JP4147161B2 - 超音波振動伝達部材およびその製造方法 - Google Patents
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Description
しかし、これらの要望に応じて、プローブを細径化すると、プローブ剛性が低下する虞がある。
しかし、この方式では、中空のプローブの管壁が薄肉となるため、特に、プローブ先端での剛性及び強度が弱くなるという問題が生じる。
請求項4に係る発明は、上記超音波伝達部材及び上記補強部材に上記超音波伝達部材の長手軸方向に沿って該超音波伝達部材の全長にわたり貫通する貫通孔を形成したことを特徴とする請求項1、請求項2または請求項3に記載の超音波処置具である。
請求項5に係る発明は、超音波振動子から発生した振動を伝達する超音波伝達部材の製造方法であって、上記超音波伝達部材の先端部に開口部を設ける開口部形成工程と、上記開口部形成工程により設けられた開口部から上記超音波伝達部材の軸方向に所定の長さで中空部を設ける中空部形成工程と、上記中空部形成工程により設けられた中空部に充填材を設ける充填材設置工程と、を有することを特徴とする超音波伝達部材の製造方法である。
また、超音波伝達部材2は、先端部に中空部8を有するプローブ6と、上記中空部8内に充填された補強部材としての充填材7とから構成されている。プローブ6に形成された中空部8は、プローブ先端に形成された開口部9と、内方端に形成された絞り10を有する。また、絞り10の部分は、以下に述べるように、先端に向かうに従い、その穴径が順次大きくなる形状であることが好ましい。
図3に示す絞り10の例は、エクスポネンシャル形状のものである(図7参照)。
まず、図5に示す絞り10は、内径が先端側のものほど大きくなるようにした複数の等径孔部10bを段階的に連続して設けたものである。
また、図6に示す絞り10は、複数のテーパ状の孔部10cを連続して設け、全体として先端側が大きく広がるように形成したものである。この図6に示す絞り10は少なくとも一つの孔部10cが、奥に広がるテーパ状のものとなっている。ここでは、奥から一段目と二段目の各孔部10cの部分が、中空部8の奥に向かって小さく広がるテーパ状に形成されている。そして、少なくとも一つの孔部10cの内壁面を、奥に広がるテーパ状に形成することにより、この部分に充填材7の抜けに抗する係止作用が強く生じるようになる。しかし、内壁面を奥に広がるテーパ状に形成しても、その絞り10の全体としては先端側が広がるように見なせる形状である。中空部8の奥に向かって広がるテーパの勾配θは、0°を越え、45°未満の範囲が好ましく、特に1°〜5°の範囲がより好ましい。
ここで、Z0=(ρ1・E0)1/2:プローブ6の音響インピーダンス
Z1=(ρ1・E1)1/2:充填材7の音響インピーダンス
ρ0:プローブ6の密度
ρ1:充填材7の密度
E0:プローブ6のヤング率
E1:充填材7のヤング率
充分な振幅拡大を得るためには、Z1≧100×Z0であることが望ましい。この条件を満たすと、反射率Rは、95%以上になり、発振器3で発生した超音波振動のほとんど(すなわち95%以上)がプローブ6にのみ伝達する。
まず、プローブ6の先端部に、開口部9を有する中空部8を機械加工により形成する。機械加工以外にも、金属射出成形(MIM)等の成形手段により、中空部8を含むプローブ6を成形することが可能である。中空部8は充填材7の外形より若干小さく設計して作る(ステップS1)。
次に、プローブ6全体を加熱する(ステップS2)。これによって、プローブ6が膨張して中空部8が充填材7の外径よりも若干大きくなる。例えば、中空部8と充填材7のクリアランスが数μm〜数10μmになる程度に加熱する。
次に、加熱により拡大した中空部8の開口部9から充填材7を挿入する(ステップS3)。
最後に、充填材7が挿入されたプローブ6を冷却する(ステップS4)。充填材7の外径よりも大きく膨張していた中空部8の内径が充填材7の外径よりも小さくなろうとして充填材7を締め付け、充填材7を中空部8に焼き嵌め固定する。なお、この後に、プローブ6と充填材7の両者を溶接または接着等により固定するようにすれば、両者の固定強度が一層増す。
次に、中空部8の内面に、ろう材を塗布する(ステップ2)。
次に、中空部8の開口部9から充填材7を差し込み挿入する(ステップ3)。
最後に、中空部8に充填材7を挿入したプローブ6を、ろう付け温度に加熱して、ろう材を溶融し、ろう材により中空部8に充填材7を固定する(ステップ4)。このろう材は、プローブ6及び充填材7より融点が低い材質を選択することが好ましい。
まず、上記方法と同様に、プローブ6の先端部に開口部9を有する中空部8を形成する(ステップ1)。
次に、中空部8内に充填材7の材料である粉末を詰める。充填材7の粉末はガスアトマイズ法等で造られたものである(ステップ2)。
次に、中空部8に充填材7の材料である粉末を詰めたプローブ6を真空チャンバーに入れて、真空引きする(ステップ3)。
次に、開口部9から成形用押型を押し込み、充填材7の粉末に、圧縮応力を加え、圧縮すると同時に加熱することで、上記粉末を一体化させる(ステップ4)。
最後に、中空部8に充填材7の材料である粉末を詰めたプローブ6を粉末の焼結温度に加熱保持することで、上記粉末が完全なバルクとなって充填材7が中空部8内に形成される(ステップ5)。
1.超音波振動を発生する、圧電素子を共振部材で挟み込んだ発振器と、
先端に開口が形成された中空部を有するプローブと、上記中空部に挿入される充填材と、から構成される超音波振動子。
5…共振部材、6…プローブ、7…充填材、8…中空部、9…開口部
12…吸引管路。
Claims (5)
- 超音波振動子から発生した振動を伝達する超音波伝達部材であって、
超音波伝達部材の先端に設けられた開口部と、
上記超音波伝達部材に上記開口部から上記超音波伝達部材の軸方向に所定の長さで設けられた中空部と、
上記中空部内に充填して設けた補強部材と、
を備えることを特徴とする超音波伝達部材。 - 超音波振動を発生する振動子と、
上記振動子からの超音波振動が伝達可能な超音波伝達部材とを備えた超音波処置具であって、
上記超音波伝達部材の先端に設けられた開口部と、
上記超音波伝達部材に、上記開口部から上記超音波伝達部材の軸方向に所定の長さで設けられた中空部と、
上記中空部内に充填して設けた補強部材と、
を具備したことを特徴とする超音波処置具。 - 上記中空部は、該中空部の内方端に位置して上記開口部の径よりも小さい径の絞り部を有したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の超音波処置具。
- 上記超音波伝達部材及び上記補強部材に上記超音波伝達部材の長手軸方向に沿って該超音波伝達部材の全長にわたり貫通する貫通孔を形成したことを特徴とする請求項1、請求項2または請求項3に記載の超音波処置具。
- 超音波振動子から発生した振動を伝達する超音波伝達部材の製造方法であって、
上記超音波伝達部材の先端部に開口部を設ける開口部形成工程と、
上記開口部形成工程により設けられた開口部から上記超音波伝達部材の軸方向に所定の長さで中空部を設ける中空部形成工程と、
上記中空部形成工程により設けられた中空部内に充填材を設ける充填材設置工程と、
を有することを特徴とする超音波伝達部材の製造方法。
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