JP4153815B2 - 光ファイバセンサヘッド及び限定反射型ウエハ検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、いわゆるサイドビュータイプの光ファイバセンサヘッド及び限定反射型ウエハ検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
下記特許文献1には、光ファイバから出射された光を直角に方向変換する技術が開示されている。これは、一端側に光ファイバが挿入されるとともに、側壁に窓部が形成された筒状のケース内に透光部材が収容された構成となっている。この透光部材は、光ファイバとは反対側の面にアルミニウム蒸着が施されてなる反射面が形成されている。そして、光ファイバから出射された光が、透光部材の反射面で90度向きが変えられて上記窓部を通して所定の検出領域に向けて出射されるように構成されている。
そして、例えば、検出領域内に存在する被検出物で反射した反射光を受光可能な位置に配された受光部における受光量変化に基づいて、検出領域内の被検出物の有無を検出することができるのである。上記技術のように、いわゆるサイドビュータイプのものであれば、設置スペースが極めて狭い検出領域においてもセンサヘッド等を配置することができるという利点がある。
【0003】
【特許文献1】
特開平4−225306号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、アルミニウム蒸着が施された上記反射面は、その光反射率が85%程度に留まり、入射光に対して反射光の光量が15%以上低減してしまうという欠点がある。上記透光部材の反射面で反射し窓部から出射される光の出射光量(光強度)が少ないと、被検出物の有無による受光部での受光量変化が小さくなり検出精度が低下してしまう。そこで、上記反射面を広くしてより多くの光を反射させることで出射光量(光強度)を増大させる方法も考えられるが、そうすると、それだけ透光部材自体が大きくなり、それに伴って装置全体が大型化してしまい、狭い設定スペースでも配置可能とするサイドビュータイプの意義が失われてしまうおそれがある。
【0005】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、装置の大型化を回避しつつ透光部材での反射光量を増加させることが可能な光ファイバセンサヘッド及び限定反射型ウエハ検出装置を提供するところにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明に係る光ファイバセンサヘッドは、光ファイバと、その光ファイバの先端部分が挿入されるとともにその光ファイバの軸方向に対して側方に窓部が形成されたケースと、ケース内において光ファイバ先端の前方に収容され、当該光ファイバとは反対側の面が反射面とされる透光部材とを備えて構成され、光ファイバから透光部材の内部に入光した光を反射面によって窓部側に反射、または、窓部から透光部材の内部に入光した光を反射面によって光ファイバ側に反射させるよう構成された光ファイバセンサであって、反射面は、入光した光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域と、入光した光のうち臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域とを有し、この非全反射領域にのみ金属蒸着が施されている共に、前記光ファイバからの光を前記全反射領域で直接前記窓部に反射させ、または、前記窓部からの光を直接前記全反射領域で前記光ファイバ側に反射させることを特徴とする。
【0007】
請求項2の発明に係る限定反射型ウエハ検出装置は、投光用及び受光用の光ファイバと、それらの光ファイバの各先端部分が挿入されるとともにそれらの光ファイバの軸方向に対して側方に窓部が形成されたケースと、ケース内において投光用光ファイバ先端の前方に配されてその投光用光ファイバとは反対側の面が反射面とされる投光用透光部材と、ケース内において受光用光ファイバ先端の前方に配されてその受光用光ファイバとは反対側の面が反射面とされる受光用透光部材とを備えて、投光用光ファイバから投光用透光部材の内部に入光した光をその反射面で反射させて窓部を通して所定の検出領域に向けて出射させる一方で、検出領域からの反射光のうち窓部を通って受光用透光部材の内部に入光した光をその反射面で反射させて受光用光ファイバに入射させるよう構成され、かつ、投光用透光部材から窓部を通って出射される出射光の光軸と、窓部を通って受光用透光部材に入射する検出領域からの反射光の光軸とが窓部から所定距離離れた位置で互いに交差するよう構成された限定反射型ウエハ検出装置であって、投光用透光部材の反射面は、当該投光用透光部材の内部に入光した光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域と、当該投光用透光部材の内部に入光した光のうち臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域とを有し、この非全反射領域にのみ金属蒸着が施され、受光用透光部材の反射面は、当該受光用透光部材の内部に入光した反射光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域と、当該受光用透光部材の内部に入光した光のうち臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域とを有し、この非全反射領域にのみ金属蒸着が施されている共に、前記光ファイバからの光を前記全反射領域で直接前記窓部に反射させ、または、前記窓部からの光を直接前記全反射領域で前記光ファイバ側に反射させるところに特徴を有する。
【0008】
【発明の作用及び効果】
請求項1の発明によれば、透光部材の反射面は、その全体に金属蒸着が施されているわけではなく、入光した光のうち臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域にだけ金属蒸着が施されている。そして、入光した光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域では、入射した光が全反射される。従って、反射面全体に金属蒸着を施した従来のものに比べて、透光部材の大型化及びそれに伴うセンサヘッドの大型化を回避しつつ反射面全体としての光反射率を高めることができる。
【0009】
また、請求項2の構成では、いわゆる限定反射型ウエハ検出装置において、投光用透光部材の反射面は、やはり投光用透光部材の内部に入光した光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域と、臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域とを有し、この非全反射領域にのみ金属蒸着が施されている。また、受光用透光部材の反射面は、当該受光用透光部材の内部に入光した反射光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域と、臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域とを有し、この非全反射領域にのみ金属蒸着が施されている。これにより、反射面全体を金属蒸着する従来構成に対して、投光用透光部材からの出射光量(光強度)を増大させるとともに受光用光ファイバでの入射光量(光強度)を増大させて高い検出精度を得ることが、装置の大型化を回避しつつ実現することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態を図1ないし図6によって説明する。
本実施形態は、図1に示すように、収容ボックス61内に収容された複数のウエハ60のそれぞれの間に、いわゆるサイドビュータイプのセンサヘッドを順次挿入していき、例えばセンサヘッドの上方に位置する1枚のウエハ60の有無を順次検出することが可能な、いわゆる限定反射型ウエハ検出装置(以下、単に「ウエハ検出装置」という)である。
【0011】
図1において、ウエハ60は、円板の周縁部の一部を直線上に切欠してオリフラ面60Aを形成した構造をなし、収容ボックス61に収容されている。収容ボックス61は、前面の開放口62からウエハ60を挿入可能な箱体構造をなし、互いに対向する内側面には、複数の溝部63が形成されている。そして、ウエハ60が、溝部63,63の間に差し渡され、かつ、オリフラ面60Aを開放口62側に向けた状態にして収容される。また、収容ボックス61は、現行のウエハ60(オリフラ面60Aを備えたウエハ)を収容する収容ボックス61の構造規定に従い、前記開放口62と反対側の奥壁の一部に、開放口61Aを備えている。
【0012】
なお、ウエハは、円板の周縁部の一部を、上記オリフラ面60Aに比べて極めて小さい範囲で切欠して、窪状のノッチを形成した構造をなす次世代ウエハであってもよい。この次世代ウエハが収容される次世代用収容ボックスは、奥壁が閉塞されている点が、前記収容ボックス61と異なるが、それ以外は同様の構造となっている。
【0013】
<ウエハ検出装置の全体構成>
さて、本実施形態に係るウエハ検出装置は、投受光を行う開口部14(本発明の「窓部」に相当)が上面に形成されたヘッド本体11とその一端面(以下、「後面11A」)から導出された投光用及び受光用の光ファイバF1,F2とを備えてなるセンサヘッド10と、そのセンサヘッド10の投光用及び受光用の光ファイバF1A,F2に接続されるコントロール部50とから構成されている。なお、投光用及び受光用の光ファイバF1,F2は、その中央部分がチューブCによって束ねられている。
【0014】
<コントロール部の構成>
コントロール部50内の電気回路部51には、例えば、図2(A)に示すように、コントロール部50の動作を表示する動作表示灯52が設けられると共に、LED(発光ダイオード)からなる投光素子53及び例えばフォトダイオードからなる受光素子54が設けられており、投光素子53に前記投光用光ファイバF1が接続され、受光素子54に受光用光ファイバF2が接続されている。
【0015】
この電気回路部51の電気的構成は図2(B)に示すようである。前記投光素子53は投光素子駆動回路55にて駆動され、例えば所定周期でパルス点灯され、後述するように、この投光素子53からの光が投光用光ファイバF1及び投光用透光部材20を通してヘッド本体11の開口部14から出射される。そして、所定の検出領域にウエハ60が存在すると、そのウエハ60で反射し上ケースの開口部14から入ってきた光が、受光用透光部材30及び受光用光ファイバF2を通って受光素子54に入射するようになっている。この受光素子54からの受光信号は検出回路56にて増幅され、受光した光の強度に応じてウエハ60の検出動作を行うようになっている。この検出動作は、受光素子54に入射する光の変化に基づき行われるもので、それが所定レベルを上回るようになったときにウエハ60が存在するとして検出信号を出力回路57に出力するようになっており、これに基づき出力回路57は前記動作表示灯52を点灯させるとともに、図示しない外部回路に信号を出力する。
【0016】
<センサヘッドの外観構成>
センサヘッド10のうちヘッド本体11は、図3に示すように、上ケース12と下ケース13との互いの開口面側を組み付けて全体として扁平箱形の形状をなし、その後面11Aから投光用及び受光用光ファイバF1,F2が導出されている。また、ヘッド本体11の上面前端部分には、左右方向に延びる矩形の開口部14が貫通形成されており、その開口部14下方に後述する投光用及び受光用の透光部材20,30の上面部分(凸レンズ部分23,33)が位置するようになっている。また、上記開口部14の後方位置には、前後方向に沿って並ぶ1対の取付孔15,15がヘッド本体11を貫通するように形成されている。これら1対の取付孔15,15は、図示しない取付ねじが通されてその取付ねじを所定の取付箇所(例えばセンサヘッド10を移動させるためのロボット等の移動機構)に螺合することでヘッド本体11を所定の取付箇所に設置するためのものである。
【0017】
<センサヘッドの内部構成>
図4は、上ケース12を外した状態のセンサヘッド10を上方から見た図である。下ケース13には、前端側に投光用及び受光用の透光部材20,30を収容するための透光部材収容部16が設けられ、その後方に投光用及び受光用光ファイバF2の先端部分を保持するファイバ保持部17が設けられている。ファイバ保持部17には、その後壁に、投光用及び受光用光ファイバF1,F2をそれぞれ挿入するための1対のファイバ挿入孔17A,17Aが貫通形成されている。
【0018】
また、ファイバ保持部17内には、上記各ファイバ挿入孔17に対応して、複数のファイバ保持壁18(本実施形態では2つ)が光ファイバF1,F2の挿入方向(前後方向)に沿って所定間隔を空けて並設されており、各ファイバ保持壁18上面には、光ファイバF1,F2の断面形状に対応した溝部18Aが形成されている。各ファイバ挿入孔17,17から挿入された投光用び受光用光ファイバF1,F2先端部分は、上記各ファイバ保持壁18上面の溝部18A内に収められつつその先端がファイバ保持部17前端に達するまで挿入されている。また、光ファイバF1,F2の先端部分のうちファイバ保持壁18により収められている部分より先端は、外皮Gが剥がされて芯線のみとなっている。そして、各光ファイバF1,F2は、その最先端部分が例えば樹脂製の保持具19の挿通孔19A内に通されて、光ファイバF1,F2の先端面が次述する各透光部材20,30側に向くように位置決めされる。そして、図5(A)にも示すように、下ケース13に上ケース12を組み付けることで上ケース12内面の所定部位に押え付けられて各光ファイバF1,F2の先端部分がヘッド本体11に対して位置決め固定されている。
【0019】
<透光部材の構成>
図5(A)は、図3のX−X破断面におけるヘッド本体11の断面図である。従って、同図には、受光用光ファイバF2及び受光用透光部材30の断面が現れている。
まず、投光用及び受光用の両透光部材20,30は全体として柱状をなし、光ファイバF1,F2先端面に対向配置される対向端面21,31は上記柱状の軸方向に対して垂直な面をなす。一方、その対向端面21,31とは反対側の端面(本発明でいう「光ファイバとは反対側の面」に相当)は上記軸方向に対して略45度傾斜した反射面22,32となっている。また、その反射面22,32の上方(図5では紙面上において上方向)に位置する側面部分には、光学レンズ、具体的には凸レンズ23,33が一体的に形成されている。そして、投光用透光部材20は、その軸方向と投光用光ファイバF1の中心軸方向とが一致するように配置され、受光用透光部材30は、やはり、その軸方向と受光用光ファイバF2の中心軸方向とが一致するように配置されている。また、本実施形態では、透光部材20,30と下ケース13の前端壁との間に空間部Sが形成されており、透光部材20,30の上記反射面が空気層に接触した状態とされている(図5(A)参照)。
【0020】
また、投光用透光部材20と受光用透光部材30は、図5(B)に示すように、それぞれの凸レンズ23,33の中心軸がヘッド本体11上方の所定の位置で互いに交差するように、内向きに傾いた状態で配置されている。このような構成により、センサヘッド10から所定距離範囲内に位置するウエハ60だけを検出可能な、いわゆる限定反射型のウエハ検出装置となっている。即ち、ヘッド本体11上面から所定距離範囲内に位置するウエハ60からの反射光だけが開口部14を通って受光用透光部材30及び受光用光ファイバF2を介して受光素子54で受光され、上記所定距離範囲外に位置するウエハ60からの反射光は開口部14に入光せず受光素子54で受光されないのである。
なお、本実施形態では、ウエハ60間に挿入したセンサヘッド10の直ぐ上のウエハ60(以下、「検出可能なウエハ」)からの反射光だけを開口部14を介して受光可能とし、それ以上に離れたウエハ60(上記検出可能なウエハより例えば1段以上、上に位置するウエハ60。以下、「検出不能なウエハ」)からの反射光は開口部14内に入光しないように設計されている。
【0021】
そして、投光用透光部材20は、投光用光ファイバF1から対向端面21を介して内部に入光した光をその反射面22で反射させ、その反射光が凸レンズ23で略平行光として上記開口部14を通って外部に出射する構成されている。一方、受光用透光部材30は、投光用透光部材20から出射され上記交差点P付近に位置するウエハ60下面で反射して開口部14を通って戻ってきた光を、凸レンズ33で収束光として内部に入光した光を反射面32で反射させて、その反射光を受光用光ファイバF2の先端面に入射させるよう構成されている。
【0022】
<透光部材の反射面の構成>
ここで、図6(A)に示すように、投光用光ファイバF1からの光は、ある程度の広がりをもった拡散光L1として投光用透光部材20内部に入光する。従って、投光用透光部材20の反射面22は、上記入光した拡散光L1を、臨界角(同図中で符号θ。例えば、透光部材がPMMA(PolyMethylMethAcrylate:ポリメタクリル酸メチル(アクリル))からなる場合には、42.15度)未満の入射角度で受ける非全反射領域24と、臨界角以上の入射角度で受ける全反射領域25とがある。そして、反射面22は、全反射しない非全反射領域24にだけ金属蒸着(例えばアルミニウム蒸着)が施されている。
【0023】
一方、開口部14を通ってから受光用透光部材30に入光する略平行光L2は、その凸レンズ33にて収束される。従って、受光用透光部材30の反射面32は、上記入光した収束光を、臨界角未満の入射角度で受ける非全反射領域34と、臨界角以上の入射角度で受ける全反射領域35とがある。そして、反射面32は、受光用透光部材30についても、全反射しない非全反射領域34にだけ金属蒸着(例えばアルミニウム蒸着)が施されている。
【0024】
以上のような構成により、投光用光ファイバF1から出射され投光用透光部材20内に入光した光は、その一部が反射面22の金属蒸着部分(非全反射領域24)で反射され(約85%の光反射率)、他の一部が全反射領域25で全反射されて(約100%の光反射効率)、投光用透光部材20の凸レンズ部分23から出射される。
そして、ウエハ60にて反射し受光用透光部材30内部に入光した光は、やはり、その一部が反射面32の金属蒸着部分(非全反射領域34)で反射され(約85%の光反射率)、他の一部が全反射領域35で全反射されて(約100%の光反射効率)、受光用透光部材30の対向端面31から出射され受光用光ファイバF2側に導かれる。従って、反射面22,32全体を金属蒸着した従来構成のように反射面を大きくすることなく、反射面での光反射率を高くすることができる。これにより、所定範囲内に位置するウエハ60の有無による受光素子54での受光量変化を大きくすることができ、高い精度でのウエハ検出を行うことができる。しかも、センサヘッド10は、サイドビュータイプとして十分に薄い構成とすることができ、設置スペースが狭い検出領域において使用することができる。
【0025】
<他の実施形態>
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
(1)上記実施形態では、いわゆる限定反射型の光ファイバセンサヘッド10としたが、これに限らず、投光器及び受光器とを検出領域を挟んで対向配置させる、いわゆる透過型のウエハ検出装置にも適用することで、上記実施形態と同様に、装置の小型を回避しつつ検出精度の向上を図ることができる。
【0026】
(2)上記実施形態では、検出対象としてウエハ60としたが、その他の板状物体(例えば磁気ディスク、ガラス基板等)であってもよく、更には板状以外の形状の検出物体であってもよい。
【0027】
(3)上記実施形態では、投光用及び受光用の各透光部材20,30と光ファイバF1,F2とを1つのケースに一体的に収容した構成としたが、これに限らず、投光用光ファイバが挿入されるとともに投光用透光部材を収容する投光器と、受光用光ファイバが挿入されるとともに受光用透光部材を収容する受光器とを別体とする構成であってもよい。
【0028】
(4)上記実施形態では、限定反射型とするために、投光用透光部材20と受光用透光部材30は、互いの凸レンズ23,33中心軸が交差するように内向きに傾けた状態で配置されているが、これに限らず、例えば両透光部材20,30の凸レンズ23,33の中心軸が平行をなすような構成であってもよい。更には、投光用透光部材から拡散光を出射させて、その反射光を受光用透光部材側で受光する、いわゆる拡散反射型の構成であってもよい。
【0029】
(5)上記実施形態では、各凸レンズ23,33は、透光部材20,30において反射面22,32の上方に位置する側面部分に形成したが、これに限らず、透光部材20,30の対向端面21,31側に形成してもよい。或いは、透光部材20,30において、反射面22,32の上方の側面部分、及び、対向端面21,31の両方に形成してもよい。
【0030】
(6)上記実施形態では、各凸レンズ23,33は透光部材20,30に一体的に形成されている構成としたが、透光部材とは別体とした構成であってもよい(例えば窓部としての開口部14に凸レンズを嵌め込んだ構成等)。また、凸レンズ23,33を設けない構成とすることも可能である。
【0031】
(7)上記実施形態では、透光部材20,30内部に入光した光のうち反射面22,32に対して臨界角θ以上の入射角で入射する光が照射される領域(上記全反射領域25,35)で全反射させるために、透光部材20,30と下ケース13の前端壁との間に空間部Sを形成して、上記反射面22,30を空気層に接触させる構成としたが、必ずしも反射面に接触させる媒質は空気だけに限られない。つまり、透光部材20,30の形成材料より密度の低い材質であればよく、上記実施形態の場合には、透光部材20,30の形成材料よりも密度が低い材質で形成した部材を、上記空間部Sに配置させる構成であってもよい。そうすれば、下ケース13に対する透光部材20,30の位置ずれをより確実に防止できる効果も得られる。
なお、透光部材20,30の反射面22,32全体を、その形成材料よりも密度が低い媒質(空気等)に接触させる必要はなく、少なくとも全反射させるべく上記全反射領域25,35に接触させた構成であればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る限定反射型ウエハ検出センサのセンサヘッド部分の斜視図
【図2】コントロール部の電気的構成を示すブロック図
【図3】センサヘッドの上面図及び側面図
【図4】上ケースを外した状態のセンサヘッドを上方から見た図
【図5】(A)図3のX−X破断面におけるヘッド本体の断面図
(B)図4のY−Y破断面におけるヘッド本体の断面図
【図6】(A)投光用透光部材内部を通過する光の光路を示す模式図
(B)受光用透光部材内部を通過する光の光路を示す模式図
【符号の説明】
10…光ファイバセンサヘッド
11…ヘッド本体
14…開口部(窓部)
20,30…透光部材(投光用透光部材,受光用透光部材)
22,32…反射面
24,34…非全反射領域
25,35…全反射領域
50…コントロール部
60…ウエハ
F1,F2…光ファイバ(投光用光ファイバ,受光用光ファイバ)
θ…臨界角
Claims (2)
- 光ファイバと、
その光ファイバの先端部分が挿入されるとともにその光ファイバの軸方向に対して側方に窓部が形成されたケースと、
前記ケース内において前記光ファイバ先端の前方に収容され、当該光ファイバとは反対側の面が反射面とされる透光部材とを備えて構成され、
前記光ファイバから前記透光部材の内部に入光した光を前記反射面によって前記窓部側に反射、または、前記窓部から前記透光部材の内部に入光した光を前記反射面によって前記光ファイバ側に反射させるよう構成された光ファイバセンサであって、
前記反射面は、前記入光した光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域と、前記入光した光うち臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域とを有し、この非全反射領域にのみ金属蒸着が施されていると共に、前記光ファイバからの光を前記全反射領域で直接前記窓部に反射させ、または、前記窓部からの光を直接前記全反射領域で前記光ファイバ側に反射させることを特徴とする光ファイバセンサヘッド。 - 投光用及び受光用の光ファイバと、
それらの光ファイバの各先端部分が挿入されるとともにそれらの光ファイバの軸方向に対して側方に窓部が形成されたケースと、
前記ケース内において前記投光用光ファイバ先端の前方に配されてその投光用光ファイバとは反対側の面が反射面とされる投光用透光部材と、
前記ケース内において前記受光用光ファイバ先端の前方に配されてその受光用光ファイバとは反対側の面が反射面とされる受光用透光部材とを備えて、
前記投光用光ファイバから前記投光用透光部材の内部に入光した光をその反射面で反射させて前記窓部を通して所定の検出領域に向けて出射させる一方で、前記検出領域からの反射光のうち前記窓部を通って受光用透光部材の内部に入光した光をその反射面で反射させて前記受光用光ファイバに入射させるよう構成され、かつ、前記投光用透光部材から前記窓部を通って出射される出射光の光軸と、前記窓部を通って前記受光用透光部材に入射する前記検出領域からの反射光の光軸とが前記窓部から所定距離離れた位置で互いに交差するよう構成された限定反射型ウエハ検出装置であって、
前記投光用透光部材の反射面は、当該投光用透光部材の内部に入光した光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域と、当該投光用透光部材の内部に入光した光のうち臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域とを有し、この非全反射領域にのみ金属蒸着が施され、
前記受光用透光部材の反射面は、当該受光用透光部材の内部に入光した反射光のうち臨界角以上の入射角で入射する光が照射される全反射領域と、当該受光用透光部材の内部に入光した光のうち臨界角未満の入射角で入射する光が照射される非全反射領域とを有し、この非全反射領域にのみ金属蒸着が施されている共に、前記光ファイバからの光を前記全反射領域で直接前記窓部に反射させ、または、前記窓部からの光を直接前記全反射領域で前記光ファイバ側に反射させることを特徴とする限定反射型ウエハ検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003087825A JP4153815B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 光ファイバセンサヘッド及び限定反射型ウエハ検出装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003087825A JP4153815B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 光ファイバセンサヘッド及び限定反射型ウエハ検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004294291A JP2004294291A (ja) | 2004-10-21 |
JP4153815B2 true JP4153815B2 (ja) | 2008-09-24 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003087825A Expired - Lifetime JP4153815B2 (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 光ファイバセンサヘッド及び限定反射型ウエハ検出装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4153815B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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JP6863839B2 (ja) * | 2017-06-30 | 2021-04-21 | パナソニック デバイスSunx株式会社 | ファイバヘッド及びファイバセンサ |
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- 2003-03-27 JP JP2003087825A patent/JP4153815B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JP2004294291A (ja) | 2004-10-21 |
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A977 | Report on retrieval |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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