JP4153338B2 - Method and system for manufacturing ceramic element - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層型圧電アクチュエータや圧電センサ等のセラミック素子の製造方法及び製造システムに関し、より詳細には、スルーホールを介してセラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続がなされたセラミック素子の製造方法及び製造システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、セラミック素子の1つである積層型圧電素子の技術開発が盛んに行われている。この種の積層型圧電素子は、例えば、下記の特許文献1に開示されている。
【0003】
この特許文献1記載の積層型圧電素子は、多数の個別電極をパターン形成した圧電体層と、コモン電極をパターン形成した圧電体層とを交互に積層し、積層型圧電素子の厚さ方向に整列した各個別電極を、圧電体層に形成したスルーホールを介して導電部材により接続したものである。このような積層型圧電素子においては、所定の個別電極とコモン電極との間に電圧を印加することで、圧電体層において当該所定の個別電極に対応する活性部(圧電効果により歪みが生じる部分)を選択的に変位させることができる。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−254634号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような積層型圧電素子をはじめとするセラミック素子においては、素子自体の小型化や素子に形成される電極等の高集積化に伴い、セラミック層の一端面側と他端面側との間においてスルーホールを介した電気的な接続を確実に達成し得る技術が望まれていた。
【0006】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、スルーホールを介してセラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続が確実になされたセラミック素子の製造方法及び製造システムを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るセラミック素子の製造方法は、セラミック層に形成されたスルーホールを介してセラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続がなされたセラミック素子の製造方法であって、第1のマークを位置基準として、セラミック層となるセラミック素材にスルーホールを形成する工程と、セラミック素材に導電材料を印刷することで、第2のマークとスルーホールの一端側を覆う導電パターンとを形成する工程と、第1のマークと第2のマークとの位置関係を検出する工程とを備えることを特徴とする。
【0008】
また、本発明に係るセラミック素子の製造システムは、セラミック層に形成されたスルーホールを介してセラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続がなされたセラミック素子の製造システムであって、第1のマークを位置基準として、セラミック層となるセラミック素材にスルーホールを形成するスルーホール形成手段と、セラミック素材に導電材料を印刷することで、第2のマークとスルーホールの一端側を覆う導電パターンとを形成する印刷手段と、第1のマークと第2のマークとの位置関係を検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
【0009】
これらのセラミック素子の製造方法及び製造システムにおいては、第1のマークを位置基準としてスルーホールを形成し、当該スルーホールの一端側を覆う導電パターンと第2のマークとを印刷により同時に形成する。そのため、第1のマークと第2のマークとの位置関係を検出することで、スルーホールに対する導電パターンの形成位置を求めることができる。これにより、スルーホールに対して導電パターンが位置ずれを起こしている場合に、第1のマークと第2のマークとの位置関係に基づいて当該位置ずれを補正しつつ、セラミック素材に導電パターンを形成したり、導電パターン形成済のセラミック素材を積層したりすることが可能になる。また、スルーホールに対する導電パターンの位置ずれが所定値より大きく補正不可能な場合に、そのセラミック素材を不良と判定して、次工程以降に流すことなく直ちに取り除くことが可能になる。このように、本発明によれば、スルーホールに対する導電パターンの位置精度を向上させることができるため、セラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続を、スルーホールを介して確実に行うことが可能になる。
【0010】
ここで、セラミック素子とは、セラミック材料により形成されたセラミック層を有する素子を意味し、積層型圧電素子、圧電センサ、コンデンサ、インダクタ、トランス、及びフィルタ、並びにこれらを複合形成したもの等がある。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。最初に、本実施形態に係るセラミック素子の製造方法及び製造システムによって製造されるセラミック素子について説明する。
【0012】
図1に示すように、本実施形態に係るセラミック素子は積層型圧電素子1であり、この積層型圧電素子1は、個別電極2が形成された圧電体層(セラミック層)3と、コモン電極4が形成された圧電体層(セラミック層)5とを4枚ずつ交互に積層し、さらに、端子電極が形成される圧電体層7とベースとなる圧電体層9とで上下から挟み込むようにして構成されている。
【0013】
なお、各圧電シート3,5,7,9は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とし、「10mm×30mm,厚さ30μm」の長方形薄板状に形成されている。また、個別電極2及びコモン電極4は、銀及びパラジウムを主成分とし、スクリーン印刷によりパターン形成されたものである。これは、以下に述べる各電極についても同様である。
【0014】
各圧電体層3の上面には、多数の個別電極2がマトリックス状に配置されている。各個別電極2は、互いに所定の間隔がとられることで、電気的な独立が達成され、且つ互いの振動による影響が防止されている。そして、各個別電極2は、その外方側端部の直下において圧電体層3に形成されたスルーホール13内の導電部材に接続されている(最も下側の圧電体層3を除く)。
【0015】
さらに、圧電体層3の上面の縁部には、上下に位置する圧電体層5のコモン電極4,4を電気的に接続するための中間電極6が形成されている。この中間電極6は、その直下において圧電体層3に形成されたスルーホール8内の導電部材に接続されている。
【0016】
また、各圧電体層5の上面には、積層型圧電素子1の厚さ方向において圧電体層3の各個別電極2の外方側端部に対向するように中間電極16が形成されている(以下、「積層型圧電素子1の厚さ方向」、すなわち「圧電体層3,5の厚さ方向」を単に「厚さ方向」という)。各中間電極16は、その直下において圧電体層5に形成されたスルーホール13内の導電部材に接続されている。
【0017】
さらに、圧電体層5の上面には、長方形状のコモン電極4が形成されている。このコモン電極4は、厚さ方向から見て、圧電体層3における各個別電極2の外方側端部以外の部分と重なるように、ベタ状に形成されている。なお、コモン電極4は、厚さ方向において圧電体層3の中間電極6に対向するよう圧電体層5に形成されたスルーホール8内の導電部材に接続されている。
【0018】
また、最上層の圧電体層7の上面には、厚さ方向において圧電体層5の各中間電極16に対向するよう外部電極17が形成され、厚さ方向において圧電体層3の中間電極6に対向するよう外部電極18が形成されている。そして、各外部電極17は、その直下において圧電体層7に形成されたスルーホール13内の導電部材に接続され、外部電極18は、その直下において圧電体層7に形成されたスルーホール8内の導電部材に接続されている。また、最下層の圧電体層9の上面には、長方形状のコモン電極19が、圧電体層9の外周部から所定の間隔をとってベタ状に形成されている。
【0019】
なお、最上層の各外部電極17,18は、駆動電源に電気的に接続するためのリード線を取り付けるべく銀の焼付電極が施され、積層型圧電素子1の端子電極として機能する。
【0020】
以上のような電極パターンが形成された圧電体層3,5,7,9を積層することで、最上層の各外部電極17に対しては、厚さ方向において4つの個別電極2が中間電極16を介在させて整列し、整列した各電極2,16,17は、スルーホール13内の導電部材により電気的に接続されることになる。より詳細には、図2に示すように、厚さ方向において互いに隣り合う個別電極2,2は、中間電極16を介在させてスルーホール13内の導電部材14により電気的に接続されることになる。
【0021】
一方、最上層の外部電極18に対しては、厚さ方向において4つのコモン電極4と最下層のコモン電極19とが中間電極6を介在させて整列し、整列した各電極4,6,18,19は、スルーホール8内の導電部材14により電気的に接続されることになる。
【0022】
このような積層型圧電素子1における電気的接続により、所定の外部電極17と外部電極18との間に電圧を印加すると、所定の外部電極17下に整列する個別電極2とコモン電極4,19との間に電圧が印加されることになる。これにより、圧電体層3,5においては、図2に示すように、個別電極2の外方側端部以外の部分とコモン電極4,19とで挟まれる部分に電界が生じ、当該部分が活性部21として変位することになる。したがって、電圧を印加する外部電極17を選択することで、マトリックス状に配置された個別電極2に対応する活性部21のうち、選択した外部電極17下に整列する活性部21を厚さ方向に変位させることができる。このような積層型圧電素子1は、マイクロポンプの弁制御等、微小変位を必要とする種々の装置の駆動源に適用される。
【0023】
次に、本実施形態に係るセラミック素子の製造方法として、上述した積層型圧電素子1の製造方法について説明する。
【0024】
まず、図3に示すように、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料に有機バインダ、有機溶剤等を混合してペーストを作製し、このペーストをタンク31内に貯留する。そして、キャリアフィルム(保持部材)32をリール33から他のリール33へと巻き取る間に、ドクターブレード法によって、圧電体層3,5,7,9となるグリーンシート(セラミック素材)34をキャリアフィルム32の上面に形成する(シート成形工程)。なお、キャリアフィルム32としては、厚さ54μm,幅100mmの透明PETフィルムを用いた。また、キャリアフィルム32の上面に形成されたグリーンシート34の厚さは40μmである。
【0025】
シート成形工程の後、図4に示すように、グリーンシート34が形成されたキャリアフィルム32をリール33から他のリール33へと巻き取る間に、加熱炉36を用いてキャリアフィルム32及びグリーンシート34を加熱し、これらを強制収縮させる(熱処理工程)。これにより、次工程以降におけるキャリアフィルム32及びグリーンシート34の熱収縮を防止することができ、スルーホールの形成や電極のパターン形成を位置精度良く行うことが可能になる。
【0026】
熱処理工程の後、図5に示すように、グリーンシート34が形成されたキャリアフィルム32をリール33から他のリール33へと巻き取りつつ、パンチング装置37を用いて位置基準穴を形成し、この位置基準穴を基準としてグリーンシート34の所定の位置にレーザ加工装置38を用いてスルーホール8,13(図示なし)を形成する(スルーホール形成工程)。なお、位置基準穴は、後の切断工程にて残材となるグリーンシート34の外縁部に形成したり、キャリアフィルム32の外縁部にグリーンシート34が形成されない余白部がある場合には当該余白部に形成したりすればよい。
【0027】
スルーホール形成工程の後、図6に示すように、スクリーン印刷装置39を用いて、スルーホール8,13内に対してグリーンシート34の上面側から導電ペーストの充填スクリーン印刷を行う(第1の印刷工程)。続いて、スルーホール8,13内において導電ペーストを乾燥・固化させて導電部材14を形成すべく、キャリアフィルム32及びグリーンシート34を乾燥機に入れるが(第1の乾燥工程)、この第1の乾燥工程の前に、その乾燥温度より低い温度にてキャリアフィルム32及びグリーンシート34を所定時間加熱する(加熱工程)。この加熱により導電ペーストが軟化し、スルーホール8,13内の下端部まで導電ペーストが確実に行き渡る。
【0028】
第1の乾燥工程の後、グリーンシート34上面の所定の位置に対し導電ペーストのスクリーン印刷を行う(第2の印刷工程)。続いて、キャリアフィルム32及びグリーンシート34を乾燥機に入れ、導電ペーストを乾燥・固化させて各電極2,4,17,19等を形成する(第2の乾燥工程)。なお、第1及び第2の印刷工程にて用いた導電ペーストは、所定比率の銀とパラジウムとからなる金属材料に有機バインダ、有機溶剤等を混合して作製した。
【0029】
第2の乾燥工程の後、図7に示すように、ピックアップ装置41を用いてキャリアフィルム32から所定の長さのグリーンシート34aを剥離させ、上述した積層型圧電素子1と同じ積層順序となるようにグリーンシート34aを積層し、仮圧着する(積層工程)。
【0030】
積層工程の後、加熱しながら積層方向にプレスすることで、各グリーンシート34aを熱圧着し、積層体グリーンを作製する。続いて、この積層体グリーンから所定の寸法の積層体グリーン素子を複数切り出し、切り出した積層体グリーン素子を脱脂・焼成した後、端子電極の形成・分極処理等を経て積層型圧電素子1を完成させる。
【0031】
次に、上述したスルーホール形成工程、第1の印刷工程及び第2の印刷工程について、本実施形態に係るセラミック素子の製造システムの動作と共に説明する。なお、図9に示すように、製造システム60は、レーザ加工装置(スルーホール形成手段)38、スクリーン印刷装置(印刷手段)39及び位置関係検出装置(検出手段)61により構成される。
【0032】
図8(a)に示すように、スルーホール形成工程においては、グリーンシート34の一方の外縁部に2つ、他方の外縁部に1つというように、3つの位置基準穴(第1のマーク)45がパンチング装置37により形成される。そして、スルーホール13を形成するに際しては、各位置基準穴45の上方に設置されたCCDカメラ46a(レーザ加工装置38に含まれる)により各位置基準穴45が撮像される。この撮像された画像データに基づいてキャリアフィルム32及びグリーンシート34が移動されて位置決めがなされ、グリーンシート34の所定の位置にスルーホール13が形成される。このように、スルーホール形成工程においては、レーザ加工装置38によって、位置基準穴45を位置基準としてグリーンシート34にスルーホール13が形成される。
【0033】
なお、図8では、明瞭化のためスルーホール13を1つのみ示すが、実際には、多数のスルーホール8,13がグリーンシート34に形成される。また、上述したように、位置基準穴45の形成位置は、後の切断工程にて残材となるグリーンシート34の外縁部に限らず、キャリアフィルム32の外縁部にグリーンシート34が形成されない余白部がある場合には当該余白部であってもよい。
【0034】
続いて、図8(b)に示すように、第1の印刷工程においては、スルーホール13内に導電ペーストを充填印刷するに際し、各位置基準穴45の上方に設置されたCCDカメラ46b(スクリーン印刷装置39に含まれる)により各位置基準穴45が撮像される。この撮像された画像データに基づいてキャリアフィルム32及びグリーンシート34が移動されて位置決めがなされ、グリーンシート34の所定の位置に、スルーホール13の一端側を覆うように当該スルーホール13を含む下地パターン(導電パターン)47が印刷される。このとき同時に、同じ製版によって3つの印刷マーク(第2のマーク)48が印刷される。この印刷マーク48は、グリーンシート34の一方の外縁部に1つ、他方の外縁部に2つというように形成される。
【0035】
続いて、図8(c)に示すように、第2の印刷工程においては、個別電極2等となる電極パターン49を印刷するに際し、各位置基準穴45及び各印刷マーク48の上方に設置されたCCDカメラ46c(位置関係検出装置61に含まれる)により各位置基準穴45及び各印刷マーク48が撮像される。そして、位置関係検出装置61において、撮像された画像データに基づいて位置基準穴45と印刷マーク48とのX−Y座標系における位置関係が検出される。
【0036】
この位置関係の検出により、例えば、位置基準穴45に対して印刷マーク48がY軸方向に位置ずれを起こしていれば、スルーホール13に対して下地パターン47もY軸方向に位置ずれを起こしていることになる(図8(c)参照)。つまり、位置基準穴45と印刷マーク48とのX−Y座標系における位置関係を検出することで、スルーホール13に対する下地パターン47の位置ずれを求めることができる。
【0037】
これにより、スルーホール13に対して下地パターン47が位置ずれを起こしている場合には、位置基準穴45と印刷マーク48との位置関係に基づいてキャリアフィルム32及びグリーンシート34が移動され、電極パターン49が下地パターン47を確実に含むようにグリーンシート34の位置決めがなされる。また、位置基準穴45と印刷マーク48との位置関係に基づいて、第1の印刷工程におけるグリーンシート34の位置決めがフィードバック制御され、グリーンシート34に対する新たな下地パターン47の位置ずれが補正される。
【0038】
なお、第2の印刷工程における位置決めの仕方としては、電極パターン49を下地パターン47に合わせるものに限らない。例えば、電極パターン49をスルーホール13に合わせることもできるし、スルーホール13に対する下地パターン47の位置ずれの中間位置に電極パターン49を合わせることもできる。
【0039】
このようにして、位置基準穴45と印刷マーク48との位置関係を検出することで、スルーホール13に対して下地パターン47が位置ずれを起こしている場合に、第2の印刷工程においては、下地パターン47に対する電極パターン49の形成位置を補正することができ、また、第1の印刷工程においては、スルーホール13に対する下地パターン13の形成位置をフィードバック制御により補正することができる。しかも、スルーホール13に対する下地パターン47の位置ずれが所定値より大きく使用不可能な場合には、その下地パターン47が形成されたグリーンシート34を不良と判定して、次工程以降に流すことなく直ちに取り除くことができる。さらに、積層工程においても、位置基準穴45と印刷マーク48との位置関係に基づいてグリーンシート34aを精度良く積層していくことができる。
【0040】
以上により、本実施形態に係るセラミック素子の製造方法及び製造システムによれば、スルーホール13に対する下地パターン47及び電極パターン49等の位置精度を向上させることができ、スルーホール8,13を介して圧電体層3,5の上面側と下面側との間の電気的な接続が確実になされた積層型圧電素子1を製造することが可能になる。
【0041】
そして、本実施形態に係るセラミック素子の製造方法に基づいて、「10mm×30mm,厚さ30μm」の圧電体層3の上面に個別電極2が300個(4行75列)形成された積層型圧電素子1を作製すると、次のような結果が得られた。すなわち、位置基準穴45と印刷マーク48との位置関係に基づいて位置決めを行った場合に比べ、いずれか一方に基づいて位置決めを行った場合には、スルーホール8,13における接続不良が30%も増加してしまった。また、位置基準穴45と印刷マーク48との位置関係に基づいて位置決めを行った場合には、各圧電体層3,5の相対的な積層ずれが20μm以下に抑えられたのに対し、いずれか一方に基づいて位置決めを行った場合には、各圧電体層3,5の相対的な積層ずれが平均50μm発生した。
【0042】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第1及び第2のマークとしては、その形成位置が検出可能なものであれば適用可能である。したがって、第1のマークは、上記実施形態のような貫通穴に限らず、溝や印刷マーク等であってもよく、第1のマークの形成対象も、グリーンシート等のセラミック素材に限らず、キャリアフィルム等の保持部材であってもよい。また、第1及び第2のマークの形状も、上記実施形態のような円形状に限らず、線状や十字形状等であってもよい。なお、第1及び第2のマークの形状が円形状の場合、それぞれ2つ形成すれば、第1のマークと第2のマークとの2次元的な位置関係を検出することができるが、上記実施形態のように、それぞれ3つ以上形成すれば、位置関係の検出精度をより一層向上させることができる。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、スルーホールを介してセラミック素材の一端面側と他端面側との間の電気的な接続が確実になされたセラミック素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態の積層型圧電素子の分解斜視図である。
【図2】図1に示す積層型圧電素子の長手方向に直交する方向から見た拡大断面図である。
【図3】本実施形態のシート成形工程を示す概念図である。
【図4】本実施形態の熱処理工程を示す概念図である。
【図5】本実施形態のスルーホール形成工程を示す概念図である。
【図6】本実施形態の第1の印刷工程を示す概念図である。
【図7】本実施形態の積層工程を示す概念図である。
【図8】本実施形態の位置決めを説明するための概念図であり、(a)にスルーホール形成工程を示し、(b)に第1の印刷工程を示し、(c)に第2の印刷工程を示す。
【図9】本実施形態の製造システムの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…積層型圧電素子(セラミック素子)、3,5…圧電体層(セラミック層)、8,13…スルーホール、34…グリーンシート(セラミック素材)、38…レーザ加工装置(スルーホール形成手段)、39…スクリーン印刷装置(印刷手段)、45…位置基準穴(第1のマーク)、47…下地パターン(導電パターン)、48…印刷マーク(第2のマーク)、60…製造システム、61…位置関係検出装置(検出手段)。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and a system for manufacturing a ceramic element such as a multilayer piezoelectric actuator and a piezoelectric sensor, and more specifically, an electrical connection between one end surface side and the other end surface side of a ceramic layer through a through hole. The present invention relates to a manufacturing method and a manufacturing system of a connected ceramic element.
[0002]
[Prior art]
In recent years, technological development of a multilayer piezoelectric element which is one of ceramic elements has been actively performed. This type of laminated piezoelectric element is disclosed, for example, in Patent Document 1 below.
[0003]
The multilayer piezoelectric element described in Patent Document 1 is formed by alternately stacking piezoelectric layers patterned with a large number of individual electrodes and piezoelectric layers patterned with common electrodes in the thickness direction of the multilayer piezoelectric element. The aligned individual electrodes are connected by a conductive member through through holes formed in the piezoelectric layer. In such a multilayered piezoelectric element, by applying a voltage between a predetermined individual electrode and a common electrode, an active portion corresponding to the predetermined individual electrode (a portion in which distortion occurs due to the piezoelectric effect) in the piezoelectric layer. ) Can be selectively displaced.
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-254634
[Problems to be solved by the invention]
In ceramic elements such as the multilayer piezoelectric element as described above, between the one end surface side and the other end surface side of the ceramic layer due to the miniaturization of the element itself and the high integration of the electrodes formed on the element. Therefore, a technique capable of reliably achieving electrical connection through a through hole has been desired.
[0006]
Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances, and a ceramic element in which electrical connection between the one end surface side and the other end surface side of the ceramic layer is reliably made through a through hole. An object is to provide a manufacturing method and a manufacturing system.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the method for manufacturing a ceramic element of the present invention, electrical connection is made between one end surface side and the other end surface side of the ceramic layer through a through hole formed in the ceramic layer. A method of manufacturing a ceramic element, wherein a first mark is used as a position reference, a step of forming a through hole in a ceramic material to be a ceramic layer, and a conductive material is printed on the ceramic material, The method includes a step of forming a conductive pattern that covers one end side of the through hole, and a step of detecting a positional relationship between the first mark and the second mark.
[0008]
The ceramic element manufacturing system according to the present invention is a ceramic element manufacturing system in which electrical connection is made between one end surface side and the other end surface side of the ceramic layer through a through hole formed in the ceramic layer. And, using the first mark as a position reference, through hole forming means for forming a through hole in a ceramic material to be a ceramic layer, and printing a conductive material on the ceramic material, the second mark and the through hole It is characterized by comprising printing means for forming a conductive pattern covering one end side, and detection means for detecting the positional relationship between the first mark and the second mark.
[0009]
In these ceramic element manufacturing methods and systems, a through hole is formed with the first mark as a position reference, and a conductive pattern covering the one end side of the through hole and a second mark are simultaneously formed by printing. Therefore, by detecting the positional relationship between the first mark and the second mark, the formation position of the conductive pattern with respect to the through hole can be obtained. As a result, when the conductive pattern is misaligned with respect to the through hole, the conductive pattern is applied to the ceramic material while correcting the misalignment based on the positional relationship between the first mark and the second mark. It is possible to form or laminate a ceramic material having a conductive pattern formed thereon. Further, when the displacement of the conductive pattern with respect to the through hole is larger than a predetermined value and cannot be corrected, the ceramic material is determined to be defective and can be immediately removed without flowing it in the subsequent process. As described above, according to the present invention, since the positional accuracy of the conductive pattern with respect to the through hole can be improved, the electrical connection between the one end surface side and the other end surface side of the ceramic layer is made through the through hole. Can be performed reliably.
[0010]
Here, the ceramic element means an element having a ceramic layer formed of a ceramic material, and includes a multilayer piezoelectric element, a piezoelectric sensor, a capacitor, an inductor, a transformer, a filter, and a combination of these. .
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, a ceramic element manufactured by the method and system for manufacturing a ceramic element according to the present embodiment will be described.
[0012]
As shown in FIG. 1, the ceramic element according to the present embodiment is a multilayer piezoelectric element 1, which includes a piezoelectric layer (ceramic layer) 3 on which
[0013]
Each of the
[0014]
A large number of
[0015]
Furthermore, an intermediate electrode 6 for electrically connecting the
[0016]
An
[0017]
Further, a rectangular
[0018]
An
[0019]
The
[0020]
By laminating the
[0021]
On the other hand, with respect to the uppermost
[0022]
When a voltage is applied between the predetermined
[0023]
Next, a method for manufacturing the multilayer piezoelectric element 1 described above will be described as a method for manufacturing a ceramic element according to the present embodiment.
[0024]
First, as shown in FIG. 3, a paste is prepared by mixing an organic binder, an organic solvent, or the like with a piezoelectric material mainly composed of lead zirconate titanate, and the paste is stored in a
[0025]
After the sheet forming step, as shown in FIG. 4, while the
[0026]
After the heat treatment step, as shown in FIG. 5, a position reference hole is formed using a
[0027]
After the through-hole forming step, as shown in FIG. 6, the
[0028]
After the first drying step, screen printing of the conductive paste is performed on a predetermined position on the upper surface of the green sheet 34 (second printing step). Subsequently, the
[0029]
After the second drying step, as shown in FIG. 7, the
[0030]
After the laminating step, each
[0031]
Next, the through hole forming process, the first printing process, and the second printing process described above will be described together with the operation of the ceramic element manufacturing system according to the present embodiment. As shown in FIG. 9, the
[0032]
As shown in FIG. 8A, in the through-hole forming step, three position reference holes (first marks) are formed such that two are formed on one outer edge of the
[0033]
In FIG. 8, only one through
[0034]
Subsequently, as shown in FIG. 8B, in the first printing process, when the conductive paste is filled and printed in the through-
[0035]
Subsequently, as shown in FIG. 8C, in the second printing step, when the
[0036]
By detecting the positional relationship, for example, if the
[0037]
Thereby, when the
[0038]
Note that the positioning method in the second printing step is not limited to aligning the
[0039]
In this way, when the
[0040]
As described above, according to the method and system for manufacturing a ceramic element according to the present embodiment, the positional accuracy of the
[0041]
Then, on the basis of the ceramic element manufacturing method according to this embodiment, 300 individual electrodes 2 (4 rows and 75 columns) are formed on the upper surface of the
[0042]
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the first and second marks can be applied as long as their formation positions can be detected. Therefore, the first mark is not limited to the through hole as in the above embodiment, but may be a groove or a printed mark. The first mark is not limited to a ceramic material such as a green sheet, A holding member such as a carrier film may be used. Also, the shape of the first and second marks is not limited to the circular shape as in the above embodiment, and may be a linear shape, a cross shape, or the like. In addition, when the shape of the first and second marks is circular, if two are formed, the two-dimensional positional relationship between the first mark and the second mark can be detected. If three or more are formed as in the embodiment, the positional relationship detection accuracy can be further improved.
[0043]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to manufacture a ceramic element in which electrical connection between the one end surface side and the other end surface side of the ceramic material is reliably performed through the through hole.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view of a multilayer piezoelectric element according to an embodiment.
2 is an enlarged cross-sectional view of the multilayer piezoelectric element shown in FIG. 1 as viewed from a direction orthogonal to the longitudinal direction.
FIG. 3 is a conceptual diagram illustrating a sheet forming process of the present embodiment.
FIG. 4 is a conceptual diagram showing a heat treatment process of the present embodiment.
FIG. 5 is a conceptual diagram showing a through hole forming process of the present embodiment.
FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating a first printing process of the present embodiment.
FIG. 7 is a conceptual diagram showing a stacking process of the present embodiment.
FIGS. 8A and 8B are conceptual diagrams for explaining positioning according to the present embodiment, in which FIG. 8A shows a through hole forming process, FIG. 8B shows a first printing process, and FIG. 8C shows second printing; A process is shown.
FIG. 9 is a block diagram showing a configuration of a manufacturing system according to the present embodiment.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laminated piezoelectric element (ceramic element), 3, 5 ... Piezoelectric layer (ceramic layer), 8, 13 ... Through hole, 34 ... Green sheet (ceramic material), 38 ... Laser processing apparatus (through hole forming means) 39 ... Screen printing apparatus (printing means) 45 ... Position reference hole (first mark) 47 ... Base pattern (conductive pattern) 48 ... Print mark (second mark) 60 ...
Claims (2)
第1のマークを位置基準として、前記セラミック層となるセラミック素材にスルーホールを形成する工程と、
前記セラミック素材に導電材料を印刷することで、第2のマークと前記スルーホールの一端側を覆う導電パターンとを形成する工程と、
前記第1のマークと前記第2のマークとの位置関係を検出する工程とを備えることを特徴とするセラミック素子の製造方法。A method of manufacturing a ceramic element in which electrical connection is made between one end surface side and the other end surface side of the ceramic layer through a through hole formed in the ceramic layer,
Forming a through hole in a ceramic material to be the ceramic layer, using the first mark as a position reference;
Forming a second mark and a conductive pattern covering one end side of the through hole by printing a conductive material on the ceramic material;
And a step of detecting a positional relationship between the first mark and the second mark.
第1のマークを位置基準として、前記セラミック層となるセラミック素材にスルーホールを形成するスルーホール形成手段と、
前記セラミック素材に導電材料を印刷することで、第2のマークと前記スルーホールの一端側を覆う導電パターンとを形成する印刷手段と、
前記第1のマークと前記第2のマークとの位置関係を検出する検出手段とを備えることを特徴とするセラミック素子の製造システム。A ceramic element manufacturing system in which electrical connection is made between one end face side and the other end face side of the ceramic layer through a through hole formed in the ceramic layer,
Through hole forming means for forming a through hole in the ceramic material to be the ceramic layer, with the first mark as a position reference;
Printing means for forming a second mark and a conductive pattern covering one end side of the through hole by printing a conductive material on the ceramic material;
A ceramic element manufacturing system comprising: detecting means for detecting a positional relationship between the first mark and the second mark.
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