JP4151665B2 - 物理量センサの製造方法及びリードフレーム - Google Patents
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Description
上述した機能を携帯端末装置に持たせるためには、磁気センサ、加速度センサ等の物理量センサを携帯端末装置に内蔵させることが必要となる。また、このような物理量センサにより三次元空間での方位や加速度を検知可能とするためには、物理量センサチップの設置面を傾斜させることが必要となる。
そして、この磁気センサはこれら一対の磁気センサチップにより検出された磁気成分により、地磁気成分を3次元空間内のベクトルとして測定を行っている。
すなわち、図10に示すように、矩形枠部59や連結部61に対して物理量センサチップ51,53を配したステージ部55,57を金型P,Q内で傾斜させた状態で、溶融した樹脂を金型P,Q内に射出し、樹脂モールド部を形成する。
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、樹脂の充填に伴う物理量センサチップの傾斜角度の変化を抑制できる物理量センサの製造方法及びリードフレームを提供することを目的としている。
請求項1に係る発明は、物理量センサチップを載置する少なくとも2つのステージ部と、これを囲む平面視略矩形の枠状に形成された矩形枠部と、前記ステージ部と前記矩形枠部とを連結する連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、前記連結部は、前記矩形枠部に対して前記金属製薄板の厚さ方向に直交する基準軸線を中心に前記各ステージ部を傾斜させる易変形部を有し、2つの前記ステージ部が、前記矩形枠部によって区画される矩形状の内方領域の周縁のうち、前記矩形枠部の対角線を挟んで相互に隣接する一対の辺、若しくは、相対する一対の角部にそれぞれ連結されていることを特徴とするリードフレームを提案している。
なお、2つのステージ部を前記一対の角部に連結する場合には、溶融樹脂を他方の角部から射出しても、前述と同様に、矩形枠部に対するステージ部の傾斜角度が小さくなる方向に作用することがなく、また、ステージ部及び物理量センサチップが溶融樹脂によって押される力を小さくすることもできる。
この発明に係るリードフレームによれば、ステージ部及び物理量センサチップを矩形枠部に対して傾斜させても、ステージ部や物理量センサチップの表面が対角線に対して略平行に配されることになるため、対角線の方向から流入する溶融樹脂の流れが妨げられることを確実に防止できると共に、ステージ部及び物理量センサチップが、樹脂形成空間内に射出される溶融樹脂によって押されることを確実に防止できる。
なお、2つのステージ部を一対の角部に連結する場合には、他方の対角線上に位置する2つの角部のいずれから溶融樹脂を射出しても、前述と同様に、矩形枠部に対するステージ部の傾斜角度を小さくする方向に作用することがなく、また、ステージ部及び物理量センサチップが溶融樹脂によって押される力を小さくすることができる。
さらに、請求項2に係る発明によれば、溶融樹脂の流れが、ステージ部及び物理量センサチップに妨げられることなく、金型の表面とステージ部との隙間に回り込むため、ステージ部及び物理量センサチップが、樹脂形成空間内に射出される溶融樹脂によって押されることを確実に防止でき、樹脂モールド部を形成する際に物理量センサチップの傾斜角度が変化することを確実に防ぐことができる。したがって、2つの物理量センサチップの相対的な傾斜角度を精度良く設定することが可能となる。
リードフレーム1は、図1,2に示すように、平面視矩形の板状に形成された磁気センサチップ(物理量センサチップ)3,5を載置する2つのステージ部7,9と、ステージ部7,9を支持するフレーム部11と、各ステージ部7,9及びフレーム部11を相互に連結する連結部13とを備えており、これらステージ部7,9、フレーム部11及び連結部13は一体的に形成されている。
リード17は、矩形枠部15の各辺15a〜15dにそれぞれ複数(図示例では7つずつ)設けられており、磁気センサチップ3,5のボンディングパッド(図示せず)と電気的に接続することを目的としたものである。
相互に対向する各ステージ部7,9の一端部7b,9b側には、ステージ部7,9の裏面7c,9c側に突出する一対の突出片19,21がそれぞれ形成されている。これら突出片19,21は、ステージ部7,9を傾斜させるためのものである。なお、各ステージ部7,9の一対の突出片19,21は、ステージ部7,9の相互に隣り合う2つの辺7e,7f,9e,9fに各々設けられ、第1の対角線L1に対して互いに対称な位置に配されている。
易変形部23は、矩形枠部15の厚さ方向に直交する基準軸線L3を中心にステージ部7,9を傾斜させるために、容易に変形可能に形成されている。なお、各基準軸線L3は、矩形枠部15の第2の対角線L2と平行に配されている。
はじめに、上述したリードフレーム1を用意し(準備工程)、各ステージ部7,9の表面7c,9cにそれぞれ磁気センサチップ3,5を接着する(接着工程)と共に、ワイヤー(図示せず)を配して磁気センサチップ3,5の表面に配されたボンディングパッド(図示せず)とリード17とを電気的に接続する(配線工程)。なお、ワイヤーを配する際には、ステージ部7,9を傾斜させる段階において、ワイヤーと磁気センサチップ3,5とのボンディング部分、およびリード17とのボンディング部分が互いに変化するため、このワイヤー23の材質は、曲げやすく柔らかいことが好ましい。
そして、突出片19,21の上方には、平坦面(内面)F1を有する金型Fが配され、前述した金型Eと共にリードフレーム1の矩形枠部15を上下方向から挟み込むように構成されている。
その後、金型Fの平坦面F1により突出片19,21を押圧した状態で、金型E,Fの凹部E1及び平坦面F1により画定される樹脂形成空間に溶融した樹脂を射出し、磁気センサチップ3,5を樹脂の内部に埋める樹脂モールド部を形成する(モールド工程)。
このため、ゲートGから射出された溶融樹脂が2つのステージ部7,9及び磁気センサチップ3,5によって妨げられることを確実に防止できる。すなわち、溶融樹脂の射出の際に、ステージ部7,9及び磁気センサチップ3,5が溶融樹脂によって押されることを確実に防止できる。
ここで、前述したように、各ステージ部7,9を傾斜させる基準軸線L3は溶融樹脂の射出方向となる第2の対角線L2に略平行に配されており、樹脂モールド部を形成する際には、溶融樹脂が基準軸線L3に対して略平行な方向に射出されることになるため、溶融樹脂がステージ部7,9から抵抗を受けることなく隙間S1に容易に流れ込むことになる。したがって、基準軸線L3近傍に位置する微少な隙間S1にも溶融樹脂を容易に充填することができる。
最後に、矩形枠部15を切り落として連結部13及びリード17を個々に切り分け、磁気センサ30の製造が終了する。
また、磁気センサチップ5は、外部磁界の2方向の磁気成分に対して感応するものであり、これら2つの感応方向は、磁気センサチップ5の表面5bに沿って互いに直交する方向(C方向およびD方向)となっている。
ここで、A,C方向は2つの磁気センサチップ3,5の配列方向となる第1の対角線L1に直交する方向で、互いに逆向きとなっている。また、B,D方向は第1の対角線L1と平行な方向で、互いに逆向きとなっている。
なお、A−B平面とC−D平面とがなす角度θは、0°よりも大きく、90°以下であり、理論上では、0°よりも大きい角度であれば3次元的な地磁気の方位を測定できる。ただし、実際上は20°以上であることが好ましく、30°以上であることがさらに好ましい。
この磁気センサ30は、例えば、図示しない携帯端末装置内の基板に搭載され、この携帯端末装置では、磁気センサ30により測定した地磁気の方位を携帯端末装置の表示パネルに示すようになっている。
さらに、2つのステージ部7,9は、溶融樹脂を射出するゲートGから離れて位置する一対の角部15e,15gに連結されているため、モールド工程においてステージ部7,9の裏面7c,9cが溶融樹脂によって押されたとしても、この押す力を小さくすることができる。したがって、樹脂の充填に基づく磁気センサチップ3,5の傾斜角度の変化を最小限に抑えることができる。
さらに、2つのステージ部7,9は、第1の対角線L1上に配され、また、各ステージ部7,9の基準軸線L3が第2の対角線L2に平行に配されるとしたが、隙間S1への溶融樹脂の流れ込みやすさを考慮しない場合には、少なくとも各ステージ部7,9や各基準軸線L3が第2の対角線L2を中心に相互に対称な位置に配されていればよい。すなわち、例えば、図7,8に示すように、2つのステージ部7,9を第1の対角線L1からずれた位置に配すると共に、各ステージ部7,9の基準軸線L4,L5を相互に直交させる方向に配するとしても構わない。
同一の辺から突出する複数の連結部13の先端からは、連結部13と同じ幅のステージ用リード31が延出しており、これら複数のステージ用リード31により各ステージ部7,9が構成されている。また、各ステージ部7,9を傾斜させるための突出部19,21は、各ステージ部7,9を構成するステージ用リード31の先端からステージ部7,9の裏面側に各々突出している。
さらに、ステージ部7,9は、突出片19,21を利用して傾斜させるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも樹脂モールド部29を形成する前に2つの磁気センサチップ3,5が相互に傾斜していればよい。
また、リードフレーム1の矩形枠部15は、平面視略正方形の枠状に形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、平面視略長方形状に形成されるとしても構わない。
Claims (5)
- 物理量センサチップを載置する少なくとも2つのステージ部と、これを囲む平面視略矩形の枠状に形成された矩形枠部と、前記ステージ部と前記矩形枠部とを連結する連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、
前記連結部は、前記矩形枠部に対して前記金属製薄板の厚さ方向に直交する基準軸線を中心に前記各ステージ部を傾斜させる易変形部を有し、
2つの前記ステージ部が、前記矩形枠部によって区画される矩形状の内方領域の周縁のうち、前記矩形枠部の対角線を挟んで相互に隣接する一対の辺、若しくは、相対する一対の角部にそれぞれ連結されていることを特徴とするリードフレーム。 - 前記基準軸線が、前記対角線と平行に配されることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 物理量センサチップを載置する2つのステージ部と、これを囲む平面視略矩形の枠状に形成された矩形枠部と、前記矩形枠部によって区画される矩形状の内方領域の周縁のうち、前記矩形枠部の一方の対角線を挟んで相互に隣接する一対の辺に2つの前記ステージ部をそれぞれ連結する連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームを用意する準備工程と、
前記各ステージ部に前記物理量センサチップを接着する接着工程と、
前記連結部を変形させて前記各ステージ部を前記矩形枠部に対して傾斜させるステージ傾斜工程と、
前記リードフレームを金型内に収容すると共に、前記金型内に樹脂を射出して前記リードフレームおよび前記物理量センサチップを樹脂により一体的にモールドするモールド工程とを備え、
前記モールド工程において、前記一方の対角線上に位置すると共に前記一対の辺に隣接しない前記内方領域の一方の角部から他方の角部に向けて前記樹脂を射出することを特徴とする物理量センサの製造方法。 - 物理量センサチップを載置する2つのステージ部と、これを囲む平面視略矩形の枠状に形成された矩形枠部と、前記矩形枠部によって区画される矩形状の内方領域の周縁のうち、前記矩形枠部の一方の対角線を挟んで相対する一対の角部に2つの前記ステージ部をそれぞれ連結する連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームを用意する準備工程と、
前記各ステージ部に前記物理量センサチップを接着する接着工程と、
前記連結部を変形させて前記各ステージ部を前記矩形枠部に対して傾斜させるステージ傾斜工程と、
前記リードフレームを金型内に収容すると共に、前記金型内に樹脂を射出して前記リードフレームおよび前記物理量センサチップを樹脂により一体的にモールドするモールド工程とを備え、
前記モールド工程において、前記一方の対角線上に位置する前記内方領域の一方の角部から他方の角部に向けて前記樹脂を射出することを特徴とする物理量センサの製造方法。 - 前記モールド工程において、前記一方の角部に位置して前記樹脂を射出する射出口から、前記ステージ部の裏面が見えることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の物理量センサの製造方法。
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