JP4126377B2 - ダイヤモンドの加工方法 - Google Patents
ダイヤモンドの加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4126377B2 JP4126377B2 JP2004029444A JP2004029444A JP4126377B2 JP 4126377 B2 JP4126377 B2 JP 4126377B2 JP 2004029444 A JP2004029444 A JP 2004029444A JP 2004029444 A JP2004029444 A JP 2004029444A JP 4126377 B2 JP4126377 B2 JP 4126377B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- diamond
- sheet
- strip
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims description 95
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims description 93
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 104
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910000760 Hardened steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- -1 ferrous metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000010437 gem Substances 0.000 description 1
- 229910001751 gemstone Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
ダイヤモンド自体は非常に硬く脆い物質であるため、従来ダイヤモンドの切断や研磨等の加工に際しては、砥石に同質のダイヤモンドの粉末を混ぜ合わせて使用するのが一般的であった。
最近では、ダイヤモンドの局所加工、特定領域の加工の要求があるが、砥石形状に制限があることから、単純な形状のみの研削又は研磨加工を、時間をかけて行う必要があった。例えば溝形状を作製するには、非常に強度の高い砥石が必要で、深く掘り進むと砥石自体が熱によって変形する恐れがあった。したがって、従来の砥石による研削又は研磨方法は、加工効率が著しく悪いという問題があった。
しかしながら、レーザー加工によって表面に炭素化した黒い層が残り、この部分がダイヤモンドとしての利用の妨げになる場合もあった。さらに、気相合成技術の発展により10mmを越えるような大型ダイヤモンドにおいては、レーザー光を通すための切り代が大きくなるために適用が難しかった。さらに、ブロックや薄片に切り出す場合又は微細な部品を作成する場合には、ダイヤモンド深部への加工自体が大きな課題となっている。
このため、レーザー加工装置を用いる場合、ビーム特性を向上させることが必要となるが、そのためには高価なレーザー装置の部品が必要となり、そのような機器にかかる費用が莫大になるという問題があった。
このように、レーザー加工はダイヤモンドの加工方法としては十分な発達を遂げておらず、非能率的手段であり、加工精度も十分と言えなかった。
このような振動モードを利用することにより、ダイヤモンドの加工を行う提案がなされている。
しかし、このような技術は、必ずしも高精度のダイヤモンドの加工ができるとはいえず、また加工速度も十分ではないという問題があった。
これによって、本発明は、加工コストと加工精度の、両者の問題を一挙に解決することが可能となるという優れた効果を有する。
本発明のダイヤモンドの超音波加工方法は、10-100kHzの発信周波数で生じさせた往復運動を、厚さ1000μm以下の短冊状の加工用シートに伝え、該加工用シートによりダイヤモンドを加工するものである。
図1と図2にダイヤモンドウエハ1と加工用シート材(ツール)2を示す。符号3は砥粒を、符号4は超音波振動を示す。
図1は研削加工開始直前の概念説明図であり、図2は研削加工がある程度進行した状況を示す概念説明図である。
加工用シート材としては、軟鋼、普通鋼、ステンレス鋼、焼き入れ鋼、ばね鋼、特殊鋼など、その他非鉄金属などの普通の金属材料を使用することができ、特にこれらの材料に制限されるものではない。
発信周波数10kHz未満では、ダイヤモンドを研削できる程度の効果的な超音波を得ることができず、また発信周波数1000kHzを超えるとダイヤモンドに過度な衝撃を与えることになり、チッピングや割れが発生し易くなるので、好適な範囲は10-100kHzの発信周波数である。通常、20〜100kHz程度を使用する。
このため、加工領域に干渉しない構造、例えば被加工材であるダイヤモンドよりも大きいサイズの補強を取り付け、超音波振動時にブレが生じないように工夫を凝らした。これによって、加工用シートの歪みを防止し、加工精度を維持することができる。
短冊状の加工用シートの補強手段として、該加工用シートに張力を与えて補強することも有効な手段である。図5に短冊状の加工用シートに補強を設けた例を示す。本発明は、これらを包含する。
これによって、ダイヤモンドと加工シートが接する部分の加工シートに、加工溝の長さ方向に対して進行波が形成される。この概念図を図6に示す。
図6に示すように、主としてX軸振動方向に凹凸のある波形状となる。この進行波はダイヤモンド研削に有効である。この進行波は、加工速度及び超音波振動子の投入パワーを調節することにより効果的に形成することができる。
加工に用いられるダイヤモンド砥粒の選定については、30μm−200μmのダイヤモンド粉が望ましい。一般に、サブミクロン(1/2-1/4μm)の微細なダイヤモンド粉末のほうが加工面粗度は良くなるが、本発明の条件下では、加工速度の著しい低下が観察された。
加工速度を上げるために、振動子への投入パワーを上昇させることも考えられる。しかし、過度な超音波振動子へのパワーの供給は、衝撃に弱いダイヤモンドにとって苛酷な環境となり、多くのチッピングや割れが生じることが観察された。したがって、加工速度の無制限な上昇は避けなければならない。この実験結果を表1に示す。
表1に示すように、砥粒と加工速度、加工負荷のバランスは実験の結果から、30μm−200μmのダイヤモンドを用いるのが適切であることが分かった。
超音波加工において早い加工速度が継続される理由は、常に新しい砥粒が加工領域に供給され、かつダイヤモンドと加工シートが接する部分に投入した古いダイヤモンド砥粒が排出されることも大きな要因である。
本発明においては、上記の通り加工に用いられる振動子のモードを加工方向の縦軸振動に加えて、平面方向に進行波が生じるように加わるので、加工が進行し、溝が深くなっても積極的に砥粒の供給が行われる。また、古いダイヤモンド砥粒は加工シートの進行波の端より排出される。
本発明の超音波加工方法は、主としてダイヤモンドについて説明したが、他の硬質の金属若しくはセラミックス材料やガラス等に適用できることは言うまでもない。しかし、特にダイヤモンドウエハの加工に有用である。
したがって、ダイヤモンド加工製品の製造コストの50%近くを占める加工費の大幅な低減が可能となり、また従来加工が困難であったアスペクト比の高い溝・穴も容易に加工できるようになった。以上に示す通り、本発明はダイヤモンドウエハの加工に極めて有用である。
2.加工用シート
3.ダイヤモンド砥粒(パウダー)
4.超音波振動
Claims (9)
- 10-100kHzの発信周波数の超音波で生じさせた往復運動を厚さ1000μm以下の短冊状の加工用シートに伝え、該短冊状の加工用シートに張力を与えて補強し、該短冊状の加工用シートの端面と被加工材の間に存在するダイヤモンド砥粒の衝突によって加工することを特徴とするダイヤモンドの加工法。
- ダイヤモンド砥粒の平均粒径が30μm〜200μmであることを特徴とする請求項1記載のダイヤモンドの加工方法。
- 10-100kHzの発信周波数の超音波で生じさせた往復運動を厚さ1000μm以下の短冊状の加工用シートに伝え、ダイヤモンドと加工シートが接する部分に対して進行波が形成されるように、該短冊状の加工用シートの端面と被加工材の間に存在するダイヤモンド砥粒の衝突によって加工することを特徴とするダイヤモンドの加工法。
- ダイヤモンドと加工シートが接する部分に対して進行波が形成されるように加工することを特徴とする請求項1又は2記載のダイヤモンドの加工方法。
- ダイヤモンドの加工方向に対して、加工方向と該加工方向に垂直なシート端面方向の二方向の振動を与えることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの加工方法。
- 加工速度及び超音波振動子の投入パワーを調節して進行波を形成することを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載のダイヤモンドの加工方法。
- ダイヤモンドと加工シートが接する部分に投入された古いダイヤモンド砥粒を、加工シート若しくは被加工材に加えられた超音波振動による進行波により強制的に排出させることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のダイヤモンドの加工方法。
- 被加工材が気相合成ダイヤモンドであることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のダイヤモンドの加工法。
- 被加工材が単結晶ダイヤモンドであることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のダイヤモンドの加工法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004029444A JP4126377B2 (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | ダイヤモンドの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004029444A JP4126377B2 (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | ダイヤモンドの加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005219162A JP2005219162A (ja) | 2005-08-18 |
JP4126377B2 true JP4126377B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=34995204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004029444A Expired - Lifetime JP4126377B2 (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | ダイヤモンドの加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4126377B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5706069B2 (ja) * | 2009-02-04 | 2015-04-22 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | ダイヤモンド研磨装置及びダイヤモンド研磨方法 |
WO2022095456A1 (zh) * | 2020-11-06 | 2022-05-12 | 华侨大学 | 一种金刚石衬底的研磨方法 |
CN114199610A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-03-18 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种金刚石强度测试装置和方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6367062U (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-06 | ||
JPH031798U (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-09 | ||
JPH0640797A (ja) * | 1992-04-23 | 1994-02-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ダイヤモンドの加工方法 |
JPH07240392A (ja) * | 1994-03-01 | 1995-09-12 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体基板の分割方法 |
JPH08150544A (ja) * | 1994-11-25 | 1996-06-11 | Mitsubishi Materials Corp | 節付き棒鋼の圧延用硬質ロール及びその製造方法 |
JPH08290353A (ja) * | 1995-04-19 | 1996-11-05 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体単結晶インゴット切断治具 |
JPH0911482A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-14 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
JPH0920072A (ja) * | 1995-07-05 | 1997-01-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光記録媒体 |
JPH09207072A (ja) * | 1996-02-02 | 1997-08-12 | Kumakura:Kk | 超音波楕円振動電着砥石 |
JPH1148140A (ja) * | 1997-08-07 | 1999-02-23 | Goei Seisakusho:Kk | 多孔質ダイヤモンド切刃の刃研ぎ装置およびその方法 |
JPH11347894A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-21 | Mikuni Adec Corp | 超音波を用いた金型磨き装置 |
WO2000036648A1 (en) * | 1998-12-16 | 2000-06-22 | Toyo Kohan Co., Ltd. | Method of manufacturing diamond heat sink |
JP2001287153A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-16 | Asahi Optical Co Ltd | 研磨装置及びその制御方法 |
JP3575540B2 (ja) * | 2000-11-10 | 2004-10-13 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 数値制御研磨加工方法 |
JP3772162B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2006-05-10 | 株式会社アルテクス | 超音波振動切断用ツールの製造方法 |
-
2004
- 2004-02-05 JP JP2004029444A patent/JP4126377B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005219162A (ja) | 2005-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Liang et al. | Experimental study on brittle–ductile transition in elliptical ultrasonic assisted grinding (EUAG) of monocrystal sapphire using single diamond abrasive grain | |
JP6282613B2 (ja) | ダイシングブレード | |
Nath et al. | Machinability study of tungsten carbide using PCD tools under ultrasonic elliptical vibration cutting | |
Pal et al. | Development and performance evaluation of monolayer brazed cBN grinding wheel on bearing steel | |
JPH11320417A (ja) | 研磨工具 | |
WO2013187510A1 (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
Katahira et al. | ELID grinding characteristics and surface modifying effects of aluminum nitride (AlN) ceramics | |
WO2015029988A1 (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
JPH07132448A (ja) | セラミックス材料の研削加工方法 | |
JP2016196085A (ja) | 加工砥石 | |
JP4126377B2 (ja) | ダイヤモンドの加工方法 | |
JP6145548B1 (ja) | 面取り研削方法及び面取り研削装置 | |
Tawakoli et al. | Dressing of grinding wheels | |
JP2012200847A (ja) | ビトリファイド超砥粒砥石 | |
Matsuo et al. | Curvature in surface grinding of thin workpieces with superabrasive wheels | |
Spur et al. | Ultrasonic machining of ceramics | |
JPH04372358A (ja) | ホーニング砥石とホーニング方法 | |
Tawakoli et al. | New developments in ultrasonic-assisted grinding and dressing | |
Tawakoli et al. | Advanced Grinding | |
JP2018058198A (ja) | 面取り研削方法及び面取り研削装置 | |
JP2009056517A (ja) | ダイヤモンド砥石のツルーイング方法及びツルーイング工具 | |
Xu et al. | ELID Grinding and Polishing | |
JP3998648B2 (ja) | カップ型回転砥石 | |
Liang et al. | Grinding force characteristics in elliptical ultrasonic assisted grinding (EUAG) of monocrystal sapphire | |
JP3223269B2 (ja) | 固体材料の機械加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051004 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070911 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071109 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20071128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080314 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080415 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4126377 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |