタクト層の(順次の)被着、に根ざしている。
(付記1)分子エレクトロニクスと分子エレクトロニクスに基づいたバイオセンサーに用いる半導体装置であって、1本以上の導電性有機ワイヤーを使用してハイブリッド電子デバイスを作製するためのソース、ドレイン及びゲートコンタクトを形成しているパターン化された半導体ヘテロ構造表面を有することを特徴とする半導体装置。
(付記2)前記有機ワイヤーが、共役π電子系を有する有機分子、DNAオリゴヌクレオチド、又はカーボンナノチューブであることを特徴とする、付記1に記載の半導体装置。
(付記3)当該ハイブリッド電子デバイスの前記1本以上の有機ワイヤーが、前記デバイスを特異的生体分子とそれらの相互作用の検出、分析及び定量のための高感度の電気バイオセンサーとして使用することができるよう、生体分子の認識のためのレセプタ又は、ホルモン、多糖類、脂質、あるいは薬物といったような生体活性分子を認識する生体分子でできたレセプタで更に機能化されていることを特徴とする、付記1又は2に記載の半導体装置。
(付記4)生体分子の認識のための前記レセプタが抗体又はタンパク質であることを特徴とする、付記3に記載の半導体装置。
(付記5)材料Aの2つの厚い(一般に50nm〜1μm)非ドープ層と、それらを分離する、異なる半導体材料Bの、あるいは化合物半導体の場合には異なる組成の、ドープされた薄い(一般に1nm〜20nm)層の材料積層体から構成され、非常に狭い溝状のナノ−ギャップによってのみ隔てられている導電性のソース及びドレイン電極を材料Aの上に有する半導体ヘテロ構造(図2A)を特徴とする、付記1〜4の一つに記載の半導体装置。
(付記6)前記ハイブリッド電子デバイスを分子エレクトロニクスデバイス又はバイオセンシングデバイスとして使用する場合、選択的にエッチングした前記ドープされた薄い層が電界効果ゲート電極の機能を果たすことを特徴とする、付記5に記載の半導体装置。
(付記7)前記ワイヤーを、前記ギャップと同じ又はそれを超える長さであり、前記ソース及びドレイン電極と共有結合することのできる化学末端基で終えている分子で構成することができることを特徴とする、付記1〜5に記載の半導体装置。
(付記8)生体分子分析物の前記有機ナノワイヤーへの選択的結合が当該ワイヤーへの前記レセプタの電子親和性を変化させて、その非局在化電子の分布を変化させ、分子のコンダクタンスを変化させることになることを特徴とする、付記3に記載の半導体装置。
(付記9)前記ヘテロ構造の材料積層体が、前記非ドープ層のためのドープしていないAlGaAsと、中間の前記ドープされた層のためのドープされたGaAsとを含むことを特徴とする、付記5又は6に記載の半導体装置。
(付記10)前記ソース及びドレイン電極が、被着されたPdとAuの合金で形成されていることを特徴とする、付記5又は6に記載の半導体装置。
(付記11)付記5に記載の半導体装置の製造方法であって、前記材料積層体を層平面に対して垂直に劈開し、得られた劈開面を、次に当該劈開面から(一般に1nm〜50nmの)深さまで前記ドープされた層Bだけを除去するように選択的エッチングし、そしてエッチングした当該劈開面に薄い(一般に1nm〜20nm)金属層を角度をつけて被着させて(図1B)導電性のソース及びドレイン電極を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記12)前記劈開を、異なる好ましくは垂直な結晶方位に沿って2回行なうこと、及び2つの金属層を異なる角度の方向から順番に、最小の電極間隔の領域が正確に2つの劈開クレームのコーナーだけに形成するようにして、被着させることを特徴とする、付記11に記載の半導体装置の製造方法。
(付記13)分子線エピタキシー(MBE)により半導体ヘテロ構造をエピタキシャル成長させることを特徴とする、付記11又は12に記載の半導体装置の製造方法。
(付記14)付記7の半導体装置を製造するための方法であって、溶液から又は超高真空中の固体蒸着源から自己組織化手法によりワイヤーを被着させることを特徴とする、付記11〜13の一つに記載の半導体装置の製造方法。
Claims (8)
- 材料Aの2つの非ドープ層と、それらを分離する、異なる半導体材料Bの、あるいは化合物半導体の場合には異なる組成の、ドープされた層の材料積層体から構成される半導体ヘテロ構造を有し、該半導体ヘテロ構造は、溝状のナノ−ギャップによってのみ隔てられている導電性のソース及びドレイン電極を材料Aの非ドープ層上に有するバイオセンサーであって、前記導電性のソース及びドレイン電極は前記ヘテロ構造の層平面に対し垂直な選択的にエッチングした劈開面に位置していること、前記溝状のナノ−ギャップは、前記半導体ヘテロ構造の導電性のソース及びドレイン電極と接続している、共役π電子系を有する有機分子又はDNAオリゴヌクレオチドである1本以上の導電性有機ワイヤーによってブリッジを架けられていることを特徴とするバイオセンサー。
- 前記1本以上の導電性有機ワイヤーは、生体分子の認識のためのレセプタ又は、ホルモン、多糖類、脂質、あるいは薬物といったような生体活性分子を認識する生体分子でできたレセプタで更に機能化されていることを特徴とする、請求項1に記載のバイオセンサー。
- 前記ドープされた層が電界効果ゲート電極の機能を果たすことを特徴とする、請求項1又は2に記載のバイオセンサー。
- 前記導電性有機ワイヤーは、前記ナノ−ギャップと同じ又はそれを超える長さであり、前記ソース及びドレイン電極と共有結合することのできる化学末端基で終えている分子で構成されていることを特徴とする、請求項1〜3のうちの一つに記載のバイオセンサー。
- 生体分子分析物の前記導電性有機ワイヤーへの選択的結合が当該導電性有機ワイヤーへの前記レセプタの電子親和性を変化させて、その非局在化電子の分布を変化させ、分子のコンダクタンスを変化させることになることを特徴とする、請求項2に記載のバイオセンサー。
- 前記ヘテロ構造の材料積層体が、前記非ドープ層のためのドープしていないAlGaAsと、中間の前記ドープされた層のためのドープされたGaAsとを含むことを特徴とする、請求項1に記載のバイオセンサー。
- 前記ソース及びドレイン電極が、被着されたPdとAuの合金で形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のバイオセンサー。
