JP4122315B2 - 液晶表示器 - Google Patents
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- 基板を準備する工程と、
前記基板上に、金属層を含んでなるトランジスタ・アレイを形成する工程と、
前記トランジスタ・アレイの上に、フォトレジスト材を含んでなる感光層を形成する工程と、
前記感光層の上に、顔料フォトレジスト材を含んでなるカラー・フィルタ層を形成する工程と、
プレセット・パターンのマスクを被せて前記カラー・フィルタ層及び前記感光層を露光する工程と、
前記カラー・フィルタ層及び前記感光層を部分的に除去して、前記カラー・フィルタ層及び前記感光層下方の前記金属層を露出させる工程と、
前記カラー・フィルタ層の上に前記金属層と電気的にカップリングする画素電極を形成する工程と、
を備え、前記顔料フォトレジスト材の熱硬化性は、前記フォトレジスト材の1.5倍よりも大きいことを特徴とする、液晶表示器を形成する製造プロセス。 - 前記フォトレジスト材と前記顔料フォトレジスト材とはほぼ同一の露光波長を有していることを特徴とする請求項1記載の製造プロセス。
- 前記フォトレジスト材は露光波長400ないし700nmの範囲において70%より高い透過率を有していることを特徴とする請求項1記載の製造プロセス。
- 基板と、
前記基板の上に形成された金属層と、
前記金属層の上に形成された顔料フォトレジスト材を含んでなるカラー・フィルタ層と、
フォトレジスト材を含んでなる感光材からなり、前記金属層と前記カラー・フィルタ層との間に形成されることにより、物理的にかつ電気的に該金属層及び該カラー・フィルタ層を隔離する絶縁膜と、
前記カラー・フィルタ層の上に形成された画素電極と、
を備え、前記顔料フォトレジスト材の熱硬化性はフォトレジスト材の1.5倍よりも大きい、請求項1に記載の製造プロセスにより製造されることを特徴とする液晶表示器。 - 該フォトレジスト材と顔料フォトレジスト材とはほぼ同一の露光波長を有していることを特徴とする、請求項4記載の液晶表示器。
- 前記フォトレジスト材は露光波長400ないし700nmの範囲において70%より高い透過率を有していることを特徴とする請求項4記載の液晶表示器。
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