JP4201659B2 - Manufacturing method of build-up multilayer printed wiring board having end face through hole - Google Patents

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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、端面スルーホールを有する多層プリント配線板、特に、ブラインドバイアホールを分割して得られる端面スルーホールを有するビルドアップ多層プリント配線板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、プリント配線板に端面スルーホールを形成する際、スルーホールを直に切断加工(例えば、打ち抜き加工、ダイシング加工等)すると、当該スルーホールの導体が剥がれたり、或いは当該スルーホールが潰れてしまったりする等の不具合があったため、当該スルーホールに樹脂を充填し、切断加工後、当該樹脂を除去するようにしていた。
【0003】
しかし、樹脂を充填する工程は作業工数が多く、工程が煩雑になり、また、樹脂が完全に除去できなかった場合には、半田濡れ性が低下してしまうという懸念を有していた。
【0004】
このような不具合を解消する例として、図3に示した如きプリント配線板の製造方法が既に報告されている(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
まず、図3(1)に示したように、絶縁基材15の表裏に金属箔4を備えた絶縁基板16を用意し、一方の面から他方の面に向けてドリル加工を行い、当該他方の金属箔4付近まで孔6aを明け、次いで、図3(2)に示したように、残りの絶縁基材15の樹脂をレーザで除去して、非貫通孔6を穿孔する。次に、図3(3)に示したように、めっき9を析出させて表裏の金属箔4同士を導通させ、次いで、表裏の配線パターン形成を行うことにより、他方の面が底部ランド2で塞がれたブラインドバイアホール10を得る(図3(4))。そして、当該ブラインドバイアホール10のほぼ中心線14に沿って、尚且つ当該底部ランド2の形成側から切断加工することにより、図3(5)に示した端面スルーホール12aを有するプリント配線板17を得る。
【0006】
このように、貫通したスルーホールの代わりに片側が底部ランドで塞がれたブラインドバイアホールを形成し、当該ブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って、尚且つ当該底部ランドの形成側から切断加工するようにしているため、当該ブラインドバイアホール(上記でいうスルーホール)内に樹脂を充填せずとも、当該切断加工時にブラインドバイアホール内のめっきを保護することができ、端面スルーホールの潰れや、めっき剥がれ等を抑制することができる。
【0007】
【特許文献1】
特開平10−65298号公報
【0008】
ところで、端面スルーホールを有するプリント配線板の用途としてモジュール基板があり、当該モジュール基板の小型・高機能化が進むにつれ、当該プリント配線板の小型・高密度配線化も進み、従来のように層間接続手段として貫通スルーホール(図3に示したものは、形状的にはブラインドバイアホールであるが、結果的には表裏を接続する貫通スルーホールと同じと考えられる)を形成していたのでは、配線パターンの形成自由度が阻害されてしまうため、当該端面スルーホールを有するプリント配線板の形態として、配線層間をブラインドバイアホールで接続する、ビルドアップ多層プリント配線板の需要が伸びてきている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、当該ビルドアップ多層プリント配線板に形成されたブラインドバイアホールに、上記と同様の切断加工(ブラインドバイアホールが潰れないように、底部ランド側から切断する加工方法)を行う場合を想定すると、底部ランドが表面に露出していないため、当該底部ランド(即ち、ブラインドバイアホール)のほぼ中心線に沿って切断加工するのは非常に困難であった。
【0010】
その理由として、ブラインドバイアホールは、ドリルで穿孔した貫通孔(下層に形成された基準マークを基準にドリル加工された貫通孔)を基準にして、レーザ加工予定部の金属箔をエッチング除去して開口部を形成するとともに、レーザ加工用の基準マーク(開口部)も同時に形成し、次いで、レーザ加工用の基準マークを基準にレーザ加工を行うことによって形成されるものであり、一方、切断加工は、当該貫通孔を基準にして加工されるというものであるから、ブラインドバイアホール形成の際のレーザ加工精度(レーザ加工用の基準マーク形成と、レーザ加工との2工程分の位置合わせ誤差が生じる)と、切断加工の加工精度とが、大きく異なるためである。
【0011】
本発明は、上記不具合に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ビルドアップ多層プリント配線板に設けたブラインドバイアホールの底部ランド形成側から切断加工する際、容易に当該ブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断加工することができる、端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1に係る本発明は、配線層間を接続するブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断することにより形成される、端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板の製造方法であって、少なくとも、レーザ加工により、積層基板に、上層から中間層に達するブラインドバイアホール用非貫通孔を穿孔するとともに、当該上層とは反対面の最下層に達する切断加工時の基準マーク用非貫通孔を穿孔する工程と、当該基準マーク用非貫通孔を貫通せしめて基準マーク用貫通孔とする工程と、当該基準マーク用貫通孔及び前記ブラインドバイアホール用非貫通孔の導通処理を行った後、外層の配線パターンを形成する工程と、当該基準マーク用貫通孔を基準にして、当該上層とは反対の面から当該ブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断加工する工程とを有することを特徴とする。
【0013】
このように、切断加工用の基準マーク用非貫通孔がブラインドバイアホール用非貫通孔のレーザ加工と同時に形設されるため、該基準マーク用非貫通孔から形成された基準マーク用貫通孔を基準とすることにより、底部ランド形成側から切断加工したとしても、精度良くブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断加工することができる。
【0014】
また、請求項2に係る本発明は、配線層間を接続するブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断することにより形成される、端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板の製造方法であって、少なくとも、レーザ加工により、切断加工時の基準マーク用貫通孔形成部に位置する最下層の一部を予め除去した積層基板に、上層から中間層に達するブラインドバイアホール用非貫通孔を穿孔するとともに、当該上層とは反対面まで貫通する切断加工時の基準マーク用貫通孔を穿孔する工程と、当該基準マーク用貫通孔及び前記ブラインドバイアホール用非貫通孔の導通処理を行った後、外層の配線パターンを形成する工程と、当該基準マーク用貫通孔を基準にして、当該上層とは反対の面から当該ブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断加工する工程とを有することを特徴とする。
【0015】
このように、切断加工用の基準マーク用貫通孔がブラインドバイアホール用非貫通孔のレーザ加工と同時に形設されるため、該基準マーク用貫通孔を基準とすることにより、底部ランド形成側から切断加工したとしても、精度良くブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断加工することができる。
【0016】
また、請求項3に係る本発明は、上記ブラインドバイアホール用非貫通孔を直線上に複数形成するとともに、当該基準マーク用貫通孔を当該複数のブラインドバイアホール用非貫通孔のほぼ中心線上であって、かつ当該複数のブラインドバイアホールの両最外側に形成することを特徴とする。
【0017】
これにより、切断加工の基準となる貫通孔が、直線上に複数形成されるブラインドバイアホールの両最外側に形成されるため、切断加工後、当該切断加工の良否判定を容易に行うことができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図1乃至図2を用いて簡単に説明する。尚、便宜上、図面としては、切断加工されるブラインドバイアホールと、当該切断加工時に使用される基準マークのみを示すこととする。また、図中(a)は、ビルドアップ多層プリント配線板の拡大断面説明図、(b)は同プリント配線板の平面説明図で、そのL−L線は(a)の断面図の切断ラインを示し、(c)は同プリント配線板の底面説明図である。
【0019】
まず、図1(1)に示したように、底部ランド2を含んだ図示しない内層配線パターン(位置合わせ用内層マークを含む)が形成されたコア基板1の表裏に、層間絶縁層3と銅箔等の金属箔4とを順次積層し、あるいは、層間絶縁層に金属箔が積層された樹脂付き金属箔を積層し、次いで、X線孔明け機で図示しない位置合わせ用内層マークを認識して、当該位置合わせ用内層マークにドリル加工を行い、図示しない露光用基準孔を穿孔する。次に、当該露光用基準孔を基準にして、図示しないレーザ加工用の基準マーク、ブラインドバイアホール10、及び切断加工用の基準マーク11形成部に位置する一方の金属箔4をエッチング除去して開口部5を形成する。次に、図示しないレーザ加工用の基準マークを基準にしてレーザ加工を行い、底部ランド2に達するブラインドバイアホール10用の非貫通孔6を穿孔するとともに、他方の金属箔4に達する切断加工時に使用される基準マーク用非貫通孔7を穿孔する(図1(2)参照)。
【0020】
ここで、当該基準マーク用非貫通孔7は、ブラインドバイアホール10を形成した後に行われる切断加工が、精度よく行われたかどうかを容易に確認できるように、直線上に複数形成されるブラインドバイアホール10用の非貫通孔6のほぼ中心線上であって、当該複数の非貫通孔6の両最外側に設けるようにする。
【0021】
次に、図1(3)に示したように、当該基準マーク用非貫通孔7形成部に位置する他方の金属箔4をエッチング除去して、当該基準マーク用非貫通孔7を基準マーク用貫通孔8とした後、無電解めっき、電解めっき処理を行うことによって、非貫通孔6等を含んだ全面にめっき9(例えば銅めっき)を析出させる(図2(4)参照)。
【0022】
ここで、基準マーク用貫通孔8を穿孔する手段として、一度、他方の金属箔4に達する基準マーク用非貫通孔7を穿孔した後、エッチングで当該基準マーク用非貫通孔7形成部に位置する他方の金属箔4を除去する例を用いて説明したが、予め、基準マーク用非貫通孔7形成部に位置する他方の金属箔4をエッチング除去しておいてから、レーザで基準マーク用貫通孔8を穿孔することもできる。
【0023】
次に、図2(5)に示したように、外層の配線パターン形成を行い、ブラインドバイアホール10、及び切断加工用の基準マーク11を形成した後、所望のソルダーレジスト18を形成する。そして、図2(6)の(c)に示したように、他方の面から基準マーク11を認識し、当該基準マーク11の中心を結ぶ中心線14に沿って、打ち抜き加工やダイシング加工等の切断加工を行うことにより、端面スルーホール12を備えた図2(6)の(a)のビルドアップ多層プリント配線板13を得る。
【0024】
本発明は、切断加工時の基準マーク(貫通孔)を、ブラインドバイアホール用非貫通孔形成の際のレーザ加工と同時に形成する点に特徴を有している。
【0025】
これにより、当該基準マークを基準にして、ブラインドバイアホールの底部ランド形成側(図中の他方の面側)から切断加工する際、端面スルーホールの加工精度が、レーザ加工機と切断加工機との加工精度の差のみとなるため、従来に比して、加工位置精度が向上し、容易に当該ブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って、切断加工を行うことができる。
【0026】
また、上記のように、基準マーク11を、直線上に複数形成されるブラインドバイアホール10の両最外側に設けるようにすれば、当該切断加工の良否を容易に確認することができる。
【0027】
【実施例】
本発明の一実施例を、図1乃至図2に倣って簡単に説明する。
【0028】
まず、φ0.450mmの底部ランドを含んだ内層配線パターン及び、位置合わせ用の内層マークが形成された厚さ0.1mmのコア基板の表裏に、厚さ0.04mmの層間絶縁層に、厚さ12μmの銅箔が積層された樹脂付き銅箔を積層し、次いで、X線孔明け機により、当該内層マークの位置にドリル加工を行い、φ2.0mmの露光用基準孔を穿孔する(図示せず)。次に、露光用基準孔を基準にしてエッチング加工を行い、φ0.5mmのレーザ加工用基準マーク(開口部)と、ブラインドバイアホール形成部、切断加工用基準マーク形成部に0.35mmの開口部を、一方の金属箔に形成する(図1(1)に該当)。次に、当該レーザ加工用の基準マークを基準にし、炭酸ガスレーザを用いて、パルス幅10μs、3ショットの条件で、底部ランドに達するφ0.25mmの非貫通孔を穿孔するとともに、パルス幅12μs、10ショットの条件で、他方の金属箔に達する基準マーク用非貫通孔を穿孔する(図1(2)に該当)。次に、当該基準マーク用非貫通孔に位置する他方の金属箔をエッチング除去して、φ0.35mmの開口部を形成し、当該基準マーク用非貫通孔を基準マーク用貫通孔とした(図1(3)に相当)後、デスミア処理、無電解銅めっき、電解銅めっき処理を行うことによって、非貫通孔を含んだ全面に、厚さ20μmの銅めっきを析出させる(図2(4)に該当)。次に、エッチングにより外層の配線パターン形成を行い、ランド径φ0.45mmの切断加工用の基準マークを形成した後、所望のソルダーレジストを形成する(図2(5)に該当)。そして、他方の面から基準マークを認識し、当該基準マークを結ぶ中心線に沿って、ダイシング加工を行うことにより、端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板を得た(図2(6)参照)。
【0029】
【発明の効果】
ブラインドバイアホールを切断して得られる端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板を本発明の製造方法により製造することによって、加工精度の高い端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板の概略製造工程図。
【図2】図1に続く概略製造工程図。
【図3】従来の端面スルーホールを備えたプリント配線板の概略製造工程図。
【符号の説明】
1:コア基板
2:底部ランド
3:層間絶縁層
4:金属箔
5:開口部
6:非貫通孔
6a:孔
7:基準マーク用非貫通孔
8:基準マーク用貫通孔
9:めっき
10:ブラインドバイアホール
11:基準マーク
12、12a:端面スルーホール
13:ビルドアップ多層プリント配線板
14:中心線
15:絶縁基材
16:絶縁基板
17:プリント配線板
18:ソルダーレジスト
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a multilayer printed wiring board having end face through holes, and more particularly, to a method for manufacturing a build-up multilayer printed wiring board having end face through holes obtained by dividing blind via holes.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when forming an end face through hole in a printed wiring board, if the through hole is directly cut (for example, punching or dicing), the conductor of the through hole is peeled off or the through hole is crushed. Since there was a problem such as loosening, the through hole was filled with resin, and the resin was removed after cutting.
[0003]
However, the process of filling the resin has a large number of work steps, and the process becomes complicated. If the resin cannot be completely removed, there is a concern that the solder wettability is lowered.
[0004]
As an example of solving such a problem, a method for manufacturing a printed wiring board as shown in FIG. 3 has already been reported (for example, see Patent Document 1).
[0005]
First, as shown in FIG. 3 (1), an insulating substrate 16 provided with a metal foil 4 is prepared on the front and back of an insulating base material 15, drilled from one surface to the other surface, and the other The hole 6a is drilled to the vicinity of the metal foil 4, and then, as shown in FIG. 3 (2), the resin of the remaining insulating base material 15 is removed with a laser, and the non-through hole 6 is drilled. Next, as shown in FIG. 3 (3), the plating 9 is deposited so that the metal foils 4 on the front and back sides are electrically connected to each other, and then the wiring pattern is formed on the front and back sides. The blocked blind via hole 10 is obtained (FIG. 3 (4)). Then, the printed wiring board 17 having the end face through hole 12a shown in FIG. 3 (5) is obtained by cutting along the substantially center line 14 of the blind via hole 10 and from the side where the bottom land 2 is formed. Get.
[0006]
In this way, instead of the penetrating through hole, a blind via hole in which one side is closed by the bottom land is formed, and cutting is performed along the substantially center line of the blind via hole and from the bottom land forming side. Therefore, the plating in the blind via hole can be protected at the time of cutting without filling the blind via hole (through hole mentioned above) with resin, , Plating peeling and the like can be suppressed.
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-10-65298 gazette
By the way, there is a module board as an application of a printed wiring board having an end face through hole. As the module board becomes smaller and more functional, the printed wiring board becomes smaller and has higher density wiring. As a connecting means, a through-through hole (the one shown in FIG. 3 is a blind via hole in shape, but as a result, it is considered to be the same as the through-hole connecting the front and back) Since the degree of freedom in forming the wiring pattern is hindered, the demand for a build-up multilayer printed wiring board in which wiring layers are connected by blind via holes is increasing as a form of a printed wiring board having the end face through hole. .
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
Here, it is assumed that the blind via hole formed in the build-up multilayer printed wiring board is subjected to the same cutting process as above (processing method for cutting from the bottom land side so that the blind via hole is not crushed). Since the bottom land is not exposed on the surface, it is very difficult to cut along the substantially center line of the bottom land (that is, blind via hole).
[0010]
The reason for this is that the blind via hole is obtained by etching and removing the metal foil in the laser processing planned portion based on the through hole drilled with a drill (through hole drilled with reference to the reference mark formed in the lower layer). In addition to forming an opening, a reference mark (opening) for laser processing is formed at the same time, and then formed by performing laser processing with reference to the reference mark for laser processing. Is processed on the basis of the through-hole, so that the laser processing accuracy in forming the blind via hole (registration error for two steps of forming the reference mark for laser processing and laser processing is small). This is because the processing accuracy of the cutting process is greatly different.
[0011]
The present invention has been made in view of the above problems, and the object of the present invention is to easily perform the blind via hole when cutting from the bottom land forming side of the blind via hole provided in the build-up multilayer printed wiring board. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a build-up multilayer printed wiring board having an end face through-hole that can be cut along substantially the center line.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention according to claim 1 is directed to a build-up multilayer printed wiring board having end face through holes formed by cutting along substantially the center line of blind via holes connecting wiring layers. In the manufacturing method of the above, at least during laser cutting, a non-through hole for a blind via hole reaching from the upper layer to the intermediate layer is drilled in the laminated substrate, and at the time of cutting processing reaching the lowermost layer opposite to the upper layer. A step of drilling a non-through hole for a reference mark, a step of passing through the non-through hole for a reference mark to form a through hole for a reference mark, and conduction between the through hole for the reference mark and the non-through hole for the blind via hole After the processing, the step of forming the wiring pattern of the outer layer and the brazing from the surface opposite to the upper layer on the basis of the reference mark through hole. Characterized by a step of cutting along the approximate center line of the command via holes.
[0013]
Thus, since the reference mark non-through hole for cutting is formed simultaneously with the laser processing of the blind via hole non-through hole, the reference mark through-hole formed from the non-through hole for the reference mark is formed. By using the reference, even if cutting is performed from the bottom land formation side, cutting can be performed along the substantially center line of the blind via hole with high accuracy.
[0014]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a build-up multilayer printed wiring board having an end face through-hole, which is formed by cutting along substantially the center line of a blind via hole connecting wiring layers. In addition, a blind via hole non-through hole reaching from the upper layer to the intermediate layer is formed on the laminated substrate from which a part of the lowermost layer located in the reference mark through hole forming portion at the time of cutting is removed in advance by laser processing. After drilling and drilling a reference mark through hole at the time of cutting that penetrates to the surface opposite to the upper layer, and conducting the conduction process of the reference mark through hole and the blind via hole non-through hole The step of forming the wiring pattern of the outer layer and the blind via hole from the surface opposite to the upper layer with reference to the through hole for the reference mark Characterized by a step of cutting along the approximate center line.
[0015]
As described above, the reference mark through hole for cutting is formed simultaneously with the laser processing of the blind via hole non-through hole. Even if it is cut, it can be cut along the center line of the blind via hole with high accuracy.
[0016]
According to a third aspect of the present invention, a plurality of the blind via hole non-through holes are formed on a straight line, and the reference mark through hole is formed on a substantially center line of the plurality of blind via hole non-through holes. And formed on both outermost sides of the plurality of blind via holes.
[0017]
Thereby, since the through-hole used as the reference | standard of a cutting process is formed in both outermost sides of the blind via hole formed in a straight line, the quality determination of the said cutting process can be performed easily after a cutting process. .
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be briefly described with reference to FIGS. For convenience, the drawing shows only the blind via hole to be cut and the reference mark used at the time of the cutting. Further, in the figure, (a) is an enlarged sectional explanatory view of the build-up multilayer printed wiring board, (b) is a plan explanatory view of the printed wiring board, and the LL line is a cutting line of the sectional view of (a). (C) is a bottom explanatory view of the printed wiring board.
[0019]
First, as shown in FIG. 1A, an interlayer insulating layer 3 and copper are formed on the front and back of a core substrate 1 on which an inner layer wiring pattern (not shown) including a bottom land 2 (including an alignment inner layer mark) is formed. A metal foil 4 such as a foil is sequentially laminated, or a metal foil with a resin in which a metal foil is laminated on an interlayer insulating layer, and then an inner layer mark for alignment (not shown) is recognized by an X-ray punch. Then, the alignment inner layer mark is drilled, and an exposure reference hole (not shown) is drilled. Next, on the basis of the exposure reference hole, one of the metal foils 4 located in the laser mark reference mark, the blind via hole 10 and the cutting reference mark 11 forming portion (not shown) is removed by etching. Opening 5 is formed. Next, laser processing is performed with reference to a reference mark for laser processing (not shown), and a non-through hole 6 for the blind via hole 10 reaching the bottom land 2 is drilled, and at the time of cutting processing reaching the other metal foil 4 The reference mark non-through hole 7 to be used is drilled (see FIG. 1 (2)).
[0020]
Here, the reference mark non-through hole 7 includes a plurality of blind vias formed on a straight line so that it can be easily confirmed whether or not the cutting process performed after forming the blind via hole 10 has been accurately performed. The non-through holes 6 for the holes 10 are provided almost on the center line and on the outermost sides of the plurality of non-through holes 6.
[0021]
Next, as shown in FIG. 1 (3), the other metal foil 4 located at the reference mark non-through hole 7 forming portion is removed by etching, and the reference mark non-through hole 7 is used for the reference mark. After forming the through-hole 8, electroless plating and electrolytic plating are performed to deposit plating 9 (for example, copper plating) on the entire surface including the non-through-hole 6 (see FIG. 2 (4)).
[0022]
Here, as a means for drilling the reference mark through-hole 8, the reference mark non-through-hole 7 reaching the other metal foil 4 is once drilled, and then etched and positioned at the reference mark non-through-hole 7 forming portion. However, the other metal foil 4 located in the reference mark non-through-hole 7 forming portion is removed by etching in advance, and then the reference mark laser is used. The through hole 8 can also be drilled.
[0023]
Next, as shown in FIG. 2 (5), an outer layer wiring pattern is formed to form the blind via hole 10 and the reference mark 11 for cutting, and then a desired solder resist 18 is formed. Then, as shown in FIG. 2C, the reference mark 11 is recognized from the other surface, and punching or dicing is performed along the center line 14 connecting the centers of the reference marks 11. By performing the cutting process, the build-up multilayer printed wiring board 13 of FIG. 2 (6) provided with the end face through holes 12 is obtained.
[0024]
The present invention is characterized in that the reference mark (through hole) at the time of cutting is formed simultaneously with the laser processing at the time of forming the non-through hole for the blind via hole.
[0025]
Thereby, when cutting from the bottom land formation side (the other surface side in the figure) of the blind via hole on the basis of the reference mark, the processing accuracy of the end face through hole is such that the laser processing machine and the cutting processing machine Therefore, the machining position accuracy is improved as compared with the conventional case, and the cutting process can be easily performed along substantially the center line of the blind via hole.
[0026]
Further, as described above, if the reference marks 11 are provided on both outermost sides of the blind via holes 10 formed on a straight line, the quality of the cutting process can be easily confirmed.
[0027]
【Example】
An embodiment of the present invention will be briefly described with reference to FIGS.
[0028]
First, the inner layer wiring pattern including the bottom land of φ0.450 mm and the inner layer mark for alignment are formed on the front and back of the 0.1 mm thick core substrate, on the 0.04 mm thick interlayer insulating layer, A copper foil with resin on which a copper foil having a thickness of 12 μm is laminated, and then drilled at the position of the inner layer mark by an X-ray punch to drill a reference hole for φ2.0 mm (see FIG. Not shown). Next, etching is performed using the exposure reference hole as a reference, and a 0.35 mm opening is formed in the φ0.5 mm laser processing reference mark (opening), the blind via hole forming portion, and the cutting reference mark forming portion. The part is formed on one metal foil (corresponding to FIG. 1 (1)). Next, with reference to the reference mark for laser processing, a carbon dioxide laser is used to drill a non-through hole of φ0.25 mm reaching the bottom land under a condition of a pulse width of 10 μs and 3 shots, and a pulse width of 12 μs, Under the condition of 10 shots, a reference mark non-through hole reaching the other metal foil is drilled (corresponding to FIG. 1 (2)). Next, the other metal foil located in the non-through hole for the reference mark is removed by etching to form an opening of φ0.35 mm, and the non-through hole for the reference mark is used as the through hole for the reference mark (see FIG. 1 (3)), and then a desmear treatment, an electroless copper plating, and an electrolytic copper plating treatment are performed to deposit a copper plating having a thickness of 20 μm on the entire surface including the non-through holes (FIG. 2 (4)). Fall under). Next, an outer layer wiring pattern is formed by etching, a reference mark for cutting with a land diameter of φ0.45 mm is formed, and then a desired solder resist is formed (corresponding to FIG. 2 (5)). Then, by recognizing the reference mark from the other surface and performing dicing along the center line connecting the reference marks, a build-up multilayer printed wiring board having end face through holes was obtained (FIG. 2 (6). )reference).
[0029]
【The invention's effect】
By producing a build-up multilayer printed wiring board having end face through holes obtained by cutting blind via holes by the manufacturing method of the present invention, a build-up multilayer printed wiring board having end face through holes with high processing accuracy is obtained. Can be easily obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic production process diagram of a build-up multilayer printed wiring board having an end face through-hole according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic manufacturing process diagram following FIG. 1;
FIG. 3 is a schematic manufacturing process diagram of a printed wiring board provided with a conventional end surface through-hole.
[Explanation of symbols]
1: Core substrate 2: Bottom land 3: Interlayer insulating layer 4: Metal foil 5: Opening 6: Non-through hole 6a: Hole 7: Non-through hole for reference mark 8: Through hole for reference mark 9: Plating 10: Blind Via hole 11: Reference mark 12, 12a: End face through hole 13: Build-up multilayer printed wiring board 14: Center line 15: Insulating substrate 16: Insulating substrate 17: Printed wiring board 18: Solder resist

Claims (3)

配線層間を接続するブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断することにより形成される、端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板の製造方法であって、少なくとも、レーザ加工により、積層基板に、上層から中間層に達するブラインドバイアホール用非貫通孔を穿孔するとともに、当該上層とは反対面の最下層に達する切断加工時の基準マーク用非貫通孔を穿孔する工程と、当該基準マーク用非貫通孔を貫通せしめて基準マーク用貫通孔とする工程と、当該基準マーク用貫通孔及び前記ブラインドバイアホール用非貫通孔の導通処理を行った後、外層の配線パターンを形成する工程と、当該基準マーク用貫通孔を基準にして、当該上層とは反対の面から当該ブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断加工する工程とを有することを特徴とするビルドアップ多層プリント配線板の製造方法。A method of manufacturing a build-up multilayer printed wiring board having an end face through-hole, which is formed by cutting along a substantially center line of a blind via hole connecting wiring layers. Drilling a blind via hole non-through hole reaching from the upper layer to the intermediate layer, and drilling a reference mark non-through hole at the time of cutting reaching the lowermost layer opposite to the upper layer, and the reference mark A step of passing through the non-through hole for a reference mark to form a through hole for a reference mark, and a step of forming a wiring pattern of an outer layer after conducting the conduction treatment of the through hole for the reference mark and the non-through hole for the blind via hole Then, cutting from the surface opposite to the upper layer along the substantially center line of the blind via hole with reference to the through hole for the reference mark. Method of manufacturing a build-up multilayer printed wiring board characterized by having the step of. 配線層間を接続するブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断することにより形成される、端面スルーホールを備えたビルドアップ多層プリント配線板の製造方法であって、少なくとも、レーザ加工により、切断加工時の基準マーク用貫通孔形成部に位置する最下層の一部を予め除去した積層基板に、上層から中間層に達するブラインドバイアホール用非貫通孔を穿孔するとともに、当該上層とは反対面まで貫通する切断加工時の基準マーク用貫通孔を穿孔する工程と、当該基準マーク用貫通孔及び前記ブラインドバイアホール用非貫通孔の導通処理を行った後、外層の配線パターンを形成する工程と、当該基準マーク用貫通孔を基準にして、当該上層とは反対の面から当該ブラインドバイアホールのほぼ中心線に沿って切断加工する工程とを有することを特徴とするビルドアップ多層プリント配線板の製造方法。A method of manufacturing a build-up multilayer printed wiring board having an end face through-hole formed by cutting along substantially the center line of a blind via hole connecting wiring layers, at least by laser processing. A non-through hole for a blind via hole reaching from the upper layer to the intermediate layer is drilled in the laminated substrate from which a part of the lowermost layer located in the through hole forming portion for the reference mark is removed in advance, and to the surface opposite to the upper layer A step of drilling a through hole for a reference mark at the time of cutting processing to penetrate, a step of forming a wiring pattern of an outer layer after conducting a conduction process of the through hole for the reference mark and the non-through hole for the blind via hole, Using the reference mark through hole as a reference, cut from the surface opposite to the upper layer along the center line of the blind via hole. Method of manufacturing a build-up multilayer printed wiring board, characterized by a step. 当該ブラインドバイアホール用非貫通孔を、直線上に複数形成するとともに、当該基準マーク用貫通孔を当該複数のブラインドバイアホール用非貫通孔のほぼ中心線上であって、かつ当該複数のブラインドバイアホールの両最外側に形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のビルドアップ多層プリント配線板の製造方法。A plurality of blind via hole non-through holes are formed on a straight line, and the reference mark through hole is substantially on the center line of the plurality of blind via hole non-through holes and the plurality of blind via holes. The method of manufacturing a build-up multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the multilayer printed wiring board is formed on both outermost sides.
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