JP4144204B2 - 光吸収膜およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光吸収膜およびその製造方法に係り、特に、遠赤外線検出器のような断熱構造上のセンシング領域へ形成するパターニングを必要とする技術に適用するのに好適な光吸収膜およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光センサに用いられる光吸収膜は、膜材料の結晶がデンドライト成長した多孔質の構造を有する金属膜を用いることが多い。このような金属膜を形成するには、一般的に、真空チャンバーを所望の圧力まで排気した後に排気を停止し、該チャンバー内に所定の圧力の不活性ガスを充填して圧力一定とする。圧力は系の平均自由行程が非常に短くなる圧力であり、数百Pa程度である。その雰囲気下において、蒸着用ボートを用いた抵抗加熱により、金等の金属を蒸発させて被蒸着物表面に蒸着金属の結晶をデンドライト成長させる等の手順で行われている。
【0003】
サーモパイル型遠赤外線検出器のように、非常に微小な入射赤外光を熱エネルギーとして温度で検出することが必要なセンサにおいては、上記のように金をデンドライト成長させた遠赤外線光吸収膜(=熱吸収膜)を用い、かつ、センシング領域をそれを保持する基体から空間に浮かせた熱分離構造(後述の図1に示すのと同様な構造)とすると非常に感度が向上する(第1の従来構造)。
【0004】
一方、多くの市販されているセンサのように、屈折率の異なる通常の非ポーラス構造の薄膜を積層して、光の干渉によりエネルギーとして膜内で吸収させる構造がある。この構造は、通常の半導体素子の製作工程と同様の工程で加工することが可能で、工程への組み込みが容易である(第2の従来構造)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
第1の従来構造のような脆弱な薄膜構造を形成する場合において、光吸収膜を検出領域にのみ形成し、非検出領域は温度検出の比較基準点とするために、非検出領域に光吸収膜を形成しないというパターニング工程を施す場合に、工程順の構成に工夫が必要であり、扱いも難しい。
【0006】
また、第2の従来構造のような積層膜型では、吸収率が事実上70%程度であり、第1の従来構造のポーラス金属膜型における90%以上の性能に比較すると、検出感度が低下する。また、その原理から光吸収波長による吸収率の変動があり、トータルとして吸収エネルギーは小さくなる。したがって、このような積層膜型は、センサの熱検出手法が非常に高感度の場合での適用に限られる。
【0007】
本発明の目的は、光吸収膜のパターニング工程を施す場合に、工程順の構成に工夫が不要であり、工程設計の不自由さを解消し、扱いも簡単な光吸収膜およびその製造方法を提供することにある。
【0008】
また、吸収率が約90%以上で検出感度が高く、光吸収波長による吸収率の変動が少なく、トータルとして吸収エネルギーが大きい光吸収膜およびその製造方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明においては特許請求の範囲に記載するような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の光吸収膜は、検出対象である光の波長に対してシリコン酸化膜より吸収係数が大きいか、または反射率が大きい材料からなる微粒子、もしくは該微粒子が連鎖状に繋がった綿状体がSOG膜に含有され、上記微粒子もしくは上記綿状体を含有した上記SOG膜が光センサの検出領域を含む主面上に形成されており、上記SOG膜の光吸収率がシリコン酸化膜の光吸収率より大きく、上記SOG膜中に上記材料を1種類もしくは2種類以上混合させてなり、上記SOG膜中に混合された上記材料の混合比率が異なる膜を2層以上積層してなることを特徴とする。
また、請求項2に記載の光吸収膜は、検出対象である光の波長に対してシリコン酸化膜より吸収係数が大きいか、または反射率が大きい材料からなる微粒子、もしくは該微粒子が連鎖状に繋がった綿状体がSOG膜に含有され、上記微粒子もしくは上記綿状体を含有した上記SOG膜が光センサの検出領域を含む主面上に形成されており、上記SOG膜の光吸収率がシリコン酸化膜の光吸収率より大きく、上記SOG膜中に上記材料を1種類もしくは2種類以上混合させてなり、上記SOG膜中に混合された上記材料および混合比率が異なる膜を2層以上積層してなることを特徴とする。
また、請求項3に記載の光吸収膜は、検出対象である光の波長に対してシリコン酸化膜より吸収係数が大きいか、または反射率が大きい材料からなる微粒子、もしくは該微粒子が連鎖状に繋がった綿状体がSOG膜に含有され、上記微粒子もしくは上記綿状体を含有した上記SOG膜が光センサの検出領域を含む主面上に形成されており、上記SOG膜の光吸収率がシリコン酸化膜の光吸収率より大きく、凹凸を形成した表面に形成されていることを特徴とする。
また、請求項4に記載の光吸収膜は、請求項3記載の光吸収膜において、上記SOG膜中に上記材料を1種類もしくは2種類以上混合させてなることを特徴とする。
また、請求項5に記載の光吸収膜は、請求項4記載の光吸収膜において、上記SOG膜中に混合された上記材料の混合比率が異なる膜を2層以上積層してなることを特徴とする。
また、請求項6に記載の光吸収膜は、請求項4記載の光吸収膜において、上記SOG膜中に混合された上記材料および混合比率が異なる膜を2層以上積層してなることを特徴とする。
また、請求項7に記載の光吸収膜は、請求項4記載の光吸収膜において、上記SOG膜はリンを含まないことを特徴とする。
また、請求項8に記載の光吸収膜は、請求項4記載の光吸収膜において、上記SOG膜中に混合させる上記材料として、金属、炭素、シリコンのうち、1種類もしくは2種類以上を用いたことを特徴とする。
また、請求項9に記載の光吸収膜の製造方法は、半導体基体上に、メンブレンとなる膜を形成し、上記メンブレンとなる膜上にセンサを形成する第1の工程と、
上記センサを含む上記半導体基体上に、光吸収材料である微粒子を混合した光吸収膜となるSOG膜を形成する第2の工程と、
上記SOG膜の上に所定の形状にパターニングした第1のレジスト膜を形成する第3の工程と、
上記第1のレジスト膜をマスクとして上記SOG膜をエッチングして、上記SOG膜を所定の形状にパターニングし、上記光吸収膜を形成する第4の工程と、
上記光吸収膜を含む上記半導体基体上に、エッチングマスク膜を形成する第5の工程と、
上記エッチングマスク膜上に、所定の形状にパターニングした第2のレジスト膜を形成する第6の工程と、
上記第2のレジスト膜を形成した上記エッチングマスク膜をエッチングして、上記メン ブレンとなる膜下の上記半導体基体に空洞を形成するためのエッチング液供給口と、外部との電気的接続用孔を開孔する第7の工程と、
上記エッチング液供給口からエッチング液を供給し、上記メンブレンとなる膜下の上記半導体基体をエッチングして、上記空洞を形成する第8の工程と、
を有することを特徴とする。
また、請求項10に記載の光吸収膜の製造方法は、請求項9記載の光吸収膜の製造方法において、上記第2の工程における上記SOG膜の形成法がスピンコート法であり、該SOG膜の被形成面の周囲に飛び散ったSOG材料を回収し、HFを含むエッチング液にてシリコン酸化物を除去して上記SOG材料に混合された微粒子材料のみを取り出し、該微粒子材料をSOGに混合して再使用することを特徴とする。
また、請求項11に記載の光吸収膜の製造方法は、請求項9記載の光吸収膜の製造方法において、上記第2の工程における上記SOGの塗布時において、該SOGに混合した微粒子材料を常時撹幹しておくことを特徴とする。
また、請求項12に記載の光吸収膜の製造方法は、請求項9記載の光吸収膜の製造方法において、上記第4の工程における上記SOG膜のパターニングは、湿式エッチングを用いて行うことを特徴とする。
【0020】
【発明の効果】
本発明では、従来は金等を成長させて形成していた光吸収膜を、透明樹脂のような物に光吸収材料を混合して形成することで、光吸収膜を破損することなく容易にエッチングすることができ、さらに、従来の積層構造の光吸収膜よりも感度を向上させることができるものである。
すなわち、請求項1の光吸収膜によれば、光吸収材料となる微粒子を、赤外吸収率を持ち、屈折率の小さな酸化膜に混合させて形成することにより、表面反射が小さな膜内で高い赤外線吸収率を有しながらも、微粒子が酸化膜で覆われているため、パターニング加工が容易で、所望の領域に光吸収膜を形成する工程が容易になり、工程の簡略化と歩留まり向上を図ることができ、液体の酸化物原料であるSOGを用いることにより、微粒子材料を混合することが容易で、塗布により微粒子を混入させたシリコン酸化膜を容易に形成でき、密着性の良い混合濃度の低い膜の上に光吸収の良い濃度の高い膜を積層し、さらに表層に微粒子の濃度がゼロの膜を保護膜として積層し、総合的に特性を最良に設定する等々、光学特性や物理特性の設計が容易となる。
請求項2の光吸収膜によれば、光吸収材料となる微粒子を、赤外吸収率を持ち、屈折率の小さな酸化膜に混合させて形成することにより、表面反射が小さな膜内で高い赤外線吸収率を有しながらも、微粒子が酸化膜で覆われているため、パターニング加工が容易で、所望の領域に光吸収膜を形成する工程が容易になり、工程の簡略化と歩留まり向上を図ることができ、液体の酸化物原料であるSOGを用いることにより、微粒子材料を混合することが容易で、塗布により微粒子を混入させたシリコン酸化膜を容易に形成でき、混合する微粒子材料物質や粒径により、吸収波長や吸収率にさまざまな特性を持たせることができる。上記第2の従来例の積層膜の光干渉による吸収膜では単波長しか吸収できなかったが、これによれば検知したい対象物の温度に合わせた吸収特性を任意に持たせ、信号処理によらない検知対象の高度な選択処理が可能となる。
請求項3の光吸収膜によれば、光吸収材料となる微粒子を、赤外吸収率を持ち、屈折率の小さな酸化膜に混合させて形成することにより、表面反射が小さな膜内で高い赤外線吸収率を有しながらも、微粒子が酸化膜で覆われているため、パターニング加工が容易で、所望の領域に光吸収膜を形成する工程が容易になり、工程の簡略化と歩留まり向上を図ることができ、凹凸部分近くの膜厚が実質的に厚くなり、入射光の吸収に寄与する経路が長くなる他、凹凸表面で乱反射され、膜の鉛直方向以外に反射された光も経路が長くなるのでさらに吸収率が向上する。
請求項4の光吸収膜によれば、液体の酸化物原料であるSOGを用いることにより、微粒子材料を混合することが容易で、塗布により微粒子を混入させたシリコン酸化膜を容易に形成できる。
請求項5の光吸収膜によれば、密着性の良い混合濃度の低い膜の上に光吸収の良い濃度の高い膜を積層し、さらに表層に微粒子の濃度がゼロの膜を保護膜として積層し、総合的に特性を最良に設定する等々、光学特性や物理特性の設計が容易となる。
請求項6の光吸収膜によれば、混合する微粒子材料物質や粒径により、吸収波長や吸収率にさまざまな特性を持たせることができる。上記第2の従来例の積層膜の光干渉による吸収膜では単波長しか吸収できなかったが、これによれば検知したい対象物の温度に合わせた吸収特性を任意に持たせ、信号処理によらない検知対象の高度な選択処理が可能となる。
請求項7の光吸収膜によれば、リンを含まないシリコン酸化膜を用いることにより、センサ形成のためのエッチング工程において、PSGとの選択エッチングにより膜をエッチングせずに保護することができ、構造設計が容易となる。
請求項8の光吸収膜によれば、良好な光吸収特性を持つ光吸収膜を提供することができる。
請求項9の光吸収膜の製造方法によれば、光吸収材料となる微粒子を、赤外吸収率を持ち、屈折率の小さな酸化膜に混合させて形成することにより、表面反射が小さな膜内で高 い赤外線吸収率を有しながらも、微粒子が酸化膜で覆われているため、パターニング加工が容易で、所望の領域に光吸収膜を形成する工程を有し、工程の簡略化と歩留まり向上を図ることができる光吸収膜の製造方法を提供することができる。
請求項10の光吸収膜の製造方法によれば、微粒子は高価な材料であるが、回収して再投入できるので、材料の有効利用が容易にでき、コストダウンを図ることができる。
請求項11の光吸収膜の製造方法によれば、SOG中では比重が大きく異なり、沈殿しやすい微粒子材料を常時撹幹することにより、微粒子が均一に混合された光吸収膜を形成することができる。
また、AuやNi等エッチングしにくい混合材料を用いる場合、ドライエッチングによるエッチングでは、エッチング面に残り易い。材料が残らないようにスパッタエッチング性を強めたエッチングでは下地をいためる。例えばAuならばヨウ素系のエッチング液もしくは王水でこれを除去することが可能であり、請求項12の光吸収膜の製造方法によれば、エッチング残りや下地の損傷を防ぐことができる。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、各図は工程の説明を容易にするためにデフォルメしてあり、正確な寸法比を示さない部分がある。また、各図で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。また、実施の形態中の数値は、本実施の形態を説明するための一例であり、これに限定されるものでは無く、外部条件の変動により当然変化するものである。
【0033】
実施の形態1
図1は本発明の実施の形態1の光吸収膜を形成した赤外線センサの単セル部分の断面図である。
【0034】
以下にその構成について説明する。
【0035】
1は半導体基体、2はメンブレン、3は赤外線センサ、4は赤外線センサ3の上に形成した光吸収膜、5は半導体基体1のメンブレン2下に形成した空洞である。
【0036】
本実施の形態1の光吸収膜4では、検出対象である光の波長に対してシリコン酸化膜より吸収係数が大きいか、または反射率が大きい材料からなる微粒子、もしくは該微粒子が連鎖状に繋がった綿状体がシリコン酸化膜に含有され、上記微粒子もしくは綿状体を含有したシリコン酸化膜が光センサ、ここでは赤外線センサ3の検出領域を含む主面上に形成されており、上記微粒子もしくは上記綿状体を含有した上記シリコン酸化膜の光吸収率がシリコン酸化膜の光吸収率より大きいことを特徴とする。
【0037】
すなわち、半導体基体1の表面には、赤外線センサ3を空洞5で熱分離しながら保持するためのメンブレン2が形成されている。
赤外線センサ3の上部には光吸収材料となる金属微粒子を混合し、混濁された(以下、単に「混合」と記す)シリコン酸化膜(SiO2膜)からなる光吸収膜4が形成されている。
金属微粒子が混合されたシリコン酸化膜では、従来から用いられている光吸収膜である金属黒色膜と同様のメカニズムで光吸収作用を実現する(特願2001-197928号参照)。
【0038】
今回用いているシリコン酸化膜は、屈折率(n)がおおよそ1.3であり、これから計算される表面反射率Rは、吸収が無い場合で、
R=((n−1)/(n+1))2
で簡単にR≒1.7%と求められ、非常に効率良く、吸収膜4内に入射光を取り込むことができる。
【0039】
以下、図2、図3(A)〜図5(H)、および図6を用いて、本発明による光吸収膜の製造方法について説明する。
【0040】
本実施の形態の光吸収膜の製造方法を簡単に説明するため、微粒子材料として、Auを用いる。Auは安定元素であり、取り扱いに関して特段の注意を払わずに適用することができる。
【0041】
まず、本発明に係るシリコン酸化膜の原料としては、SOG(Spin on Glass)と一般的に呼ばれ、広く市販されているシラノール化合物系の液状化合物を準備する。
【0042】
本実施の形態では、SOG中にリン成分(P2O5)を含まないものとした。この理由については、後述する。本SOGは、材料表面に塗布した後、乾燥させる工程のみでシリコン酸化膜を形成することができる。次に、光吸収させるための微粒子を準備する。本実施の形態では、上述のようにAuを用いるので、数百Pa(数Torr)以上の窒素ガス中でAuを蒸発させたものを捕集すると、Auの微粒子が連なって綿状に成長した黒色から暗褐色を呈する物質が得られる。この形成法は、従来から用いられている金属黒色膜の形成法と変わりない(特願2001-197928号参照)。
【0043】
この形成物質は非常に脆く、撹拌式のミルに投入すれば、容易に微小単位の微粒子の結合体(以下、簡略化のため、「微粒子」と称する)とすることができる。
【0044】
次に、これを上記のSOG液内に投入し、良く撹拌すると、図2に模式的に示すようなAu微粒子を混合したSOG液6ができる。32はSOG液6を入れた容器である。
【0045】
次に、図3(A)〜図5(H)を用いて、センサの形成工程を簡単に説明する。
【0046】
まず、図3(A)に示すように、シリコン等の半導体基体1上に、後でメンブレン2となるPSG(Phospho Silicate Glass)膜等のシリコン酸化膜を公知の方法を用いて形成し、その上にサーモパイル型赤外線センサ3を公知の方法を用いて形成する。
【0047】
この上に、上記のAu微粒子を混合したSOG液6(図2参照)を、図3(B)に示すようにスピンコートし、200℃に加熱して乾燥および高密度化処理を施すと、Au微粒子を混合し、塗布したSOG膜7からなる光吸収膜が形成できる。
【0048】
このとき、この塗布の間、SOG中ではAu微粒子の比重が大きく異なるため、沈殿しやすい。このため、塗布作業中の該SOG液6は、図6に示すように、「ホモジナイザー」と呼ばれる超音波撹拌機8に設置するか、あるいは容器11内部に回転子9を入れたスターラー10を用いて常時撹拌しておくことが望ましい。SOG液6は、容器11に配管33から矢印12で示すようにHeガスを供給して、SOG液6中に沈めた配管34から矢印13で示すようにSOG液6を供給する。
【0049】
次に、フォトリソグラフィー工程により、図3(C)に示すように、第1のレジスト膜(レジストマスク)14を形成し、弗化水素酸系のエッチング液で短時間エッチングすると、SOGは非常にエッチング速度が速いために、下地のメンブレン2等に用いているシリコン酸化膜をいためることなく、図4(D)に示すように、レジスト膜14下以外の部分のAu微粒子混合SOG膜7のシリコン酸化物成分を除去できる。
【0050】
このとき、エッチング液中にAuの微粒子の一部が流出し、残留する。残留したAu微粒子は、ヨウ素系のエッチング液もしくは王水に半導体基体1を浸漬することにより溶解させることができ、不要部分のAu微粒子を除去する。こうして図4(D)に示すように、パターニングされた本発明に係る光吸収膜4を形成した。
【0051】
続いて、図4(E)に示すように、光吸収膜4を含む半導体基体1上に、PSG膜15を厚さ1μm形成する。
【0052】
次に、この上にフォトリソグラフィー工程により、図4(F)に示すように、第2のレジスト膜(レジストマスク)16を形成する。
【0053】
次に、第2のレジスト膜16を形成したPSG膜15を、通称「パッド開口液」(弗化アンモニウム+氷酢酸+水の混合液)に浸漬して、図5(G)に示すように、内部に空洞を形成するためのエッチング液供給口17と、図示していないが、外部と電気的接続を取るためのボンディングパッド部分を開孔する。なお、このとき、光吸収膜4を形成するSOGにリンを含まない物(上述)を使用したのは、この「パッド開口液」によるエッチング時に該光吸収膜4が溶解しないようにするためである。
【0054】
その後、暖めた抱水ヒドラジンで半導体基体1をエッチングすると、空洞5が形成され、図5(H)に示す熱分離構造上にのみ光吸収膜4が形成された赤外線センサのセルが完成する。
【0055】
すなわち、本実施の形態1の光吸収膜の製造方法は、半導体基体1上に、メンブレン2となる膜を形成し、メンブレン2となる膜上にセンサ3を形成する第1の工程と(図3(A))、
センサ3を含む半導体基体1上に、光吸収材料である微粒子を混合した光吸収膜4となるSOG膜7を形成する第2の工程と(図3(B))、
SOG膜7の上に所定の形状にパターニングした第1のレジスト膜14を形成する第3の工程と(図3(C))、
第1のレジスト膜14をマスクとしてSOG膜7をエッチングして、SOG膜7を所定の形状にパターニングし、光吸収膜4を形成する第4の工程と(図4(D))、
光吸収膜4を含む半導体基体1上に、エッチングマスク膜としてPSG膜15を形成する第5の工程と(図4(E))、
エッチングマスク膜のPSG膜15上に、所定の形状にパターニングした第2のレジスト膜16を形成する第6の工程と(図4(F))、
第2のレジスト膜16を形成したエッチングマスク膜のPSG膜15をエッチングして、メンブレン2下の半導体基体1に空洞5を形成するためのエッチング液供給口17と、外部との電気的接続用孔(図示せず)を開孔する第7の工程と(図5(G))、
エッチング液供給口17からエッチング液を供給し、メンブレン2下の半導体基体1をエッチングして、空洞5を形成する第8の工程と(図5(H))を有することを特徴とする。
【0056】
なお、光吸収膜4を形成するSOGに混合する微粒子材料としては金属、シリコン、カーボン等が適し、それぞれの材料の光学的・化学的・機械的特長を生かした材料と微粒子のサイズの選択をすれば良い。
また、上述の工程における光吸収膜4を形成するSOG塗布に用いるスピンコートでは、被塗布サンプル上に付着させた以外のSOGはスピンテーブル周囲の「カップ」と呼ばれる部分に材料が付着する。通常はこれを廃棄してしまうが、本発明のようにAu等の微粒子を混合させた場合には、これを回収して再使用することができる。本実施の形態で用いたAuの微粒子では、掻き集めたカップ内のSOGを薄い弗化水素酸で溶かすことにより回収できる。
回収した微粒子を再びSOGに投入することにより、今回のようなAuに限らず高価な微粒子を捨てることなく、有効に利用することが可能となり、コスト低減を図ることができる。ただし、弗化水素酸系のエッチング液に対して溶解性の強い材料の微粒子は回収できない。
【0057】
光吸収膜4を上記の手法にて形成すると、光吸収材料となる微粒子を赤外吸収率を持ち、屈折率の小さなシリコン酸化膜に混合させて形成することにより、表面反射が小さな膜内で高い赤外線吸収率を有する光吸収膜を提供することができる。また、微粒子がシリコン酸化膜で覆われているため、通常の半導体で用いるプロセスと大差ない工程でパターニング加工が可能となり、作業は容易で、かつ、歩留まりが向上する。
【0058】
実施の形態2
本発明の実施の形態2の光吸収膜について説明する。なお、工程の細部は上述の実施の形態1と同一のため、異なる点のみ説明する。また、実施の形態1の図1に示した半導体基体1、空洞5の図示は省略する。
【0059】
図7は本発明の実施の形態2の光吸収膜を示す断面図である。
【0060】
本実施の形態2では、混合する光吸収用微粒子の濃度を変化させた層を複数積層して光吸収膜4を構成するものであり、ここでは総計5層積層した例を示す。
【0061】
まず、赤外線センサ3の検出領域直上には、混合するAu微粒子量を減らしたSOG層18を形成し、絶縁性と密着性を確保する。SOGに対して不純物であるAu微粒子を大量に混合させた場合には、機械強度が低下したり、絶縁性が低下する場合があるからである。
【0062】
その上には、非常に混合濃度が高いSOG層19を塗布し、続いて、表層に近づくにつれ、次第にAu微粒子の混合濃度を低下させて2層のSOG層20、21を形成する。この2層は、表面での反射を減らして膜の深い領域でより乱反射による吸収をさせようとするものである。
【0063】
最後に、表層にAu微粒子混合量を最も減じたSOG層22を保護膜として形成する。この表層膜はAu微粒子が入っていないものでも良い。上記のように、SOG膜への微粒子の混合濃度の異なるものを複数積層することにより、光学特性や物理特性の設計を容易にすることが可能となる。
【0064】
実施の形態3
本発明の実施の形態3の光吸収膜について説明する。なお、上記実施の形態2と同様に、工程の細部は上述の実施の形態1と同一のため、異なる点のみ説明する。また、実施の形態1の図1に示した半導体基体1、空洞5の図示は省略する。
【0065】
図8は本発明の実施の形態3の光吸収膜を示す断面図である。
【0066】
本実施の形態では、混合する微粒子の種類も変化させた層を複数積層して光吸収膜4を構成するもので、ここでは5層積層した例を示す。
【0067】
本実施の形態3では、赤外線センサ3の検出領域直上には、目標吸収波長に対して吸収率の高いAuを濃度70%で混合したSOG層23、次に、密着性が良く、機械強度が高く、かつ、応力の制御が可能なシリコンの微粒子を50%混合したSOG層24、次に、再び吸収率の高いAu粒子を混合したSOG層25、その上に、上記と同様のシリコンを混合したSOG層24、最上表面に保護用としてAu微粒子量を減らし、濃度10%としたSOG層26を塗布し、全5層とした。
【0068】
この場合、上記SOG層24に混合したシリコン微粒子はリンやホウ素あるいは砒素等をドーピングしたものを用いると、赤外線吸収に都合がよい。最上の表層膜はAu微粒子が入っていないものでも良い。
【0069】
本実施の形態3によれば、混合する微粒子材料物質や粒径により、上記の機械的特性以外に、吸収波長や吸収率にさまざまな特性を持たせることができる。
【0070】
従来の積層膜(前述の第2の従来構造)の光干渉による光吸収膜では、単波長しか吸収できなかったが、本実施の形態3によれば、検知したい対象物の温度に合わせた光吸収特性を任意に持たせ、信号処理によらない検知対象の高度な選択処理も可能となる。
【0071】
実施の形態4
本発明の実施の形態4の光吸収膜について説明する。なお、上記実施の形態2、実施の形態3と同様に、工程の細部は上述の実施の形態1と同一のため、異なる点のみ説明する。また、実施の形態1の図1に示した半導体基体1、空洞5の図示は省略する。
【0072】
図9は本発明の実施の形態4の光吸収膜を示す断面図である。
【0073】
本実施の形態4では、赤外線センサ3の表面に凹凸、すなわち、突起27を形成し、その上に本発明に係る光吸収膜4をSOG塗布により形成するものである。
【0074】
以下にその形成法の一例を示す。
まず、赤外線センサ3の表面に絶縁膜を形成する。引き続き、アルミニウム膜を1.5μmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィーおよびドライエッチングにより図9に示すような突起27を実現させる。
【0075】
その後、上記実施の形態2、3と同様に、多層構造の光吸収膜28〜31をSOG塗布により形成する。本実施の形態4では、突起27の間は、実効的に光吸収膜4の膜厚が厚くなり、光吸収能力を向上させるか、あるいは微粒子混合濃度を下げて取り扱いを容易にするのも良い。
【0076】
本実施の形態4のようなアルミニウム膜等の金属を用いて形成した凹凸では、突起27表面まで入射光が到達した場合、斜めに入射光が反射され、実質的に無限厚とみなせる光吸収膜4内で効果的に吸収される。
【0077】
一方、金属ではなく、ドーピングしたシリコン蒸着膜を用いて凹凸形成する場合ならば、突起27自体も光吸収する。
【0078】
さらに、上記のアルミニウムのような膜を用いて突起27を形成する場合に、エッチング深さを0.5μm程度残して凹凸部分の下地膜を残し、さらにエッチングマスクを再形成して不要領域の残膜を除去すると、反射膜の凹凸からなる下地層が形成できる。この場合、凹凸部分の底部に入射光が到達しても反射されて再度吸収させることができる。
【0079】
本実施の形態4では上記のように、光吸収をさらに効率よく行うことができる。
【0080】
以上本発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の光吸収膜を形成した赤外線センサの単セル部分の断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1において、光吸収用微粒子を混合させたSOG液のイメージ断面図である。
【図3】(A)〜(C)は本発明の実施の形態1の光吸収膜の製造方法を示す工程断面図である。
【図4】(D)〜(F)は本発明の実施の形態1の光吸収膜の製造方法を示す工程断面図である。
【図5】(G)、(H)は本発明の実施の形態1の光吸収膜の製造方法を示す工程断面図である。
【図6】本発明の実施の形態1において、SOG液の混合法を説明する断面図である。
【図7】本発明の実施の形態2の微粒子混合濃度が異なる積層構造の光吸収膜を示す断面図である。
【図8】本発明の実施の形態3の微粒子種および混合濃度が異なる積層構造の光吸収膜を示す断面図である。
【図9】本発明の実施の形態4のセンサ上の凹凸構造上に形成した光吸収膜を示す断面図である。
【符号の説明】
1…半導体基体、2…メンブレン、3…赤外線センサ、4…光吸収膜、5…空洞、6…SOG液、8…超音波撹拌機、9…回転子、11…容器、10…スターラー、12…Heガスを示す矢印、13…SOG液の供給を示す矢印、7…SOG膜、14…第1のレジスト膜、15…PSG膜、16…第2のレジスト膜、17…エッチング液供給口、18…混合Au微粒子を減らしたSOG層、19…混合Au微粒子濃度が高いSOG層、20…SOG層19の次に混合Au微粒子濃度が高いSOG層、21…SOG層20の次に混合Au微粒子濃度が高いSOG層、22…表面SOG層、23…70%混合Au微粒子SOG層、24…シリコン混合SOG層、25…Au混合SOG層、26…Au10%混合SOG層、27…突起、28、29、30、31…光吸収層、32…容器、33、34…配管。
Claims (12)
- 検出対象である光の波長に対してシリコン酸化膜より吸収係数が大きいか、または反射率が大きい材料からなる微粒子、もしくは該微粒子が連鎖状に繋がった綿状体がSOG膜に含有され、
上記微粒子もしくは上記綿状体を含有した上記SOG膜が光センサの検出領域を含む主面上に形成されており、
上記SOG膜の光吸収率がシリコン酸化膜の光吸収率より大きく、
上記SOG膜中に上記材料を1種類もしくは2種類以上混合させてなり、
上記SOG膜中に混合された上記材料の混合比率が異なる膜を2層以上積層してなることを特徴とする光吸収膜。 - 検出対象である光の波長に対してシリコン酸化膜より吸収係数が大きいか、または反射率が大きい材料からなる微粒子、もしくは該微粒子が連鎖状に繋がった綿状体がSOG膜に含有され、
上記微粒子もしくは上記綿状体を含有した上記SOG膜が光センサの検出領域を含む主面上に形成されており、
上記SOG膜の光吸収率がシリコン酸化膜の光吸収率より大きく、
上記SOG膜中に上記材料を1種類もしくは2種類以上混合させてなり、
上記SOG膜中に混合された上記材料および混合比率が異なる膜を2層以上積層してなることを特徴とする光吸収膜。 - 検出対象である光の波長に対してシリコン酸化膜より吸収係数が大きいか、または反射率が大きい材料からなる微粒子、もしくは該微粒子が連鎖状に繋がった綿状体がSOG膜に含有され、
上記微粒子もしくは上記綿状体を含有した上記SOG膜が光センサの検出領域を含む主面上に形成されており、
上記SOG膜の光吸収率がシリコン酸化膜の光吸収率より大きく、
凹凸を形成した表面に形成されていることを特徴とする光吸収膜。 - 上記SOG膜中に上記材料を1種類もしくは2種類以上混合させてなることを特徴とする請求項3記載の光吸収膜。
- 上記SOG膜中に混合された上記材料の混合比率が異なる膜を2層以上積層してなることを特徴とする請求項4記載の光吸収膜。
- 上記SOG膜中に混合された上記材料および混合比率が異なる膜を2層以上積層してなることを特徴とする請求項4記載の光吸収膜。
- 上記SOG膜はリンを含まないことを特徴とする請求項4記載の光吸収膜。
- 上記SOG膜中に混合させる上記材料として、金属、炭素、シリコンのうち、1種類もしくは2種類以上を用いたことを特徴とする請求項4記載の光吸収膜。
- 半導体基体上に、メンブレンとなる膜を形成し、上記メンブレンとなる膜上にセンサを形成する第1の工程と、
上記センサを含む上記半導体基体上に、光吸収材料である微粒子を混合した光吸収膜となるSOG膜を形成する第2の工程と、
上記SOG膜の上に所定の形状にパターニングした第1のレジスト膜を形成する第3の工程と、
上記第1のレジスト膜をマスクとして上記SOG膜をエッチングして、上記SOG膜を所定の形状にパターニングし、上記光吸収膜を形成する第4の工程と、
上記光吸収膜を含む上記半導体基体上に、エッチングマスク膜を形成する第5の工程と、
上記エッチングマスク膜上に、所定の形状にパターニングした第2のレジスト膜を形成する第6の工程と、
上記第2のレジスト膜を形成した上記エッチングマスク膜をエッチングして、上記メンブレンとなる膜下の上記半導体基体に空洞を形成するためのエッチング液供給口と、外部との電気的接続用孔を開孔する第7の工程と、
上記エッチング液供給口からエッチング液を供給し、上記メンブレンとなる膜下の上記半導体基体をエッチングして、上記空洞を形成する第8の工程と、
を有することを特徴とする光吸収膜の製造方法。 - 上記第2の工程における上記SOG膜の形成法がスピンコート法であり、該SOG膜の被形成面の周囲に飛び散ったSOG材料を回収し、HFを含むエッチング液にてシリコン酸化物を除去して上記SOG材料に混合された微粒子材料のみを取り出し、該微粒子材料をSOGに混合して再使用することを特徴とする請求項9記載の光吸収膜の製造方法。
- 上記第2の工程における上記SOGの塗布時において、該SOGに混合した微粒子材料を常時撹幹しておくことを特徴とする請求項9記載の光吸収膜の製造方法。
- 上記第4の工程における上記SOG膜のパターニングは、湿式エッチングを用いて行うことを特徴とする請求項9記載の光吸収膜の製造方法。
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