JP4164251B2 - Organic EL color display and manufacturing method thereof - Google Patents

Organic EL color display and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
JP4164251B2
JP4164251B2 JP2001334343A JP2001334343A JP4164251B2 JP 4164251 B2 JP4164251 B2 JP 4164251B2 JP 2001334343 A JP2001334343 A JP 2001334343A JP 2001334343 A JP2001334343 A JP 2001334343A JP 4164251 B2 JP4164251 B2 JP 4164251B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic
light emitting
organic compound
layer
compound material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001334343A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2003142277A (en
Inventor
輝一 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tohoku Pioneer Corp
Original Assignee
Tohoku Pioneer Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tohoku Pioneer Corp filed Critical Tohoku Pioneer Corp
Priority to JP2001334343A priority Critical patent/JP4164251B2/en
Publication of JP2003142277A publication Critical patent/JP2003142277A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4164251B2 publication Critical patent/JP4164251B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/875Arrangements for extracting light from the devices
    • H10K59/876Arrangements for extracting light from the devices comprising a resonant cavity structure, e.g. Bragg reflector pair

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の発光色を呈する発光層からる有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子を要素とした有機ELカラーディスプレイ及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
有機ELディスプレイは、有機EL素子を基本要素とするもので、平面基板上に形成された有機EL素子を点灯又は非点灯することで、画像表示を行うものである。有機EL素子とは、所定面積の電極を対向配置して、一方を正電圧が印加される陽極、他方を負電圧が印加される陰極とし、この電極間に発光層を含む有機化合物材料層を介在させたものであり、電極間に電圧を印加することで、陰極から電子が、陽極から正孔がそれぞれ発光層に注入され、この発光層中で電子−正孔の再結合が起こることにより発光が生じる面発光素子である。この有機EL素子を単位面発光要素として平面基板上にマトリクス状に形成し、これをドットマトリクス駆動することにより、高精細な画像が表示できるフラットパネルディスプレイを形成することができる。
【0003】
また、有機化合物材料の研究によって、色純度の高いR,G,B各発光色を呈する有機EL素子が開発されたことを受けて、この各色の素子を画素毎に配設して、フルカラー表示を行う有機ELカラーディスプレイが開発されている。図8は、その素子構造を示す説明図である。
【0004】
同図において、透明なガラス等から成る基板1上には、TFT2が形成されており、更にはITO等の透明導電材料からなる透明電極3(陽極)が1つの要素毎に独立して形成されている。この透明電極3間には、ポリイミド等からなる絶縁膜4が形成されている。そして、この透明電極3上に、複数の有機化合物材料層5が形成され、その有機化合物材料層5の上を覆って、Al等からなる金属電極(陰極)6が形成されている。有機化合物材料層5は、基板1上の透明電極3及び絶縁膜4上に形成される正孔輸送機能層(正孔注入層51,正孔輸送層52)、その上に形成される、異なる有機化合物材料によって異なる色を発光する発光層50B,50G,50R、その上に形成される電子輸送機能層(電子輸送層53,電子注入層54)からなる。また、破線間の矢印の領域はRGB各色の発光領域を示している。
【0005】
このような素子構造からなる有機ELカラーディスプレイにおいては、発光層52B,52G,52Rから放射して基板1から出射する光として、直接透明電極3を介して基板1から出射する光、金属電極6側に出射して金属電極3の表面で反射されて基板1から出射する光、基板1,透明電極3及び多層化された有機化合物材料層5の各界面で反射して基板1から出射する光が存在し、これらの光が干渉して出力に影響を及ぼすことが知られている。特開平2000−323277号公報には、発光層を除く有機化合物材料層の各層を発光色に対応してそれぞれ異なる膜厚に設定し、反射干渉現象を利用することで各色取り出し光の高効率化を図ることが記載されている。
【0006】
上述の説明では、アクティブマトリクス型の有機ELカラーディスプレイを例にして説明したが、単純マトリクス(パッシブ)型の有機ELカラーディスプレイも、素子構造自体には大きな違いはなく、同様に反射干渉現象を利用した出力の高効率化が図られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特開平2000−323277号公報に記載されたものでは、透明電極の膜厚を一定にすることを前提としているので、有機化合物材料層と透明電極との境界で反射する反射光を対象とした反射干渉現象と、透明電極と基板との境界で反射する反射光を対象にした反射干渉現象とを共に考慮した取り出し光の高効率化ができないという問題がある。また、発光層を除いた有機化合物材料層を各色に対応して異なる膜厚に設定しているが、有機化合物材料層の膜厚は、本来その機能を充分に発揮するために設定されるべきものであり、この膜厚を反射干渉現象を考慮して設定した場合には、各色発光層の電圧輝度効率が低下してしまう問題があった。
【0008】
更には、発光層を除いた有機化合物材料層である正孔輸送機能層及び電子輸送機能層は一般には各色に拘わらず各機能毎に同じ材料で且つ均一な膜厚とすることがなされており、この各機能層の膜厚を各色毎に異なる膜厚にすると生産性が悪化する問題が生じる。
【0009】
本発明は、このような事情に対処するために提案されたものであって、各種の反射光を考慮して取り出し光の高効率化を達成することができると共に、発光層を除いた有機化合物材料層はその機能に応じた膜厚を設定することができ、また良好な生産性を確保できる有機ELカラーディスプレイ及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の有機ELカラーディスプレイ又はその製造方法は、以下の特徴を具備するものである。
【0011】
一つには、透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイにおいて、前記透明電極は、発光色に対応した異なる膜厚を有し、前記発光層を除く前記有機化合物材料層のうちで同一機能を有するいずれかの機能層の少なくとも一層が一定膜厚を有し、前記各有機EL素子の前記透明電極と前記有機化合物材料層は、波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記透明基板との境界までの光学距離がλ/4の偶数倍と略等しくなるような膜厚で、成膜されていることを特徴とする。
【0012】
また一つには、透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイにおいて、前記透明電極は、発光色に対応した異なる膜厚を有し、前記発光層を除く前記有機化合物材料層のうちで同一機能を有するいずれかの機能層の少なくとも一層が一定膜厚を有し、前記各有機EL素子の前記透明電極と前記有機化合物材料層は、波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記透明基板との境界までの光学距離がλ/4の偶数倍と略等しく、且つ前記発光層の発光界面から前記金属電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離がλ/4の奇数倍と略等しくなるような膜厚で、成膜されていることを特徴とする。
【0013】
また一つには、前述の特徴に併せて、前記発光層の発光界面から前記有機化合物材料層と前記透明電極との境界までの光学距離がλ/4の奇数倍と略等しくなるような膜厚で、前記有機化合物材料が成膜されていることを特徴とする。
【0014】
また一つには、透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイにおいて、前記透明電極は、発光色に対応した異なる膜厚を有し、前記発光層を除く前記有機化合物材料層のうちで同一機能を有するいずれかの機能層の少なくとも一層が一定膜厚を有し、前記各有機EL素子の前記透明電極と前記有機化合物材料層は、波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離、前記発光層の発光界面から前記金属電極と前記有機化合物材料層との界面までの光学距離、且つ前記透明電極の前記有機化合物材料層との界面と前記透明基板の前記透明電極との界面までの光学距離がλ/4と略等しくなるような膜厚で、成膜されていることを特徴とする。
【0015】
また一つには、屈折率n3,膜厚d3である透明電極、少なくとも屈折率n1,膜厚d1である電子輸送層、屈折率n2,膜厚d2である正孔輸送層、発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイにおいて、前記透明電極は、発光色に対応した異なる膜厚を有し、前記発光層を除く前記有機化合物材料層のうちで同一機能を有するいずれかの機能層の少なくとも一層が一定膜厚を有し、異なる発光色を呈する前記有機EL素子毎に、波長λを各発光色の中心波長として各発光層の発光界面から前記金属電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離(n1d1)、各発光層の発光界面から前記透明電極と前記有機化合物材料層との界面までの光学距離(n2d2)、且つ前記透明電極の前記有機化合物材料層の界面と前記透明基板の前記透明電極との界面までの光学距離(n3d3)がλ/4と略等しくなるような膜厚で成膜されていることを特徴とする。
【0016】
また一つには、透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイの製造方法において、前記透明電極を発光色に対応してそれぞれ異なる膜厚に成膜する工程を有すると共に、前記有機EL素子のすべてについて、同一の有機化合物材料からなる連続した一定膜厚を有する共通層を積層する共通積層工程を少なくとも1工程以上有し、波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記透明基板との境界までの光学距離がλ/4の偶数倍と略等しくなるような膜厚で、前記有機化合物材料層と前記透明電極が成膜されることを特徴とする。
【0017】
透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイの製造方法において、前記透明電極を発光色に対応してそれぞれ異なる膜厚に成膜する工程を有すると共に、前記有機EL素子のすべてについて、同一の有機化合物材料からなる連続した一定膜厚を有する共通層を積層する共通積層工程を少なくとも1工程以上有し、波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記透明基板との境界までの光学距離がλ/4の偶数倍と略等しく、且つ前記発光層の発光界面から前記金属電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離がλ/4の奇数倍と略等しくなるような膜厚で、前記有機化合物材料層と透明電極が成膜されていることを特徴とする。
【0018】
また一つには、前記発光層の発光界面から前記有機化合物材料層と前記透明電極との境界までの光学距離がλ/4の奇数倍と略等しくなるような膜厚で、前記有機化合物材料層が成膜されていることを特徴とする。
【0028】
前記各請求項に係る発明は以下の作用を奏するものである。
【0029】
発明によると、透明電極の膜厚を発光色に対応させて異なる膜厚に設定することにより、有機化合物材料層と透明電極との境界で反射する反射光と、透明電極と基板との境界で反射する反射光との両方を考慮して、取り出し光の干渉による高効率化を設定することができる。また、透明電極のみによって干渉による高効率化を達成する場合には、有機化合物材料層の各機能層は、各機能の応じた膜厚又は生産性を考慮に入れた均一な膜厚とすることが可能になる。これによって、生産性又は発光層の発光効率の最適化を図りながら、取り出し光の高効率化を達成することが可能になる。
【0030】
特に、有機化合物材料層の各機能層の少なくとも一層を、ディスプレイの全面において一定膜厚とするか又は同一の有機化合物材料により形成することにより、生産性の向上を図ることが可能になる。この一定膜厚又は同一材料の機能層としては、発光層から陽極側に積層された正孔輸送層或いは正孔注入層、又は発光層から陰極側に積層された電子輸送層とすることができる。
【0031】
また、発光層から放射して透明電極と透明基板との境界で反射して再び発光層側に戻る光を対象にした反射干渉現象を考慮して取り出し光の高効率化を達成することができる。
【0032】
また、発光層から放射して透明電極と透明基板との境界で反射して再び発光層側に戻る光及び発光層から後面方向に放射して金属電極の界面で反射して前面基板側に向けられる光を対象とした反射干渉現象を考慮して取り出し光の高効率化を達成することができる。
【0033】
また、発光層から放射して有機化合物材料層と透明電極との境界で反射して再び発光層側に戻る光を対象にした反射干渉現象を考慮して、取り出し光の高効率化を達成することができる。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の有機ELカラーディスプレイにおける第1の実施形態を示す説明図である。図はRGB各色の発光領域における層構造を示している。この実施形態は、各色の有機化合物材料層及び透明電極の膜厚を全て光学膜厚としたものである。有機ELカラーディスプレイは複数の有機EL素子を要素としており、各々の有機EL素子は、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する発光層を備えており、各色の有機EL素子が複数配列して有機ELカラーディスプレイを形成している。そして、各有機EL素子は、透明なガラス等から成る基板1、その上に形成されたITO等の透明電極3、有機化合物材料層5を形成する正孔輸送機能層5A,発光層50R(50G,50B),電子輸送機能層5B、及びAl等から成る金属電極6から構成され、この金属電極6が図示省略したSiN4等から成る封止材で覆われている。
【0035】
各有機EL素子において、独立して別個に積層された発光層50R,50G,50Bはそれぞれ電流印加時に異なる発光色の赤,緑,青を呈する異なる有機化合物材料から成っており、有機ELカラーディスプレイは、赤,緑及び青の発光色の有機EL素子の組を一つの画素として、例えば、これら複数画素をマトリクス配列することによりカラー表示を行うものである。
【0036】
まず、図2によって、有機EL素子における反射干渉現象について説明する。ここで、電子輸送機能層5B,正孔輸送機能層5A,透明電極3はそれぞれn1,n2,n3の屈折率を有し、各膜厚がd1,d2,d3であるとする。そして、基板1の屈折率をn4とすると、n1≒n2<n3>n4の関係にあるとする。
【0037】
この場合に、反射干渉現象の対象として考慮すべき光の態様は、発光層50の発光界面50a(発光層50と正孔輸送機能層5Aとの界面を発光界面とする。)から前面に放射される光a、発光界面50aから後面に放射される光a’、発光界面50aから後面に放射されて金属電極の界面で反射する光b、発光界面50aから前面に放射されて正孔輸送機能層5Aと透明電極3との境界で反射して再び発光界面50aに戻る光c、発光界面50aから前面に放射されて透明電極3と基板1との境界で反射して再び発光界面50aに戻る光dとなる。実際上の発光領域は素子構造や使用する有機化合物材料に大きく依存するが、発光層50と正孔輸送機能層5Aとの界面から数〜数十nmに分布していると考えられるので、前述の発光界面50aを定義して、そこからの光学距離によって反射干渉現象を検討するものとする。
【0038】
そして、波長λの光aと光bが強め合う条件は(1)式のとおり、すなわち、波長λを中心波長として発光する発光層の発光界面50aから金属電極6の界面までの光学距離n1・d1がλ/4の奇数倍である。
【0039】
【数1】

Figure 0004164251
【0040】
また、波長λの光a’と光dが強め合う条件は(2)式のとおり、すなわち、波長λを中心波長として発光する発光層の発光界面50aから透明電極3と基板1との境界までの光学距離(n2・d2+n3・d3)がλ/4の偶数倍である。
【0041】
【数2】
Figure 0004164251
【0042】
更に、中心波長λの光a’と光cが強め合う条件は(3)式のとおり、すなわち、波長λを中心波長として発光する発光層の発光界面50aから有機化合物材料層5と透明電極3との境界までの光学距離(n2・d2)がλ/4の奇数倍である。
【0043】
【数3】
Figure 0004164251
【0044】
したがって、(1)〜(3)式を全て満足する光学距離の関係は、以下のとおりである。
【0045】
【数4】
Figure 0004164251
【0046】
【数5】
Figure 0004164251
図1の実施形態では、RGBの各色における電子輸送機能層5B,正孔輸送機能層5A,透明電極3に対して、RGBに相当する中心波長(λ=650nm,λ=520nm,λ=460nm)からλ/4,λ/4,λ/4を求めて(5)式より各層の光学距離を以下のように設定している。
【0047】
【数6】
Figure 0004164251
【0048】
ここで、透明電極3(ITO)の各色毎の屈折率は、n3(λ)=1.81,n3(λ)=1.94,n4(λ)=2.00であるから、透明電極3の各色毎の膜厚(nm)は、d3(λ)=90,d3(λ)=67,d4(λ)=58となる。このように透明電極3の各色における膜厚d3を発光色に対応した異なる厚さにすることで、(1)〜(3)式を全て満たして、考慮した全ての光が互いに強め合うような設定が可能になり、各色発光層から放射した光を最も効率よく取り出すことができる。
【0049】
[設定例1]電子輸送機能層をAlq、正孔輸送機能層をNPB、透明電極をITO、基板をASガラスとして、図1の実施形態における設定例を以下に示す。ここでn1〜n4は各波長(λ=650nm,λ=520nm,λ=460nm)における屈折率の実測値を示している。
【0050】
【表1】
Figure 0004164251
【0051】
次に、本発明の有機ELカラーディスプレイの第2の実施形態を図3を参照して説明する(以下の各実施形態において、前述の実施形態と同一の部位には同一の符号を付して一部説明を省略する。また、図はRGB各色の発光領域における層構造を示しており、発光層を図示省略している。)。この実施形態は、発光界面50aから前面に放射されて正孔輸送機能層5Aと透明電極3との境界で反射して再び発光界面50aに戻る光cを無視して、反射光としては、発光界面50aから後面に放射されて金属電極の界面で反射する光b及び発光界面50aから前面に放射されて透明電極3と基板1との境界で反射して再び発光界面50aに戻る光dのみを考慮したものである。
【0052】
以下に、前述の設定例1における各層境界(電子輸送機能層;Alq,正孔輸送機能層;NPB,透明電極;ITO,基板;ASガラス)での電界振幅反射率の実測値を示す。
【0053】
【表2】
Figure 0004164251
【0054】
この表から明らかなように、実際には、有機化合物材料層間又は有機化合物材料層と透明電極3との境界での反射率は、透明電極3と基板1との境界における反射率と比較するとかなり小さく、前者の反射光を無視することは実用上問題にならない。したがって、前述の(1)式と(2)式のみ、すなわち、波長λを中心波長として発光する発光層の発光界面50aから透明電極3と基板1との境界までの光学距離(n2・d2+n3・d3)がλ/4の偶数倍であり、且つ発光界面50aから金属電極6の界面までの光学距離d1がλ/4の奇数倍となる関係から、m=1として以下の関係を得る。
【0055】
【数7】
Figure 0004164251
【0056】
ここで、d2とd3については、例えば各色で駆動電圧をそろえるように膜厚設定を行う。すなわち、正孔輸送機能層を厚く形成し、透明電極を薄くすると、電流輝度特性は変わらないが電圧輝度特性は劣化するので、これを利用して、駆動条件が各色毎に同じになるように正孔輸送機能層d2の膜厚を設定することができる。そして、透明電極膜厚d3を各色毎に異なる値とすることで(7)式を満足することが可能になり、実用的な取り出し光の高効率化も併せて達成することができるものである。
【0057】
次に、本発明の有機ELカラーディスプレイにおける第3の実施形態を図4によって説明する。この実施形態では、図3の実施形態と同様に有機化合物材料層間の反射及び有機化合物材料層と透明電極との境界での反射を無視して、(1)式と(2)式のみからn1・d1=λ/4、n2・d2+n3・d3=λ/2の条件を求め、これに対して、正孔輸送機能層5Aの膜厚d2を各色共通の一定値として設定したものである。これによると、透明電極3膜形成後に正孔輸送機能層5Aをパネル一面に一様に形成することができるので生産性の向上を図ることができる。正孔輸送機能層5AはNPB等の単一材料からなる正孔輸送層の単層であっても良いし、正孔輸送層と透明電極との間にCuPC等から成る単一材料の正孔注入層を積層させたものでもよい。
【0058】
[設定例2]電子輸送機能層をAlq、正孔輸送機能層をNPB、透明電極をITO、基板をASガラスとして、図4の実施形態における設定例を以下に示す。ここでn1〜n4は各波長(λ=650nm,λ=520nm,λ=460nm)における屈折率の実測値を示している。
【0059】
【表3】
Figure 0004164251
【0060】
次に、本発明の有機ELカラーディスプレイにおける第4の実施形態を図5によって説明する。この実施形態においては、透明電極3、正孔輸送機能層5Aについては図4の実施形態と同様であり、陰極側の電子輸送機能層5Bの膜厚d1を各色共通の一定値として設定したものである。この場合には、膜厚d1を各色共通の一定値にすることにより、前述の(1)式を全ての色において満足することはできなくなる。したがって、特定の色のみで(1)式を満足させた膜厚d1を設定すると共に、透明電極3の膜厚d3を各色毎に異なる値に設定し、(2)式を満足するように正孔輸送機能層5Aの膜厚d2を設定する。これによると、実用的に取り出し光の高効率化を達成しながら、正孔輸送機能層5Aと電子輸送機能層5Bを共に一定膜厚とすることで、更に生産性の向上を図ることができる。この際の電子輸送機能層5Bは、Alq等からなる単一材料の電子輸送層の単層であっても良いし、電子輸送層と金属電極6との間にLi2O等から成る単一材料の電子注入層を積層させたものでもよい。
【0061】
[設定例3]電子輸送機能層をAlq、正孔輸送機能層をNPB、透明電極をITO、基板をASガラスとして、図5の実施形態における設定例を以下に示す。ここでn1〜n4は各波長(λ=650nm,λ=520nm,λ=460nm)における屈折率の実測値を示している。
【0062】
【表4】
Figure 0004164251
【0063】
以下に、本発明に係る有機ELカラーディスプレイの製造方法を説明する。図6において、まず、同図(a)に示すように、それぞれITOからなるRGB用の透明電極3をガラス基板1上に形成する。透明電極の膜厚d3は表4に示すようにRGBの各発光色に対応して異なる値となるように予め設定されており、各色毎のマスクを用いて蒸着時間を各色毎に設定して所望の膜厚を形成する。
【0064】
次に同図(b)に示すように、真空蒸着等によって正孔輸送機能層5Aを透明電極3の上に一様に形成する。この正孔輸送機能層5Aは前述のようにNPBの単層であってもよいし、正孔注入層としてCuPC等の単層を積層した後のNPBを積層するようにしてもよい。いずれにしても、この正孔輸送機能層5Aの形成は、同一の有機化合物材料からなる連続した一定膜厚を有する共通層を積層する工程とする。
【0065】
次に同図(c)に示すように、各色毎に発光層50を形成し、更にその上に真空蒸着等によって電子輸送機能層5Bを一様に形成する。この電子輸送機能層5Bは前述のようにAlqの単層であってもよいし、この単層を積層した後に電子注入層としてLiO等の単層を積層するようにしてもよい。いずれにしても、この電子輸送機能層5Bの形成は、同一の有機化合物材料からなる連続した一定膜厚を有する共通層を積層する工程とする。そして、同図(d)に示すように、電子輸送機能層5B上にAl−Li等の低仕事関数の金属電極6を蒸着又はスパッタ等の手段で成膜し、更にその上を図示省略した封止材で覆う。
【0066】
この製造方法によると、透明電極3の形成工程はマスク等を用いた各色毎に膜厚を設定する煩雑な工程を要するが、その後の成膜工程を簡略化することが可能になる。特に、基板上に透明電極3を形成した状態で資材を流通させることを考えると、ディスプレイの生産性を著しく向上させることが可能になる。
【0067】
そして、正孔輸送機能層5A及び電子輸送機能層5Bを表4の膜厚d2及び膜厚d1となるように設定することで、実用的に有効な範囲で反射干渉現象による取り出し光の高効率化を達成することも可能になる。
【0068】
図7は、本発明に係る有機ELカラーディスプレイの製造方法における他の実施形態を示す説明図である。これは、各色取り出し光の高効率化を最も重要視した[設定例1]を得るための実施形態である。まず、同図(a)に示すように、それぞれITOからなるRGB用の透明電極3をガラス基板1上に膜厚d3が表1に示す値となるように形成する。そして、この透明電極3上に正孔輸送機能層の共通層5A’を同一の有機化合物材料からなる連続した一定膜厚で形成する。この共通層5A’の膜厚は、表1におけるd2の最小値(59nm)に設定されている。
【0069】
次に同図(b)に示すように、R及びGに対して正孔輸送機能層を必要な厚さだけ付加して、RGB各色の膜厚d2が表1に示す値になるように、正孔輸送機能層5Aを形成する。更に同図(c)に示すように、各色毎の発光層50を形成した後、電子輸送機能層の共通層5B’を同一の有機化合物材料からなる連続した一定膜厚で形成する。この共通層5B’の膜厚は、表1におけるd1の最小値(62nm)に設定されている。
【0070】
そして、同図(d)に示すように、R及びGに対して電子輸送機能層を必要な厚さだけ付加して、RGB各色の膜厚d1が表1に示す値になるように、電子輸送機能層5Bを形成する。以下、前述の実施形態と同様に電子輸送機能層5B上に金属電極6を成膜し、更にその上を封止材で覆う。また、この実施形態においても、前述の実施形態と同様に、正孔輸送機能層5AはNPB等の単層であってもよいし、正孔注入層としてCuPC等の単層を積層した後のNPBを積層するようにしてもよく、電子輸送機能層5Bは、Alq等の単層であってもよいし、この単層を積層した後に電子注入層としてLiO等の単層を積層するようにしてもよい。
【0071】
この製造方法によると、前述の(1)〜(3)式を全て満足する膜厚の設定をすることで、各色の取り出し光を最大限高効率化することが可能になると共に、有機化合物材料層の形成に際して共通層を先に形成して、その後に各色の層を付加するようにしたので、膜形成の時間を短縮化することが可能になり、生産性の向上を図ることができる。
【0072】
【発明の効果】
本発明は、このように構成されるので、各種の反射光を考慮して取り出し光の高効率化を達成することができると共に、発光層を除いた有機化合物材料層はその機能に応じた膜厚を設定することができ、また良好な生産性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の有機ELカラーディスプレイにおける実施形態を示す説明図である。
【図2】有機EL素子における反射干渉現象を説明する説明図である。
【図3】本発明の有機ELカラーディスプレイにおける実施形態を示す説明図である。
【図4】本発明の有機ELカラーディスプレイにおける実施形態を示す説明図である。
【図5】本発明の有機ELカラーディスプレイにおける実施形態を示す説明図である。
【図6】本発明の有機ELカラーディスプレイの製造方法における実施形態を示す説明図である。
【図7】本発明の有機ELカラーディスプレイの製造方法における実施形態を示す説明図である。
【図8】従来の有機ELカラーディスプレイの素子構造を示す説明図である。
【符号の説明】
1 基板
2 TFT
3 透明電極
4 絶縁膜
5 有機化合物材料層
5A 正孔輸送機能層
5B 電子輸送機能層
50 発光層
6 金属電極[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an organic EL color display having an organic EL (electroluminescence) element composed of a light emitting layer exhibiting a plurality of emission colors as an element and a method for manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
An organic EL display has an organic EL element as a basic element, and displays an image by turning on or off an organic EL element formed on a flat substrate. An organic EL element is an organic compound material layer including a light emitting layer between electrodes, with electrodes of a predetermined area facing each other, one being an anode to which a positive voltage is applied and the other being a cathode to which a negative voltage is applied. When a voltage is applied between the electrodes, electrons are injected from the cathode and holes from the anode are injected into the light-emitting layer, and electron-hole recombination occurs in the light-emitting layer. It is a surface light emitting element that emits light. A flat panel display capable of displaying a high-definition image can be formed by forming the organic EL element as a unit surface light-emitting element in a matrix on a flat substrate and driving it in a dot matrix.
[0003]
Further, in response to the development of organic EL elements that exhibit R, G, and B emission colors with high color purity through research on organic compound materials, each color element is arranged for each pixel to provide a full color display. An organic EL color display has been developed. FIG. 8 is an explanatory view showing the element structure.
[0004]
In the figure, a TFT 2 is formed on a substrate 1 made of transparent glass or the like, and a transparent electrode 3 (anode) made of a transparent conductive material such as ITO is formed independently for each element. ing. An insulating film 4 made of polyimide or the like is formed between the transparent electrodes 3. A plurality of organic compound material layers 5 are formed on the transparent electrode 3, and a metal electrode (cathode) 6 made of Al or the like is formed so as to cover the organic compound material layer 5. The organic compound material layer 5 is formed on the hole transport function layer (hole injection layer 51, hole transport layer 52) formed on the transparent electrode 3 and the insulating film 4 on the substrate 1 and different from each other. It comprises light emitting layers 50B, 50G, and 50R that emit different colors depending on the organic compound material, and an electron transport function layer (electron transport layer 53 and electron injection layer 54) formed thereon. Moreover, the area | region of the arrow between broken lines has shown the light emission area | region of each color of RGB.
[0005]
In the organic EL color display having such an element structure, the light emitted from the substrate 1 through the transparent electrode 3 as the light emitted from the light emitting layers 52B, 52G, 52R and emitted from the substrate 1, the metal electrode 6 Light emitted to the side and reflected from the surface of the metal electrode 3 and emitted from the substrate 1, light reflected from each interface of the substrate 1, the transparent electrode 3, and the multilayered organic compound material layer 5 and emitted from the substrate 1 It is known that these lights interfere and affect the output. In JP-A-2000-323277, the organic compound material layers excluding the light emitting layer are set to have different film thicknesses corresponding to the light emission colors, and the reflection interference phenomenon is used to increase the efficiency of each color extraction light. Is described.
[0006]
In the above description, the active matrix type organic EL color display has been described as an example. However, the simple matrix (passive) type organic EL color display has no significant difference in the element structure itself, and similarly exhibits a reflection interference phenomenon. The efficiency of the used output is improved.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-323277, it is assumed that the film thickness of the transparent electrode is constant, so that the reflected light reflected at the boundary between the organic compound material layer and the transparent electrode is targeted. Therefore, there is a problem in that it is impossible to increase the efficiency of the extracted light in consideration of both the reflected interference phenomenon and the reflected interference phenomenon for the reflected light reflected at the boundary between the transparent electrode and the substrate. In addition, the organic compound material layer excluding the light emitting layer is set to have a different film thickness corresponding to each color. However, the film thickness of the organic compound material layer should be originally set in order to fully exhibit its function. However, when this film thickness is set in consideration of the reflection interference phenomenon, there is a problem that the voltage luminance efficiency of each color light emitting layer is lowered.
[0008]
Furthermore, the hole transporting functional layer and the electron transporting functional layer, which are organic compound material layers excluding the light emitting layer, are generally made of the same material and uniform film thickness for each function regardless of the color. When the film thickness of each functional layer is made different for each color, there arises a problem that productivity is deteriorated.
[0009]
The present invention has been proposed in order to cope with such a situation, and can achieve high efficiency of extracted light in consideration of various reflected light, and an organic compound excluding a light emitting layer An object of the material layer is to provide an organic EL color display capable of setting a film thickness according to its function and ensuring good productivity, and a manufacturing method thereof.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
  To achieve the above objective,The organic EL color display of the present invention or the manufacturing method thereof has the following characteristics.
[0011]
  For one thing, an organic EL element formed by sequentially laminating a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light-emitting layer, and a metal electrode on a transparent substrate as an element exhibits different emission colors depending on different organic compound materials. In an organic EL color display formed by arranging a plurality of the organic EL elements composed of the light emitting layer,The transparent electrode has a different film thickness corresponding to the emission color,At least one of the functional layers having the same function among the organic compound material layers excluding the light emitting layer has a constant film thickness, and the transparent electrode and the organic compound material layer of each organic EL element are: The optical distance from the light emitting interface of the light emitting layer that emits light having the wavelength λ as the central wavelength to the boundary between the transparent electrode and the transparent substrate is formed so as to be substantially equal to an even multiple of λ / 4. It is characterized by being.
[0012]
  Also, for one element, an organic EL element in which a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light emitting layer, and a metal electrode are sequentially laminated on a transparent substrate is used as an element. In the organic EL color display formed by arranging a plurality of the organic EL elements including the light emitting layer to be exhibited, the transparent electrode has a different film thickness corresponding to a light emission color, and the organic compound material layer excluding the light emitting layer Among them, at least one of the functional layers having the same function has a certain film thickness, and the transparent electrode and the organic compound material layer of each organic EL element emit light having a wavelength λ as a central wavelength. The optical distance from the light emitting interface to the boundary between the transparent electrode and the transparent substrate is substantially equal to an even multiple of λ / 4, and from the light emitting interface of the light emitting layer to the metal electrodeAnd the organic compound material layerThe film thickness is such that the optical distance is approximately equal to an odd multiple of λ / 4.
[0013]
  In addition, in addition to the above-described characteristics, a film in which an optical distance from a light emitting interface of the light emitting layer to a boundary between the organic compound material layer and the transparent electrode is substantially equal to an odd multiple of λ / 4. Thick, said organic compound materiallayerIs formed into a film.
[0014]
  Also, for one element, an organic EL element in which a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light emitting layer, and a metal electrode are sequentially laminated on a transparent substrate is used as an element. In the organic EL color display formed by arranging a plurality of the organic EL elements including the light emitting layer to be exhibited, the transparent electrode has a different film thickness corresponding to a light emission color, and the organic compound material layer excluding the light emitting layer Among them, at least one of the functional layers having the same function has a certain film thickness, and the transparent electrode and the organic compound material layer of each organic EL element emit light having a wavelength λ as a central wavelength. From the light emitting interface of the transparent electrode and theOrganic compound material layerThe optical distance to the boundary with the metal electrode from the light emitting interface of the light emitting layerAnd the organic compound material layerAnd the organic compound of the transparent electrode.materialThe interface with the layer and saidTransparentThe film is formed in such a film thickness that the optical distance to the interface with the transparent electrode of the substrate is substantially equal to λ / 4.
[0015]
  One of them includes a transparent electrode having a refractive index n3 and a film thickness d3, at least an electron transport layer having a refractive index n1 and a film thickness d1, a hole transport layer having a refractive index n2 and a film thickness d2, and a light emitting layer. A plurality of the organic EL elements composed of the light-emitting layers exhibiting different emission colors depending on different organic compound materials are arranged using an organic EL element formed by sequentially laminating a plurality of organic compound material layers and metal electrodes on a transparent substrate. In the organic EL color display, the transparent electrode has a different film thickness corresponding to an emission color, and at least one of the functional layers having the same function among the organic compound material layers excluding the light emitting layer. For each of the organic EL elements having a constant film thickness and exhibiting different emission colors, the metal electrode from the emission interface of each emission layer with the wavelength λ as the center wavelength of each emission colorAnd the organic compound material layerOptical distance to (n1d1) The transparent electrode from the light emitting interface of each light emitting layerAnd the organic compound material layerOptical distance to the interface (n2d2) and the organic compound of the transparent electrodematerialLayer interface and saidTransparentOptical distance to the interface of the substrate with the transparent electrode (n3The film is formed with a film thickness such that d3) is substantially equal to λ / 4.
[0016]
Also, for one element, an organic EL element in which a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light emitting layer, and a metal electrode are sequentially laminated on a transparent substrate is used as an element. In the manufacturing method of the organic EL color display formed by arranging a plurality of the organic EL elements composed of the light emitting layers to be exhibited, the method includes forming the transparent electrodes in different film thicknesses corresponding to light emission colors, The light emitting interface of the light emitting layer that has at least one common lamination step of laminating a common layer having a constant film thickness made of the same organic compound material and emits light having a wavelength λ as a central wavelength for all EL elements The organic compound material layer has a film thickness such that the optical distance from the transparent electrode to the boundary between the transparent substrate and the transparent substrate is substantially equal to an even multiple of λ / 4. The transparent electrode is formed into a film.
[0017]
  Consists of the light-emitting layer exhibiting different emission colors depending on different organic compound materials, with an organic EL element formed by sequentially laminating a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light-emitting layer, and a metal electrode on a transparent substrate. In the method for producing an organic EL color display in which a plurality of the organic EL elements are arranged, the method includes forming the transparent electrodes in different film thicknesses corresponding to emission colors, and for all the organic EL elements, The transparent electrode and the transparent electrode from the light emitting interface of the light emitting layer having at least one common lamination step of laminating a common layer having a constant film thickness made of the same organic compound material and having a wavelength λ as a central wavelength The optical distance to the boundary with the transparent substrate is substantially equal to an even multiple of λ / 4, and the metal electrode from the light emitting interface of the light emitting layerAnd the organic compound material layerThe organic compound material layer and the transparent electrode are formed in such a film thickness that the optical distance to the boundary is substantially equal to an odd multiple of λ / 4.
[0018]
In another aspect, the organic compound material has a film thickness such that an optical distance from a light emitting interface of the light emitting layer to a boundary between the organic compound material layer and the transparent electrode is substantially equal to an odd multiple of λ / 4. A layer is formed.
[0028]
The invention according to each of the claims has the following effects.
[0029]
BookAccording to the invention, by setting the film thickness of the transparent electrode to a different film thickness corresponding to the emission color, the reflected light reflected at the boundary between the organic compound material layer and the transparent electrode, and the boundary between the transparent electrode and the substrate Considering both the reflected light and the reflected light, it is possible to set high efficiency by interference of the extracted light. In addition, when achieving high efficiency by interference only with transparent electrodes, each functional layer of the organic compound material layer should have a uniform film thickness that takes into account the film thickness or productivity of each function. Is possible. This makes it possible to achieve high extraction light efficiency while optimizing productivity or light emission efficiency of the light emitting layer.
[0030]
