JP4208011B2 - テンプレートマッチング装置 - Google Patents
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Description
ここでは、第1実施形態のテンプレートマッチング装置および方法について、図1に示す観察装置10を例に説明する。観察装置10には、ステージ11と光学系12とカメラ13と画像処理部14とが設けられる。ステージ11は、試料10Aを支持する。光学系12は、試料10Aの局所領域の光像を形成する。カメラ13は、不図示の撮像素子により試料10Aの光像を撮像し、撮像信号を画像処理部14に出力する。
Mx=floor[(Tx/4)×(1−k1×類似度)] …(2)
My=floor[(Ty/4)×(1−k2×類似度の行平均)] …(3)
上記した第1実施形態では、演算用の部分画像24の抽出位置(X2,Y2)を横方向に移動させる際、現在までに求めた類似度のうち「現在の位置での類似度」のみを考慮して次の位置への移動量Mxを計算したが、本発明はこれに限定されない。第2実施形態では、現在の位置での類似度に加えて「現在の位置より1つ前の位置での類似度」をも考慮する場合について一例を説明する。
(1−k1×現在の類似度)<TS…(4)
TS=平均濃度/濃度範囲 …(5)
(現在の類似度−1つ前の類似度)×k3>TB…(6)
TB=標準偏差/濃度範囲 …(7)
上記した第1実施形態では、図3のステップS2において相互相関法によるマッチング演算(式(1)参照)を行う例で説明したが、本発明はこれに限定されない。第3実施形態では、残差逐次検定法(SSDA法)によりマッチング演算を行う場合について一例を説明する。
Mx=floor[(Tx/4)×(k1×類似度)] …(10)
My=floor[(Ty/4)×(k2×類似度の行平均)] …(11)
(k1×現在の類似度)<TS…(12)
(1つ前の類似度−現在の類似度)×k3>TB…(13)
図3のステップS2におけるマッチング演算としては、上記した相互相関法や残差逐次検定法に限らず、濃度ヒストグラムまたは慣性モーメントなどの特徴量を用いることもできる。第4実施形態では、濃度ヒストグラム及び慣性モーメントに基づいてマッチング演算を行う場合について一例を説明する。
原点周りの慣性モーメント=Σ(xi2+yi2)wi … (14)
各軸周りの慣性モーメント=Σxi2・wi 、又は …(15)
各軸周りの慣性モーメント=Σyi2・wi …(16)
TB=(標準偏差)×2/濃度範囲 …(17)
第1実施形態から第4実施形態は、テンプレートマッチング処理を類似度判定に基づきステップ制御するものであるが、第5実施形態は、テンプレートマッチング処理を類似度判定に基づきマッチング演算処理をカット制御するものである。
本発明の第6実施形態は、第1〜4実施形態と第5実施形態とを併せたものである。第6実施形態のテンプレートマッチング装置は、第5実施形態に開示されたマッチング演算のカット制御と、第1〜4実施形態に開示するテンプレートマッチング処理のステップ制御とを組合せたものである。
Claims (4)
- 入力画像信号の中から、順次抽出位置を変えて演算用の部分画像信号を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段により前記部分画像信号が抽出される毎に、該部分画像信号と既知のテンプレート信号との類似性に関する指標を求める演算手段と、
前記入力画像信号の複数の位置での前記類似性に関する指標に基づいて、前記入力画像信号の中の前記テンプレート信号との合致位置を特定する特定手段とを備え、
前記抽出手段は、前記演算手段が求めた現在の抽出位置における前記類似性に関する指標を考慮して、前記現在の抽出位置から次の抽出位置への移動量を決定する
ことを特徴とするテンプレートマッチング装置。 - 入力画像信号の中から、順次抽出位置を変えて演算用の部分画像信号を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段により前記部分画像信号が抽出される毎に、該部分画像信号と既知のテンプレート信号との類似性に関する指標を求める演算手段と、
前記入力画像信号の複数の位置での前記類似性に関する指標に基づいて、前記入力画像信号の中の前記テンプレート信号との合致位置を特定する特定手段とを備え、
前記抽出手段は、少なくとも前記現在の位置での前記類似性に関する指標を考慮すると共に、前記テンプレート信号の大きさを考慮して、前記現在の抽出位置から次の抽出位置への移動量を決定する
ことを特徴とするテンプレートマッチング装置。 - 入力画像信号の中から、順次抽出位置を変えて演算用の部分画像信号を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段により前記部分画像信号が抽出される毎に、該部分画像信号と既知のテンプレート信号との類似性に関する指標を求める演算手段と、
前記入力画像信号の複数の位置での前記類似性に関する指標に基づいて、前記入力画像信号の中の前記テンプレート信号との合致位置を特定する特定手段とを備え、
前記入力画像信号と前記部分画像信号と前記テンプレート信号は、各々、画像情報を含み、
前記抽出手段は、前記抽出位置を複数の走査線からなるラスタ走査の方向に沿って移動させながら前記部分画像信号を順に抽出すると共に、前記抽出位置を現在の走査線から次の走査線へ移動させる際、前記現在の走査線上の各位置での前記類似性に関する指標を考慮して、前記現在の走査線から前記次の走査線への移動量を計算し、該移動量に基づいて前記抽出位置を移動させる
ことを特徴とするテンプレートマッチング装置。 - 請求項2に記載のテンプレートマッチング装置において、
前記入力画像信号と前記部分画像信号と前記テンプレート信号は、各々、画像情報を含み、
前記抽出手段は、前記抽出位置を複数の走査線からなるラスタ走査の方向に沿って移動させながら前記部分画像信号を順に抽出すると共に、前記抽出位置を現在の走査線から次の走査線へ移動させる際、前記現在の走査線上の各位置での前記類似性に関する指標を考慮して、前記現在の走査線から前記次の走査線への移動量を計算し、該移動量に基づいて前記抽出位置を移動させる
ことを特徴とするテンプレートマッチング装置。
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