JP4206072B2

JP4206072B2 - 回転分配装置

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Publication number: JP4206072B2
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Authority: JP
Inventors: ジェンセン・クレイグ; グリーンフィールド・マイケル; スミス・レオン
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Publication date: 2009-01-07
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Description

本発明は回転分配装置に関する。

異なる供給管及び排出管をプロセスチャンバあるいは装置に接続することは多くのプロセスにおいて順次必要である。標準の方法では、多様なチャンバ間に所期の流体分配を行う複数の管と弁を使用する。しかしながら、供給管と排出管の数及び／又はプロセスチャンバの数が増えるに従い、従来の管及び弁を使用する場合非常に煩雑になる。弁の数は各プロセスチャンバでマルチポート弁を使用することで減らせるが、配管の複雑さは変わらない。

また、別の方法では、プロセスチャンバを回転体の上に載せ、異なる供給管と排出管とをプロセスチャンバに順次つなぐために回転式の分配装置を用いる。この方法には大きな利点があり、イオン交換の分野では広く使用されているが、すべてのプロセスチャンバを回転体の上に載せなければならないという根本的な問題を抱えている。回転体については、ＵＳ４５２２７２６及びＵＳ５６７６８２４に記載されている。

さらに別の方法では、供給管と排出管とプロセスチャンバとが動かない回転分配装置を用いる。しかし実際は、様々な理由から、この回転分配弁は広く使用されてはいない。

ガーホールド（Gerhold）氏他のＵＳ３１９２９５４には、回転分配弁について記載している。この弁は、複数のポートを有する円筒形の弁ケーシングを備え、そのポートはケーシングを貫通している。円筒棒形状のプラグが、該ケーシング内で回転可能な状態にされている。前記ケーシングあるいはプラグには環状溝が設けられている。導管は各環状溝に通じ、ケーシングの壁を貫通しその外部まで延びている。環状溝と同数の穴が、プラグの周囲に一定の間隔で配置されている。各ポートは、プラグの回転によって、ある位置で各穴とつながるようにケーシングの周囲に一定の間隔で配置されている。各ポートは、プラグの回転によって、ある位置で各穴とつながるようにケーシングの周囲に一定の間隔で配置されている。環状溝と同数の導管がプラグを貫通して延びている。各導管はプラグの穴の一つを、環状溝の一つに連続して接続する。

シック（Schick）氏他のＵＳ４６２５７６３には、プロセス流体管が接続された固定子組立体を有する円板式軸方向マルチポートバルブについて記載している。回転子は固定子内部において回転可能な状態で取り付けられている。固定分配器は固定子に接続されている。プロセスチャンバは固定分配器に接続されている。プロセスチャンバには、回転子が固定子内で回転するに伴い分配流体が連続して供給される。

モリタ（Morita）氏他のＵＳ５４７８４７５には、上部流路分配器及び下部流路分配器から成る流路分配装置が記載され、その上部及び下部流路分配器間には複数のプロセスチャンバが保持され固定されている。この装置は二つの分配器を必要とし、そして、特にいくつかの導管の形状が複雑であるため組み立てが難しいという点において不便であった。回転バルブは内部通路を有し、すなわち、接続するプロセス容器の数が増えるに伴い、バルブの大きさも大きくなってしまう。さらに、プロセス容器のプロセス配置が変更になると、分配器内の通路も変更する必要がある場合がある。従って、この装置では、異なるプロセス配置への対応を容易に行なうことができない。

本発明に係る回転分配装置は、内部管区域を持つ内側固定分配部材と、該内側固定分配部材の周りを回転可能な外側回転分配部材と、前記内側固定分配部材と前記外側回転分配部材との間に位置する複数の流体分配チャンバとを有し、各流体分配チャンバは、流体用の固定供給管又は固定戻り管が使用時に接続され得る前記内側固定分配部材に固定口を有し、また前記外側回転分配部材に、少なくとも一つの分配口を有し、更に、回転割出し部材と固定割出し部材とを有する、少なくとも一つの割出し装置と、前記回転割出し部材及び固定割出し部材の各々を貫通し、それぞれ、割出し面に設けられた割出し口と、接続口とを有する複数の通路とを有し、前記回転割出し部材の接続口は、使用時に、接続管により分配チャンバの分配口に接続され、前記固定割出し部材の接続口は、使用時に、固定管によりプロセスチャンバに接続され、使用時に、前記外側回転部材と前記回転割出し部材と前記接続管とが回転されると、前記固定割出し部材の割出し口に対する前記回転割出し部材の割出し口の通りに、流体分配チャンバへ送られた流体は、順次、前記プロセスチャンバへ供給されると共に該プロセスチャンバから戻されて他の流体分配チャンバへと供給される。

本発明の好ましい態様においては、前記内側固定分配部材は、前記固定割出し部材に固定され、前記外側回転分配部材は、前記回転割出し部材に固定され、前記外側回転分配部材と前記回転割出し部材とは、共通軸を中心に回転可能である。

各割出し部材には，好ましくは、通路の複数対を規定する二重の同心円環状に通路が設けられ、通路の各対は、供給通路と戻り通路から構成される。本発明の別の態様においては、各割出し部材には一重の円環状に通路が設けられている。この態様では、分配部材の両端に一つずつ位置する二つの割出し装置を設けてもよい。

圧力チャンバに対して圧力チャンバケーシングを設けてもよく、使用時には、前記圧力チャンバ内の流体の圧力により、前記回転割出し部材の割出し面は、前記固定割出し部材の割出し面に接触した状態で保持される。

前記圧力チャンバは、好ましくは、前記回転割出し部材と前記外側分配部材との間に配置され、更に前記圧力チャンバケーシングは、前記回転割出し部材と前記外側分配部材と共に、共通軸を中心として回転可能であることが好ましい。

固定割出し部材の割出し面は、割出し板の面であってもよい。

前記流体分配チャンバは、好ましくは、前記内側固定分配部材の周囲に円周状に延びている。好ましくは、少なくとも二つの流体供給チャンバと、少なくとも一つの流体分配戻りチャンバとが設けられる。

前記内側固定分配部材と前記外側回転分配部材との間に、好ましくはシールが設けられ、前記流体分配チャンバを互いに密閉する。前記シールは前記外側回転分配部材に固定され、該外側回転分配部材と共に回転可能であることが好ましい。

外側回転分配部材の回転手段と、回転割出し部材の回転手段とを設けてもよい。回転手段は、ピストン及びシリンダ装置によって操作されるラチェット機構で構成してもよい。本発明の別の形態では、回転手段を、外側回転分配部材あるいは回転割出し部材に直接固定されるリングギヤー及び該リングギヤーを回転させるモータから構成してもよい。

本発明の一形態において、供給管内の特定の供給流体を複数のプロセスチャンバに分配できるように、一つの流体分配チャンバが回転割出し部材の複数の接続口と接続されている。

本発明の別の形態において、異なる流体を回転割出し部材に入る前に混合させるように、又は、一つの回転割出し口から排出される異なる流体を混合しないように、回転割出し部材の接続口は複数の異なる分配チャンバに接続可能である。その接続は、流量調整弁あるいは三方弁のようなマルチポート弁を経由してもよい。

前記内側固定分配部材の内部管区域は、管が入ることのできる中空の孔から構成されてもよい。あるいは、内部管区域は、内部に管が形成されている内側固定分配部材の孔から構成されてもよい。

「割出し」という用語には、連続回転並びに断続回転の意味が含まれる。

まず、図1乃至図８を参照する。回転分配装置１０は導管収容コア１４を備えた内側固定分配部材１２を有する。外側回転分配部材１６は内側固定分配部材１２を囲んでいる。外側回転分配部材１６は内側固定分配部材１２の外周に沿って回転可能である。

流体分配チャンバ１８は、内側固定分配部材１２と外側回転分配部材１６との間に配置されている。

各流体分配チャンバ１８は、内側固定分配部材１２にある固定口２０と、
外側回転分配部材１６にある複数の分配口２２とを有する。ある特定の場合には、固定口２０を複数、分配口２２を一つとして設けてもよいことは理解されたい。

流体分配チャンバ１８に対する割出し機構２４は、回転割出し部材２６と、固定割出し部材２８とから構成されている。

回転割出し部材２６には、一対の通路３０，３２があり、それらは回転割出し部材２６を貫通している。通路３０，３２は回転割出し部材２６の外面３４に接続口３０．１，３２．１を、また回転割出し部材２６の割出し面３６に割出し口３０．２，３２．２をそれぞれ有する。

固定割出し部材２８には、一対の通路３８，４０があり、それらは固定割出し部材２８と割出し板４２を貫通している。割出し板４２は固定割出し部材２８に固定されている。通路３８，４０は、プロセスチャンバ（図示せず）との接続用接続ポート３８．１，４０．1を有すると共に、回転割出し部材２６の割出し口３０．２，３２．２との割出し用割出し口３８．２，４０．２を割出し板４２に有する。

内側固定分配部材１２は、孔１４．１を有する円筒状突出部４４を介して、固定割出し部材２８に固定される。孔１４．１は内側固定分配部材１２の孔１４とつながっている。

図２から分かるように、内側固定分配部材１２は直円柱であり、同形状の複数の相互に係合する固定部４８から成り、それぞれ、流体分配チャンバ１８の固定内壁を形成している。

同じく図２から分かるように、外側回転分配部材１６は、複数の相互に係合する回転部５０から成り、それぞれ、外側部５２と内側に延びるシール収容部５４とを備えている。外側部５２は、流体分配チャンバ１８の回転可能な外側壁となる。内側に延びるシール収容部５４は、流体分配チャンバ１８の端面の一つを形成し、そして、隣接する流体分配チャンバ１８同士を密閉すると共に内側固定分配部材１２の孔１４から流体分配チャンバ１８を密閉する一対の円筒状シール５８を受ける凹部５６を有する。

次に図３，４を参照し、回転部５０の一つをより詳細に示す。外側部５２は、周方向に間隔を空けて配置された分配口２２と、一方の端面に円周状に設けられた縁部６２と、他方の端面に円周状に設けられた段部６４とを有する。図２に示すように、回転部５０の縁部６２は、隣接する回転部５０の段部６４に係合する。図示されていないが、回転部５０は互いに、あるいは全部まとめて、ボルトで固定されており、互いにシールで密閉されている。固定部４８も互いに、あるいは全部まとめてボルトで固定され、また互いにシールで密閉されている。

図２に示す通り、外側回転分配部材１６は、回転部５０を積み重ねて構成され、内側固定分配部材１２の縦軸６６を中心に回転可能である。さらに、内側固定分配部材１２は固定部４８を積み重ねて構成される。

次に図２、５、６を参照する。回転割出し部材２６は孔６８を有する環状ディスクであり、固定割出し部材２８の円筒状突出部４４はその孔６８を貫通し、さらに回転割出し部材２６は円筒状突出部４４の周りを回転可能である。回転割出し部材２６は、圧力チャンバ面７０を有する。圧力チャンバ面７０は、圧力筐体７２と互いに係合する円周方向に突出する縁部７１を有する。シール受段部７４は、圧力チャンバ７６を密閉するために孔６８に設けられる。使用時には、例えば空気あるいは窒素といった圧力チャンバ７６内の流体の圧力により、回転割出し部材２６の割出し面３６は、固定割出し部材２８の割出し面３６．１に接触した状態で保持される。

図示されていないが、圧力チャンバ筐体７２と回転割出し部材２６とは、一緒にボルトで固定され、互いから密閉されている。圧力筐体７２は、外側回転分配部材１６にボルトで固定されている。従って、回転割出し部材２６と、回転圧力筐体７２と、外側回転分配部材１６とは、すべて互いにボルトで固定されており、そして縦軸６６である共通軸を中心に回転可能である。

次に、図２、７、８を参照する。固定割出し部材２８は、隣接する内側固定分配部材１２の固定部４８と互いに係合するために、円周方向に突出する段部７８を有する。円周方向に突出する縁部８０は、円筒状突出部４４と縁部８０との間の所定の位置に割出し板４２（分かりやすくするため図から削除）を位置決めするために設けられている。通路８２は、円筒状突出部４４を貫通して孔４６まで延び、固定圧縮空気管（図示せず）を圧力チャンバ７６に接続している。図７、８から分かるように、通路３８，４０の多数の対が、固定割出し部材２８に放射状に間隔を空けて設けられている。

次に、図９から１３においては、図１及び２の部材と同じ部材が同じ符号で参照される。回転分配装置１０．１は内側固定分配部材１２の孔１４及び固定割出し部材２８の孔１４．１内に延びる固定供給・戻り管８４．１，８４．２を有する。固定供給・戻り管８４．１，８４．２は、分配チャンバ１８の固定ポート２０に接続される。供給管８４．１が分配チャンバ１８の固定ポート２０に接続される場合は、該チャンバはここでは供給チャンバ１８と言われる。戻り管８４．２が分配チャンバ１８の固定ポート２０に接続される場合は、そのチャンバは戻りチャンバ１８と言われる。通常は、分配・供給チャンバ１８は複数設けられる。各チャンバ１８は、流体の流速に応じて供給・戻り管を二つ以上備えてもよい。しかしながら、一般的に供給管あるいは戻り管は一本のみが、特定の流体分配チャンバ１８の固定ポート２０に接続される。

流体分配チャンバ１８の分配口２２の一つ又は複数が、パイプ８６のような形状の外部管によって、回転割出し部材２６の接続口３０．１又は３２．１に接続される。外部パイプ８６は、縦軸６６を中心に外側回転分配部材１６と回転割出し部材２６と共に回転可能である。

回転割出し部材２６内の通路３０，３２は、供給通路３０と戻り通路３２とから構成される。従って、ある特定の供給流体用の供給チャンバ１８は外部パイプ８６によって供給通路３０に接続され、対応する戻り通路３２は、他の外部パイプ８６によって、該供給流体用の戻りチャンバ１８に接続される。

図９から１２では、分かりやすくするため回転割出し部材２６と固定割出し部材２８とが省略されている。ただし、図１３には回転割出し部材２６が含まれる。図９から１３では、外部パイプ８６はいくつかの流体分配チャンバ１８のみから延びている様子が、やはり同様に分かりやすくするために示してある。図１３から分かるように、多数の外部パイプ８６が一つの流体分配チャンバ１８に接続されている。

次に図１４を参照する。回転分配装置１０．１は装置１０とほぼ同じであるが、固定分配部材１２の固定部４８が外側突出部５４．１を備え、回転分配部材１６の回転部５０．１が直線状であるという点が異なる。装置１０．１は、突出部５４．１と回転部５０．１との間に、より直径の大きなシールが必要となる点に問題を来たしている。

次に図１５と１６を参照する。固定割出し部材２８．１は固定割出し部材２８とほぼ同じであるが、通路３８，４０が固定割出し部材２８．１の側にポート３８．１，４０．１を有し、各通路は固定割出し部材２８．１内で直角に曲がっているという点が異なる。

次に図１７を参照すると、回転分配装置１０．２は装置１０とほぼ同じであるが、各割出し部材２６，２８において通路が一本であるという点が異なる。

次に図１８を参照する。ある特定のプロセス流体９０の入った流体供給タンク８８は、固定供給管８４．１によって、流体供給チャンバ１８．１の固定供給口２０．１と接続する。供給チャンバ１８．1の供給分配口２２．１は、外部パイプ８６．１を介して、回転割出し部材２６の供給接続口３２．１に接続される。供給流体は、供給通路３２を介して供給割出し口３２．２へ、そして固定割出し部材２８の割出し口４０．２へと流れる。そこから、供給流体は、供給通路４０内を流れて、供給接続口４０．１から、プロセスチャンバあるいは容器９４へつながる固定供給管９２へ流れ込む。該流体は、プロセスチャンバ９４内を貫流し、プロセスチャンバ９４から戻り流体として、固定戻り管９６に流れ込む。この戻り流体は、固定戻り管９６内を通って固定割出し部材２８の接続口３８．１に流れ込む。その後、該戻り流体は、戻り通路３８を通って固定割出し部材２８の戻り割出し口３８．２から出て、回転割出し部材２６の戻り割出し口３０．２に流れ込む。そして戻り流体は、戻り通路３０を通り、回転割出し部材２６の戻り接続口３０．１から流出して、戻り外部管８６．２に流れ込む。戻り流体は、戻り口２２．２を介して、戻りチャンバ１８．２に流れ込む。戻り流体は固定戻り口２０．２を通って戻りチャンバ１８．２を出て、固定戻り管８４．２に入り、流体供給タンク９０へ戻る。この例は、回転分配装置の代表的な流路を表しているにすぎない。実際には、戻り流体は、別のタンクに戻されるか、廃棄のために排出されることとなる。

異なる供給チャンバ１８．１同士が戻りチャンバ１８．２を共有してもよいことは理解されたい。供給プロセス流体の性質によっては、その戻り流体は、固定供給タンク９０ではなく、廃棄分として戻る場合がある。図１８では分かりやすくするために、供給チャンバも戻りチャンバも一つしか図示されていない。しかしながら、装置１０は、少なくとも異なる二種類のプロセス流体には、少なくとも二つの供給チャンバを備えることとなることは理解されたい。装置１０は、ｎ種類の異なるプロセス流体をｍ個の分配チャンバ１８に接続できる。一般的に、分配チャンバ１８の個数ｍの方がプロセス流体の種類数ｎよりも多い。

装置１０が使用されるプロセスの一例として、砂糖液の漂白を挙げる。そのプロセスでは、多数のプロセス容器が設けられ、それぞれ砂糖液から色素分子を取り除くことのできる樹脂が収容されている。再生剤を樹脂に通すことによって、各プロセス容器の樹脂を定期的に活性化させる必要がある。図１９のフロー図でそのプロセスを図示する。分かりやすくするため、再生の前後にある水洗浄工程は省略されている。砂糖液は、固定供給管８４．１を介して供給チャンバ１８．１に供給される。砂糖液は供給チャンバ１８．１から、二本の外部パイプ８６．１を介して回転割出し部材２６へ、次に固定割出し部材２８へ、次に二本の固定管９２．１を介して二つのプロセス容器９４．１，９４．２へ送り込まれる。砂糖液はプロセス容器９４．１，９４．２内を流れ、二本の固定管９６．１と、固定割出し部材２８と、回転割出し部材２６と一対の外部パイプ８６．２とを介して戻りチャンバへ１８．２へと戻る。砂糖液は固定管８４．２を介して戻りチャンバ１８．２より排出される。同時に、再生剤が固定管８４．３によって再生剤供給チャンバ１８．３へ送り込まれて、固定プロセス容器９４．３に供給され、プロセス容器９４．３内の樹脂を活性化させる。再生剤は再生剤供給チャンバ１８．３から外部パイプ８６．３を介して回転割出し部材２６へ、次に固定割出し部材２８へ、そこから固定管９２．２を介してプロセス容器９４．３へ供給される。再生剤は、固定管９６．２を介して、固定割出し部材２８、次に回転割出し部材２６、そしてそこから外部パイプ８６．４を介して再生剤戻りチャンバ１８．４に戻る。再生剤は固定管８４．４を介して再生剤戻りチャンバ１８．４から排出される。回転割出し部材２６の回転に伴い、再生剤は残りの二つのプロセス容器にも連続的に送り込まれ、砂糖液は、同時に、再生剤が供給されていない別の二つの容器に送り込まれる。三方弁８７を固定管８６．４に設けてもよい。砂糖液がプロセス容器９４．３から流れ出ると共に、プロセス容器９４．３内では砂糖液と再生剤が入れ替わるため、砂糖液が再生剤と混ざる可能性のある再生剤戻りチャンバ１８．４に流れ込むのではなく、回転バイパス管８６．５を介して砂糖液戻りチャンバ１８．２に流れ込むように、三方弁８７を固定管８６．２に接続する。砂糖液がプロセス容器９４．３から排出するのにかかる時間の間はバイパス管８６．５を介して砂糖液を案内し、その後、三方弁を切り換えて、残りの外部パイプ８６．４を介して再生剤戻りチャンバ１８．４に再生剤を導くことができるように、三方弁８６．５を例えばタイマーで動作させてもよい。タイマーの代わりに、パイプ８６．４に配置する流体感知装置を使用してもよい。その結果、流体感知装置により三方弁の操作を制御できる。

図１９では、装置１０の回転部の回転中心である共通縦軸が線６６により示され、固定部はその隣に斜線を付して示される。

次に、図２０を参照する。回転分配装置１０．３は、プロセス容器９４に流体を供給するための上側一対の割出し部材２６，２８と、プロセス容器９４から流体を戻すための下側一対の割出し部材２６，２８とを有する。分かりやすくするため、図２０では、図１８で使用された符号と同じ符号を使用する。装置１０．３では、プロセス容器９４への供給管９２は全て低い位置に配置でき、プロセス容器からの戻り管は全て高い位置に配置できるという利点がある。その結果、供給及び戻り管９２，９６は、保守整備をする際、容易に手が届くようになった。

次に、図２１を参照する。回転分配装置１０．４は、下側一対の割出し部材２６，２８と、上側一対の割出し部材２６，２８とを有する。各割出し部材には，二つの同心円環状に通路が設けられている。同じく分かりやすくするため、図２１では図１８で使用された符号と同じ符号を使用する。装置１０．４では、流体を二組のプロセスチャンバ９４に送り込み、そして戻すことができるという利点がある。

本発明の趣旨または範囲を逸脱しない限り、本発明は、種々の改良、変形が可能であることは理解されたい。

本発明に係る回転分配装置の斜視図である。図１のII−II線による側断面図である。図１、２の装置の外側分配部材の側断面図である。図３の外側分配部材の斜視図である。図１、２の装置の回転割出し部材の側断面図である。図５の回転割出し部材の斜視図である。図１、２の装置の固定割出し部材の側断面図である。図７の固定割出し部材の斜視図である。本発明の別の実施形態に係る装置で、割出し部材を除き、多数の流体分配チャンバを含んだ斜視図である。図９の側面図である。図１０のXI−XI線の側断面図である。図１０のXII−XII線の平面図である。図９に類似の斜視図であるが、回転割出し部材を含んでいる。図９乃至図１３に示す装置の一部の側断面図である。固定割出し部材の別の実施形態の側断面図である。図１５の固定割出し部材の斜視図である。本装置のさらに詳細な実施形態の側断面図である。本装置を具体的に示したフロー図で、回転分配装置の操作を説明する。本装置を使用するプロセスのフロー図で、分かりやすいように展開した状態で本装置の操作を説明する。単一通路の割出し部材を二対有する本発明の更に他の実施形態による装置を使用するフロー図である。二重通路の割出し部材を二対有する本発明の更に他の実施形態による装置を使用するフロー図である。

符号の説明

１２内側固定分配部材
１６外側回転分配部材
１８流体分配チャンバ
２０固定口
２２分配口
２６回転割出し部材
２８固定割出し部材
３０．１，３２．１，３８．１，４０．１接続口
３０．２，３２．２，３８．２，４０．２割出し口
３０，３２，３８，４０通路
３６割出し面
７２圧力チャンバ筐体
７６圧力チャンバ

Claims

内部管区域を持つ内側固定分配部材と、
前記内側固定分配部材の周りを回転可能な外側回転分配部材と、
前記内側固定分配部材と前記外側回転分配部材との間に位置する複数の流体分配チャンバと、
を有し、
前記各流体分配チャンバは、流体用の固定供給管又は固定戻り管が使用時に接続され得る前記内側固定分配部材に形成された固定口を有するとともに、前記外側回転分配部材に形成された少なくとも一つの分配口を有し、
更に、回転割出し部材と固定割出し部材とを有する、少なくとも一つの割出し装置と、
前記回転割出し部材及び前記固定割出し部材の各々を貫通し、それぞれ、割出し面に設けられた割出し口と、接続口とを有する複数の通路と、
を有し、
前記回転割出し部材の接続口は、使用時に、接続管により流体分配チャンバの分配口に接続され、前記固定割出し部材の接続口は、使用時に、固定管によりプロセスチャンバに接続され、
使用時に、前記外側回転分配部材と前記回転割出し部材と前記接続管とが回転されると、前記固定割出し部材の割出し口に対して前記回転割出し部材の割出し口が対応されることに基づき、流体分配チャンバへ送られた流体は、順次、前記プロセスチャンバへ供給されると共にそのプロセスチャンバから戻されて他の流体分配チャンバへと供給されることを特徴とする回転分配装置。
前記内側固定分配部材は、前記固定割出し部材に固定され、前記外側回転分配部材は、前記回転割出し部材に固定され、前記外側回転分配部材と前記回転割出し部材とは、共通軸を中心に回転可能であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記固定割出し部材及び回転割出し部材のそれぞれには、複数対の通路のそれぞれを規定する二重の同心円環状に通路が設けられており、各対の通路は、供給通路と戻り通路から構成されることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の装置。
前記固定割出し部材及び回転割出し部材のそれぞれには一重の円環状に通路が設けられていることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の装置。
前記内側固定分配部材及び外側回転分配部材の両端に一つずつ配置される二つの前記割出し装置を有する請求項４に記載の装置。
圧力チャンバに対して圧力チャンバ筐体を有し、使用時には、前記圧力チャンバ内の流体の圧力により、前記回転割出し部材の割出し面は、前記固定割出し部材の割出し面に接触した状態で保持されることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の装置。
前記圧力チャンバは、前記回転割出し部材と前記外側回転分配部材との間に位置し、更に前記圧力チャンバ筐体は、前記回転割出し部材と前記外側回転分配部材と共に、共通軸を中心として回転可能であることを特徴とする請求項６に記載の装置。
前記流体分配チャンバは、前記内側固定分配部材の周囲に円周状に延びていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の装置。
少なくとも二つの流体供給チャンバと、少なくとも一つの流体分配戻りチャンバとを有することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の装置。
前記内側固定分配部材と前記外側回転分配部材との間にシールを有し、前記流体分配チャンバを互いに密閉することを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずか１項に記載の装置。
前記シールが前記外側回転分配部材に固定され、その外側回転分配部材と共に回転可能であることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
前記内側固定分配部材の内部管区域は、管が入ることのできる中空の孔からなることを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の装置。