In particular, it is possible to improve productivity by forming at least one of the functional layers of the organic compound material layer to have a constant film thickness over the entire surface of the display or using the same organic compound material. The functional layer of the constant thickness or the same material can be a hole transport layer or a hole injection layer laminated from the light emitting layer to the anode side, or an electron transport layer laminated from the light emitting layer to the cathode side. .
[0031]
Also,Considering the reflection interference phenomenon for the light radiated from the light emitting layer, reflected at the boundary between the transparent electrode and the transparent substrate, and returning to the light emitting layer side again, it is possible to achieve high efficiency of the extracted light.
[0032]
Also,Light emitted from the light emitting layer, reflected at the boundary between the transparent electrode and the transparent substrate, and returned to the light emitting layer again, and light emitted from the light emitting layer toward the rear surface and reflected at the interface of the metal electrode and directed to the front substrate side Considering the reflection interference phenomenon for the above, it is possible to achieve high efficiency of extracted light.
[0033]
Also,Considering the reflection interference phenomenon for the light radiated from the light emitting layer, reflected at the boundary between the organic compound material layer and the transparent electrode, and returning to the light emitting layer side, it is possible to achieve high efficiency of the extracted light it can.
[0034]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an organic EL color display according to the present invention.FirstIt is explanatory drawing which shows embodiment. The figure shows the layer structure in the light emitting region of each color of RGB. In this embodiment, the thicknesses of the organic compound material layers and the transparent electrodes of the respective colors are all optical thicknesses. An organic EL color display has a plurality of organic EL elements as elements, and each organic EL element has a light emitting layer that exhibits different emission colors depending on different organic compound materials, and a plurality of organic EL elements of each color are arranged in an organic manner. An EL color display is formed. Each organic EL element includes a substrate 1 made of transparent glass or the like, a transparent electrode 3 such as ITO formed thereon, a hole transport function layer 5A for forming an organic compound material layer 5, and a light emitting layer 50R (50G). , 50B), an electron transporting functional layer 5B, and a metal electrode 6 made of Al or the like.FourIt is covered with a sealing material made of or the like.
[0035]
In each organic EL element, the light emitting layers 50R, 50G, and 50B, which are separately laminated independently, are made of different organic compound materials that exhibit red, green, and blue light emission colors when current is applied. In this case, a set of organic EL elements having emission colors of red, green and blue is used as one pixel, and color display is performed by, for example, arranging these plural pixels in a matrix.
[0036]
First, the reflection interference phenomenon in the organic EL element will be described with reference to FIG. Here, it is assumed that the electron transport function layer 5B, the hole transport function layer 5A, and the transparent electrode 3 have refractive indexes of n1, n2, and n3, respectively, and the film thicknesses are d1, d2, and d3. When the refractive index of the substrate 1 is n4, it is assumed that the relationship is n1≈n2 <n3> n4.
[0037]
In this case, the mode of light to be considered as a target of the reflection interference phenomenon is emitted from the light emitting interface 50a of the light emitting layer 50 (the interface between the light emitting layer 50 and the hole transport functional layer 5A is the light emitting interface) to the front. Light a emitted from the light emitting interface 50a to the rear surface, light b emitted from the light emitting interface 50a to the rear surface and reflected from the interface of the metal electrode, and emitted from the light emitting interface 50a to the front surface to transport holes. Light c reflected at the boundary between the layer 5A and the transparent electrode 3 and returned to the light emitting interface 50a again, emitted from the light emitting interface 50a to the front surface, reflected at the boundary between the transparent electrode 3 and the substrate 1, and returned to the light emitting interface 50a again. It becomes light d. Although the actual light emitting region largely depends on the element structure and the organic compound material to be used, it is considered to be distributed from several to several tens of nanometers from the interface between the light emitting layer 50 and the hole transporting functional layer 5A. The light emission interface 50a is defined, and the reflection interference phenomenon is examined according to the optical distance from the light emission interface 50a.
[0038]
The condition that the light a and the light b having the wavelength λ are intensified is as shown in the equation (1), that is, the optical distance n1 · from the light emitting interface 50a of the light emitting layer that emits light having the wavelength λ as the central wavelength to the interface of the metal electrode 6. d1 is an odd multiple of λ / 4.
[0039]
[Expression 1]
Figure 0004164251
[0040]
Further, the condition that the light a ′ and the light d having the wavelength λ are intensified is as shown in the equation (2), that is, from the light emitting interface 50a of the light emitting layer that emits light having the wavelength λ as the central wavelength to the boundary between the transparent electrode 3 and the substrate 1. The optical distance (n2 · d2 + n3 · d3) is an even multiple of λ / 4.
[0041]
[Expression 2]
Figure 0004164251
[0042]
Further, the condition that the light a ′ and the light c having the central wavelength λ are intensified is as shown in the equation (3), that is, the organic compound material layer 5 and the transparent electrode 3 from the light emitting interface 50a of the light emitting layer that emits light having the wavelength λ as the central wavelength. The optical distance (n2 · d2) to the boundary is an odd multiple of λ / 4.
[0043]
[Equation 3]
Figure 0004164251
[0044]
Therefore, the relationship between the optical distances satisfying all the expressions (1) to (3) is as follows.
[0045]
[Expression 4]
Figure 0004164251
[0046]
[Equation 5]
Figure 0004164251
In the embodiment of FIG. 1, the center wavelength (λ corresponding to RGB) with respect to the electron transport function layer 5B, the hole transport function layer 5A, and the transparent electrode 3 in each color of RGB.R= 650 nm, λG= 520 nm, λB= 460 nm) to λR/ 4, λG/ 4, λB/ 4 is obtained, and the optical distance of each layer is set as follows from the equation (5).
[0047]
[Formula 6]
Figure 0004164251
[0048]
Here, the refractive index for each color of the transparent electrode 3 (ITO) is n3 (λR) = 1.81, n3 (λG) = 1.94, n4 (λB) = 2.00, the film thickness (nm) for each color of the transparent electrode 3 is d3 (λR) = 90, d3 (λG) = 67, d4 (λB) = 58. In this way, by setting the film thickness d3 of each color of the transparent electrode 3 to a different thickness corresponding to the light emission color, all the considered light is intensified by satisfying all the expressions (1) to (3). Setting is possible, and light emitted from each color light emitting layer can be extracted most efficiently.
[0049]
[Setting Example 1] A setting example in the embodiment of FIG. 1 is shown below, assuming that the electron transporting functional layer is Alq, the hole transporting functional layer is NPB, the transparent electrode is ITO, and the substrate is AS glass. Here, n1 to n4 are each wavelength (λR= 650 nm, λG= 520 nm, λB= Measurement value of refractive index at 460 nm).
[0050]
[Table 1]
Figure 0004164251
[0051]
  Next, the organic EL color display of the present inventionSecondThe embodiment will be described with reference to FIG. 3 (in the following embodiments, the same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and a part of the description will be omitted. The layer structure in the light emitting region is shown, and the light emitting layer is not shown). In this embodiment, light c emitted from the light emitting interface 50a to the front surface, reflected at the boundary between the hole transporting functional layer 5A and the transparent electrode 3 and returning to the light emitting interface 50a again is ignored, and reflected light is emitted. Only light b emitted from the interface 50a to the rear surface and reflected from the interface of the metal electrode and light d emitted from the light emitting interface 50a to the front surface, reflected from the boundary between the transparent electrode 3 and the substrate 1 and returned to the light emitting interface 50a again. It is taken into consideration.
[0052]
The measured values of the electric field amplitude reflectivity at each layer boundary (electron transport function layer: Alq, hole transport function layer; NPB, transparent electrode: ITO, substrate: AS glass) in the setting example 1 described above are shown below.
[0053]
[Table 2]
Figure 0004164251
[0054]
As is apparent from this table, in practice, the reflectance at the organic compound material layer or the boundary between the organic compound material layer and the transparent electrode 3 is considerably larger than the reflectance at the boundary between the transparent electrode 3 and the substrate 1. Neglecting the former reflected light is not a problem in practice. Therefore, only the above-described formulas (1) and (2), that is, the optical distance (n2 · d2 + n3 ·) from the light emitting interface 50a of the light emitting layer that emits light with the wavelength λ as the center wavelength to the boundary between the transparent electrode 3 and the substrate 1 From the relationship where d3) is an even multiple of λ / 4 and the optical distance d1 from the light emitting interface 50a to the interface of the metal electrode 6 is an odd multiple of λ / 4, the following relationship is obtained with m = 1.
[0055]
[Expression 7]
Figure 0004164251
[0056]
Here, with respect to d2 and d3, for example, the film thickness is set so that the drive voltages are aligned for each color. In other words, if the hole transporting functional layer is formed thick and the transparent electrode is thin, the current luminance characteristic does not change, but the voltage luminance characteristic deteriorates. Therefore, using this, the driving conditions are the same for each color. The film thickness of the hole transport functional layer d2 can be set. Then, by setting the transparent electrode film thickness d3 to a different value for each color, the expression (7) can be satisfied, and practically high efficiency of extracted light can be achieved. .
[0057]
  Next, in the organic EL color display of the present inventionThirdThe embodiment will be described with reference to FIG. In this embodiment, as in the embodiment of FIG. 3, the reflection between the organic compound material layers and the reflection at the boundary between the organic compound material layer and the transparent electrode are ignored, and only n1 is obtained from the equations (1) and (2). The conditions of d1 = λ / 4 and n2 · d2 + n3 · d3 = λ / 2 are obtained, and the film thickness d2 of the hole transport function layer 5A is set as a constant value common to each color. According to this, since the hole transporting functional layer 5A can be uniformly formed on the entire surface of the panel after forming the transparent electrode 3 film, the productivity can be improved. The hole transport functional layer 5A may be a single layer of a hole transport layer made of a single material such as NPB, or a single material hole made of CuPC or the like between the hole transport layer and the transparent electrode. It may be a laminate of injection layers.
[0058]
[Setting Example 2] A setting example in the embodiment of FIG. 4 is shown below, assuming that the electron transporting functional layer is Alq, the hole transporting functional layer is NPB, the transparent electrode is ITO, and the substrate is AS glass. Here, n1 to n4 are each wavelength (λR= 650 nm, λG= 520 nm, λB= Measurement value of refractive index at 460 nm).
[0059]
[Table 3]
Figure 0004164251
[0060]
  Next, in the organic EL color display of the present invention4thThe embodiment will be described with reference to FIG. In this embodiment, the transparent electrode 3 and the hole transport function layer 5A are the same as those in the embodiment of FIG. 4, and the film thickness d1 of the electron transport function layer 5B on the cathode side is set as a constant value common to each color. It is. In this case, by setting the film thickness d1 to a constant value common to each color, the above-described expression (1) cannot be satisfied for all colors. Accordingly, the film thickness d1 that satisfies the expression (1) with only a specific color is set, and the film thickness d3 of the transparent electrode 3 is set to a different value for each color, so that the expression (2) is satisfied. The film thickness d2 of the hole transport function layer 5A is set. According to this, productivity can be further improved by setting both the hole transporting functional layer 5A and the electron transporting functional layer 5B to a constant film thickness while achieving practically high efficiency of extracted light. . In this case, the electron transporting functional layer 5B may be a single layer of a single material electron transporting layer made of Alq or the like, or a Li layer between the electron transporting layer and the metal electrode 6.2A single material electron injection layer made of O or the like may be laminated.
[0061]
[Setting Example 3] A setting example in the embodiment shown in FIG. 5 is shown below, assuming that the electron transporting functional layer is Alq, the hole transporting functional layer is NPB, the transparent electrode is ITO, and the substrate is AS glass. Here, n1 to n4 are each wavelength (λR= 650 nm, λG= 520 nm, λB= Measurement value of refractive index at 460 nm).
[0062]
[Table 4]
Figure 0004164251
[0063]
Below, the manufacturing method of the organic electroluminescent color display which concerns on this invention is demonstrated. In FIG. 6, first, RGB transparent electrodes 3 each made of ITO are formed on a glass substrate 1 as shown in FIG. As shown in Table 4, the thickness d3 of the transparent electrode is set in advance so as to have a different value corresponding to each of the RGB emission colors, and the deposition time is set for each color using a mask for each color. A desired film thickness is formed.
[0064]
Next, as shown in FIG. 2B, the hole transporting functional layer 5A is uniformly formed on the transparent electrode 3 by vacuum deposition or the like. The hole transporting functional layer 5A may be a single layer of NPB as described above, or may be formed by stacking NPB after a single layer of CuPC or the like is stacked as the hole injection layer. In any case, the formation of the hole transporting functional layer 5A is a step of laminating a common layer having a continuous constant film thickness made of the same organic compound material.
[0065]
Next, as shown in FIG. 2C, the light emitting layer 50 is formed for each color, and the electron transporting functional layer 5B is uniformly formed thereon by vacuum deposition or the like. The electron transporting functional layer 5B may be a single layer of Alq as described above, and after this single layer is laminated, Li as an electron injection layer.2A single layer such as O may be laminated. In any case, the formation of the electron transporting functional layer 5B is a step of laminating a common layer having a continuous constant film thickness made of the same organic compound material. Then, as shown in FIG. 4D, a metal electrode 6 having a low work function such as Al—Li is formed on the electron transporting functional layer 5B by means of vapor deposition or sputtering, and the upper portion thereof is not shown. Cover with sealing material.
[0066]
According to this manufacturing method, the formation process of the transparent electrode 3 requires a complicated process of setting the film thickness for each color using a mask or the like, but the subsequent film formation process can be simplified. In particular, considering the distribution of materials with the transparent electrode 3 formed on the substrate, the productivity of the display can be remarkably improved.
[0067]
Then, by setting the hole transporting functional layer 5A and the electron transporting functional layer 5B so as to have the film thickness d2 and the film thickness d1 shown in Table 4, high efficiency of extracted light due to the reflection interference phenomenon within a practically effective range. Can also be achieved.
[0068]
FIG. 7 is an explanatory view showing another embodiment of the method for producing an organic EL color display according to the present invention. This is an embodiment for obtaining [Setting Example 1] that places the highest importance on increasing the efficiency of each color extraction light. First, as shown in FIG. 1A, RGB transparent electrodes 3 each made of ITO are formed on a glass substrate 1 so that the film thickness d3 has a value shown in Table 1. Then, the common layer 5A ′ of the hole transport function layer is formed on the transparent electrode 3 with a continuous film thickness made of the same organic compound material. The film thickness of the common layer 5A ′ is set to the minimum value (59 nm) of d2 in Table 1.
[0069]
Next, as shown in FIG. 6B, the hole transporting functional layer is added to R and G by a necessary thickness so that the film thickness d2 of each color of RGB becomes a value shown in Table 1. A hole transporting functional layer 5A is formed. Further, as shown in FIG. 3C, after the light emitting layer 50 for each color is formed, the common layer 5B 'of the electron transport function layer is formed with a continuous constant film thickness made of the same organic compound material. The film thickness of the common layer 5B ′ is set to the minimum value (62 nm) of d1 in Table 1.
[0070]
Then, as shown in FIG. 4D, the electron transport function layer is added to R and G by a necessary thickness, and the film thickness d1 of each color of RGB becomes the value shown in Table 1 so that the electrons The transport function layer 5B is formed. Thereafter, the metal electrode 6 is formed on the electron transporting functional layer 5B in the same manner as in the above-described embodiment, and further covered with a sealing material. Also in this embodiment, the hole transporting functional layer 5A may be a single layer such as NPB, or after a single layer such as CuPC is stacked as the hole injection layer in the same manner as in the previous embodiment. NPB may be laminated, and the electron transporting functional layer 5B may be a single layer such as Alq, and after this single layer is laminated, Li as an electron injection layer2A single layer such as O may be laminated.
[0071]
According to this manufacturing method, by setting the film thickness to satisfy all the above-mentioned formulas (1) to (3), it is possible to maximize the efficiency of the extracted light of each color, and the organic compound material When the layers are formed, the common layer is formed first, and then the layers of each color are added. Therefore, the time for forming the film can be shortened, and the productivity can be improved.
[0072]
【The invention's effect】
Since the present invention is configured as described above, it is possible to achieve high efficiency of extracted light in consideration of various reflected light, and the organic compound material layer excluding the light emitting layer is a film corresponding to its function. The thickness can be set, and good productivity can be secured.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of an organic EL color display of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining a reflection interference phenomenon in an organic EL element.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an embodiment of the organic EL color display of the present invention.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an embodiment of the organic EL color display of the present invention.
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an embodiment of the organic EL color display of the present invention.
FIG. 6 is an explanatory view showing an embodiment in a method for producing an organic EL color display of the present invention.
FIG. 7 is an explanatory view showing an embodiment in a method for producing an organic EL color display of the present invention.
FIG. 8 is an explanatory diagram showing an element structure of a conventional organic EL color display.
[Explanation of symbols]
1 Substrate
2 TFT
3 Transparent electrodes
4 Insulating film
5 Organic compound material layer
5A hole transporting functional layer
5B Electron transport functional layer
50 Light emitting layer
6 Metal electrodes

Claims (8)

透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイにおいて、
前記透明電極は、発光色に対応した異なる膜厚を有し、
前記発光層を除く前記有機化合物材料層のうちで同一機能を有するいずれかの機能層の少なくとも一層が一定膜厚を有し、
前記各有機EL素子の前記透明電極と前記有機化合物材料層は、波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記透明基板との境界までの光学距離がλ/4の偶数倍と略等しくなるような膜厚で、成膜されていることを特徴とする有機ELカラーディスプレイ。
Consists of the light-emitting layer exhibiting different emission colors depending on different organic compound materials, with an organic EL element formed by sequentially laminating a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light-emitting layer, and a metal electrode on a transparent substrate. In an organic EL color display formed by arranging a plurality of the organic EL elements,
The transparent electrode has a different film thickness corresponding to the emission color,
At least one of the functional layers having the same function among the organic compound material layers excluding the light emitting layer has a constant film thickness,
The transparent electrode and the organic compound material layer of each organic EL element have an optical distance of λ / 4 from a light emitting interface of the light emitting layer that emits light having a wavelength λ as a center wavelength to a boundary between the transparent electrode and the transparent substrate. An organic EL color display having a film thickness that is substantially equal to an even multiple of the thickness.
透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイにおいて、
前記透明電極は、発光色に対応した異なる膜厚を有し、
前記発光層を除く前記有機化合物材料層のうちで同一機能を有するいずれかの機能層の少なくとも一層が一定膜厚を有し、
前記各有機EL素子の前記透明電極と前記有機化合物材料層は、波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記透明基板との境界までの光学距離がλ/4の偶数倍と略等しく、且つ前記発光層の発光界面から前記金属電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離がλ/4の奇数倍と略等しくなるような膜厚で、成膜されていることを特徴とする有機ELカラーディスプレイ。
Consists of the light-emitting layer exhibiting different emission colors depending on different organic compound materials, with an organic EL element formed by sequentially laminating a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light-emitting layer, and a metal electrode on a transparent substrate. In an organic EL color display formed by arranging a plurality of the organic EL elements,
The transparent electrode has a different film thickness corresponding to the emission color,
At least one of the functional layers having the same function among the organic compound material layers excluding the light emitting layer has a constant film thickness,
The transparent electrode and the organic compound material layer of each organic EL element have an optical distance of λ / 4 from a light emitting interface of the light emitting layer that emits light having a wavelength λ as a center wavelength to a boundary between the transparent electrode and the transparent substrate. And a film thickness such that the optical distance from the light emitting interface of the light emitting layer to the boundary between the metal electrode and the organic compound material layer is substantially equal to an odd multiple of λ / 4. Organic EL color display characterized by being made.
前記発光層の発光界面から前記有機化合物材料層と前記透明電極との境界までの光学距離がλ/4の奇数倍と略等しくなるような膜厚で、前記有機化合物材料が成膜されていることを特徴とする請求項2の有機ELカラーディスプレイ。A film thickness as substantially equal optical distance between an odd multiple of lambda / 4 to the boundary between the transparent electrode and the organic compound material layer from the light emitting surface of the light-emitting layer, the organic compound material layers is deposited The organic EL color display according to claim 2, wherein: 透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイにおいて、
前記透明電極は、発光色に対応した異なる膜厚を有し、
前記発光層を除く前記有機化合物材料層のうちで同一機能を有するいずれかの機能層の少なくとも一層が一定膜厚を有し、
前記各有機EL素子の前記透明電極と前記有機化合物材料層は、波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離、前記発光層の発光界面から前記金属電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離、且つ前記透明電極の前記有機化合物材料層との界面と前記透明基板の前記透明電極との界面までの光学距離がλ/4と略等しくなるような膜厚で、成膜されていることを特徴とする有機ELカラーディスプレイ。
Consists of the light-emitting layer exhibiting different emission colors depending on different organic compound materials, with an organic EL element formed by sequentially laminating a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light-emitting layer, and a metal electrode on a transparent substrate. In an organic EL color display formed by arranging a plurality of the organic EL elements,
The transparent electrode has a different film thickness corresponding to the emission color,
At least one of the functional layers having the same function among the organic compound material layers excluding the light emitting layer has a constant film thickness,
The transparent electrode and the organic compound material layer of each organic EL element have an optical distance from a light emitting interface of the light emitting layer that emits light having a wavelength λ as a central wavelength to a boundary between the transparent electrode and the organic compound material layer , The optical distance from the light emitting interface of the light emitting layer to the boundary between the metal electrode and the organic compound material layer and the optical distance from the interface between the organic compound material layer of the transparent electrode and the transparent electrode of the transparent substrate An organic EL color display having a film thickness such that the distance is substantially equal to λ / 4.
屈折率n3,膜厚d3である透明電極、少なくとも屈折率n1,膜厚d1である電子輸送層、屈折率n2,膜厚d2である正孔輸送層、発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイにおいて、
前記透明電極は、発光色に対応した異なる膜厚を有し、
前記発光層を除く前記有機化合物材料層のうちで同一機能を有するいずれかの機能層の少なくとも一層が一定膜厚を有し、
異なる発光色を呈する前記有機EL素子毎に、波長λを各発光色の中心波長として各発光層の発光界面から前記金属電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離(n1d1)、各発光層の発光界面から前記透明電極と前記有機化合物材料層との界面までの光学距離(n2d2)、且つ前記透明電極の前記有機化合物材料層の界面と前記透明基板の前記透明電極との界面までの光学距離(n3d3)がλ/4と略等しくなるような膜厚で成膜されていることを特徴とする有機ELカラーディスプレイ。
A transparent electrode having a refractive index n3, a film thickness d3, an electron transport layer having at least a refractive index n1, a film thickness d1, a hole transport layer having a refractive index n2, a film thickness d2, and a plurality of organic compound material layers including a light emitting layer An organic EL color display in which a plurality of organic EL elements composed of the light emitting layers exhibiting different light emission colors by different organic compound materials are arranged using an organic EL element formed by sequentially laminating a metal electrode on a transparent substrate. In
The transparent electrode has a different film thickness corresponding to the emission color,
At least one of the functional layers having the same function among the organic compound material layers excluding the light emitting layer has a constant film thickness,
Optical distance (n1 · d1) from the light emitting interface of each light emitting layer to the boundary between the metal electrode and the organic compound material layer with the wavelength λ as the center wavelength of each light emitting color for each of the organic EL elements exhibiting different light emission colors An optical distance (n 2 · d 2) from the light emitting interface of each light emitting layer to the interface between the transparent electrode and the organic compound material layer, and the interface of the organic compound material layer of the transparent electrode and the transparent electrode of the transparent substrate An organic EL color display having a film thickness such that an optical distance (n3 · d3) to the interface with the substrate is substantially equal to λ / 4.
透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電A plurality of organic compound material layers including a transparent electrode and at least a light-emitting layer; 極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイの製造方法において、Manufacture of an organic EL color display in which a plurality of organic EL elements composed of the light-emitting layers exhibiting different emission colors by different organic compound materials are arranged using an organic EL element formed by sequentially laminating electrodes on a transparent substrate as elements. In the method
前記透明電極を発光色に対応してそれぞれ異なる膜厚に成膜する工程を有すると共に、前記有機EL素子のすべてについて、同一の有機化合物材料からなる連続した一定膜厚を有する共通層を積層する共通積層工程を少なくとも1工程以上有し、  A step of forming the transparent electrodes in different film thicknesses corresponding to light emission colors and laminating a common layer having a constant constant film thickness made of the same organic compound material for all of the organic EL elements. Having at least one common lamination step,
波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記透明基板との境界までの光学距離がλ/4の偶数倍と略等しくなるような膜厚で、前記有機化合物材料層と前記透明電極が成膜されることを特徴とする有機ELカラーディスプレイの製造方法。  The organic compound material having a film thickness such that an optical distance from a light emitting interface of the light emitting layer emitting light having a wavelength λ as a central wavelength to a boundary between the transparent electrode and the transparent substrate is substantially equal to an even multiple of λ / 4 A method of manufacturing an organic EL color display, comprising forming a layer and the transparent electrode.
透明電極と少なくとも発光層を含む複数の有機化合物材料層と金属電極とを透明基板上に順次積層してなる有機EL素子を要素として、異なる有機化合物材料によって異なる発光色を呈する前記発光層からなる前記有機EL素子を複数配列してなる有機ELカラーディスプレイの製造方法において、
前記透明電極を発光色に対応してそれぞれ異なる膜厚に成膜する工程を有すると共に、前記有機EL素子のすべてについて、同一の有機化合物材料からなる連続した一定膜厚を有する共通層を積層する共通積層工程を少なくとも1工程以上有し、
波長λを中心波長として発光する前記発光層の発光界面から前記透明電極と前記透明基板との境界までの光学距離がλ/4の偶数倍と略等しく、且つ前記発光層の発光界面から前記金属電極と前記有機化合物材料層との境界までの光学距離がλ/4の奇数倍と略等しくなるような膜厚で、前記有機化合物材料層と透明電極が成膜されていることを特徴とする有機ELカラーディスプレイの製造方法。
Consists of the light-emitting layer exhibiting different emission colors depending on different organic compound materials, with an organic EL element formed by sequentially laminating a transparent electrode, a plurality of organic compound material layers including at least a light-emitting layer, and a metal electrode on a transparent substrate. In the manufacturing method of an organic EL color display formed by arranging a plurality of the organic EL elements,
A step of forming the transparent electrodes in different film thicknesses corresponding to light emission colors and laminating a common layer having a constant constant film thickness made of the same organic compound material for all of the organic EL elements. Having at least one common lamination step,
The optical distance from the light emitting interface of the light emitting layer that emits light having a wavelength λ as the center wavelength to the boundary between the transparent electrode and the transparent substrate is substantially equal to an even multiple of λ / 4, and from the light emitting interface of the light emitting layer to the metal The organic compound material layer and the transparent electrode are formed in such a film thickness that an optical distance to the boundary between the electrode and the organic compound material layer is substantially equal to an odd multiple of λ / 4. Manufacturing method of organic EL color display.
前記発光層の発光界面から前記有機化合物材料層と前記透明電極との境界までの光学距離がλ/4の奇数倍と略等しくなるような膜厚で、前記有機化合物材料層が成膜されていることを特徴とする請求項7記載の有機ELカラーディスプレイの製造方法。The organic compound material layer is formed in such a film thickness that an optical distance from the light emitting interface of the light emitting layer to the boundary between the organic compound material layer and the transparent electrode is substantially equal to an odd multiple of λ / 4. The method for producing an organic EL color display according to claim 7.
JP2001334343A 2001-10-31 2001-10-31 Organic EL color display and manufacturing method thereof Expired - Fee Related JP4164251B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001334343A JP4164251B2 (en) 2001-10-31 2001-10-31 Organic EL color display and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001334343A JP4164251B2 (en) 2001-10-31 2001-10-31 Organic EL color display and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003142277A JP2003142277A (en) 2003-05-16
JP4164251B2 true JP4164251B2 (en) 2008-10-15

Family

ID=19149488

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001334343A Expired - Fee Related JP4164251B2 (en) 2001-10-31 2001-10-31 Organic EL color display and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4164251B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7923680B2 (en) 2006-07-19 2011-04-12 Tokyo Electron Limited Analysis method and analysis apparatus

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4531341B2 (en) 2003-02-28 2010-08-25 株式会社半導体エネルギー研究所 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
JP2004355975A (en) * 2003-05-29 2004-12-16 Sony Corp Manufacturing method of display device
JP4179119B2 (en) * 2003-09-19 2008-11-12 ソニー株式会社 Manufacturing method of organic light emitting device
EP3413369A1 (en) 2003-09-19 2018-12-12 Sony Corporation Organic light emitting display
JP2005197009A (en) * 2003-12-26 2005-07-21 Sanyo Electric Co Ltd Manufacturing method and manufacturing device of display device
JP4475942B2 (en) 2003-12-26 2010-06-09 三洋電機株式会社 Display device and manufacturing method thereof
JP4686981B2 (en) * 2004-01-30 2011-05-25 株式会社デンソー Organic EL display device
WO2005086539A1 (en) * 2004-03-05 2005-09-15 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescence display device
KR100611756B1 (en) 2004-06-18 2006-08-10 삼성에스디아이 주식회사 Organic electroluminescent display device and method of fabricating the same
JP4507718B2 (en) * 2004-06-25 2010-07-21 京セラ株式会社 Color organic EL display and manufacturing method thereof
KR100721554B1 (en) 2004-07-22 2007-05-23 삼성에스디아이 주식회사 Organic electroluminescent display device and method of fabricating the same
JP4945076B2 (en) * 2004-12-02 2012-06-06 スタンレー電気株式会社 Double-sided organic EL device
JP4785034B2 (en) * 2004-09-03 2011-10-05 スタンレー電気株式会社 EL element
JP4823629B2 (en) * 2004-09-24 2011-11-24 株式会社半導体エネルギー研究所 Light emitting device
EP1820372B1 (en) 2004-09-24 2016-04-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device
US8633473B2 (en) 2004-12-28 2014-01-21 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. High contrast light emitting device and method for manufacturing the same
JP4939809B2 (en) 2005-01-21 2012-05-30 株式会社半導体エネルギー研究所 Light emitting device
JP4830328B2 (en) * 2005-03-25 2011-12-07 セイコーエプソン株式会社 Light emitting device
US8729795B2 (en) 2005-06-30 2014-05-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and electronic device
US8102111B2 (en) 2005-07-15 2012-01-24 Seiko Epson Corporation Electroluminescence device, method of manufacturing electroluminescence device, and electronic apparatus
KR100725493B1 (en) * 2005-11-10 2007-06-08 삼성전자주식회사 Display device and manufactureing method of the same
EP1788647B1 (en) * 2005-11-22 2008-11-26 Novaled AG Light emitting device
JP4658877B2 (en) * 2006-08-07 2011-03-23 株式会社 日立ディスプレイズ Organic light emitting display
JP4725577B2 (en) * 2007-12-28 2011-07-13 カシオ計算機株式会社 Manufacturing method of display device
JP4618323B2 (en) * 2008-04-28 2011-01-26 ソニー株式会社 Organic light emitting device and display device
JP2009272059A (en) * 2008-04-30 2009-11-19 Toppan Printing Co Ltd El element, backlight device for liquid-crystal display using the same, lighting device using the element, electronic advertising display device using the element, and display device using the element
KR101499234B1 (en) 2008-06-27 2015-03-05 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting device, method of manufacturing the same and shadow mask therefor
JP5522991B2 (en) * 2008-07-11 2014-06-18 キヤノン株式会社 Organic EL display device
KR20120106568A (en) * 2011-03-18 2012-09-26 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 Light-emitting device and manufacturing method thereof
KR102096051B1 (en) 2013-03-27 2020-04-02 삼성디스플레이 주식회사 Substrate formed thin film transistor array and organic light emitting diode display
CN104091895B (en) * 2014-06-30 2016-10-05 京东方科技集团股份有限公司 Organic Light Emitting Diode substrate and preparation method thereof, display device
KR102419612B1 (en) * 2015-04-07 2022-07-11 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display
FR3112243A1 (en) 2020-07-02 2022-01-07 Microoled THIN-LAYER MATRIX OPTOELECTRONIC DEVICE

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7923680B2 (en) 2006-07-19 2011-04-12 Tokyo Electron Limited Analysis method and analysis apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003142277A (en) 2003-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4164251B2 (en) Organic EL color display and manufacturing method thereof
JP4136185B2 (en) Organic electroluminescent multicolor display and method for manufacturing the same
US7259514B2 (en) Color organic EL display and fabrication method thereof
US7538485B2 (en) Organic electroluminescent display panel and production method thereof
JP4951130B2 (en) ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
JP5131717B2 (en) Organic electroluminescence device using optical resonance effect
US20060181204A1 (en) Flexible organic light emitting devices
JP4769068B2 (en) ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
US20060273712A1 (en) Organic electroluminescence display apparatus
JP2000195664A (en) Luminescent device
KR20090087274A (en) Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same
JP2012038555A (en) Organic el display device
KR20090112090A (en) Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same
JP4479250B2 (en) Display device manufacturing method and display device
CN108493210B (en) Organic light-emitting display panel and organic light-emitting display device thereof
JP4644938B2 (en) Organic electroluminescence device
JP2006269100A (en) Display device
JP4349784B2 (en) Image display device and manufacturing method
JP2002260858A (en) Light-emitting element and its manufacturing method
US20210028401A1 (en) High-efficiency qled structures
JP2004006320A (en) Organic el element
JP4303011B2 (en) Top-emitting organic electroluminescence display element and method for manufacturing the same
JP2005093074A (en) Light emitting element, its manufacturing method, and display device and lighting system using light emitting element
JP2007257909A (en) Organic el element
JP2010021063A (en) Organic electroluminescent display device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040227

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060404

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060414

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060608

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071106

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080509

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080630

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080718

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080728

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4164251

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130801

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees