JP4211409B2 - 基板検査装置および検査方法 - Google Patents
基板検査装置および検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4211409B2 JP4211409B2 JP2003021721A JP2003021721A JP4211409B2 JP 4211409 B2 JP4211409 B2 JP 4211409B2 JP 2003021721 A JP2003021721 A JP 2003021721A JP 2003021721 A JP2003021721 A JP 2003021721A JP 4211409 B2 JP4211409 B2 JP 4211409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- substrate
- projection data
- points
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面状基板の全面、またはタイル状に多面付けで塗布された着色膜(図5を参照。)の濃度変動、特に、X、Y方向に帯状に発生する濃度変動を感度良く検査する検査装置および検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の撮像装置は、2次元CCDカメラを用いて、基板を一括撮像して画像を得た後、画像中の着色膜の存在しない部分にマスクをかけて、2次元画像のまま判定処理を行うものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板上の着色膜には、その製法に起因して、XおよびY方向に帯状に濃度の変化した領域が発生することがある。この濃度の変化領域はきわめて小さいため、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やCCD素子のバックグラウンドノイズとの区別が困難で、前記2次元画像をそのまま判定処理する方式では、良否判定することが難しかった。
【0004】
本発明は、このような従来の課題に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、基板上の着色膜に生じる小さな帯状の濃度変動を捕らえ、その濃度変化の程度に応じて良否判定を行う検査装置および検査方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するため、本発明の検査装置は、エリアCCD撮像素子をもつカメラと、撮像レンズと、基板を把持するステージと、基板の任意の一部分を撮像可能となるように前記カメラおよびステージとを相対移動可能な第1の駆動手段およびその制御手段と、前記ステージおよびカメラとの距離を相対変化可能な第2の駆動手段およびその制御手段、前記基板を照明する照明手段と、前記カメラのシャッターを制御する制御手段と、前記カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、1次元のX、Y方向プロジェクションデータを作成する画像処理手段と、前記プロジェクションデータを基準として良否判定を行う判定手段によって構成されており、前記良否判定は、前記プロジェクションデータにスムージング処理を行った後、互いに隣接する3箇所のピーク点、もしくはアンダーピーク点のうち、両端の2点の間に存在する各データ点において、両端の2点を結んだ直線とプロジェクションデータとの差のN乗(N>1)を求め、その和と閾値を対比判定するものである。
ここで、前記ステージおよびカメラとの距離を相対変化可能な第2の駆動手段およびその制御手段を用いる代わりに、撮像レンズのズーム機能を用いてもよい。
【0006】
検査の際は、まず、カメラが着色膜の中心の真上になるように、第1の駆動手段を移動した後、着色膜の領域がカメラの視野いっぱいになるように、第2の駆動手段、もしくはレンズのズーム比を制御する。
その後、前記カメラのシャッターを切り、画像を画像データとして記録手段に保存する。そして、この画像データは画像処理手段によって、式1に示すように、同じY座標に属する全画素のデータが加算され、1次元のY方向プロジェクションデータを作成される。
【0007】
次に、同様に式2に示すように、同じX座標に属する全画素のデータを加算することによって1次元のX方向プロジェクションデータが作成される。
【0008】
【数1】
【0009】
【数2】
【0010】
前記プロジェクションデータを作成することによって、X、Y方向に平行な濃度変化は強調され、CCD素子のバックグラウンドノイズに対して十分なS/N比を持つようになる。
【0011】
このプロジェクションデータに移動平均法等によりスムージング処理を行った後、端から順にデータ点を調べ、互いに隣接する3点のピーク点(注目点の値が隣接する2点のデータ点のいずれよりも大きい)もしくはアンダーピーク点(注目点の値が隣接する2点のデータ点のいずれよりも小さい)を求める(図1のP1、P2、P3)。続いてこの両端の2点を結んだ直線とプロジェクションデータによって囲まれる閉領域の面積S1を求め、これが別途設定した閾値を越えている場合に不良とみなす。
【0012】
その後、左端のピーク点(P1)を排除し、右端のピーク点からさらに右に順に、ピーク点を探索し(P4)、上記処理を繰り返す。(P2、P3、P4によって求められるS2ならびにP3、P4、P5によって求められるS3)。プロジェクションデータの全範囲において上記操作を繰り返すものとする。
【0013】
もしくは、このプロジェクションデータに移動平均法等によりスムージング処理を行った後、端から順にデータ点を調べ、互いに隣接する3箇所のピーク点、もしくはアンダーピーク点(図2のP2、P3、P4)のうち、両端の2点(P2、P4)の間に存在する各データ点において、両端の2点を結んだ直線の値と、プロジェクションデータのデータ点の値との差(△Y1〜△Y12)のN乗(N>1)を求め、式3に示される、その和S2’が別途設定した閾値を越えている場合に不良とみなす。
【0014】
【数3】
【0015】
Nの値を大きくとることによって、同じ面積の領域であっても、高さが高く幅の狭い形状は、高さが低く幅の広い形状よりも大きな値を持つことになり、急峻な変化を持つ輝度変動を捕らえやすくなる。
【0016】
基板上に着色膜が多面付けされている場合は、上記手順を繰り返し、各面を順次検査する。
【0017】
【作用】
本発明の検査装置および検査方法により、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やCCD素子のバックグラウンドノイズによる影響を排して、基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変化を感度良く捕らえ、その程度に応じた良否判定を行うことが可能となる。
【0018】
【実施例】
(実施例1)
以下に、本発明の実施例について説明する。図3は本発明の検査装置の模式図であり、基板(13)の面上の位置に、カメラ(12)を配置し、このカメラ(12)を移動可能なように、前記基板上方に配置された駆動手段1(10)を備えている。この駆動手段1(10)は、XY2方向に移動可能な2軸直交ロボットアームである。
駆動手段1(10)のスライダには、駆動手段2(11)が、前記スライダが基板の面に直交する方向(Z方向)に移動可能に固定されており、そして、前記スライダ上には、カメラ、レンズが基板に向けて固定されている。
【0019】
一方、基板は、図示してないがステージ上に固定され、更に、基板下方にある光源(14)によって照明されている。従って、この場合、対象とする基板は、半透明なものとなる。そして、照明をカメラと同方向から当てることによって不透明な基板の撮像を行なうことももちろん可能である。
【0020】
また、制御手段に着色膜の位置とサイズを入力することにより、制御手段は、駆動手段1および駆動手段2の移動量を演算し、駆動手段1および駆動手段2に移動指令を出力する。
その後、制御手段は、カメラのシャッターを切り、例えば図6に示すように、画像データが記録手段内に保存される。
【0021】
具体的に、画像サイズが640×480ドット、1ドットあたり256階調の単色データである場合、画像処理手段は、画像が保存されたことを通知されると、この画像を読み出し、XおよびY方向のプロジェクションデータを作成する。
そして、640データ、256×480階調のX方向プロジェクションと、480データ、256×640階調の、Y方向プロジェクションデータが作成されることになる。
このプロジェクションデータに、注目点と前後各2点を用いた移動平均法等によりスムージング処理を行った後、端から順にデータ点を調べ、互いに隣接する3点のピーク点を求めた。
続いて、このピークの3点のうち、両端の2点を結んだ直線と、プロジェクションデータによって囲まれる閉領域の面積を求め、X方向閾値2000、Y方向閾値1500を超えた部分を不良であるとしたところ、X方向プロジェクションの中央付近に幅10mmほどの不良部分が検出された。(図8参照)
なお、図4に、本発明の検査装置制御のフロー図を示す。
また、図7は、プロジェクションデータおよび閾値を越えた領域を示す説明図である。
【0022】
(実施例2)
以下に、本発明の別の実施例について説明する。本実施例では検査装置の構成、動作、画像取得方法およびプロジェクションデータの作成に関しては実施例1と同じである。
【0023】
このプロジェクションデータに、注目点と前後各2点を用いた移動平均法等によりスムージング処理を行った後、端から順にデータ点を調べ、互いに隣接する3点のピーク点を求めた。
続いて、この3点のうち、両端の2点の間に存在する各データ点において、両端の2点を結んだ直線の値と、プロジェクションデータのデータ点の値との差の2乗を求めた。
そして、X方向閾値500000、Y方向閾値400000を超えた部分を不良であるとしたところ、X方向プロジェクションの中央付近に、幅10mmほどの不良部分が検出され、またY方向プロジェクションの情報に、幅5mmほどの不良部分が検出された。
【0024】
【発明の効果】
以上詳細に説明した通り、本発明の検査装置および検査方法によれば、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やCCD素子のバックグラウンドノイズによる影響を排して基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変化を非常に感度良く捕らえ、その程度に応じた良否判定を行うことが可能となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】プロジェクションデータ上のピーク、アンダーピーク点およびデータ点と両端の点を結んだ直線で囲まれる面積を示す説明図である。
【図2】プロジェクションデータ上のピーク、アンダーピーク点およびデータ
点と両端の点を結んだ直線の値との差を示す説明図である。
【図3】本発明の検査装置の一例を示す説明図である。
【図4】本発明の検査装置制御のフローを示す図である。
【図5】基板を模式的に示す説明図である。
【図6】撮像された画像を模式的に示す説明図である。
【図7】プロジェクションデータおよび閾値を越えた領域を示す説明図である。
【図8】不良と判定された領域を示す説明図である。
【符号の説明】
10 … 駆動手段1
11… 駆動手段2
12… カメラ、レンズ
13 … 基板
14… 照明
Claims (2)
- エリアCCD撮像素子をもつカメラと、撮像レンズと、基板を把持するステージと、基板の任意の一部分を撮像可能となるように前記カメラおよびステージとを相対移動可能な第1の駆動手段およびその制御手段と、前記ステージおよびカメラとの距離を相対変化可能な第2の駆動手段およびその制御手段、前記基板を照明する照明手段と、前記カメラのシャッターを制御する制御手段と、前記カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、1次元のX、Y方向プロジェクションデータを作成する画像処理手段と、前記プロジェクションデータを基準として良否判定を行う判定手段によって構成されており、前記良否判定は、前記プロジェクションデータにスムージング処理を行った後、互いに隣接する3箇所のピーク点、もしくはアンダーピーク点のうち、両端の2点の間に存在する各データ点において、両端の2点を結んだ直線とプロジェクションデータとの差のN乗(N>1)を求め、その和と閾値を対比判定するものであることを特徴とする基板検査装置。
- エリアCCD撮像素子をもつカメラと、撮像レンズと、基板を把持するステージと、基板の任意の一部分を撮像可能となるように前記カメラおよびステージとを相対移動可能な第1の駆動手段およびその制御手段と、前記ステージおよびカメラとの距離を相対変化可能な第2の駆動手段およびその制御手段、前記基板を照明する照明手段と、前記カメラのシャッターを制御する制御手段と、前記カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、1次元のX、Y方向プロジェクションデータを作成する画像処理手段と、前記プロジェクションデータを基準として良否判定を行う判定手段によって構成されていることを特徴とする基板検査装置を用い、前記良否判定は、前記プロジェクションデータにスムージング処理を行った後、互いに隣接する3箇所のピーク点、もしくはアンダーピーク点のうち、両端の2点の間に存在する各データ点において、両端の2点を結んだ直線とプロジェクションデータとの差のN乗(N>1)を求め、その和と閾値を対比判定するものであることを特徴とする基板検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003021721A JP4211409B2 (ja) | 2003-01-30 | 2003-01-30 | 基板検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003021721A JP4211409B2 (ja) | 2003-01-30 | 2003-01-30 | 基板検査装置および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004233183A JP2004233183A (ja) | 2004-08-19 |
JP4211409B2 true JP4211409B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=32950980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003021721A Expired - Fee Related JP4211409B2 (ja) | 2003-01-30 | 2003-01-30 | 基板検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4211409B2 (ja) |
-
2003
- 2003-01-30 JP JP2003021721A patent/JP4211409B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004233183A (ja) | 2004-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101699172B1 (ko) | 검사 방법 | |
JP6043662B2 (ja) | 検査方法および検査装置 | |
CN105301865B (zh) | 自动聚焦系统 | |
US20130127998A1 (en) | Measurement apparatus, information processing apparatus, information processing method, and storage medium | |
JP4077754B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
US10192304B2 (en) | Method for measuring pattern width deviation, and pattern inspection apparatus | |
TWI415014B (zh) | Appearance inspection device | |
JP4709762B2 (ja) | 画像処理装置及び方法 | |
KR20150022463A (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP2017227474A (ja) | 照明装置、及び、画像検査装置 | |
CN108062790B (zh) | 应用于物体三维重建的三维坐标系建立方法 | |
JP2011174896A (ja) | 撮像装置及び撮像方法 | |
JP4211409B2 (ja) | 基板検査装置および検査方法 | |
JP5353553B2 (ja) | 基板検査装置および検査方法 | |
JP3871963B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP2017194380A (ja) | 検査装置、記憶媒体、及びプログラム | |
JP4415540B2 (ja) | 基板検査装置および検査方法 | |
JP2006275780A (ja) | パターン検査方法 | |
JP2003262509A (ja) | 検査装置、計測装置、検査方法および計測方法 | |
JP5604967B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2004117290A (ja) | 周期性パターンの検査方法及び装置 | |
JP7242418B2 (ja) | 表面検査方法とその装置 | |
JP2006177760A (ja) | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム | |
KR101916105B1 (ko) | 스크린마스크 검사 장치 | |
JP5139706B2 (ja) | 半導体集積回路チップ検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080611 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080731 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081007 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081020 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4211409 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131107 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |