JP4185501B2 - 半導体素子封止用射出キャスト成形装置、および使用方法 - Google Patents
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Description
高速プロセスであり、構成も簡単容易である。
材料流れを制御しやすい。
空気混入を最小限に抑制できる。
必要な場合には、空気混入を排除するために、真空室または加圧室を利用できる。
ステンレス鋼とPCBとの熱膨張差がきわめて小さいため、より大きなPCBにも良好に適用できる。
ステンレス鋼の伝熱性が高いため、予熱および硬化を高速で実施することができる。
感湿性に関する問題がない。
金型の磨耗は無視できる程度である。
12:内面、
26:キャビティ、
42:ランナーチャネル、
44:液体分配器、
54:エポキシ。
Claims (23)
- 半導体素子封止用射出キャスト成形装置において、
対向する上側部および底側部と、対向する第1および第2長手方向側部と、対向する内面および外面とを有する据え置かれた金型ユニットと、
前記金型ユニットの前記上側部と底側部の間にあって、且つ、前記内面に沿って延設して、そして、ランナーチャネルを備えるキャビティと、
を有して、
さらに、前記キャビティの上部を前記上側部に向けて開放する開放上側部と、前記キャビティの側面を開放するキャビティ開放面と、対向するキャビティ長手側部と、キャビティ背面と、キャビティ底側部とで前記キャビティを構成して、
そしてさらに、
前記キャビティ開放面を覆い且つ固定するプレートと、
前記キャビティ中に分配する封止材料を貯める材料貯めと、
前記封止材料を前記ランナーチャネルに送り出す分配針と、
を有しており、
前記封止材料を、前記キャビティの前記キャビティ底側部から前記キャビティ開放上側部に向けて充填することを特徴とする半導体素子封止用射出キャスト成形装置。
- 前記金型ユニットの前記上側部から前記キャビティにかけてオーバーフロー室を延設した請求項1記載の射出キャスト成形装置。
- さらに、前記金型ユニットの前記上側部から前記キャビティにかけて分配チャネルを延設した請求項1記載の射出キャスト成形装置。
- 前記キャビティが少なくとも一つのレンズ開口を有する請求項1記載の射出キャスト成形装置。
- 前記キャビティの前記底側部と前記キャビティの前記開放上側部との間にかけて、前記キャビティの長手方向に直列に前記レンズ開口を配列した請求項4記載の射出キャスト成形装置。
- 前記対向する第1および第2長手方向側部の間で、横方向直列に複数の前記レンズ開口を配列した請求項5の射出キャスト成形装置。
- 前記キャビティの前記底側部が最初に前記封止材料を充填されるように前記ランナーチャネルを配設した請求項5記載の射出キャスト成形装置。
- 前記記金型ユニットの長手方向側部が垂直である請求項1記載の射出キャスト成形装置。
- 前記金型ユニットの前記対向する上側部および底側部が水平である請求項2記載の射出キャスト成形装置。
- 半導体製品封止用射出キャスト成形装置において、側面を開放するキャビティ開放面と、上部を開放する開放上側部と、長手方向分配チャネルと、横方向ランナーチャネルとを備えたキャビティを有する据え置かれた金型ユニット;この金型ユニットの前記キャビティ開放面に対して固定するプレート;および前記キャビティ中に未硬化状態の封止材料を分配する液体分配器を有し、前記液体分配器が前記封止材料を貯める材料貯め、および前記封止材料を分配する分配針を有することを特徴とする半導体製品封止用射出キャスト成形装置。
- 前記金型ユニットがオーバーフロー室を有する請求項10記載の射出キャスト成形装置。
- 前記長手方向分配チャネルを底部のキャビティまで延設した請求項10記載の射出キャスト成形装置。
- 前記横方向ランナーチャネルを前記長手方向分配チャネルに隣接配置した請求項12記載の射出キャスト成形装置。
- 前記金型ユニットと前記プレートとの中間にプリント回路基板を有する請求項10記載の射出キャスト成形装置。
- 前記分配チャネルが垂直である請求項10記載の射出キャスト成形装置。
- 側面を開放するキャビティ開放面と、上部を開放する開放上側部と、底側部と、長手方向分配チャネルと、横方向ランナーチャネルとを備えた垂直キャビティを有する据え置かれた金型ユニットを用意する工程と、
前記キャビティ開放面に隣接して基板材料を積層的に配設する工程と、
前記長手方向分配チャネルに置いた分配針を使用することによって封止材料を前記垂直キャビティ内に分配する工程を有し、
前記底側部にある前記横方向ランナーチャネルにそって流れる前記封止材料を、前記垂直キャビティ内で上向きになる前記開放上側部の方向に上昇移動させることによって、前記垂直キャビティ内を前記封止材料で充填する工程を有することを特徴とする半導体製品の封止方法。
- さらに、プレートを締め付け、前記基板材料を前記金型ユニットに固定する工程を有する請求項16記載の方法。
- 前記基板材料がプリント回路基板である請求項17記載の方法。
- 前記分配する工程が、さらに、前記封止材料を材料貯めからトランスファーする工程を有する請求項16記載の方法。
- さらに、前記金型ユニットを加熱する請求項16記載の方法。
- さらに、前記封止材料を硬化する請求項16記載の方法。
- 前記垂直キャビティに離型剤を塗布する請求項16記載の方法。
- 前記垂直キャビティがさらにレンズ開口を有する請求項16記載の方法。
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US6508970B2 (en) * | 1999-07-15 | 2003-01-21 | Infineon Technologies North America Corp. | Liquid transfer molding system for encapsulating semiconductor integrated circuits |
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