JP4091382B2

JP4091382B2 - Automatic transfer plasma cleaning system

Info

Publication number: JP4091382B2
Application number: JP2002258786A
Authority: JP
Inventors: 正行福田
Original assignee: Hitachi High Tech Instruments Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Instruments Co Ltd
Priority date: 2002-09-04
Filing date: 2002-09-04
Publication date: 2008-05-28
Anticipated expiration: 2022-09-04
Also published as: JP2004096043A

Description

【発明の属する技術分野】
本発明は、簡易的に搬送部を脱着可能なプラズマ洗浄装置に関するものである。詳しくは、プラズマ洗浄の実験に使用した簡易的に手動でトレイに被洗浄物を搬送していた手動搬送プラズマ洗浄装置に汎用の搬送装置を付加することにより、ライン対応（量産に対応する）自動搬送プラズマ洗浄装置を構成することができるライン対応の自動搬送プラズマ洗浄装置に関するものである。
【従来の技術】
プラズマ洗浄装置は、基板のボンディングパット部などの表面をプラズマ洗浄する装置である。一般的にプラズマ洗浄装置においては、洗浄する基板を前もって、洗浄実験、プロセス開発、及び、用途開発等の検証を繰り返し行いながら装置を最良の洗浄状態に仕上げていく必要があり、この洗浄実験等を行う場合には、洗浄する基板を手で一枚づつトレイに載せ、洗浄し、検証することを繰り返すため手動搬送の安価なプラズマ洗浄装置が使用される。しかし、従来、この実験用装置は、実験用として開発された搬送、貯蔵等の周辺機能を有しない装置であるため、実験用のみに使用され、実験が終了すると使用されなくなり、設備は放置され有休設備となっていた。そして、実験用とは別に新たに量産用に対応するプラズマ洗浄装置を設備投資していた。
また、近年、電子部品の急速な進歩や多品種少量生産により、洗浄基板の品種も増え、洗浄基板に合わせて装置の変更を頻繁に行わなければならず、従来のような全てに自動化された設備を備えた大規模なプラズマ洗浄装置において、頻繁に基板の切替えを余儀なくされ、その都度、装置を改修して基板に対応しなければならず、そのため改修費用も非常に高く付き、生産性効率も悪く、装置の無駄も多かった。
以上のことから、電子部品の急速な進歩や多品種少量生産に機敏に対応することができ、実験に使用したプラズマ洗浄装置本体も無駄にならない、生産性の良いプラズマ洗浄装置が望まれていた。すなわち、洗浄実験等の検証が終われば、実験に使用した装置を量産用に使用することができ、装置本体の新たな設備投資が発生しない、無駄の少ないプラズマ洗浄装置の開発が望まれていた。
【問題が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題点を解決するために発明されたもので、洗浄する基板の洗浄実験、プロセス開発、あるいは、用途開発などの検証を行った実験装置を、そのまま量産装置に移行することができ、安価な設備投資で、生産性効率のよいプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような問題点を解決するために発明されたもので、洗浄する基板の洗浄実験、プロセス開発、あるいは、用途開発などの検証を行った実験装置を、そのまま量産装置に移行することができ、安価な設備投資で、生産性効率のよいプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明は、被洗浄物を載置するトレイをチャンバ本体から出没し、前記チャンバ本体に収納された前記トレイに載置された前記被洗浄物を洗浄する手動搬送プラズマ洗浄装置と、前記被洗浄物を収容して前記被洗浄物を前記トレイに供給する供給マガジンと前記被洗浄物を前記トレイから排出する排出用マガジンとを有する搬送装置と、前記チャンバ本体から出された前記トレイが前記供給マガジンに収納された被洗浄物及び前記排出マガジンと対峙するように前記手動搬送プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を着脱自在に結合する結合装置とを有したことを特徴とする。
また、本発明の他の実施形態においては、被洗浄物を手動で載置するトレイをチャンバ本体から水平方向に出没し、前記チャンバ本体に収納された前記トレイに載置された前記被洗浄物を洗浄する手動搬送プラズマ洗浄装置と、前記被洗浄物を収容する収容部を有して前記被洗浄物を前記トレイに供給する供給マガジンと、前記被洗浄物を前記トレイから排出する排出マガジンとを設けた搬送装置と、前記チャンバ本体から出された前記トレイ上の被洗浄物と前記供給マガジン及び前記排出マガジンに設けたスロットとが水平方向に対峙するように前記プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を着脱自在に結合する結合装置とを有し、前記プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を結合装置で結合することによって、前記被洗浄物を前記手動搬送プラズマ洗浄装置へ自動で移載可能とすることを特徴とする。
また、前記搬送装置において、前記供給マガジンおよび前記排出マガジンを上下方向に移動するマガジン上下移動機構を有したことを特徴とする。
また、前記搬送装置において、前記供給マガジンおよび排出マガジンを左右方向に移動するマガジン左右移動機構を有したことを特徴とする。
また、前記搬送装置において、前記供給マガジンの各受け部に収納された被洗浄物を前記トレイの受け溝に押し出す押圧機構を備えたことを特徴とする。
また、前記搬送装置において、前記トレイの受け溝に収納された被洗浄物を前記排出マガジンの受け部に押し出す搬出機構を備えたことを特徴とする。
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施形態を図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態であるライン対応自動搬送式プラズマ洗浄装置の斜視図、図２は、図１における手動搬送プラズマ洗浄装置の斜視図、図３は、図２におけるトレイおよびチャンバの斜視図、図４は、トレイおよびチャンバの断面図、図５は、図１における搬送装置の斜視図、図６は、図５におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の一部分解斜視図、図７は、図６におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の断面図、図８は、図５における挿圧機構の斜視図、図９は、図５における搬出機構の斜視図、図１０は、図８の挿圧機構において基板を供給マガジンからトレイに挿圧する様子を示す断面図、図１１は、図９の搬出機構において洗浄済み基板をトレイから排出マガジンへ排出する様子を示す断面図である。
図１において、本発明のライン対応自動搬送プラズマ洗浄装置１００は、手動搬送プラズマ洗浄装置２００と、基板Ｐを、前記手動搬送プラズマ洗浄装置２００に移載する搬送装置３００と、この搬送装置３００を、手動搬送プラズマ洗浄装置２００に着脱自在に結合する結合装置４００より構成されている。この結合装置４００によって搬送装置３００が解除されたときは、図２および図５に示すように、手動搬送プラズマ洗浄装置２００として、手動で基板Ｐがトレイ２０１に移載され、搬送装置３００を結合すると、自動搬送プラズマ洗浄装置１００となり、手動搬送プラズマ洗浄装置２００のトレイ２０１が水平方向にチャンバ２０２から開放すると、搬送装置３００の上部中央に設けられた収容部３０１に収納され、トレイ２０１と、搬送装置３００の供給マガジン３０２及び排出マガジン３０３の間で基板Ｐの遣り取りが可能となる。
次に、図２乃至図４において手動搬送プラズマ洗浄装置２００は、大きくは、基板Ｐを略水平状態で水平移動可能に支持して内外間を進退するトレイ２０１と、内部にプラズマを発生させて導入した基板Ｐを洗浄するチャンバ２０２と、チャンバ２０２が固定された機台２０３からなっている。
チャンバ２０２は、チャンバ本体２０４と、チャンバ本体２０４の前面に設けられたフランジ状の蓋体２０５とを有している。蓋体２０５は、チャンバ本体２０４に対して進退自在に構成され、且つチャンバ本体２０４の側面に設けた開閉シリンダ（エアシリンダ）２０６のピストンロッド２０７と蓋体２０５で連結され、また、蓋体２０５の内側には導電性材料からなるトレイ２０１が取り付けられている。このような構成のもとで、チャンバ開閉シリンダ２０６が駆動されて蓋体２０５が前進するとチャンバ本体２０４が開放されるとともにトレイ２０１が引き出され、蓋体２０５が後退すると、トレイ２０１が押し込まれるとともに、チャンバ本体２０４が閉塞される。
また、本実施形態では、トレイ２０１上で２枚の基板Ｐを前後に並べて収容支持できるように、トレイ２０１上には、相互に内向きの受け溝２０８が形成された一対の突条２０９が前後方向に２つ設けられ、このような構成のもと、トレイ２０１が引き出されると、搬送装置３００の収納部３０１に収納され、２枚の基板Ｐが搬送装置３００とトレイ２０１との間で左右水平方向に授受される。その際、各基板Ｐは、その両側部が各一対の突条２０９に形成された受け溝２０８で案内され、略水平状態で移動しつつ支持される。
次に、搬送装置３００は、図５乃至図９に示すように、洗浄処理前の基板Ｐ（以下、「未処理フィルム基板Ｐａ」と記すことがある。）を棚板状に複数枚収納した供給側マガジン３０２を備えた供給側マガジン部３０３と、洗浄処理後の基板Ｐ（以下、「処理フィルム基板Ｐｂ」と記すことがある。）を棚板状に複数枚収納する排出側マガジン３０４を備えた排出側マガジン部３０５と、供給側マガジン３０２に収納された未処理基板Ｐａの一端部を押圧し、供給側マガジン３０２からトレイ２０１に向けて未処理基板Ｐａの他端部を突出させる押圧機構３０６と、トレイ２０１に収容支持された処理基板Ｐｂの一端部を押圧し、トレイ２０１から排出側マガジン３０４に向けて処理基板Ｐｂの他端部を突出させる搬出機構３０７と、供給側マガジン部３０３及び排出側マガジン部３０５を上下移動させ、前記トレイ２０１の基板収容面の高さと各マガジン３０２、３０４の基板収容面の高さを合わせるマガジン上下移動機構３０８と、供給側マガジン部３０３及び排出側マガジン部３０５を中央側（トレイ側）に移動させ、トレイと各マガジン部３０３、３０５間の基板受渡し距離（ｘ、ｙ）を調整するマガジン左右移動機構３０９と、からなっている。（図６および７参照）
供給側マガジン部３０３は、手動搬送プラズマ洗浄装置２００の引き出されたトレイ２０１の右側に、トレイ２０１から所定間隔（ｘ）を有して、対向して配置されている。供給側マガジン部３０３は、複数個（本実施例は、トレイ２０１と同数の前後２個配置されている。）を前後方向に並べて供給側マガジン載置台３１０を有していて、この供給側マガジン載置台３１０は、マガジン上下移動機構３０８およびマガジン左右移動機構３０９により上下および左右方向へ移動が可能になっている。ここで供給側マガジン３０２は、複数段に亘って基板Ｐを棚板状に収容できるように、両側壁にそれぞれ複数段の受け部３１１が形成されており（図１０参照）、未処理フィルム基板Ｐａを収納した状態で前側開放面をトレイ側（右側）に向けて供給側マガジン載置台３１０上に載置されている。
他方、排出側マガジン部３０５は、手動搬送プラズマ洗浄装置２００の引き出されたトレイ２０１の左側に、トレイ２０１から所定間隔（ｙ）を有して、対向した配置されている。排出側マガジン部３０５は、複数個（本実施例は、トレイ２０１と同数の前後２個配置されている。）を前後方向に並べて排出側マガジン載置台３１２を有していて、この排出側マガジン載置台３１２は、マガジン上下移動機構３０８およびマガジン左右移動機構３０９により上下および左右方向へ移動可能になっている。ここで排出側マガジン３０４は、複数段に亘って基板Ｐを棚板状に収容できるように、両側壁にそれぞれ複数段の受け部３１３が形成されており（図１１参照）、全ての受け部３１４が空の状態で、前側開放面をトレイ側（左側）に向けて供給側マガジン載置台３１２上に載置されている。
ここで、本実施例においては、供給側マガジン３０２と排出側マガジン３０４は同一のもので相互に共用することができる。また、マガジン上下移動機構３０８およびマガジン左右移動機構３０９は、供給側マガジン載置部３１０と排出側マガジン載置部３１２で、同一機構のものを相互に共用することができる。
マガジン上下移動機構３０８は、図６および図７に示すように、搬送装置３００の機台３１３に固定された駆動ベース３１４と、駆動ベース３１４の上端および下部に駆動ベース３１４から水平方向に直立した軸受部３１５、３１６に軸支されたボールネジ３１７と、このボールネジ３１７に螺合し、ボールネジ３１７上を上下方向に移動するボールナット３１８と、前記駆動ベース３１４の下端に固定されたモータ３１９と、前記駆動ベース３１４の下側の軸受部３１６を貫通したボールネジ３１７の下端部と、前記モータ３１９のシャフト（不図示）を結合するジョイント３２０と、前記ボールナット３１８の前面３２１に固定されたＬ字状アングル３２２と、からなる。このＬ字状アングル３２２は、互いに直交する２つの面よりなり、水平方向に延びた平面（以下、Ａ水平面３２３と云う。）を維持し、Ａ水平面３２３から下方向に延びた平面（以下、Ａ垂直面３２４）がボールナット３１８の前面３２１に固定されている。また、このＡ水平面３２３上には、マガジン左右移動機構３０９が配設されている。
上記マガジン上下移動機構３０８は、プラズマ洗浄装置２００の制御部（不図示）の指令により、前記モータ３１９が回転すると、ジョイント３２０で連結されたボールネジ３１７が回転し、このボールネジ３１７に螺合したボールナット３１８がボールネジ３１６上を上下方向に移動する。そして、このボールナット３１８の前面３２１に固定されたＬ字状アングル３２２のＡ垂直面３２４が、上下方向に移動し、Ａ水平面３２３が水平を維持して上下方向に移動する。
マガジン左右移動機構３０９は、図６および図７に示すように、前記Ａ水平面３２３の前側に左右方向に固定されたリニアガイド３２５と、前記Ａ水平面３２３の後側に、前記リニアガイド３２５と平行に固定されたシリンダ３２６と、前記リニアガイド３２５およびシリンダ３２６上に配設されたマガジン載置台３１０、３１２と、からなっている。リニアガイド３２５は、レール３２７とテーブル３２８と、からなり、レール３２７は前記Ａ水平面３２３の前側に左右方向に固定され、レール３２７上をテーブル３２８が左右方向に摺動する。テーブル３２８上面には、前記マガジン載置台３１０、３１２が水平方向に固定されている。このリニアガイド３２５と平行に、Ａ水平面３２３の後側には、シリンダ３２６が配設されている。このシリンダ３２６は、シリンダ本体３２９の略中心部をロッド３３０が貫通し、ロッド３３０上をシリンダ本体３２９が左右方向に摺動する。このロッド３３０の両端は、前記Ａ水平面３２３上の後側左右両端に起立した軸受部３３１に軸支されている。また、シリンダ本体３２９上面には、前記マガジン載置台３１０、３１２が水平に固定されている。
そして、シリンダ本体３２９がプラズマ洗浄装置２００の制御部（不図示）の指令により、左右方向にロッド３３０上を移動すると、マガジン載置台３１０、３１２が、左右方向にリニアガイド３２５に沿って移動する。
次に、押圧機構３０６は、供給側マガジン部３０３の左側方に配置され（図５参照）、図８に示すように、左右方向に延在するロッド３３２と、機台３１３に固定されたベースプレート３３３と、このベースプレート３３３上に固定されるとともにロッド３３２の左端部に連結され、ロッド３３２を左右方向に移動させる左右方向駆動部３３４と、から構成されている。このような構成のもと、左右方向駆動部３３４の駆動によりロッド３３２が右方向に移動すると、ロッド３３２の先端が供給側マガジン３０２に収納された未処理基板Ｐａの左端に当接してそのまま押圧し、未処理基板Ｐａの右端部を供給側マガジン３０２から突出させることができる。
次に、搬出機構３０７は、供給側マガジン部３０３と排出側マガジン部３０５との間から前方にかけて配置され（図５参照）、図９に示すように、トレイ２０１に収容支持された処理基板Ｐｂの左端を押圧する押圧部３３５と、この押圧部３３５を一体的に上下移動させる上下方向駆動部３３６と、この上下方向駆動部３３６を機台３１３に固定させるとともに、左右方向に移動させる左右方向駆動部３３７と、から構成される。挿圧部３３５の下側には、トレイ２０１上に収納支持された基板Ｐｂに合わせて前後調整可能に固定された爪部３３８と、爪部３３８の右前方には、処理基板Ｐｂの左端を押圧するための突部３３９を備えている。
次に、結合装置４００は、図２に示すように、手動式プラズマ洗浄装置の機台２０３の側面中央部の前縁部にＬ字状の角部４０１を沿わせて左右に直立させて固定されたＬ字状金具４０２と、前記Ｌ字状金具４０２の機台２０３から左右に直立した平面４０３に貫通した取付孔４０４と、この取付穴４０４と同位置に、搬送装置３００の機台３０１の裏面に螺設されたネジ孔（不図示）と、前記取付孔４０４を貫通し、前記ネジ孔に螺合する締付ボルト４０５と、から構成されている。
この構成により、締付ボルトをＬ字状金具４０２の取付孔４０４を通してネジ孔（不図示）に締め付けることにより、手動搬送プラズマ洗浄装置２００と、搬送装置３００を結合することができる。
なお、手動搬送プラズマ洗浄装置２００及び搬送装置３００における各部の駆動制御は、不図示の制御装置により総括的に行われる。ここで、図１０及び図１１を参照しながら、結合装置４００により結合された、本発明のライン対応自動搬送プラズマ洗浄装置１００の一連の動作を説明する。
先ず、トレイ２０１への未処理基板Ｐａの移載について説明する。供給側マガジン３０２を載置した供給側マガジン載置台３１０を上下方向に移動させる。これにより、供給側マガジン３０２に収納されている最上段の未処理基板Ｐａと、押圧機構３０６のロッド３３２と、トレイ２０１の受け溝２０８との相互の高さを一致させる。これに続いて、押圧機構３０６のロッド３３２を右方向に移動させると、ロッド３３２の先端が未処理基板Ｐａの左端に当接してそのまま押圧すると、未処理基板Ｐａは、その両側部がトレイ２０１の受け溝２０８に案内されながら水平移動して引き込まれ、収容支持される。このようにして、供給マガジン３０２からトレイ２０１への未処理基板Ｐａの移載が完了する。その後、挿圧機構３０６は、ロッド３３２を左方向に移動させて原点位置に復帰させ、次の動作に備える。
そして、未処理基板Ｐａを収納支持したトレイ２０１がチャンバ２０２内に導入され、チャンバ２０２が洗浄工程に移行する。プラズマ洗浄工程は特に本願の要旨とは直接関係がないため説明は割愛する。
次に、洗浄処理が終了したチャンバ２０２からトレイ２０１が引き出される。
ここで、トレイ２０１上には、前後２枚の処理基板Ｐｂが、前後二対の受け溝２０８により水平状態で支持されている。
次いで、空の状態の排出側マガジン３０４を搭載した排出側マガジン載置台３１２を上下方向に移動させる。これにより、排出側マガジン３０４の両側壁に複数段設けられている受け部３１３のうちの最上段の受け部３１３と、トレイの受け溝２０８に収容支持されている処理基板Ｐｂとの相互の高さを一致させる。これに続いて、搬出機構を上下左右に移動させ、押圧機構の爪部３３８の突出部３３９を処理基板Ｐｂの左端部の側方近傍に待機させる。
次いで、図１１に示すように、搬出機構を右方向に移動させると、その突出部３３９が処理基板Ｐｂの左端に当接してそのまま押圧し、搬送機構３０７を右方向に移動させると、処理基板Ｐｂは、その両側部が排出側マガジン３０４の最上段の受け部３１３に案内されながら水平移動して押し込まれ、収容される。このようにして、トレイ２０１から排出側マガジン３０４への処理基板Ｐｂの移載が完了する。その後、排出機構３０７の爪部３３８を上下左右に移動させて原点位置に復帰させ、次の動作に備える。
なお、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。例えば、本実施例において、基板のプラズマ洗浄を行ったが、フィルム基板やウエハなどに対応することも可能である。また、チャンバのトレイ上に収容支持する基板は、１枚でも３枚以上であってもよく、この場合は、枚数に合わせて供給側マガジンや排出側マガジンや挿圧機構や搬出機構を調整すれば足りる。また、本実施例においては、挿圧機構や搬送機構は、ロッドや爪部において押出す機構であったが、先端に把持部を設けて基板をつまみ出しても構わない。例えば、フィルム基板などの薄板状のものにおいては、押し出すとフィルム端面が変形したり、つぶれたりするため、把持機構でつまんで引き出す方が好ましい。
また、本発明は、多品種少量生産に対応し、生産数量が少ない基板の場合は、手動搬送プラズマ洗浄装置で生産を行い、数量が多くなれば本発明の自動搬送プラズマ洗浄装置に切り替えて量産が可能である。また、新規の基板の洗浄実験を手動搬送プラズマ洗浄装置で行い、検証が完了すれば搬送装置を結合することにより生産ラインを立ち上げることができる。
【発明の効果】
以上説明した通り本発明によれば、新規にプラズマ洗浄を行う基板の洗浄実験、プロセス開発、あるいは、用途開発などの検証を行った実験用の簡易的な手動搬送プラズマ洗浄装置に、搬送装置を固定することにより、手動搬送のまま自動搬送の生産ラインに移行することができ、実験用のプラズマ洗浄装置の設備投資が無駄にならず生産ラインに有効に生かされ、安価な、設備投資効率のよい自動搬送プラズマ洗浄装置を提供することができる。
また、多品種少量生産に対応し、生産数量に応じて手動と自動の切り替えが可能であり、多品種の洗浄基板の洗浄実験を行いながら生産ラインを構築することが可能であり、洗浄部品の機種切り替えを素早く行える等の生産性のよい自動搬送プラズマ洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施形態であるライン対応自動搬送プラズマ洗浄装置の斜視図である。図２は、図１における手動搬送プラズマ洗浄装置の斜視図、図３は、図２におけるトレイおよびチャンバの斜視図、図４は、図３におけるトレイおよびチャンバの断面図、図５は、図１における搬送装置の斜視図、図６は、図５におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の一部分解斜視図、図７は、図６におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の断面図、図８は、図５における挿圧機構の斜視図、図９は、図５における搬出機構の斜視図、図１０は、図８の挿圧機構において基板を供給マガジンからトレイに挿圧する様子を示す断面図、図１１は、図９の搬出機構において洗浄済み基板をトレイから排出マガジンへ排出する様子を示す断面図である。
【図２】図１における手動搬送プラズマ洗浄装置の斜視図である。
【図３】図２におけるトレイおよびチャンバの斜視図である。
【図４】図３におけるトレイおよびチャンバの断面図である。
【図５】図１における搬送装置の斜視図である。
【図６】図５におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の一部分解斜視図である。
【図７】図６におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の断面図である。
【図８】図５における挿圧機構の斜視図である。
【図９】図５における搬出機構の斜視図である。
【図１０】図８の挿圧機構において基板を供給マガジンからトレイに挿圧する様子を示す断面図である。
【図１１】図９の搬出機構において洗浄済み基板をトレイから排出マガジンへ排出する様子を示す断面図である。
【符号の説明】
２０２チャンバ
２０１トレイ
２００手動搬送プラズマ洗浄装置
３０２供給用マガジン
Ｐ基板（被洗浄物）
３０４排出用マガジン
３００搬送装置
４００結合装置
１００ライン対応自動搬送プラズマ洗浄装置
２０８受け溝（スロット）
３１１・３１３受け部（スロット）
３０６押圧機構
３０７搬出機構
３０８マガジン上下移動機構
３０９マガジン左右移動機構BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a plasma cleaning apparatus capable of simply removing a transport unit. For details, a line transfer (compatible with mass production) is achieved by adding a general-purpose transfer device to the manual transfer plasma cleaning device that was used to transfer the objects to be cleaned to the tray simply and manually. The present invention relates to a line-compatible automatic transfer plasma cleaning apparatus that can constitute a transfer plasma cleaning apparatus.
[Prior art]
The plasma cleaning apparatus is an apparatus for plasma cleaning the surface of a substrate such as a bonding pad portion. Generally, in a plasma cleaning apparatus, it is necessary to finish the apparatus in the best cleaning state while repeating the verification of the cleaning experiment, process development, and application development in advance for the substrate to be cleaned. In order to repeat the steps of manually placing the substrates to be cleaned on the tray one by one, cleaning and verifying, an inexpensive plasma cleaning apparatus that is manually transported is used. However, since this experimental device is a device that does not have peripheral functions such as transportation and storage that were developed for experimental purposes, it is used only for experimental purposes and is not used when the experiment is completed, and the equipment is left unattended. It was a closed facility. In addition to the experimental use, capital investment was newly made for a plasma cleaning apparatus for mass production.
In recent years, with the rapid advancement of electronic components and high-mix low-volume production, the number of types of cleaning substrates has increased, and the equipment has to be changed frequently according to the cleaning substrate. In large-scale plasma cleaning equipment equipped with equipment, it is necessary to change the substrate frequently, and each time the equipment needs to be modified to cope with the substrate, the cost of the modification is very high and the productivity efficiency is high. It was bad and there was a lot of wasted equipment.
From the above, there has been a demand for a high-productivity plasma cleaning apparatus that can respond rapidly to rapid progress in electronic components and high-mix low-volume production, and that the main body of the plasma cleaning apparatus used in the experiment is not wasted. . That is, after the verification of the cleaning experiment and the like, the apparatus used for the experiment can be used for mass production, and development of a low-waste plasma cleaning apparatus that does not cause new equipment investment of the apparatus body has been desired. .
[Problem to be solved by the problem]
The present invention has been invented to solve such problems, and an experimental apparatus that has been verified for a cleaning experiment, process development, or application development of a substrate to be cleaned is directly transferred to a mass production apparatus. It is an object of the present invention to provide a plasma cleaning apparatus that can be manufactured at low cost and has high productivity.
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been invented to solve such problems, and an experimental apparatus that has been verified for a cleaning experiment, process development, or application development of a substrate to be cleaned is directly transferred to a mass production apparatus. It is an object of the present invention to provide a plasma cleaning apparatus that can be manufactured at low cost and has high productivity.
[Means for Solving the Problems]
The present invention comprises a manual conveyance plasma cleaning apparatus a tray for placing the object to be cleaned infested from the chamber body, cleaning the placed on the tray housed in the chamber body the object to be cleaned, the object to be cleaned A transporting device having a supply magazine for storing an object and supplying the object to be cleaned to the tray; and a discharge magazine for discharging the object to be cleaned from the tray; and the tray taken out from the chamber body supplies the supply The manual transport plasma cleaning device and a coupling device for detachably coupling the transport device so as to face the object to be cleaned stored in the magazine and the discharge magazine .
In another embodiment of the present invention, a tray on which the object to be cleaned is manually placed protrudes from the chamber body in the horizontal direction, and the object to be cleaned is placed on the tray housed in the chamber body. and manual transport plasma cleaning device for cleaning the said supply magazine for supplying the object to be cleaned with a storage portion for storing the object to be cleaned in the tray, a discharge magazine for discharging the cleaning object from the tray The plasma cleaning device and the transfer device so that the object to be cleaned on the tray, which is provided from the chamber main body , and the slot provided in the supply magazine and the discharge magazine face each other in the horizontal direction. A detachable coupling device, and the plasma cleaning device and the transport device are coupled by the coupling device, whereby the object to be cleaned is manually transported plasma. Characterized in that to enable transfer automatically to purification unit.
The transport apparatus may further include a magazine vertical movement mechanism that moves the supply magazine and the discharge magazine in the vertical direction.
The transport device may further include a magazine left-right movement mechanism that moves the supply magazine and the discharge magazine in the left-right direction.
The transporting device may further include a pressing mechanism that pushes the object to be cleaned stored in each receiving portion of the supply magazine into the receiving groove of the tray.
The transport device may further include a carry-out mechanism that pushes an object to be cleaned stored in a receiving groove of the tray to a receiving portion of the discharge magazine.
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 is a perspective view of a line-compatible automatic transfer plasma cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a manual transfer plasma cleaning apparatus in FIG. 1, and FIG. 3 is a tray and chamber in FIG. 4 is a cross-sectional view of the tray and the chamber, FIG. 5 is a perspective view of the transfer device in FIG. 1, and FIG. 6 is a partially exploded perspective view of the magazine vertical movement mechanism and the magazine horizontal movement mechanism in FIG. 7 is a sectional view of the magazine vertical movement mechanism and the magazine horizontal movement mechanism in FIG. 6, FIG. 8 is a perspective view of the pressure insertion mechanism in FIG. 5, FIG. 9 is a perspective view of the unloading mechanism in FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state in which the substrate is inserted into the tray from the supply magazine in the insertion mechanism in FIG. 8, and FIG. 11 is a state in which the cleaned substrate is discharged from the tray to the discharge magazine in the carry-out mechanism in FIG. A to cross section.
In FIG. 1, a line-compatible automatic transfer plasma cleaning apparatus 100 of the present invention includes a manual transfer plasma cleaning apparatus 200, a transfer apparatus 300 for transferring a substrate P to the manual transfer plasma cleaning apparatus 200, and the transfer apparatus 300. The coupling device 400 is detachably coupled to the manual transfer plasma cleaning device 200. When the transfer device 300 is released by the coupling device 400, the substrate P is manually transferred to the tray 201 as the manual transfer plasma cleaning device 200 as shown in FIGS. Then, the automatic transfer plasma cleaning apparatus 100 is formed. When the tray 201 of the manual transfer plasma cleaning apparatus 200 is released from the chamber 202 in the horizontal direction, the tray 201 is stored in the storage unit 301 provided in the upper center of the transfer apparatus 300. The substrate P can be exchanged between the supply magazine 302 and the discharge magazine 303 of the transport apparatus 300.
Next, in FIG. 2 to FIG. 4, the manual transport plasma cleaning apparatus 200 mainly generates a plasma inside the tray 201 that supports the substrate P so that it can move horizontally in a substantially horizontal state, and moves back and forth. The chamber 202 is configured to clean the introduced substrate P, and a machine base 203 to which the chamber 202 is fixed.
The chamber 202 includes a chamber main body 204 and a flange-like lid 205 provided on the front surface of the chamber main body 204. The lid 205 is configured to be movable forward and backward with respect to the chamber main body 204 and is connected to the piston rod 207 of the opening / closing cylinder (air cylinder) 206 provided on the side surface of the chamber main body 204 by the lid 205. A tray 201 made of a conductive material is attached to the inside. Under such a configuration, when the chamber opening / closing cylinder 206 is driven and the lid 205 moves forward, the chamber body 204 is opened and the tray 201 is pulled out. When the lid 205 is retracted, the tray 201 is pushed in. The chamber body 204 is closed.
In the present embodiment, a pair of protrusions 209 each having an inward receiving groove 208 are formed on the tray 201 so that the two substrates P can be accommodated and supported side by side on the tray 201. Two are provided in the front-rear direction. Under such a configuration, when the tray 201 is pulled out, it is stored in the storage unit 301 of the transfer device 300 and the two substrates P are placed between the transfer device 300 and the tray 201. Awarded in the horizontal direction. At that time, each substrate P is guided by receiving grooves 208 formed on each pair of protrusions 209 at both sides thereof, and supported while moving in a substantially horizontal state.
Next, as shown in FIGS. 5 to 9, the transfer apparatus 300 stores a plurality of substrates P before cleaning processing (hereinafter, may be referred to as “unprocessed film substrates Pa”) in a shelf shape. A supply-side magazine unit 303 having a supply-side magazine 302 and a discharge-side magazine 304 that stores a plurality of substrates P after cleaning processing (hereinafter may be referred to as “processed film substrate Pb”) in a shelf shape. Pressing the discharge-side magazine 305 provided and one end of the unprocessed substrate Pa stored in the supply-side magazine 302, and pressing the other end of the unprocessed substrate Pa from the supply-side magazine 302 toward the tray 201 A mechanism 306, an unloading mechanism 307 that presses one end of the processing substrate Pb accommodated and supported by the tray 201, and projects the other end of the processing substrate Pb from the tray 201 toward the discharge-side magazine 304; A magazine up-and-down moving mechanism 308 that adjusts the height of the substrate storage surface of the tray 201 and the height of the substrate storage surfaces of the magazines 302 and 304 by moving the gazine unit 303 and the discharge-side magazine unit 305 up and down, and the supply-side magazine unit 303. And a magazine left-right moving mechanism 309 that moves the discharge-side magazine unit 305 to the center side (tray side) and adjusts the substrate transfer distance (x, y) between the tray and each magazine unit 303, 305. (See FIGS. 6 and 7)
The supply-side magazine unit 303 is disposed on the right side of the tray 201 from which the manual transport plasma cleaning apparatus 200 has been pulled out so as to face the tray 201 with a predetermined interval (x). The supply-side magazine unit 303 includes a supply-side magazine mounting table 310 in which a plurality of (in this embodiment, the same number of two front and rear as the trays 201 are arranged) are arranged in the front-rear direction. The mounting table 310 can be moved in the vertical and horizontal directions by a magazine vertical movement mechanism 308 and a magazine horizontal movement mechanism 309. Here, the supply-side magazine 302 has a plurality of stages of receiving portions 311 formed on both side walls so that the substrates P can be stored in a shelf shape over a plurality of stages (see FIG. 10). In a state where Pa is stored, the front side opening surface is placed on the supply side magazine mounting table 310 with the tray side (right side) facing.
On the other hand, the discharge-side magazine unit 305 is disposed on the left side of the tray 201 from which the manual transport plasma cleaning apparatus 200 has been pulled out so as to face the tray 201 with a predetermined interval (y). The discharge-side magazine unit 305 has a discharge-side magazine mounting table 312 in which a plurality of (in this embodiment, the same number of two front and rear as the tray 201 are arranged) are arranged in the front-rear direction. The mounting table 312 can be moved in the vertical and horizontal directions by a magazine vertical movement mechanism 308 and a magazine horizontal movement mechanism 309. Here, the discharge-side magazine 304 has a plurality of stages of receiving portions 313 formed on both side walls so that the substrates P can be accommodated in a shelf shape over a plurality of stages (see FIG. 11). In the state where 314 is empty, it is placed on the supply side magazine placing table 312 with the front open surface facing the tray side (left side).
Here, in this embodiment, the supply-side magazine 302 and the discharge-side magazine 304 are the same and can be shared with each other. Further, the magazine up / down moving mechanism 308 and the magazine left / right moving mechanism 309 can share the same mechanism in the supply side magazine mounting unit 310 and the discharge side magazine mounting unit 312.
As shown in FIGS. 6 and 7, the magazine vertical movement mechanism 308 has a drive base 314 fixed to the machine base 313 of the transfer device 300 and an upper end and a lower part of the drive base 314 that stand upright from the drive base 314 in the horizontal direction. A ball screw 317 pivotally supported by the bearing portions 315 and 316, a ball nut 318 that is screwed into the ball screw 317 and moves up and down on the ball screw 317, and a motor 319 fixed to the lower end of the drive base 314; An L-shape fixed to a lower end portion of a ball screw 317 that penetrates a lower bearing portion 316 of the drive base 314, a joint 320 that couples a shaft (not shown) of the motor 319, and a front surface 321 of the ball nut 318. Angle 322. The L-shaped angle 322 consists of two surfaces orthogonal to each other, maintains a horizontal plane (hereinafter referred to as A horizontal plane 323), and extends downward from the A horizontal plane 323 (hereinafter referred to as A horizontal plane 323). A vertical surface 324) is fixed to the front surface 321 of the ball nut 318. Further, a magazine left / right moving mechanism 309 is disposed on the A horizontal plane 323.
When the motor 319 is rotated by a command from a control unit (not shown) of the plasma cleaning apparatus 200, the magazine vertical movement mechanism 308 rotates a ball screw 317 connected by a joint 320, and a ball screwed into the ball screw 317. The nut 318 moves up and down on the ball screw 316. The A vertical surface 324 of the L-shaped angle 322 fixed to the front surface 321 of the ball nut 318 moves in the vertical direction, and the A horizontal plane 323 moves in the vertical direction while maintaining horizontal.
As shown in FIGS. 6 and 7, the magazine horizontal movement mechanism 309 includes a linear guide 325 fixed in the left-right direction on the front side of the A horizontal plane 323, and parallel to the linear guide 325 on the rear side of the A horizontal plane 323. And the magazine guides 310 and 312 arranged on the linear guide 325 and the cylinder 326. The linear guide 325 includes a rail 327 and a table 328. The rail 327 is fixed to the front side of the A horizontal plane 323 in the left-right direction, and the table 328 slides in the left-right direction on the rail 327. On the upper surface of the table 328, the magazine mounting tables 310 and 312 are fixed in the horizontal direction. A cylinder 326 is disposed on the rear side of the A horizontal plane 323 in parallel with the linear guide 325. In the cylinder 326, the rod 330 passes through a substantially central portion of the cylinder body 329, and the cylinder body 329 slides in the left-right direction on the rod 330. Both ends of the rod 330 are pivotally supported by bearing portions 331 erected on the left and right ends on the rear side on the A horizontal plane 323. The magazine mounting tables 310 and 312 are fixed horizontally on the upper surface of the cylinder body 329.
Then, when the cylinder body 329 moves on the rod 330 in the left-right direction according to a command from a control unit (not shown) of the plasma cleaning apparatus 200, the magazine mounting tables 310, 312 move along the linear guide 325 in the left-right direction. .
Next, the pressing mechanism 306 is disposed on the left side of the supply-side magazine section 303 (see FIG. 5), and as shown in FIG. 8, a rod 332 extending in the left-right direction and a base plate fixed to the machine base 313. 333 and a left and right direction drive unit 334 that is fixed on the base plate 333 and connected to the left end portion of the rod 332 to move the rod 332 in the left and right direction. Under such a configuration, when the rod 332 moves to the right by driving the left-right drive unit 334, the tip of the rod 332 contacts the left end of the unprocessed substrate Pa stored in the supply-side magazine 302 and is pressed as it is. Then, the right end portion of the unprocessed substrate Pa can be protruded from the supply-side magazine 302.
Next, the carry-out mechanism 307 is disposed from the supply side magazine portion 303 and the discharge side magazine portion 305 to the front (see FIG. 5), and as shown in FIG. 9, the processing substrate Pb accommodated and supported by the tray 201. A pressing portion 335 that presses the left end of the motor, a vertical driving unit 336 that moves the pressing unit 335 up and down integrally, and a horizontal direction that fixes the vertical driving unit 336 to the machine base 313 and moves it in the horizontal direction. And a drive unit 337. Below the pressure insertion portion 335, a claw portion 338 fixed to the substrate Pb accommodated and supported on the tray 201 so as to be adjustable in the front-rear direction, and a left end of the processing substrate Pb is located on the right front side of the claw portion 338. A protrusion 339 for pressing is provided.
Next, as shown in FIG. 2, the coupling device 400 is fixed with the L-shaped corner 401 along the front edge at the center of the side surface of the machine base 203 of the manual type plasma cleaning device. The L-shaped metal fitting 402, the mounting hole 404 penetrating from the machine base 203 of the L-shaped metal fitting 402 to the plane 403 standing up and down from the left and right, and the machine base 301 of the conveying device 300 at the same position as the mounting hole 404. And a fastening bolt 405 that passes through the mounting hole 404 and is screwed into the screw hole.
With this configuration, the manual transfer plasma cleaning apparatus 200 and the transfer apparatus 300 can be coupled by tightening the tightening bolt into the screw hole (not shown) through the attachment hole 404 of the L-shaped metal fitting 402.
In addition, the drive control of each part in the manual conveyance plasma cleaning apparatus 200 and the conveyance apparatus 300 is collectively performed by a control apparatus (not shown). Here, a series of operations of the line-compatible automatic transfer plasma cleaning apparatus 100 of the present invention coupled by the coupling apparatus 400 will be described with reference to FIGS.
First, transfer of the unprocessed substrate Pa to the tray 201 will be described. The supply-side magazine mounting table 310 on which the supply-side magazine 302 is mounted is moved in the vertical direction. Thereby, the uppermost unprocessed substrate Pa stored in the supply-side magazine 302, the rod 332 of the pressing mechanism 306, and the receiving groove 208 of the tray 201 are made to coincide with each other. Subsequently, when the rod 332 of the pressing mechanism 306 is moved in the right direction, when the tip of the rod 332 comes into contact with the left end of the unprocessed substrate Pa and is pressed as it is, the unprocessed substrate Pa has both sides on the tray 201. While being guided by the receiving groove 208, it is horizontally moved and retracted and accommodated. In this way, the transfer of the unprocessed substrate Pa from the supply magazine 302 to the tray 201 is completed. Thereafter, the pressure insertion mechanism 306 moves the rod 332 to the left to return to the origin position, and prepares for the next operation.
Then, the tray 201 storing and supporting the unprocessed substrate Pa is introduced into the chamber 202, and the chamber 202 proceeds to the cleaning process. Since the plasma cleaning process is not directly related to the gist of the present application, the description is omitted.
Next, the tray 201 is pulled out from the chamber 202 after the cleaning process.
Here, two front and rear processing substrates Pb are supported on the tray 201 in a horizontal state by two pairs of front and rear receiving grooves 208.
Next, the discharge magazine mounting table 312 on which the empty discharge magazine 304 is mounted is moved in the vertical direction. Thereby, the uppermost receiving portion 313 among the receiving portions 313 provided on the both side walls of the discharge-side magazine 304 and the processing substrate Pb accommodated and supported in the receiving groove 208 of the tray are mutually high. Match. Following this, the carry-out mechanism is moved up, down, left and right, and the protrusion 339 of the claw portion 338 of the pressing mechanism is made to stand by in the vicinity of the left end of the processing substrate Pb.
Next, as shown in FIG. 11, when the carry-out mechanism is moved in the right direction, the protruding portion 339 comes into contact with the left end of the processing substrate Pb and presses as it is, and when the transport mechanism 307 is moved in the right direction, the processing substrate is moved. Pb is horizontally moved while being guided by the uppermost receiving portion 313 of the discharge-side magazine 304, and is accommodated therein. In this manner, the transfer of the processing substrate Pb from the tray 201 to the discharge side magazine 304 is completed. Thereafter, the claw portion 338 of the discharge mechanism 307 is moved up, down, left, and right to return to the origin position, and prepares for the next operation.
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in this embodiment, the plasma cleaning of the substrate is performed, but it is also possible to deal with a film substrate or a wafer. In addition, the number of substrates to be accommodated on the tray of the chamber may be one or three or more. In this case, the supply-side magazine, the discharge-side magazine, the pressure inserting mechanism, and the unloading mechanism are adjusted according to the number of the substrates. It's enough. In this embodiment, the pressure insertion mechanism and the transport mechanism are mechanisms that push out at the rod and the claw portion. However, a gripping portion may be provided at the tip to pinch out the substrate. For example, in the case of a thin plate such as a film substrate, the film end face is deformed or crushed when pushed out, so it is preferable to pull it out with a gripping mechanism.
In addition, the present invention is compatible with low-volume production of various products, and in the case of substrates with a small production quantity, production is performed with a manual conveyance plasma cleaning apparatus, and when the quantity increases, the automatic conveyance plasma cleaning apparatus of the present invention is switched to mass production. Is possible. In addition, a new substrate cleaning experiment is performed with a manual transfer plasma cleaning apparatus, and when the verification is completed, a production line can be set up by combining the transfer apparatus.
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a transfer device is added to a simple manual transfer plasma cleaning apparatus for experiments that have been verified for substrate cleaning experiments, process developments, or application developments for newly performing plasma cleaning. By fixing, it is possible to shift to the automatic transfer production line with manual transfer, and the capital investment of the plasma cleaning equipment for experiments is effectively utilized in the production line without being wasted. A good automatic transfer plasma cleaning apparatus can be provided.
In addition, it is possible to switch between manual and automatic according to the production quantity in response to multi-product small-quantity production, and it is possible to build a production line while conducting cleaning experiments on a variety of cleaning substrates. It is possible to provide an automatic carrier plasma cleaning apparatus with good productivity such as quick model switching.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a line-compatible automatic transfer plasma cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention. 2 is a perspective view of the manual transfer plasma cleaning apparatus in FIG. 1, FIG. 3 is a perspective view of the tray and the chamber in FIG. 2, FIG. 4 is a cross-sectional view of the tray and the chamber in FIG. 6 is a partially exploded perspective view of the magazine vertical movement mechanism and the magazine horizontal movement mechanism in FIG. 5. FIG. 7 is a sectional view of the magazine vertical movement mechanism and the magazine horizontal movement mechanism in FIG. 8 is a perspective view of the insertion mechanism in FIG. 5, FIG. 9 is a perspective view of the unloading mechanism in FIG. 5, and FIG. 10 is a cross-sectional view showing how the substrate is inserted into the tray from the supply magazine in the insertion mechanism of FIG. FIGS. 11 and 11 are cross-sectional views showing how the cleaned substrate is discharged from the tray to the discharge magazine in the carry-out mechanism of FIG.
2 is a perspective view of the manual transport plasma cleaning apparatus in FIG. 1. FIG.
3 is a perspective view of the tray and chamber in FIG. 2. FIG.
4 is a cross-sectional view of the tray and chamber in FIG. 3. FIG.
FIG. 5 is a perspective view of the transport device in FIG. 1;
6 is a partially exploded perspective view of a magazine vertical movement mechanism and a magazine horizontal movement mechanism in FIG. 5. FIG.
7 is a cross-sectional view of the magazine vertical movement mechanism and the magazine horizontal movement mechanism in FIG. 6. FIG.
FIG. 8 is a perspective view of the pressure insertion mechanism in FIG.
FIG. 9 is a perspective view of the carry-out mechanism in FIG.
10 is a cross-sectional view showing a state in which a substrate is inserted into a tray from a supply magazine in the pressure insertion mechanism of FIG. 8;
11 is a cross-sectional view showing a state where a cleaned substrate is discharged from a tray to a discharge magazine in the carry-out mechanism of FIG. 9. FIG.
[Explanation of symbols]
202 Chamber 201 Tray 200 Manual transfer plasma cleaning device 302 Supply magazine P Substrate (object to be cleaned)
304 Ejection magazine 300 Transport device 400 Coupling device 100 Line-compatible automatic transport plasma cleaning device 208 Receiving groove (slot)
311 313 receiving part (slot)
306 Pressing mechanism 307 Unloading mechanism 308 Magazine vertical movement mechanism 309 Magazine horizontal movement mechanism

Claims

A tray for placing an object to be cleaned appears and disappears from the chamber body, and a manual transfer plasma cleaning device for cleaning the object to be cleaned placed on the tray accommodated in the chamber body, and the object to be cleaned are accommodated. The supply magazine for supplying the object to be cleaned to the tray and the discharge magazine for discharging the object to be cleaned from the tray, and the tray ejected from the chamber body are stored in the supply magazine. An automatic transport plasma cleaning apparatus comprising: the manual transport plasma cleaning apparatus and a coupling device that detachably couples the transport apparatus so as to face the object to be cleaned and the discharge magazine .

And manual transport plasma cleaning apparatus for cleaning a tray for placing the object to be cleaned manually from the chamber body infested horizontally, the said object to be cleaned placed in the tray housed in the chamber body, the object to be a supply magazine for supplying the object to be cleaned in the tray has an accommodating portion for accommodating the wash, a conveying device for the object to be cleaned is provided a discharge magazine discharged from the tray, out of the said chamber body by having a coupling device and a slot provided in the supply magazine and said discharge magazine and the object to be cleaned is detachably coupled to the conveying device and the plasma cleaning device so as to face in the horizontal direction on the tray The plasma cleaning device and the transport device are coupled by a coupling device, so that the object to be cleaned can be automatically transferred to the manual transport plasma cleaning device. Automatic carrier plasma cleaning apparatus according to.

3. The automatic transfer plasma cleaning apparatus according to claim 1, wherein the transfer apparatus includes a magazine vertical movement mechanism that moves the supply magazine and the discharge magazine in the vertical direction.

4. The automatic transfer plasma cleaning apparatus according to claim 3, further comprising a magazine left-right moving mechanism for moving the supply magazine and the discharge magazine in the left-right direction.

3. The automatic transfer plasma cleaning according to claim 1, further comprising a pressing mechanism that pushes an object to be cleaned stored in each receiving portion of the supply magazine into a receiving groove of the tray. apparatus.

3. The automatic transfer plasma cleaning apparatus according to claim 1, further comprising a carry-out mechanism that pushes an object to be cleaned stored in a receiving groove of the tray to a receiving portion of the discharge magazine. .