- 材料Aの2つの非ドープ層と、それらを分離する、異なる半導体材料Bの、あるいは化合物半導体の場合には異なる組成の、ドープされた層の材料積層体から構成される半導体ヘテロ構造を有し、該半導体ヘテロ構造は、溝状のナノ−ギャップによってのみ隔てられている導電性のソース及びドレイン電極を材料Aの非ドープ層上に有するバイオセンサーであり、前記導電性のソース及びドレイン電極は前記ヘテロ構造の層平面に対し垂直な選択的にエッチングした劈開面に位置しており、前記溝状のナノ−ギャップは、前記半導体ヘテロ構造の導電性のソース及びドレイン電極と接続している、共役π電子系を有する有機分子又はDNAオリゴヌクレオチドである1本以上の導電性有機ワイヤーによってブリッジを架けられているバイオセンサーの製造方法であって、前記材料積層体を層平面に対して垂直に劈開し、得られた劈開面を、次に当該劈開面から前記ドープされた層Bだけを除去するように選択的エッチングし、そしてエッチングした当該劈開面に金属層を角度をつけて被着させて導電性のソース及びドレイン電極を形成することを特徴とするバイオセンサーの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10247679A DE10247679A1 (de) | 2002-10-12 | 2002-10-12 | Halbleitergrundstruktur für Molekularelektronik und Molekularelektronik-basierte Biosensorik |
PCT/EP2003/011221 WO2004036217A1 (en) | 2002-10-12 | 2003-10-10 | Semiconductor base structure for molecular electronics and molecular electronic-based biosensor devices and a method for producing such a semiconductor base structure |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006503277A JP2006503277A (ja) | 2006-01-26 |
JP4213668B2 true JP4213668B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=32038582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004544131A Expired - Fee Related JP4213668B2 (ja) | 2002-10-12 | 2003-10-10 | 分子エレクトロニクスと分子エレクトロニクスに基づいたバイオセンサーデバイスのための半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060154489A1 (ja) |
JP (1) | JP4213668B2 (ja) |
DE (1) | DE10247679A1 (ja) |
GB (1) | GB2410128B (ja) |
WO (1) | WO2004036217A1 (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0326049D0 (en) * | 2003-11-07 | 2003-12-10 | Qinetiq Ltd | Fluid analysis apparatus |
US20050218398A1 (en) * | 2004-04-06 | 2005-10-06 | Availableip.Com | NANO-electronics |
DE602004016496D1 (de) | 2004-08-31 | 2008-10-23 | St Microelectronics Srl | Verfahren zur Herstellung einer Wirtsstruktur für nanometergroße Elemente |
EP1630882B1 (en) | 2004-08-31 | 2012-05-02 | STMicroelectronics S.r.l. | Nanometric structure and corresponding manufacturing method |
EP1630881B1 (en) | 2004-08-31 | 2011-11-16 | STMicroelectronics Srl | Hosting structure of nanometric elements and corresponding manufacturing method |
WO2007040558A2 (en) | 2004-11-19 | 2007-04-12 | The Trustees Of Boston College | Method of fabricating nanowires and electrodes having nanogaps |
JP2008536103A (ja) | 2005-03-08 | 2008-09-04 | ナショナル リサーチ カウンシル オブ カナダ | 静電的に制御された原子的な規模の導電性デバイス |
WO2007089550A2 (en) | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Nanoselect, Inc. | Cnt-based sensors: devices, processes and uses thereof |
EP2527853A3 (en) * | 2006-08-01 | 2014-09-17 | Washington University | Multifunctional nanoscopy for imaging cells |
ITTO20070341A1 (it) * | 2007-05-15 | 2008-11-16 | Consiglio Nazionale Ricerche | Procedimento e dispositivo a trasduzione elettrica per la rivelazione di eventi di bio-riconoscimento in processi di interazione biomolecolare per analisi genomiche/proteomiche |
