JP4144046B2 - 磁気浮上装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の磁気浮上装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の磁気浮上装置として、常電導による吸引形磁気浮上タイプのものがある。図6はこれを模式的に示すものであって、磁性体1と、この磁性体1を挟んで対向位置に配設される一対の電磁石2a、2bと、これらの電磁石2a、2bにフィードバック制御用の電磁石電流Ia、Ibを入力する駆動回路3とを具備してなる。そして、前記一対の電磁石2a、2bによって磁性体1を逆方向に吸引し合うことで、該磁性体1の浮上を実現するようにしている。
【0003】
ところで、従来の駆動回路3は、磁性体1の浮上位置を検出するセンサ回路4からの検出信号に基づきフィードバック回路5にて該磁性体1の位置変位を修正するための駆動信号Sを作り、この駆動信号Sにバイアスを加えたものをV/I変換回路6で電磁石電流Iaにして一方の電磁石2aにそのまま入力するとともに、前記駆動信号Sを反転回路5aで反転後にこれにバイアスを加えたものをV/I変換回路6で電磁石電流Ibとして他方の電磁石2bに入力するように構成されている。その際、この種の駆動回路3は各部がトランジスタ等の整流素子からなる点、駆動信号Sが負の領域では電磁石2のゲインが逆になり制御が不安定になる点などの理由から、図7に破線で示すように負の電磁石電流Ia、Ibは実際には電磁石2a、2bに流れない(或いは流さない)構成になっている。駆動信号Sが零を中心とした一定範囲内では両方の電磁石2a、2bが動作し、これ以外の範囲では何れか一方の電磁石2にのみ正の電流Ia又はIbが流れ、吸引が行われるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような構成では、重力などの片荷重が大きく掛かった状態では電磁石2a又は2bの一方のみしか駆動することができない。このため、両方の電磁石2a、2bを有効利用しえないため制御の効率も半減したものにならざるを得ない。
【0005】
加えて、磁気軸受用電磁石とセンサ用電磁石が実際には略同一構造である点に鑑みて、近時、前記センサ回路4を、磁気軸受用電磁石2a、2bへの入力電流からセンサ情報を取り出し得るようにしたいわゆるセンサレス形磁気軸受なるものも開発されているが、このようなものにおいても、電磁石2a、2bへの電磁石電流Ia又はIbが零になる領域では、それらの電磁石2a、2bからのセンサ情報がなくなり、浮上位置を正しく読めなくなるので、系が不安定になるという問題もある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の問題点を解決するために、本発明は、従来ならば電流が零になるような負の駆動信号が入っても、電磁石に流れる電流を常に零より大きな一定値に保ち、その電流に駆動信号に基づく交流成分を乗せて当該電磁石を駆動するように構成することとしている。
【0007】
このように構成すれば、駆動信号が零を中心とした一定範囲を越えても電磁石電流の何れが零になることもなく、オフセット電流に駆動信号による交流成分が重畳して伝えられるため、双方の電磁石を常に有効に機能させることができる。また、センサレスの場合には、両方の電磁石からセンサ情報を得ることができるため、浮上位置を正しく読むことが可能となる。
【0008】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を、図1〜図5を参照して説明する。
図1に、この実施例の磁気浮上装置が磁気軸受として適用されるターボ分子ポンプを示す。このターボ分子ポンプは、ケーシング11内にロータシャフト12に支持させてロータ13を配設し、ロータ13とケーシング11の内周との間にタービン翼列14を構成して、ロータ13の回転に伴い吸気口15から吸入した気体をタービン翼列14で叩き飛ばし、排気口16より強制排気するものである。
【0009】
しかして、本実施例は、前記ロータシャフト12をラジアル方向に浮上支持するラジアル軸受用の磁気浮上装置XおよびYと、前記ロータシャフト12をスラスト方向に浮上支持するスラスト軸受用の磁気浮上装置Zとを設けている。ラジアル軸受用の磁気浮上装置Xは、ロータシャフト12の外周の少なくとも一部を磁性体1とする一方、ケーシング2の内周に2軸方向に各対をなして電磁石2a、2bを対向配置し、これらの電磁石2a、2bに図2に示す駆動回路3からフィードバック制御用の電流Ia、Ibを入力することによって、ロータシャフト12をラジアル方向に浮上支持するものである。また、スラスト軸受用の磁気浮上装置Zは、ロータシャフト12にスラストランナ12aを固設してこのスラストランナ12aの少なくとも一部を磁性体1とする一方、ケーシング11内の対向位置に一対に電磁石2a、2bを配設し、それらの電磁石2a、2bに駆動回路3からフィードバック制御用の電流Ia、Ibを入力することによって、ロータシャフト12をスラスト方向に浮上支持するものである。
【0010】
以下、スラスト軸受用の磁気浮上装置に代表して、その駆動回路3の構成を詳述する。この駆動回路3は、基本的には図6に示したものと概ね同様であるが、バイアス点とV/I変換回路6との間にオフセット付加手段7を設けた点を構成上の相違点としているものである。
このオフセット付加手段7は、図3に示すように、駆動信号SをそのままV/I変換回路6に入力するラインと、駆動信号Sを折れ線回路71及びローパスフィルタ72を介してV/I変換回路6に入力するラインとを並列に設けたもので、図4はそのうちの折れ線回路71の入出力特性を示している。オフセットは、これによる電磁石電流が零より大きくバイアス電流より小さくなるように定める。また、ローパスフィルタ72のカットオフ周波数は、磁気浮上のフィードバック特性に影響する周波数より十分低くする。
【0011】
本実施例による入出力特性を図5に示す。直流的には、従来は電流が零となる部分が折れ線回路71によって持ち上げられ、最低でも一定のオフセット電流が流れるようになっている。交流的には、折れ線回路71を出た後のローパスフィルタ72によって交流成分がカットされ、トータルとしての交流成分は残るので、図中網掛けで示す範囲で電流値が変化し、駆動信号Sに対応する交流成分が電磁石2a、2bに伝わることとなる。
【0012】
したがって、このように構成すれば、駆動信号Sが零を中心とした一定範囲を越えても電磁石電流Ia又はIbの何れも零になることがなく、オフセット電流を利用して駆動信号Sによる交流成分を有効に伝えることができる。このため、双方の電磁石2a、2bを常に有効に機能させることが可能となる。
また、センサレスの場合にも、常に両方の電磁石2a、2bからセンサ情報を得ることができるため、ロータシャフト12の浮上位置を正しく読むことが可能となる。
【0013】
なお、各部の具体的な構成は、上述した実施例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。例えば、折れ線回路とローパスフィルタの配列を前後逆にしても同様に機能させることができる。
【0014】
【発明の効果】
本発明は、以上説明した構成であるから、双方の電磁石に常に有効に電磁石電流を供給してそれらの電磁石を機能させることができる。このため、従来に比べて磁性体或いはこの磁性体を付帯した回転体等の支持を安定して高い効率で行うことが可能となる。特に、センサレスの磁気浮上の場合、電磁石電流から常に有効に位置情報を得ることができるので、センサ信号がとぎれて制御が不安定な状態に陥るという不都合を確実に解消することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を適用したターボ分子ポンプの概略的な断面図。
【図2】同実施例で用いた磁気浮上装置のブロック図。
【図3】図2の要部詳細図。
【図4】同実施例における折れ線回路の入出力特性を示すグラフ。
【図5】同実施例における磁気浮上装置全体の入出力特性を示すグラフ。
【図6】磁気浮上装置の従来例を示すブロック図。
【図7】同従来例における磁気浮上装置全体の入出力特性を示すグラフ。
【符号の説明】
1…磁性体
2a、2b…電磁石
3…駆動回路
12…ロータシャフト
Ia、Ib…電磁石電流
S…駆動信号
X、Y、Z…磁気浮上装置
Claims (1)
- 磁性体と、この磁性体を挟んで対向位置に配設される一対の電磁石と、これらの電磁石にフィードバック制御用の電磁石電流を入力する駆動回路とを具備してなり、前記一対の電磁石によって磁性体を浮上支持するようにした磁気浮上装置において、
前記駆動回路を、バイアスと折れ線回路を備え駆動信号に基づいてオフセットを発生させるオフセット付加手段とを有し、最低でも一定のオフセット電流とフィードバック制御用の駆動信号に対応する交流成分とを重畳させた電磁石電流を各電磁石に入力し得るように構成して、前記オフセット電流が前記一対の電磁石に流れる電流が何れも零になることなく電磁石の双方に電磁石電流の交流成分を伝えるように印加されることを特徴とし、
前記折れ線回路の入出力特性は、入力電圧が所定のオフセット値に近づくよう増大するにつれて出力電圧が低下する傾きをなし、入力電圧が前記オフセット値以上の場合に出力電圧を零に設定するものであり、前記オフセット値は、前記電磁石電流が零より大きくなるように定める磁気浮上装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17229897A JP4144046B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 磁気浮上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17229897A JP4144046B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 磁気浮上装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1113763A JPH1113763A (ja) | 1999-01-22 |
JP4144046B2 true JP4144046B2 (ja) | 2008-09-03 |
Family
ID=15939342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17229897A Expired - Lifetime JP4144046B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 磁気浮上装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4144046B2 (ja) |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP17229897A patent/JP4144046B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1113763A (ja) | 1999-01-22 |
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