KR100906154B1 (ko) * | 2007-12-05 | 2009-07-03 | 한국전자통신연구원 | 반도체 나노선 센서 소자 및 이의 제조 방법 |
WO2010059687A2 (en) * | 2008-11-18 | 2010-05-27 | The United States Of America, As Represented By The Secretary, Department Of Health And Human Services | A semiconductor for measuring biological interactions |
JP4843077B2 (ja) * | 2008-12-03 | 2011-12-21 | 韓國電子通信研究院 | トランジスタ構造のバイオセンサー及びその製造方法 |
JP5586001B2 (ja) * | 2009-08-26 | 2014-09-10 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | ナノリボン及びその製造方法、ナノリボンを用いたfet及びその製造方法、ナノリボンを用いた塩基配列決定方法およびその装置 |
KR101078184B1 (ko) | 2010-02-25 | 2011-11-01 | 한국과학기술원 | 다중 적층 나노갭 구조 및 그 제조방법 |
CN103682098B (zh) * | 2013-09-11 | 2016-01-13 | 北京大学 | 一种抗体修饰的一维纳米材料晶体管器件及其构筑方法 |
EP3314245A4 (en) * | 2015-06-25 | 2019-02-27 | Roswell Biotechnologies, Inc | BIOMOLECULAR SENSORS AND ASSOCIATED METHODS |
US10422787B2 (en) | 2015-12-11 | 2019-09-24 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University | System and method for single molecule detection |
US10379102B2 (en) | 2015-12-11 | 2019-08-13 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University | System and method for single molecule detection |
CN113985017A (zh) * | 2016-01-14 | 2022-01-28 | 罗斯韦尔生物技术股份有限公司 | 分子传感器及相关方法 |
CN109071212A (zh) * | 2016-01-28 | 2018-12-21 | 罗斯韦尔生物技术股份有限公司 | 使用大规模分子电子传感器阵列测量分析物的方法和装置 |
CN109328301B (zh) | 2016-01-28 | 2021-03-12 | 罗斯韦尔生物技术股份有限公司 | 大规模并行dna测序装置 |
WO2017139493A2 (en) | 2016-02-09 | 2017-08-17 | Roswell Biotechnologies, Inc. | Electronic label-free dna and genome sequencing |
US10597767B2 (en) | 2016-02-22 | 2020-03-24 | Roswell Biotechnologies, Inc. | Nanoparticle fabrication |
US9829456B1 (en) | 2016-07-26 | 2017-11-28 | Roswell Biotechnologies, Inc. | Method of making a multi-electrode structure usable in molecular sensing devices |
CA3052062A1 (en) | 2017-01-10 | 2018-07-19 | Roswell Biotechnologies, Inc. | Methods and systems for dna data storage |
CA3052140A1 (en) | 2017-01-19 | 2018-07-26 | Roswell Biotechnologies, Inc. | Solid state sequencing devices comprising two dimensional layer materials |
US10508296B2 (en) | 2017-04-25 | 2019-12-17 | Roswell Biotechnologies, Inc. | Enzymatic circuits for molecular sensors |
WO2018200687A1 (en) | 2017-04-25 | 2018-11-01 | Roswell Biotechnologies, Inc. | Enzymatic circuits for molecular sensors |
CN110651182B (zh) | 2017-05-09 | 2022-12-30 | 罗斯威尔生命技术公司 | 用于分子传感器的结合探针电路 |
EP3676389A4 (en) | 2017-08-30 | 2021-06-02 | Roswell Biotechnologies, Inc | PROCESSIVE ENZYMATIC MOLECULAR ELECTRONIC SENSORS FOR STORING DNA DATA |
EP3694990A4 (en) | 2017-10-10 | 2022-06-15 | Roswell Biotechnologies, Inc. | METHODS, APPARATUS AND SYSTEMS FOR NON-AMPLIFICATION DNA DATA STORAGE |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL83289A0 (en) * | 1987-07-22 | 1987-12-31 | Plant Biotec Ltd | Apparatus and method for plant growth and development |
JPH07239314A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Mitsubishi Materials Corp | ガスセンサ及びガス識別方法 |
JPH07294470A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-10 | Sogo Keibi Hosho Co Ltd | 半導体繊維ガスセンサ |
DE19536389C2 (de) * | 1995-09-29 | 2003-06-12 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Biosensorsystem zur Messung einer oder mehrerer, insbesondere organischen, durch Pflanzenschädigungen verursachten Spurenkomponenten in Luft |
US6060327A (en) * | 1997-05-14 | 2000-05-09 | Keensense, Inc. | Molecular wire injection sensors |
US5945832A (en) * | 1998-02-17 | 1999-08-31 | Motorola, Inc. | Structure and method of measuring electrical characteristics of a molecule |
US6346189B1 (en) * | 1998-08-14 | 2002-02-12 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Carbon nanotube structures made using catalyst islands |
DE19840157C2 (de) * | 1998-09-03 | 2000-10-05 | Axel Lorke | Ortsaufgelöster Potential-Sensor und -Stimulator auf Halbleiterbasis |
IL130326A0 (en) * | 1999-06-07 | 2000-06-01 | Yeda Res & Dev | A sensor based on molecular controlled semiconductor resistor |
DE19960076C2 (de) * | 1999-12-13 | 2002-12-05 | November Ag Molekulare Medizin | Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis und zur Quantifizierung von Biomolekülen |
DE60039632D1 (de) * | 1999-12-15 | 2008-09-04 | Univ R | Kohlenstoff-nano-röhrchen-vorrichtung |
AU2001249459A1 (en) * | 2000-03-24 | 2001-10-08 | The State Of Oregon, Acting By And Through The State Board Of Higher Education On Behalf Of The University Of Oregon | Scaffold-organized clusters and electronic devices made using such clusters |
US6515339B2 (en) * | 2000-07-18 | 2003-02-04 | Lg Electronics Inc. | Method of horizontally growing carbon nanotubes and field effect transistor using the carbon nanotubes grown by the method |
ES2312490T3 (es) * | 2000-12-11 | 2009-03-01 | President And Fellows Of Harvard College | Dispositivo que contiene manosensores para detectar un analito y su metodo de fabricacion. |
US6958216B2 (en) * | 2001-01-10 | 2005-10-25 | The Trustees Of Boston College | DNA-bridged carbon nanotube arrays |
WO2002095099A1 (en) * | 2001-03-29 | 2002-11-28 | Stanford University | Noncovalent sidewall functionalization of carbon nanotubes |
US6824974B2 (en) * | 2001-06-11 | 2004-11-30 | Genorx, Inc. | Electronic detection of biological molecules using thin layers |
-
2002
- 2002-10-12 DE DE10247679A patent/DE10247679A1/de not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-10-10 JP JP2004544131A patent/JP4213668B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-10 WO PCT/EP2003/011221 patent/WO2004036217A1/en active Application Filing
- 2003-10-10 GB GB0508175A patent/GB2410128B/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-10 US US10/530,870 patent/US20060154489A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10247679A1 (de) | 2004-04-22 |
WO2004036217A1 (en) | 2004-04-29 |
JP2006503277A (ja) | 2006-01-26 |
GB0508175D0 (en) | 2005-06-01 |
US20060154489A1 (en) | 2006-07-13 |
GB2410128B (en) | 2006-04-26 |
GB2410128A (en) | 2005-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4213668B2 (ja) | 分子エレクトロニクスと分子エレクトロニクスに基づいたバイオセンサーデバイスのための半導体装置及びその製造方法 | |
US9506892B2 (en) | Field-effect transistor, single-electron transistor and sensor using the same | |
Assad et al. | Spray-coating route for highly aligned and large-scale arrays of nanowires | |
US6879143B2 (en) | Method of selectively aligning and positioning nanometer-scale components using AC fields | |
Ramgir et al. | Nanowire‐based sensors | |
US7238594B2 (en) | Controlled nanowire growth in permanent, integrated nano-templates and methods of fabricating sensor and transducer structures | |
US6870235B2 (en) | Silicon-on-insulator biosensor device | |
Stern et al. | Semiconducting nanowire field-effect transistor biomolecular sensors | |
US20070264623A1 (en) | Nanosensors | |
JP4814487B2 (ja) | 絶縁層の厚さが電極間の間隔を形成する単一電子トランジスタ及び製造方法 | |
TWI424160B (zh) | 結合矽奈米線閘極二極體之感測元件、製造方法及其檢測系統 | |
US20090045061A1 (en) | Nanotube Devices and Vertical Field Effect Transistors | |
EP3446113A1 (en) | Nanopore sensor, structure and device including the sensor, and methods of forming and using same | |
Chartuprayoon et al. | One-dimensional nanostructures based bio-detection | |
US20110186516A1 (en) | Method of producing a carbon nanotube fragment | |
JP2008505044A (ja) | 電解析出によって製造されたカーボンナノチューブに基づく電子デバイス及びその応用 | |
JP2008258594A (ja) | カーボンナノチューブ電界効果トランジスタの製造方法およびバイオセンサ装置 | |
Kim et al. | Nanogap biosensors for electrical and label-free detection of biomolecular interactions | |
CN103922275B (zh) | 晶片级自形成纳米通道及其制造方法 | |
Carrara et al. | Methods to fabricate nanocontacts for electrical addressing of single molecules | |
JP2009250633A (ja) | センサおよび検出方法 | |
Sorgenfrei et al. | Single-molecule electronic detection using nanoscale field-effect devices | |
Cui | Semiconductor nanowires for nanotechnology: Synthesis, properties, nanoelectronics, nanophotonics, and nanosensors | |
Rinaldi et al. | Metalloprotein-based electronic nanodevices | |
Fu et al. | Biochemical sensing at the surface of graphene field-effect transistors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080901 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080930 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081030 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |