KR102159553B1 - Transporting magazine transporting system - Google Patents

Transporting magazine transporting system Download PDF

Info

Publication number
KR102159553B1
KR102159553B1 KR1020190056571A KR20190056571A KR102159553B1 KR 102159553 B1 KR102159553 B1 KR 102159553B1 KR 1020190056571 A KR1020190056571 A KR 1020190056571A KR 20190056571 A KR20190056571 A KR 20190056571A KR 102159553 B1 KR102159553 B1 KR 102159553B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
magazine
strip
unit
transfer
gripping
Prior art date
Application number
KR1020190056571A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김현철
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020190056571A priority Critical patent/KR102159553B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102159553B1 publication Critical patent/KR102159553B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of waers

Abstract

Disclosed is a strip magazine transport system. According to one embodiment of the present invention, the strip magazine transport system comprises: a rail; and a strip magazine transport trolly transporting a strip magazine while driving on a rail. The strip magazine transport system includes a trolly body having a plurality of driving wheels driving on the rail and a magazine gripping unit having a movable gripper approaching or separating from a gripping tunnel provided in the strip magazine provided to be movable in the trolly body.

Description

스트립 매거진 이송 시스템{TRANSPORTING MAGAZINE TRANSPORTING SYSTEM}Strip magazine transfer system {TRANSPORTING MAGAZINE TRANSPORTING SYSTEM}
본 발명은, 스트립 매거진 이송 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 여러 종류의 스트립 매거진에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있는 스트립 매거진 이송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a strip magazine transfer system, and more particularly, a strip capable of responding to all types of strip magazines, thereby significantly reducing production loss due to interruption of the strip transfer operation as in the prior art. It relates to a magazine transfer system.
반도체 공정 라인(Line)에서 생산되는 스트립(strip)을 이송(또는 반송)하기 위해 소위, 스트립 매거진(strip magazine)이라는 운반 케이스(case)가 사용된다.To transport (or convey) a strip produced on a semiconductor processing line, a so-called strip magazine is used.
스트립 매거진은 스트립 매거진 이송 시스템을 통해 이송되면서 내부에 수납된 스트립을 공정에서 요구되는 장소로 이송한다.As the strip magazine is transferred through the strip magazine transfer system, the strips stored therein are transferred to a place required in the process.
예컨대, 복수의 스트립이 저장된 제1 스트립 매거진(strip magazine)으로부터 특정 공정에 필요한 수량만큼의 스트립을 취출해서 제2 스트립 매거진에 옮겨 담거나 혹은 빈 스트립 매거진에 필요한 수량만큼의 스트립을 담아 해당 스트립 매거진을 종류별로 보관하는 작업, 또한 스트립 매거진을 작업 공정으로 이송하는 작업, 그리고 공정이 완료된 물품을 담은 스트립 매거진을 다시 이송 또는 취출하는 작업 등이 스트립 매거진 이송 시스템을 통해 진행된다.For example, a strip magazine in which the number of strips required for a specific process is taken out of a first strip magazine in which a plurality of strips are stored and transferred to a second strip magazine, or the strip magazine contains as many strips as necessary for an empty strip magazine. The storage of each type, the transfer of the strip magazine to the work process, and the transfer or takeout of the strip magazine containing the finished product are carried out through the strip magazine transfer system.
한편, 실질적으로 스트립을 이송하는 매개물인 스트립 매거진은 스트립의 종류와 사이즈에 따라 다양할 수 있는데, 현존하는 스트립 매거진 이송 시스템은 스트립 매거진 별로 한 가지 종류만 이송할 수 있는 구조를 갖는다는 점에서 호환성이 매우 떨어진다.On the other hand, the strip magazine, which is a medium for substantially transporting the strip, can vary according to the type and size of the strip, and the existing strip magazine transfer system is compatible in that it has a structure that can transfer only one type per strip magazine. This very falls.
즉 스트립 매거진의 종류가 달라지면 그것에 맞게 시스템, 특히 이송 시스템에 갖춰지는 스트립 매거진 이송 대차를 수정하거나 다른 것으로 교체해야 해서 이러한 작업 시 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss)가 발생할 수 있다는 점을 고려해볼 때, 이를 해결하기 위한 기술 개발이 필요한 실정이다.In other words, if the type of strip magazine is different, it is necessary to modify the system, especially the strip magazine transfer cart equipped in the transfer system, or replace it with another, so that production loss due to the interruption of the transfer operation of the strip may occur during such operation. Considering this, it is necessary to develop a technology to solve this problem.
대한민국특허청 출원번호 제20-2006-0011111호Korean Intellectual Property Office Application No. 20-2006-0011111
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 여러 종류의 스트립 매거진에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있는 스트립 매거진 이송 시스템을 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a strip magazine transfer system capable of responding to all types of strip magazines and thus significantly reducing production loss due to interruption of the strip transfer operation as in the prior art. .
본 발명의 일 측면에 따르면, 레일 상에서 주행하는 복수의 주행 휠을 구비하는 대차 본체; 및 상기 대차 본체에 이동 가능하게 마련되되 스트립 매거진(strip magazine)에 마련되는 그립핑 터널에 접근 또는 이격되면서 상기 스트립 매거진을 그립핑하는 이동식 그립퍼를 구비하는 매거진 그립핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 대차가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, a bogie main body having a plurality of driving wheels running on a rail; And a magazine gripping unit provided to be movable on the bogie body and having a movable gripper for gripping the strip magazine while approaching or spaced apart from the gripping tunnel provided in the strip magazine. A strip magazine transfer bogie may be provided.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 연결되고, 상기 이동식 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 더 포함할 수 있다.The magazine gripping unit may further include a gripper driving unit connected to the movable gripper and driving the movable gripper.
상기 이동식 그립퍼는 상기 스트립 매거진의 그립핑 터널부를 사이에 두고 그 양측에 대칭되게 마련될 수 있으며, 상기 그립퍼 구동부에 의해 복수의 상기 이동식 그립퍼가 동시에 동작할 수 있다.The movable gripper may be provided symmetrically on both sides of the strip magazine with a gripping tunnel portion therebetween, and a plurality of the movable grippers may operate simultaneously by the gripper driving unit.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 연결되되 상기 이동식 그립퍼와 함께 동작하면서 상기 스트립 매거진의 개구 일측을 선택적으로 차폐하는 차폐용 가드를 더 포함할 수 있다.The magazine gripping unit may further include a shielding guard connected to the movable gripper and selectively shielding one side of the opening of the strip magazine while operating together with the movable gripper.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드 사이에 마련되되 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드를 연결하는 연결부를 더 포함할 수 있다.The magazine gripping unit may further include a connection portion provided between the movable gripper and the shielding guard and connecting the movable gripper and the shielding guard.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 연결부에 마련되고, 상기 연결부 상에서 상기 차폐용 가드를 독립적으로 업/다운(up/down) 구동시키는 가드 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.The magazine gripping unit may further include a guard up/down driving part provided at the connection part and independently driving the shielding guard up/down on the connection part.
상기 대차 본체에 마련되며, 상기 매거진 그립핑 유닛에 의해 그립핑된 상기 스트립 매거진의 하부를 지지하여 상기 스트립 매거진의 추락을 방지시키는 추락 방지용 유닛을 더 포함할 수 있다.A fall prevention unit provided on the bogie body and supporting a lower portion of the strip magazine gripped by the magazine gripping unit to prevent the strip magazine from falling may be further included.
상기 추락 방지용 유닛은, 상기 스트립 매거진의 하단부에 접하는 추락 방지부; 및 상기 추락 방지부와 연결되고 상기 추락 방지부를 상기 스트립 매거진에 접근 또는 이격 구동시키는 유닛 구동부를 포함할 수 있다.The fall prevention unit may include a fall prevention part in contact with a lower end of the strip magazine; And a unit driving part connected to the fall preventing part and driving the fall preventing part to approach or separate from the strip magazine.
상기 추락 방지부는 상기 스트립 매거진의 하단부를 지지하되 높이별로 위치가 다른 복수의 지지벽부를 포함할 수 있다.The fall prevention part may include a plurality of support wall parts that support the lower end of the strip magazine but have different positions for each height.
상기 지지벽부의 선단부에 경사면이 형성될 수 있다.An inclined surface may be formed at the tip of the support wall.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 레일; 및 상기 레일 상을 주행하면서 스트립 매거진(strip magazine)을 이송하는 스트립 매거진 이송 대차를 포함하며, 상기 스트립 매거진 이송 대차는, 상기 레일 상에서 주행하는 복수의 주행 휠을 구비하는 대차 본체; 및 상기 대차 본체에 이동 가능하게 마련되되 스트립 매거진에 마련되는 그립핑 터널에 접근 또는 이격되면서 상기 스트립 매거진을 그립핑하는 이동식 그립퍼를 구비하는 매거진 그립핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템이 제공될 수 있다.According to another aspect of the invention, the rail; And a strip magazine transfer cart for transferring a strip magazine while traveling on the rail, wherein the strip magazine transfer cart includes: a cart body including a plurality of traveling wheels running on the rail; And a magazine gripping unit provided to be movable on the bogie body and including a movable gripper for gripping the strip magazine while approaching or spaced apart from the gripping tunnel provided in the strip magazine. Can be provided.
상기 매거진 그립핑 유닛은 상기 이동식 그립퍼와 연결되고, 상기 이동식 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 더 포함할 수 있으며, 상기 이동식 그립퍼는 상기 스트립 매거진의 그립핑 터널부를 사이에 두고 그 양측에 대칭되게 마련될 수 있으며, 상기 그립퍼 구동부에 의해 복수의 상기 이동식 그립퍼가 동시에 동작할 수 있다.The magazine gripping unit is connected to the movable gripper and may further include a gripper driving unit for driving the movable gripper, and the movable gripper is provided symmetrically on both sides of the strip magazine with the gripping tunnel unit therebetween. In addition, a plurality of the movable grippers may operate simultaneously by the gripper driving unit.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 연결되되 상기 이동식 그립퍼와 함께 동작하면서 상기 스트립 매거진의 개구 일측을 선택적으로 차폐하는 차폐용 가드를 더 포함할 수 있다.The magazine gripping unit may further include a shielding guard connected to the movable gripper and selectively shielding one side of the opening of the strip magazine while operating together with the movable gripper.
상기 매거진 그립핑 유닛은, 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드 사이에 마련되되 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드를 연결하는 연결부; 및 상기 연결부에 마련되고, 상기 연결부 상에서 상기 차폐용 가드를 독립적으로 업/다운(up/down) 구동시키는 가드 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.The magazine gripping unit may include a connection part provided between the movable gripper and the shielding guard and connecting the movable gripper and the shielding guard; And a guard up/down driving unit provided at the connection part and independently driving the shielding guard up/down on the connection part.
상기 스트립 매거진 이송 대차는, 상기 대차 본체에 마련되며, 상기 매거진 그립핑 유닛에 의해 그립핑된 상기 스트립 매거진의 하부를 지지하여 상기 스트립 매거진의 추락을 방지시키는 추락 방지용 유닛을 더 포함할 수 있다.The strip magazine transfer cart may further include a fall prevention unit provided on the cart body and supporting a lower portion of the strip magazine gripped by the magazine gripping unit to prevent the strip magazine from falling.
상기 추락 방지용 유닛은, 상기 스트립 매거진의 하단부에 접하는 추락 방지부; 및 상기 추락 방지부와 연결되고 상기 추락 방지부를 상기 스트립 매거진에 접근 또는 이격 구동시키는 유닛 구동부를 포함할 수 있다.The fall prevention unit may include a fall prevention part in contact with a lower end of the strip magazine; And a unit driving part connected to the fall preventing part and driving the fall preventing part to approach or separate from the strip magazine.
상기 추락 방지부는 상기 스트립 매거진의 하단부를 지지하되 높이별로 위치가 다른 복수의 지지벽부를 포함할 수 있으며, 상기 지지벽부의 선단부에 경사면이 형성될 수 있다.The fall prevention part may include a plurality of support wall parts that support the lower end of the strip magazine but have different positions for each height, and an inclined surface may be formed at the tip of the support wall part.
상기 복수의 스트립 매거진이 개별적으로 적재되면서 보관되는 복수의 선반을 구비하는 스토커 캐비닛; 상기 스토커 캐비닛의 일측에 배치되며, 상기 매거진이 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)되는 장소를 형성하는 매거진 로딩/언로딩 장치; 및 상기 스토커 캐비닛 내에서 이동할 수 있게 배치되며, 상기 매거진 로딩/언로딩 장치 상의 매거진을 상기 선반에 안착시키거나 상기 선반 상의 매거진을 취출해서 상기 매거진 로딩/언로딩 장치로 이동시키기 위해 상기 매거진을 핸들링(handling)하는 랙 마스터를 더 포함할 수 있다.A stocker cabinet having a plurality of shelves in which the plurality of strip magazines are individually stacked and stored; A magazine loading/unloading device disposed on one side of the stocker cabinet and forming a location where the magazine is loaded or unloaded; And handling the magazine to be movably disposed in the stocker cabinet and to place the magazine on the magazine loading/unloading device on the shelf or to take out the magazine on the shelf and move it to the magazine loading/unloading device. It may further include a rack master to (handling).
상기 매거진 로딩/언로딩 장치의 일측에 배치되며, 소정의 매거진 핸들링 로봇에 의해 전달되는 매거진을 이송하는 매거진 이송부; 상기 매거진 이송부와 상기 매거진 로딩/언로딩 장치 사이에 배치되며, 상기 매거진 이송부와 상기 매거진 로딩/언로딩 장치로 상기 매거진을 이송시키는 매거진 셔틀 장치; 및 상기 스토커 캐비닛 내의 일측에 배치되며, 제1 매거진 내의 물품을 제2 매거진으로 자동 전달하는 스트립 전달 장치를 더 포함할 수 있다.A magazine transfer unit disposed at one side of the magazine loading/unloading device and transferring a magazine delivered by a predetermined magazine handling robot; A magazine shuttle device disposed between the magazine transfer unit and the magazine loading/unloading device, and transferring the magazine to the magazine transfer unit and the magazine loading/unloading device; And a strip transfer device disposed on one side of the stocker cabinet and automatically transferring an article in the first magazine to the second magazine.
본 발명에 따르면, 여러 종류의 스트립 매거진에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있다.According to the present invention, since it is possible to cope with all kinds of strip magazines, it is possible to significantly reduce production loss due to interruption of the transfer operation of the strip as in the prior art.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 매거진 이송부의 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커 캐비닛과 랙 마스터의 측면 배치도이다.
도 4는 도 3의 정면 배치도이다.
도 5는 랙 마스터의 포크 유닛 영역에 대한 작업 상태도이다.
도 6은 도 1에 도시된 스트립 전달 장치의 정면 구성도이다.
도 7은 도 1의 A 영역인 스트립 매거진 이송 대차 영역의 개략적인 사시도이다.
도 8은 스트립 매거진의 사시도이다.
도 9는 스트립 매거진 이송 대차 내의 요부 구조도이다.
도 10은 도 9의 요부 상세도이다.
도 11 내지 도 13은 스트립 매거진 이송 대차의 동작도이다.
1 is a schematic configuration diagram of a strip magazine transfer system according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the magazine transfer unit shown in FIG. 1.
3 is a side layout view of the stocker cabinet and the rack master shown in FIG. 1.
4 is a front layout view of FIG. 3.
5 is a diagram illustrating a working state of a fork unit area of the rack master.
6 is a front configuration diagram of the strip delivery device shown in FIG. 1.
FIG. 7 is a schematic perspective view of a strip magazine transfer cart area, which is area A of FIG. 1.
8 is a perspective view of a strip magazine.
Fig. 9 is a structural diagram of main parts in a strip magazine conveying cart.
10 is a detailed view of the main parts of FIG.
11 to 13 are operation diagrams of the strip magazine transfer cart.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the implementation of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings illustrating preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals in each drawing indicate the same member.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템의 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 매거진 이송부의 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 스토커 캐비닛과 랙 마스터의 측면 배치도이고, 도 4는 도 3의 정면 배치도이며, 도 5는 랙 마스터의 포크 유닛 영역에 대한 작업 상태도이고, 도 6은 도 1에 도시된 스트립 전달 장치의 정면 구성도이며, 도 7은 도 1의 A 영역인 스트립 매거진 이송 대차 영역의 개략적인 사시도이고, 도 8은 스트립 매거진의 사시도이며, 도 9는 스트립 매거진 이송 대차 내의 요부 구조도이고, 도 10은 도 9의 요부 상세도이며, 도 11 내지 도 13은 스트립 매거진 이송 대차의 동작도이다.1 is a schematic configuration diagram of a strip magazine transfer system according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the magazine transfer unit shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a stocker cabinet and a rack master shown in FIG. It is a side layout view, Figure 4 is a front layout view of Figure 3, Figure 5 is a working state diagram of the fork unit area of the rack master, Figure 6 is a front configuration diagram of the strip delivery device shown in Figure 1, Figure 7 is A schematic perspective view of a strip magazine transfer cart area, which is an area A of 1, FIG. 8 is a perspective view of a strip magazine, FIG. 9 is a structural diagram of main parts in the strip magazine transfer cart, and FIG. 10 is a detailed view of the main parts of FIG. 9, and FIG. 11 To Figure 13 is an operation diagram of the strip magazine transfer cart.
이들 도면을 참조하되 우선 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템은 여러 종류의 스트립 매거진(10)에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있도록 한 것이다.Referring to these drawings, but first referring to FIG. 1, the strip magazine transfer system according to the present embodiment can cope with all types of strip magazines 10, and thus production loss occurs due to the interruption of the transfer operation of the strip as in the prior art. This is to be able to reduce significantly.
이러한 효과를 제공할 수 있는 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템은 복수의 스트립 매거진(10)이 개별적으로 적재되면서 보관되는 복수의 선반(110)을 구비하는 스토커 캐비닛(100)과, 스토커 캐비닛(100)의 일측에 마련되는 매거진 로딩/언로딩 장치(600)와, 스토커 캐비닛(100) 내에서 이동할 수 있게 배치되며, 매거진 로딩/언로딩 장치(600) 상의 스트립 매거진(10)을 선반(110)에 안착시키거나 선반(110) 상의 스트립 매거진(10)을 취출해서 매거진 로딩/언로딩 장치(600)로 이동시키기 위해 스트립 매거진(10)을 핸들링(handling)하는 랙 마스터(200, 도 3 내지 도 5 참조)를 포함한다.The strip magazine transfer system according to the present embodiment capable of providing such an effect includes a stocker cabinet 100 including a plurality of shelves 110 in which a plurality of strip magazines 10 are individually stacked and stored, and a stocker cabinet ( The magazine loading/unloading device 600 provided on one side of the 100) and the stocker cabinet 100 are arranged to be movable, and the strip magazine 10 on the magazine loading/unloading device 600 is placed on the shelf 110 ) Or handling the strip magazine 10 in order to take out the strip magazine 10 on the shelf 110 and move it to the magazine loading/unloading device 600 (200, FIGS. 3 to 3) 5).
이러한 구성들 외에도 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템에는 매거진 이송부(400), 매거진 셔틀 장치(500), 레일(700), 그리고, 스트립 전달 장치(300)가 더 갖춰질 수 있다.In addition to these configurations, the strip magazine transfer system according to the present embodiment may further include a magazine transfer unit 400, a magazine shuttle device 500, a rail 700, and a strip transfer device 300.
특히, 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템에는 스트립 매거진 이송 대차(700)가 적용되는데, 이러한 스트립 매거진 이송 대차(700)는 여러 종류의 스트립 스트립 매거진(10)에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있도록 한다.In particular, a strip magazine transfer cart 700 is applied to the strip magazine transfer system according to the present embodiment, and the strip magazine transfer cart 700 can cope with all kinds of strip strip magazines 10 as in the prior art. It is possible to significantly reduce the occurrence of production loss due to interruption of the transfer operation.
참고로, 앞서 기술한 것처럼 스트립 매거진(10) 내에 수납되는 물품은 반도체 스트립(Strip)일 수 있다. 하지만, 스트립이 아니더라도 스트립과 유사해서 스트립 매거진(10) 내에 수납될 수 있는 물품, 예컨대 웨이퍼 역시 스트립으로 간주하도록 한다.For reference, as described above, the article accommodated in the strip magazine 10 may be a semiconductor strip. However, even if it is not a strip, an article, such as a wafer, that can be stored in the strip magazine 10 is also regarded as a strip because it is similar to a strip.
이하, 설명의 편의를 위해, 매거진 이송부(400), 매거진 셔틀 장치(500), 매거진 로딩/언로딩 장치(600), 스토커 캐비닛(100), 랙 마스터(200), 스트립 전달 장치(300), 스트립 매거진 이송 대차(700)의 순으로 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템의 구조와 작용을 설명하도록 한다.Hereinafter, for convenience of description, a magazine transfer unit 400, a magazine shuttle device 500, a magazine loading/unloading device 600, a stocker cabinet 100, a rack master 200, a strip delivery device 300, The structure and operation of the strip magazine transfer system according to the present embodiment will be described in the order of the strip magazine transfer cart 700.
우선, 매거진 이송부(400)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 매거진 핸들링 로봇(30)에 의해 공급되는 스트립 매거진(10)을 매거진 셔틀 장치(400)로 공급하는 역할을 한다.First, the magazine transfer unit 400 serves to supply the strip magazine 10 supplied by the magazine handling robot 30 to the magazine shuttle device 400, as shown in FIGS. 1 and 2.
본 실시예에서 매거진 이송부(400)는 벨트 컨베이어 타입(Belt Conveyor Type)으로 적용될 수 있다. 매거진 이송부(400)가 벨트 컨베이어 타입으로 적용되기 때문에 스트립 매거진(10)을 안정적으로 이송시킬 수 있다. 하지만, 벨트 컨베이어 타입 외의 다른 구조, 예컨대 스테이지 방식, 롤러 방식 등의 구조로 매거진 이송부(400)를 적용할 수도 있다. 따라서 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.In this embodiment, the magazine transfer unit 400 may be applied as a belt conveyor type. Since the magazine transfer unit 400 is applied in a belt conveyor type, the strip magazine 10 can be stably transferred. However, the magazine transfer unit 400 may be applied in a structure other than the belt conveyor type, for example, a stage type, a roller type, or the like. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the shape of the drawings.
매거진 이송부(400)는 벨트(411)를 구비하는 복수의 벨트 컨베이어 유닛(410, Belt Conveyor Type)과, 매거진 이송부(400)의 하부 구조를 형성하되 벨트 컨베이어 유닛(410)이 착탈 가능하게 결합되는 컨베이어 프레임 구조체(420)를 포함한다.The magazine transfer unit 400 forms a lower structure of the plurality of belt conveyor units 410 (Belt Conveyor Type) having a belt 411 and the magazine transfer unit 400, but the belt conveyor unit 410 is detachably coupled. Conveyor frame structure (420).
컨베이어 프레임 구조체(420)는 복수의 벨트 컨베이어 유닛(410)을 지지하는 외관 구조물이다. 컨베이어 프레임 구조체(420)의 하부에는 도시 않은 테이블이 갖춰지는데 이곳에 벨트(411)를 회전시키기 위한 동력을 발생시키는 모터(미도시) 등이 탑재될 수 있다.The conveyor frame structure 420 is an exterior structure supporting a plurality of belt conveyor units 410. A table (not shown) is provided under the conveyor frame structure 420, and a motor (not shown) that generates power for rotating the belt 411 may be mounted therein.
본 실시예에서 벨트 컨베이어 유닛(410)은 컨베이어 프레임 구조체(420)로부터 하나씩 혹은 개별적, 독립적으로 분리될 수 있는 구조로 마련될 수 있다. 이럴 경우, 분해 조립이 쉬워질 수 있는 이점이 있다.In this embodiment, the belt conveyor unit 410 may be provided in a structure that can be separated one by one or individually or independently from the conveyor frame structure 420. In this case, there is an advantage that disassembly and assembly can be made easy.
다음으로, 매거진 셔틀 장치(500)는 도 1에 도시된 바와 같이, 매거진 이송부(400)와 매거진 로딩/언로딩 장치(600) 사이에 배치되며, 매거진 이송부(400)와 매거진 로딩/언로딩 장치(600)로 스트립 매거진(10)을 이송시키는 역할을 한다.Next, the magazine shuttle device 500 is disposed between the magazine transfer unit 400 and the magazine loading/unloading device 600, as shown in FIG. 1, and the magazine transfer unit 400 and the magazine loading/unloading device It serves to transfer the strip magazine 10 to 600.
매거진 이송부(400)가 컨베이어 타입으로써 여러 개의 스트립 매거진(10)을 한 번에 이송시킨 반면 매거진 셔틀 장치(500)는 매거진 이송부(400)에서 공급되는 스트립 매거진(10)을 하나씩 혹은 몇 개씩 매거진 로딩/언로딩 장치(600)로 전달하거나 매거진 로딩/언로딩 장치(600) 측의 스트립 매거진(10)을 매거진 이송부(400)로 공급한다.While the magazine transfer unit 400 is a conveyor type and transfers several strip magazines 10 at once, the magazine shuttle device 500 loads the strip magazines 10 supplied from the magazine transfer unit 400 one by one or several magazines. The strip magazine 10 on the side of the /unloading device 600 is transferred or the magazine loading/unloading device 600 is supplied to the magazine transfer unit 400.
다음으로, 매거진 로딩/언로딩 장치(600)는 도 1에 도시된 바와 같이, 스토커 캐비닛(100)의 일측에 배치되며, 스트립 매거진(10)이 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)되는 장소를 형성한다. 즉 공정, 예컨대 본딩 공정이 진행될 스트립이 담긴 매거진은 매거진 셔틀 장치(500)에 의해 매거진 로딩/언로딩 장치(600)에 로딩될 수 있다. 그리고 본딩 공정이 완료된 스트립이 담긴 매거진은 랙 마스터(200)에 의해 매거진 로딩/언로딩 장치(600)에 언로딩될 수 있다.Next, the magazine loading/unloading device 600 is disposed on one side of the stocker cabinet 100, as shown in FIG. 1, and a place where the strip magazine 10 is loaded or unloaded. To form. That is, the magazine containing the strip on which the process, for example, the bonding process will be performed, may be loaded into the magazine loading/unloading device 600 by the magazine shuttle device 500. In addition, the magazine containing the strip on which the bonding process has been completed may be unloaded to the magazine loading/unloading device 600 by the rack master 200.
다음으로, 스토커 캐비닛(100)은 도 1, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 스트립 매거진(10)이 보관되는 장소를 이룬다.Next, the stocker cabinet 100 forms a place in which a plurality of strip magazines 10 are stored, as shown in FIGS. 1 and 3 to 5.
복수의 스트립 매거진(10)이 보관되기 위해 스토커 캐비닛(100)의 내부에는 스트립 매거진(10)이 개별적으로 적재되면서 보관되는 복수의 선반(110)이 마련된다. 선반(110)은 책장과 같은 구조를 갖는다.In order to store the plurality of strip magazines 10, a plurality of shelves 110 are provided in the stocker cabinet 100 to store the strip magazines 10 while individually being loaded. The shelf 110 has the same structure as a bookcase.
스토커 캐비닛(100) 내에는 스트립 매거진(10)을 핸들링(handling)하는 랙 마스터(200)가 마련된다. 랙 마스터(200)는 스트립 매거진(10)을 파지에서 선반(110)에 넣거나 선반(110)에서 빼내는 포크 유닛(210)을 구비한다. 스토커 캐비닛(100)은 대략 사각 컨테이너(container) 형상을 갖는다. 스토커 캐비닛(100)의 하면에는 지면에 대해 스토커 캐비닛(100)을 지지하는 복수의 푸트부재(120)가 마련된다.A rack master 200 for handling the strip magazine 10 is provided in the stocker cabinet 100. The rack master 200 includes a fork unit 210 for placing the strip magazine 10 on the shelf 110 or removing the strip magazine 10 from the shelf 110. Stocker cabinet 100 has a substantially rectangular container (container) shape. A plurality of foot members 120 supporting the stocker cabinet 100 with respect to the ground are provided on the lower surface of the stocker cabinet 100.
복수의 푸트부재(120)는 지면에 대해 스토커 캐비닛(100)을 지지하는 역할을 하는데, 이러한 푸트부재(120)에는 지면에 대해 스토커 캐비닛(100)의 높낮이를 조절하는 수단이 마련될 수 있다. 그뿐만 아니라 푸트부재(120)에는 스토커 캐비닛(100)에 진동이 형성되는 것을 방지하는 제진수단 등이 더 갖춰질 수도 있다.The plurality of foot members 120 serve to support the stocker cabinet 100 with respect to the ground, and the foot member 120 may be provided with a means for adjusting the height of the stocker cabinet 100 with respect to the ground. In addition, the foot member 120 may be further provided with a vibration damping means for preventing vibration from being formed in the stocker cabinet 100.
스토커 캐비닛(100)의 부피는 내부에 적재될 물품의 개수에 대응하여 적절하게 설계될 수 있다. 한편, 본 실시예에서 스토커 캐비닛(100)은 프레임 골조 상태로 도시되어 있으나 실제로 스토커 캐비닛(100)의 측면들은 투명 혹은 반투명의 유리 재질이나 혹은 플라스틱 재질로 제작되어 작업자가 스토커 캐비닛(100)의 내부를 관찰할 수 있도록 할 수도 있다.The volume of the stocker cabinet 100 may be appropriately designed corresponding to the number of items to be loaded therein. On the other hand, in the present embodiment, the stocker cabinet 100 is shown in a frame-framed state, but in fact, the side surfaces of the stocker cabinet 100 are made of transparent or translucent glass or plastic, so that the worker can use the inside of the stocker cabinet 100. You can also make it observable.
복수의 선반(110)은 스토커 캐비닛(100)의 내부에 상하로 길게 마련되는 컬럼(C)으로 지지될 수 있다. 이때, 본 실시예에서 복수의 선반(110)은 스토커 캐비닛(100)의 내부에서 랙 마스터(200)를 사이에 두고 스토커 캐비닛(100)의 양측에 각각 마련된다. 즉, 도 3을 통해 확인할 수 있는 바와 같이, 스토커 캐비닛(100) 내의 양측에는 각각 복수의 선반(110)이 마치 책장과 같은 형태로 마련된다.The plurality of shelves 110 may be supported by columns C that are elongated vertically in the stocker cabinet 100. At this time, in this embodiment, the plurality of shelves 110 are provided on both sides of the stocker cabinet 100 with the rack master 200 interposed therebetween. That is, as can be seen through FIG. 3, a plurality of shelves 110 are provided on both sides of the stocker cabinet 100 in the form of a bookcase.
본 실시예처럼 선반(110)들이 스토커 캐비닛(100) 내에서 랙 마스터(200)를 사이에 두고 그 양측에 복수 개로 마련되는 경우, 한정된 공간에서 더욱 많은 물품을 적재 보관할 수 있는 이점이 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 선반(110)들은 스토커 캐비닛(100) 내의 일 측면에만 마련되어도 무방하다.In the case where the shelves 110 are provided in plural on both sides of the stocker cabinet 100 with the rack master 200 interposed therebetween, as in the present embodiment, there is an advantage that more items can be loaded and stored in a limited space. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the shelves 110 may be provided only on one side of the stocker cabinet 100.
각각의 선반(110)에는 스트립 매거진(10)의 안착 여부와 선반(110)의 위치를 감지하는 선반 감지부(130)가 마련될 수 있다. 선반 감지부(130)는 접촉식 혹은 비접촉식 센서로 적용될 수 있다. 후자의 경우라면 예컨대 근접센서나 혹은 레이저센서 등이 될 수 있다. 본 실시예처럼 선반 감지부(130)가 적용되면 스토커 캐비닛(100) 내의 선반(110)들에 적재 혹은 보관되는 스트립 매거진(10)의 수량, 위치 등을 쉽고 정확하게 파악할 수 있는 이점이 있다.Each shelf 110 may be provided with a shelf detector 130 that detects whether the strip magazine 10 is seated and the position of the shelf 110. The shelf detection unit 130 may be applied as a contact or non-contact sensor. In the latter case, for example, it may be a proximity sensor or a laser sensor. When the shelf detection unit 130 is applied as in the present embodiment, there is an advantage in that it is possible to easily and accurately identify the number and location of the strip magazines 10 loaded or stored on the shelves 110 in the stocker cabinet 100.
한편, 랙 마스터(200)는 전술한 바와 같이, 선반(110)들 사이를 이동하면서 스트립 매거진(10)을 해당 선반(110)에 넣거나 선반(110)으로부터 스트립 매거진(10)을 빼내는 역할을 한다. 랙 마스터(200)는 도 3처럼 선반(110)들 사이의 중앙에 이동할 수 있게 마련되는 일종의 직교축 로봇이다.On the other hand, as described above, the rack master 200 serves to insert the strip magazine 10 into the corresponding shelf 110 or remove the strip magazine 10 from the shelf 110 while moving between the shelves 110. . The rack master 200 is a kind of orthogonal axis robot provided to be movable in the center between the shelves 110 as shown in FIG. 3.
랙 마스터(200)는 실질적으로 스트립 매거진(10)을 파지하는 포크 유닛(210)과, 포크 유닛(210)을 스토커 캐비닛(100) 내에서 도 3의 X축 방향으로 주행시키는 주행 유닛(220)과 포크 유닛(210)을 스토커 캐비닛(100) 내에서 도 3의 Y축 방향으로 승하강시키는 승하강 유닛(230)을 포함할 수 있다.The rack master 200 includes a fork unit 210 that substantially holds the strip magazine 10, and a traveling unit 220 that moves the fork unit 210 in the stocker cabinet 100 in the X-axis direction of FIG. 3. It may include an elevating unit 230 for elevating and descending the fork unit 210 in the Y-axis direction of FIG. 3 in the stocker cabinet 100.
본 실시예에서, 주행 유닛(220)과 승하강 유닛(230)은 모두 도면에 개략적으로 도시되어 있기는 하나 선형 이동이 가능하면서 위치 제어가 용이한 리니어 모터로 적용될 수 있다. 그렇지만, 리니어 모터가 아니더라도 예컨대, 주행 유닛(220)은 모터와 볼 스크루의 조합 구조로 그리고 승하강 유닛(230)은 승하강 실린더로 대체해도 무방하다.In this embodiment, both the traveling unit 220 and the elevating unit 230 are schematically illustrated in the drawings, but may be applied as a linear motor capable of linear movement and easy position control. However, even if it is not a linear motor, for example, the traveling unit 220 may be replaced with a combination structure of a motor and a ball screw, and the elevating unit 230 may be replaced with an elevating cylinder.
포크 유닛(210)은 주행 유닛(220)과 승하강 유닛(230)에 의해 포크 유닛(210)이 해당 선반(110)에 접근되면 전후진한 후, 스트립 매거진(10)을 파지하는 형태로 스트립 매거진(10)을 파지할 수 있다.The fork unit 210 moves forward and backward when the fork unit 210 approaches the shelf 110 by the traveling unit 220 and the elevating unit 230, and then grips the strip magazine 10. (10) can be gripped.
다음으로, 스트립 전달 장치(300)는 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 스토커 캐비닛(100) 내의 일측에 배치되며, 물품, 즉 스트립을 스트립 매거진(10)으로 전달하는 역할을 한다. 도 1에 보면 스토커 캐비닛(100) 내의 일측에 스트립 전달 장치(300)가 복수 개 배치된 것을 알 수 있다. 물론, 스트립 전달 장치(300)는 1대만, 혹은 3대 이상 배치될 수도 있다.Next, as shown in FIGS. 1 and 6, the strip delivery device 300 is disposed on one side of the stocker cabinet 100, and serves to deliver an article, that is, a strip to the strip magazine 10. Referring to FIG. 1, it can be seen that a plurality of strip delivery devices 300 are disposed on one side of the stocker cabinet 100. Of course, only one strip delivery device 300 or three or more strip delivery devices may be disposed.
전술한 바와 같이, 스트립 전달 장치(300)는 스트립을 스트립 매거진(10)으로 전달하는 역할을 한다. 예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 매거진(10a) 내에 들어 있는 스트립 전부 혹은 공정에서 요구되는 개수만큼 제2 매거진(10b)으로 자동 전달하는 역할을 한다.As described above, the strip transfer device 300 serves to transfer the strip to the strip magazine 10. For example, as shown in FIG. 6, it serves to automatically transfer all of the strips contained in the first magazine 10a to the second magazine 10b or as many as the number required in the process.
이처럼 스트립 전달 장치(300)를 사용해서 제1 매거진(10a) 내의 스트립을 제2 매거진(10b)으로 자동 전달하게 되면 작업이 자동으로 또한 효율적으로 진행될 수 있음은 물론, 이로 인해 생산성 향상에 기여할 수 있다. 특히, 수작업의 한계를 벗어나 정확한 수량을 더욱 빠르게 전달할 수 있는 이점이 있다.In this way, when the strip in the first magazine 10a is automatically transferred to the second magazine 10b using the strip transfer device 300, the work can be automatically and efficiently proceeded, as well as contributing to productivity improvement. have. In particular, there is an advantage in that the exact quantity can be delivered more quickly beyond the limitation of manual operation.
스트립 전달 장치(300)는 제1 매거진(10a) 내의 스트립을 그립핑(gripping)하는 그립핑 유닛(310)과, 그립핑 유닛(310)을 이동시키는 유닛 이동부(350)와, 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)의 작용에 의해 제1 매거진(10a)에서 제2 매거진(10b)으로 이동되는 스트립의 이동을 가이드하는 가이드 유닛(360)을 포함할 수 있다.The strip transfer device 300 includes a gripping unit 310 for gripping a strip in the first magazine 10a, a unit moving unit 350 for moving the gripping unit 310, and a gripping unit. 310 and a guide unit 360 for guiding the movement of the strip moved from the first magazine 10a to the second magazine 10b by the action of the unit moving unit 350.
도 6의 경우, 스트립 전달 장치(300)를 정면에서 바라본 도면이기 때문에 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)와, 가이드 유닛(360)이 서로 겹쳐진 상태로 도시되었다. 하지만, 이를 위해서 보면 이동되는 스트립을 사이에 두고 스트립의 전방 일측에 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)가 배치되고, 스트립의 후방 일측에 가이드 유닛(360)이 배치된다. 따라서 실제 동작 시 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)와 가이드 유닛(360)이 서로 간섭되는 현상은 없다.In the case of FIG. 6, since the strip transfer device 300 is viewed from the front, the gripping unit 310, the unit moving part 350, and the guide unit 360 are shown to be overlapped with each other. However, for this purpose, the gripping unit 310 and the unit moving unit 350 are disposed on one front side of the strip with the moving strip interposed therebetween, and the guide unit 360 is disposed on the rear side of the strip. Therefore, there is no phenomenon in which the gripping unit 310, the unit moving unit 350, and the guide unit 360 interfere with each other during actual operation.
그립핑 유닛(310)은 제1 매거진(10a) 내의 물품, 즉 스트립을 제1 매거진(10a)의 상대편에 배치되는 제2 매거진(10b)으로 전달하는 역할을 한다. 이러한 그립핑 유닛(310)은 스트립의 일측을 그립핑(gripping)하는 그립퍼(320,330)를 포함한다. 후술하겠지만 그립퍼(320,330)는 집게 방식의 구조로서 반도체 스트립의 둘레 더미 부분을 그립핑한다. 이처럼 그립퍼(320,330)가 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑하기 때문에 스트립의 손상 문제가 발생되지 않는다.The gripping unit 310 serves to transfer an article, that is, a strip, in the first magazine 10a to the second magazine 10b disposed on the opposite side of the first magazine 10a. The gripping unit 310 includes grippers 320 and 330 for gripping one side of the strip. As will be described later, the grippers 320 and 330 grip the circumferential dummy portion of the semiconductor strip as a clamp-type structure. As described above, since the grippers 320 and 330 grip the dummy portion of the strip to a minimum, a problem of damage to the strip does not occur.
한편, 본 실시예에서 그립핑 유닛(310)은 유닛 이동부(350)의 작용으로 제1 매거진(10a) 내의 스트립을 제1 매거진(10a)의 외부로 인출한 후, 인출된 스트립을 제2 매거진(10b) 내로 푸싱(pushing)해서 스트립을 전달하는 푸싱겸용 그립핑 유닛(310)으로 적용된다. 즉 본 실시예에서 푸싱겸용 그립핑 유닛(310)은 1차로 제1 매거진(10a) 내의 스트립을 제1 매거진(10a)의 외부로 인출한 후, 2차로 인출된 스트립을 제2 매거진(10b) 측으로 푸싱함으로써 스트립이 제2 매거진(10b) 내로 수납될 수 있도록 한다. 본 실시예처럼 푸싱겸용 그립핑 유닛(310)이 적용되면 하나의 장비로서 그립핑 기능과 푸싱 기능을 함께 사용할 수 있어서 기능성이 높아질 수 있게 되며, 특히 협소한 공간에서 장비의 콤팩트화를 구현할 수 있는 이점이 있다.On the other hand, in the present embodiment, the gripping unit 310 pulls the strip in the first magazine 10a to the outside of the first magazine 10a by the action of the unit moving unit 350, and then transfers the pulled strip to the outside of the first magazine 10a. It is applied as a gripping unit 310 for both pushing and transferring the strip by pushing into the magazine 10b. That is, in the present embodiment, the pushing and gripping unit 310 primarily pulls the strip in the first magazine 10a to the outside of the first magazine 10a, and then transfers the secondly pulled strip to the second magazine 10b. Pushing to the side allows the strip to be accommodated into the second magazine 10b. When the pushing and gripping unit 310 is applied as in this embodiment, the gripping function and the pushing function can be used together as a single device, so that the functionality can be increased, and in particular, the compactness of the device can be implemented in a narrow space. There is an advantage.
푸싱겸용 그립핑 유닛(310)은 외관 구조를 이루는 유닛 바디(341)와, 유닛 바디(341)의 일측에 탑재되는 그립퍼(320,330)를 포함한다. 전술한 바와 같이, 그립퍼(320,330)는 집게식 구조로서 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑한다.The pushing and gripping unit 310 includes a unit body 341 forming an exterior structure and grippers 320 and 330 mounted on one side of the unit body 341. As described above, the grippers 320 and 330 have a clamp-type structure and grip the circumferential dummy portion of the strip to a minimum.
본 실시예에서 그립퍼(320,330)는 상부 그립퍼(320)와, 상부 그립퍼(320)의 하부에 배치되되 상부 그립퍼(320)에 접근 또는 이격되는 하부 그립퍼(330)를 포함한다. 상부 그립퍼(320)는 상부 그립퍼 바디(321)와, 상부 그립퍼 바디(321)의 일측에서 막대 형상으로 연장되게 마련되는 상부 그립퍼 아암(322)을 포함한다. 그리고 하부 그립퍼(330)는 하부 그립퍼 바디(331)와, 하부 그립퍼 바디(331)의 일측에서 막대 형상으로 연장되게 마련되되 상부 그립퍼 아암(322)과 접근 또는 이격배치되는 하부 그립퍼 아암(332)을 포함한다.In the present embodiment, the grippers 320 and 330 include an upper gripper 320 and a lower gripper 330 disposed below the upper gripper 320 and approaching or spaced apart from the upper gripper 320. The upper gripper 320 includes an upper gripper body 321 and an upper gripper arm 322 extending in a rod shape from one side of the upper gripper body 321. And the lower gripper 330 is provided to extend in a rod shape from one side of the lower gripper body 331 and the lower gripper body 331, the upper gripper arm 322 and a lower gripper arm 332 that is disposed to approach or spaced apart. Include.
실제, 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑하는 부분은 얇은 막대 구조의 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)이다. 이처럼 얇은 막대 구조의 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)이 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑하기 때문에 스트립의 손상 없이 스트립을 그립핑할 수 있다.In fact, the portions that minimally grip the circumferential dummy portion of the strip are the upper gripper arm 322 and the lower gripper arm 332 of a thin rod structure. Since the upper gripper arm 322 and the lower gripper arm 332 having a thin bar structure grip the dummy portion of the strip to a minimum, the strip can be gripped without damaging the strip.
한편, 본 실시예에서 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)을 포함하는 그립퍼(320,330)가 집게식 구조이기는 하지만 통상의 가위처럼 일측의 힌지를 기점으로 벌어지거나 오므려지는 형태는 아니다.On the other hand, although the grippers 320 and 330 including the upper gripper arm 322 and the lower gripper arm 332 in the present embodiment have a clamp-type structure, they are not opened or closed from one hinge as a starting point like a conventional scissors. .
부연하면, 상부 그립퍼(320)는 상부 그립퍼 업/다운 구동부(342)에 의해 업/다운(up/down) 구동될 수 있고, 하부 그립퍼(330)는 하부 그립퍼 업/다운 구동부(343)에 의해 /다운(up/down) 구동될 수 있다. 따라서 실린더 등으로 적용될 수 있는 상부 그립퍼 업/다운 구동부(342)와 하부 그립퍼 업/다운 구동부(343)의 동작에 의해 상부 그립퍼(320)와 하부 그립퍼(330)는 도 6의 확대 그림처럼 완전히 벌어질 수도 있고, 서로 접근되면서 스트립을 그립핑할 수도 있다.In other words, the upper gripper 320 may be driven up/down by the upper gripper up/down driving unit 342, and the lower gripper 330 is driven by the lower gripper up/down driving unit 343. Can be driven up/down. Therefore, by the operation of the upper gripper up/down driving unit 342 and the lower gripper up/down driving unit 343 that can be applied as a cylinder, the upper gripper 320 and the lower gripper 330 are completely opened as shown in the enlarged picture of FIG. You can lose, or you can grip the strips as they approach each other.
앞서 기술한 것처럼 본 실시예의 경우, 푸싱 기능이 포함되는 푸싱겸용 그립핑 유닛(310)을 적용하고 있다. 이를 위해, 즉 제1 매거진(10a)의 외부로 인출된 스트립을 제2 매거진(10b) 내로 푸싱(pushing)하기 위해 푸셔(344)가 마련된다.As described above, in the case of the present embodiment, a gripping unit 310 for both pushing and including a pushing function is applied. To this end, a pusher 344 is provided to push the strip drawn out of the first magazine 10a into the second magazine 10b.
푸셔(344)는 그립퍼(320,330)와 이격배치되되 제1 매거진(10a)의 외부로 인출된 스트립을 유닛 이동부(350)와 상호작용해서 제2 매거진(10b) 내로 푸싱(pushing)하는 역할을 한다. 즉 푸셔(344)가 제1 매거진(10a)의 외부로 인출된 스트립의 전방에 위치한 상태에서 유닛 이동부(350)가 동작되어 푸셔(344)를 제2 매거진(10b) 쪽으로 이동시키면 제1 매거진(10a)의 외부로 인출된 스트립이 푸셔(344)에 의해 자연스럽게 밀리면서 제2 매거진(10b) 내로 들어가게 된다. 이때, 실패 없이 스트립을 잘 가압할 수 있도록 푸셔(344)의 단부는 절곡된 절곡 벽체(344a, 도 6 참조)를 형성할 수 있다.The pusher 344 is spaced apart from the grippers 320 and 330, but serves to push the strip drawn out of the first magazine 10a into the second magazine 10b by interacting with the unit moving unit 350. do. That is, when the pusher 344 is located in front of the strip drawn out of the first magazine 10a, the unit moving unit 350 is operated to move the pusher 344 toward the second magazine 10b, the first magazine The strip drawn to the outside of (10a) is naturally pushed by the pusher 344 and enters into the second magazine 10b. At this time, the end of the pusher 344 may form a bent wall body 344a (see FIG. 6) so that the strip can be well pressed without failure.
그리고, 푸셔(344)에는 푸셔 업/다운 구동부(345)가 연결된다. 실린더 등으로 적용될 수 있는 푸셔 업/다운 구동부(345)는 푸셔(344)를 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다.Further, a pusher up/down driving unit 345 is connected to the pusher 344. The pusher up/down driving unit 345 that can be applied as a cylinder or the like serves to drive the pusher 344 up/down.
유닛 이동부(350)는 그립핑 유닛(310)에 연결되며, 제1 매거진(10a)과 제2 매거진(10b) 사이로 그립핑 유닛(310)을 이동시키는 역할을 한다. 유닛 이동부(350)는 모터와 볼 스크루 구조 등으로 적용될 수 있다.The unit moving unit 350 is connected to the gripping unit 310 and serves to move the gripping unit 310 between the first magazine 10a and the second magazine 10b. The unit moving unit 350 may be applied in a motor and ball screw structure.
가이드 유닛(360)은 그립핑 유닛(310)에 이웃하게 배치되며, 그립핑 유닛(310) 및 유닛 이동부(350)의 작용으로 제1 매거진(10a)에서 제2 매거진(10b)으로 전달되는 스트립을 이동을 가이드하는 역할을 한다.The guide unit 360 is disposed adjacent to the gripping unit 310, and is transferred from the first magazine 10a to the second magazine 10b by the action of the gripping unit 310 and the unit moving unit 350. It serves to guide the movement of the strip.
앞서 기술한 것처럼 얇은 막대 구조의 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)이 스트립의 둘레 더미 부분을 최소한으로 그립핑한 후, 스트립을 이동시키기 때문에 반대편에서 이동되는 스트립을 가이드해 주어야 하며, 그래야만 스트립이 제2 매거진(10b)의 벽체에 부딪히지 않고 제2 매거진(10b) 내로 잘 수납될 수 있다. 이를 위해, 가이드 유닛(360)이 적용되는 것이다.As described above, since the upper gripper arm 322 and the lower gripper arm 332 of a thin bar structure grip the dummy part of the strip to a minimum and then move the strip, it is necessary to guide the moving strip from the opposite side. Only then can the strip be well received into the second magazine 10b without hitting the wall of the second magazine 10b. To this end, the guide unit 360 is applied.
가이드 유닛(360)은 스트립의 일측, 즉 상부 그립퍼 아암(322) 및 하부 그립퍼 아암(332)에 의해 그립핑된 스트립의 반대측이 배치되어 이동이 가이드되는 가이드 레일(361)과, 가이드 레일(361)을 사이에 두고 한 쌍으로 배치되는 한 쌍의 가이드 롤러(363)를 포함할 수 있다.The guide unit 360 includes a guide rail 361 on which movement is guided by placing one side of the strip, that is, the opposite side of the strip gripped by the upper gripper arm 322 and the lower gripper arm 332, and the guide rail 361. ) May include a pair of guide rollers 363 disposed in a pair between.
본 실시예에서 한 쌍의 가이드 롤러(363)는 동력이 없는 무동력 자유 회전롤러이며, 가이드 레일(361)의 길이 방향을 따라 복수 개 배치된다. 따라서 스트립을 원활하게 가이드할 수 있다.In this embodiment, a pair of guide rollers 363 are non-powered free rotation rollers without power, and a plurality of guide rollers 361 are disposed along the longitudinal direction of the guide rail 361. Therefore, the strip can be guided smoothly.
한 쌍의 가이드 롤러(363)에는 롤러 간격 조절부(364)가 연결된다. 롤러 간격 조절부(364)는 한 쌍의 가이드 롤러(363)에 연결되며, 한 쌍의 가이드 롤러(363) 사이의 간격을 조절하는 역할을 한다.A roller spacing adjustment part 364 is connected to the pair of guide rollers 363. The roller spacing adjustment part 364 is connected to the pair of guide rollers 363 and serves to adjust the spacing between the pair of guide rollers 363.
한 쌍의 가이드 롤러(363) 사이의 간격이 너무 좁으면 스트립의 이동에 오히려 방해되고, 한 쌍의 가이드 롤러(363) 사이의 간격이 너무 넓으면 가이드의 의미가 없게 되므로 이를 조율하기 위해 롤러 간격 조절부(364)가 마련된다. 롤러 간격 조절부(364)는 실린더일 수 있다.If the gap between the pair of guide rollers 363 is too narrow, the movement of the strip is rather hindered, and if the gap between the pair of guide rollers 363 is too wide, the guide becomes meaningless. An adjustment part 364 is provided. The roller spacing adjustment part 364 may be a cylinder.
제2 매거진(10b)에 이웃된 가이드 레일(361)의 단부 영역에는 물품 인입 가이드 모듈(367)이 더 갖춰진다. 물품 인입 가이드 모듈(367)은 제2 매거진(10b)에 이웃된 가이드 레일(361)의 단부에 배치되며, 스트립의 선단부가 들리는 것을 저지시켜 스트립이 제2 매거진(10b)으로 인입될 수 있도록 유도하는 역할을 한다.In the end region of the guide rail 361 adjacent to the second magazine 10b, an article retracting guide module 367 is further provided. The article entry guide module 367 is disposed at the end of the guide rail 361 adjacent to the second magazine 10b, and prevents the tip of the strip from being lifted so that the strip can be introduced into the second magazine 10b. Plays a role.
즉 스트립은 플렉시블 가능한 얇은 판체이기 때문에 푸셔(344)에 의해 가압되어 제2 매거진(10b)으로 인입될 때, 스트립의 선단부가 들리면 스트립이 제2 매거진(10b)의 벽체에 부딪히거나 제2 매거진(10b) 내로 수납이 잘 되지 않을 수 있다. 이를 위해, 물품 인입 가이드 모듈(367)이 적용된다. 물품 인입 가이드 모듈(367)은 제2 매거진(10b) 내로 수납되기 직전의 스트립의 선단부가 들리지 않게끔 유도함으로써 스트립이 제2 매거진(10b)의 벽체에 부딪히지 않고 제2 매거진(10b) 내로 잘 수납될 수 있도록 가이드한다.That is, since the strip is a flexible thin plate body, when it is pressed by the pusher 344 and is inserted into the second magazine 10b, when the tip of the strip is lifted, the strip hits the wall of the second magazine 10b or the second magazine (10b) It may not be well stored inside. To this end, the article entry guide module 367 is applied. The article retracting guide module 367 guides the tip of the strip just before being stored in the second magazine 10b so that it is not lifted, so that the strip does not hit the wall of the second magazine 10b and is well stored in the second magazine 10b. Guide them to become.
이러한 물품 인입 가이드 모듈(367)은 가이드 레일(361)에 이웃하게 배치되는 인입 가이드 롤러(367a)와, 일단부는 인입 가이드 롤러(363)보다 높은 위치에서 피봇 지지되고 타단부는 인입 가이드 롤러(363)에 회전 가능하게 결합되는 입인 가이드 레버(367b)를 포함할 수 있다. 인입 가이드 롤러(367a) 역시, 무동력 자유 회전롤러이다.The article lead-in guide module 367 includes a lead-in guide roller 367a disposed adjacent to the guide rail 361, one end is pivotally supported at a position higher than the lead-in guide roller 363, and the other end thereof is a lead-in guide roller 363. ) May include a mouth guide lever (367b) rotatably coupled to. The lead-in guide roller 367a is also a non-powered free rotation roller.
이러한 인입 가이드 롤러(367a)의 높낮이를 조절하기 위해 물품 인입 가이드 모듈(367)에는 인입 가이드 롤러 높낮이 조절부(367c)가 더 갖춰진다. 실린더 등으로 적용될 수 있는 인입 가이드 롤러 높낮이 조절부(367c)는 인입 가이드 롤러(367a)와 연결되며, 인입 가이드 롤러(367a)의 높낮이를 조절하는 역할을 한다.In order to adjust the height of the lead-in guide roller 367a, the item lead-in guide module 367 is further provided with a lead-in guide roller height adjustment unit 367c. The lead-in guide roller height adjustment unit 367c, which can be applied as a cylinder, is connected to the lead-in guide roller 367a, and serves to adjust the height of the lead-in guide roller 367a.
한편, 도 1, 도 7 내지 도 13을 참조하면, 본 실시예에 적용되는 스트립 매거진 이송 대차(700)는 스토커 캐비닛(100)의 상부 영역에 길게 배치되는 레일(800)을 주행하면서 스토커 캐비닛(100) 내의 매거진을 스토커 캐비닛(100)에 이웃된 공정 장비, 예컨대 본더(40)로 이송시키거나 본더(40)에서 본딩 공정이 완료된 스트립이 담긴 매거진을 스토커 캐비닛(100)으로 이송시키는 역할을 한다. 물론, 본더(40) 외의 다른 공정 장비가 적용될 경우, 그 장비로 혹은 그 장비로부터 스트립이 담긴 매거진을 옮기는 역할을 한다.On the other hand, referring to FIGS. 1, 7 to 13, the strip magazine transfer cart 700 applied to the present embodiment is a stocker cabinet while driving a rail 800 that is elongated in the upper area of the stocker cabinet 100. 100) serves to transfer the magazine in the stocker cabinet 100 to the process equipment adjacent to the stocker cabinet 100, for example, to the bonder 40, or transfer the magazine containing the strips having the bonding process completed in the bonder 40 to the stocker cabinet 100. . Of course, when other process equipment other than the bonder 40 is applied, it serves to transfer the magazine containing the strip to or from the equipment.
도면에는 레일(800)이 직선형으로 도시되었지만 레일(800)은 직선형을 비롯하여 곡선형 등 다양할 수 있다. 즉 반도체를 생산하는 클린룸의 공정 천장 구조에 맞게 다양하게 설계될 수 있다. 따라서, 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.In the drawings, the rail 800 is shown as a straight line, but the rail 800 may be in various types, such as a straight line or a curved line. That is, it can be designed in various ways to suit the process ceiling structure of a clean room that produces semiconductors. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the shape of the drawing.
스트립 매거진 이송 대차(700)의 설명에 앞서 스트립 매거진(10)의 구조에 대해 알아본다. 스트립 매거진(10)은 도 8에 도시된 것처럼 복수의 스트립(미도시)이 저장되는 박스(box)형 구조물을 갖는다.Prior to the description of the strip magazine transfer cart 700, the structure of the strip magazine 10 will be described. The strip magazine 10 has a box-shaped structure in which a plurality of strips (not shown) are stored, as shown in FIG. 8.
이러한 스트립 매거진(10)은 매거진 바디(11)와, 매거진 바디(11)의 내벽에 형성되는 복수의 슬롯(12)을 포함한다. 스트립이 얇은 시트 형상이라서 슬롯(12)에 끼워져 보관될 수 있다.The strip magazine 10 includes a magazine body 11 and a plurality of slots 12 formed in the inner wall of the magazine body 11. Since the strip is in the shape of a thin sheet, it can be inserted into the slot 12 and stored.
이때, 매거진 바디(11)의 양측은 개방됨으로써 스트립의 출입이 용이해질 수 있게끔 한다. 매거진 바디(11)에는 복수의 통공(13)이 형성된다. 통공(13)은 무게 감소 또는 환기 작용을 위해 형성된다.At this time, both sides of the magazine body 11 are opened so that the strip can be easily accessed. A plurality of through holes 13 are formed in the magazine body 11. The through hole 13 is formed for weight reduction or ventilation.
매거진 바디(11)의 상부에는 그립핑 터널(14)이 형성된다. 그립핑 터널(14)은 스트립 매거진 이송 대차(700)에 적용되는 매거진 그립핑 유닛(720)이 그립핑하는 부분으로 활용된다. 스트립 매거진(10)의 사이즈가 다르더라도 그립핑 터널(14)의 구조는 모두 동일할 수 있다.A gripping tunnel 14 is formed on the magazine body 11. The gripping tunnel 14 is used as a part to be gripped by the magazine gripping unit 720 applied to the strip magazine transfer cart 700. Even if the strip magazines 10 have different sizes, the structure of the gripping tunnel 14 may be the same.
한편, 도 8가 같은 스트립 매거진(10) 혹은 이와는 사이즈가 다른 스트립 매거진을 그립핑해서 공정 라인을 이동하는 스트립 매거진 이송 대차(700)는 대차 본체(710)와 매거진 그립핑 유닛(720)을 포함한다.On the other hand, the strip magazine transfer cart 700 that moves the process line by gripping the strip magazine 10 or a strip magazine having a different size as shown in FIG. 8 includes a cart body 710 and a magazine gripping unit 720 do.
대차 본체(710)는 스트립 매거진 이송 대차(700)의 외관 구조를 이룬다. 대차 본체(710)에는 레일(800) 상에서 주행하는 복수의 주행 휠(711)이 마련된다. 물론, 이 외에도 주행 휠(711)을 구동하기 위한 수단들이 대차 본체(710)에 위치별로 탑재될 수 있는데, 이에 대해서는 생략했다.The bogie main body 710 forms the exterior structure of the strip magazine transfer bogie 700. The bogie body 710 is provided with a plurality of driving wheels 711 running on the rail 800. Of course, in addition to this, means for driving the driving wheel 711 may be mounted on the bogie body 710 for each position, but this is omitted.
매거진 그립핑 유닛(720)은 대차 본체(710)에 이동 가능하게 마련되어 스트립 매거진(10)을 그립핑하는 역할을 한다.The magazine gripping unit 720 is provided to be movable on the bogie body 710 and serves to grip the strip magazine 10.
이러한 매거진 그립핑 유닛(720)은 스트립 매거진(10)에 마련되는 그립핑 터널(14)에 접근 또는 이격되면서 스트립 매거진(10)을 그립핑하는 이동식 그립퍼(730)와, 이동식 그립퍼(730)와 연결되고, 이동식 그립퍼(730)를 구동시키는 그립퍼 구동부(740)를 포함한다.The magazine gripping unit 720 is a movable gripper 730 for gripping the strip magazine 10 while approaching or spaced apart from the gripping tunnel 14 provided in the strip magazine 10, a movable gripper 730, and It is connected and includes a gripper driving unit 740 that drives the movable gripper 730.
이동식 그립퍼(730)는 스트립 매거진(10)의 그립핑 터널부(14)를 사이에 두고 그 양측에 대칭되게 마련되며, 그립퍼 구동부(740)에 의해 복수의 이동식 그립퍼(730)가 동시에 동작한다. 즉 도 11 내지 도 13처럼 그립핑 터널부(14)의 양측에서 복수의 이동식 그립퍼(730)가 동시에 동작하면서 스트립 매거진(10)의 그립핑한다. 따라서 안정적인 그립핑 동작을 끌어낼 수 있다.The movable gripper 730 is provided symmetrically on both sides of the strip magazine 10 with the gripping tunnel portion 14 interposed therebetween, and a plurality of movable grippers 730 are simultaneously operated by the gripper driving unit 740. That is, as shown in FIGS. 11 to 13, a plurality of movable grippers 730 simultaneously operate on both sides of the gripping tunnel 14 to grip the strip magazine 10. Therefore, it is possible to bring out a stable gripping motion.
그립퍼 구동부(740)는 이동식 그립퍼(730)를 구동시키는 수단이다. 그립퍼 구동부(740)에 대해 자세히 도시하지는 않았으나 그립퍼 구동부(740)는 모터, 볼스크루, 볼너트 등의 조합으로 구현될 수 있다.The gripper driving unit 740 is a means for driving the movable gripper 730. Although not shown in detail for the gripper driving unit 740, the gripper driving unit 740 may be implemented by a combination of a motor, a ball screw, and a ball nut.
앞서도 기술한 바와 같이, 매거진 바디(11)의 양측은 개방된다. 따라서 스트립의 출입이 쉬워질 수 있다. 다만, 매거진 바디(11)의 양측이 개방되어 있어서 스트립 매거진 이송 대차(700)의 이동 시 슬롯(12)에 거치된 스트립이 임의로 빠질 수 있다. 이를 방지하기 위해 매거진 그립핑 유닛(720)에 차폐용 가드(750)가 적용된다.As previously described, both sides of the magazine body 11 are open. Thus, the strip can be easily in and out. However, since both sides of the magazine body 11 are open, the strip mounted on the slot 12 may be arbitrarily removed when the strip magazine transfer cart 700 is moved. In order to prevent this, a shielding guard 750 is applied to the magazine gripping unit 720.
차폐용 가드(750)는 이동식 그립퍼(730)와 연결되되 이동식 그립퍼(730)와 함께 동작하면서 스트립 매거진(10)의 개구 일측을 선택적으로 차폐하는 역할을 한다. 차폐용 가드(750)는 봉 타입의 부재로 적용될 있다. 물론, 차폐용 가드(750)가 반드시 봉 타입이어야 하는 것은 아니다.The shielding guard 750 is connected to the movable gripper 730 and operates together with the movable gripper 730 to selectively shield one side of the opening of the strip magazine 10. The shielding guard 750 may be applied as a rod-type member. Of course, the shielding guard 750 is not necessarily a rod type.
이동식 그립퍼(730)와 차폐용 가드(750) 사이에는 이동식 그립퍼(730)와 차폐용 가드(750)를 연결하는 연결부(751)가 마련된다.A connection part 751 for connecting the movable gripper 730 and the shielding guard 750 is provided between the movable gripper 730 and the shielding guard 750.
그리고, 이 연결부(751)에 가드 업/다운 구동부(753)가 마련된다. 가드 업/다운 구동부(753)는 연결부(751) 상에서 차폐용 가드(750)를 독립적으로 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 가드 업/다운 구동부(753)는 소형 모터로 적용될 수 있다.Then, a guard up/down driving unit 753 is provided in this connecting portion 751. The guard up/down driving unit 753 serves to independently drive the shielding guard 750 on the connection unit 751 up/down. The guard up/down driving unit 753 can be applied as a small motor.
이처럼 가드 업/다운 구동부(753)에 의해 차폐용 가드(750)가 업/다운(up/down) 구동될 수 있어서 스트립 매거진(10)의 사이즈, 특히 높이가 다르더라도 공용으로 사용할 수 있다.In this way, the shielding guard 750 can be driven up/down by the guard up/down driving unit 753, so that even if the size of the strip magazine 10, especially the height, is different, it can be used for common use.
한편, 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 대차(700)의 대차 본체(710)에는 추락 방지용 유닛(760)이 더 갖춰진다.Meanwhile, a fall prevention unit 760 is further provided on the bogie body 710 of the strip magazine transfer bogie 700 according to the present embodiment.
추락 방지용 유닛(760)은 대차 본체(710)에 마련되며, 매거진 그립핑 유닛(720)에 의해 그립핑된 스트립 매거진(10)의 하부를 지지하여 스트립 매거진(10)의 추락을 방지시키는 역할을 한다.The fall prevention unit 760 is provided on the bogie main body 710 and supports the lower portion of the strip magazine 10 gripped by the magazine gripping unit 720 to prevent the strip magazine 10 from falling. do.
이러한 추락 방지용 유닛(760)은 스트립 매거진(10)의 하단부에 접하는 추락 방지부(770)와, 추락 방지부(770)와 연결되고 추락 방지부(770)를 스트립 매거진(10)에 접근 또는 이격 구동시키는 유닛 구동부(780)를 포함한다. 유닛 구동부(780)는 실린더 등의 장치로 적용될 수 있다.This fall prevention unit 760 is connected to the fall prevention unit 770 in contact with the lower end of the strip magazine 10, the fall prevention unit 770, and the fall prevention unit 770 is approached or separated from the strip magazine 10 It includes a unit driving unit 780 for driving. The unit driving unit 780 can be applied to a device such as a cylinder.
추락 방지부(770)는 실질적으로 스트립 매거진(10)의 하단부에 접하여 스트립 매거진(10)을 떠받치는 역할을 한다.The fall prevention part 770 substantially contacts the lower end of the strip magazine 10 and serves to support the strip magazine 10.
따라서, 추락 방지부(770)에는 실질적으로 스트립 매거진(10)의 하단부를 지지하는 지지벽부(771)가 마련된다. 이때, 지지벽부(771)는 높이별로 위치가 다르게 복수 개로 적용된다. 이처럼 복수 개의 지지벽부(771)가 추락 방지부(770)에 적용됨으로써 스트립 매거진(10)의 사이즈, 특히 높이가 다르더라도 공용으로 사용할 수 있는 이점이 있다.Accordingly, the fall prevention part 770 is provided with a support wall part 771 that substantially supports the lower end of the strip magazine 10. In this case, a plurality of support wall portions 771 are applied in different positions for each height. As such, the plurality of support wall portions 771 are applied to the fall prevention portion 770, so that even if the size of the strip magazine 10, particularly, the height is different, there is an advantage that it can be used for common use.
지지벽부(771)의 선단부에 경사면(772)이 형성됨으로써 지지벽부(771)가 스트립 매거진(10)의 하단부로 잘 진입될 수 있도록 한다. The inclined surface 772 is formed at the front end of the support wall 771 so that the support wall 771 can easily enter the lower end of the strip magazine 10.
이하, 도 1을 참조해서 본 실시예에 따른 스트립 매거진 이송 시스템의 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation of the strip magazine transfer system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 1.
이하의 설명에서는 스트립 매거진 이송 시스템의 공정 라인 상에는 복수의 본더(40, bonder)가 마련되는 것으로 설명한다. 하지만, 본더(40)가 반드시 적용되어야 하는 것은 아니다.In the following description, it will be described that a plurality of bonders 40 are provided on the process line of the strip magazine transfer system. However, the bonder 40 is not necessarily applied.
매거진 핸들링 로봇(30)이 복수의 반도체 스트립이 들어 있는 스트립 매거진(10)을 매거진 이송부(400)로 공급한다. 매거진 핸들링 로봇(30)은 클린룸(clean room)에서 물품을 이송하는 로봇이다.The magazine handling robot 30 supplies a strip magazine 10 containing a plurality of semiconductor strips to the magazine transfer unit 400. The magazine handling robot 30 is a robot that transfers items in a clean room.
그러면 매거진 이송부(400)의 작용으로 스트립 매거진(10)이 매거진 셔틀 장치(500)로 공급된다. 그리고 매거진 셔틀 장치(500)가 스트립 매거진(10)을 매거진 로딩/언로딩 장치(600)에 로딩시킨다.Then, the strip magazine 10 is supplied to the magazine shuttle device 500 by the action of the magazine transfer unit 400. And the magazine shuttle device 500 loads the strip magazine 10 into the magazine loading/unloading device 600.
매거진 로딩/언로딩 장치(600)에 로딩된 스트립 매거진(10)은 스토커 캐비닛(100) 내에 마련되는 랙 마스터(200)의 작용으로 스토커 캐비닛(100) 상의 선반(110)에 위치별로 보관된다. 이때, 스트립 전달 장치(300)를 거쳐 스트립 매거진(10) 내의 스트립 개수가 조율될 수 있다.The strip magazine 10 loaded in the magazine loading/unloading device 600 is stored in each position on the shelf 110 on the stocker cabinet 100 by the action of the rack master 200 provided in the stocker cabinet 100. In this case, the number of strips in the strip magazine 10 may be adjusted through the strip delivery device 300.
이어, 스트립 매거진 이송 대차(700)가 선반(110)의 스트립 매거진(10)을 복수의 본더(40)로 옮겨 본더(40)에서 스트립에 대한 본딩 공정이 진행되도록 한다. 이때는, 앞서 기술한 것처럼 스트립이 스트립 매거진(10)에 수납된 상태에서 스트립 매거진(10)을 이송하게 되는데, 스트립 매거진(10)의 구조가 다르더라도 스트립 매거진(10)을 쉽고 효율적으로 파지할 수 있어서 스트립 매거진(10)의 이송에 아무런 문제가 없다. 특히, 종전처럼 스트립 매거진 이송 대차(700)를 교체하거나 일부 수정하지 않더라도 스트립 매거진(10)을 원하는 위치로 이송할 수 있으므로 효율이 높아질 수 있다.Subsequently, the strip magazine transfer cart 700 moves the strip magazine 10 of the shelf 110 to the plurality of bonders 40 so that the bonding process for the strips proceeds in the bonder 40. In this case, as described above, the strip magazine 10 is transferred while the strip is accommodated in the strip magazine 10. Even though the structure of the strip magazine 10 is different, the strip magazine 10 can be easily and efficiently held. There is no problem with the transfer of the strip magazine 10. In particular, even if the strip magazine transfer cart 700 is not replaced or partially modified as in the past, the strip magazine 10 can be transferred to a desired position, thereby increasing efficiency.
본딩 공정이 완료된 스트립이 담긴 스트립 매거진(10)은 스트립 매거진 이송 대차(700)에 의해 스토커 캐비닛(100) 상의 선반(110)에 다시 보관되거나 랙 마스터(200)의 작용으로 매거진 로딩/언로딩 장치(600) 및 매거진 셔틀 장치(500)를 통해 매거진 이송부(400)로 취출될 수 있다. 물론, 이러한 공정이 완료된 스트립을 취출할 때도 스트립 전달 장치(300)를 거쳐 스트립 매거진(10) 내의 스트립 개수가 조율될 수 있다. 즉 스트립이 스트립 매거진(10) 내에 꽉 찬 상태로 취출되어야만 하는 것이 아니므로 스트립 전달 장치(300)를 거쳐 스트립 매거진(10) 내의 스트립 개수가 예켠대, 8장 혹은 10장 등으로 미리 조율될 수 있다.The strip magazine 10 containing the strips on which the bonding process is completed is stored again on the shelf 110 on the stocker cabinet 100 by the strip magazine transfer cart 700, or the magazine loading/unloading device by the action of the rack master 200 It may be taken out to the magazine transfer unit 400 through 600 and the magazine shuttle device 500. Of course, the number of strips in the strip magazine 10 may be adjusted through the strip transfer device 300 even when the strips on which these processes have been completed are taken out. That is, since the strip does not have to be taken out in a state that is filled in the strip magazine 10, the number of strips in the strip magazine 10 through the strip transfer device 300 can be adjusted in advance, such as 8 sheets or 10 sheets. have.
이상 설명한 바와 같은 구조를 기반으로 작용을 하는 본 실시예에 따르면, 여러 종류의 스트립 매거진(10)에 모두 대응할 수 있어서 종래처럼 스트립의 이송작업 중단에 따른 생산 로스(loss) 발생을 현저하게 감소시킬 수 있게 된다.According to the present embodiment, which acts based on the structure as described above, it is possible to respond to all kinds of strip magazines 10, so that production loss due to interruption of the transfer operation of the strip can be remarkably reduced. You will be able to.
이처럼 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예는 본 발명의 청구범위에 속한다고 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is apparent to those of ordinary skill in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, it should be said that such modifications or variations belong to the claims of the present invention.
10 : 스트립 매거진 11 : 매거진 바디
12 : 슬롯 13 : 통공
14 : 그립핑 터널 30 : 매거진 핸들링 로봇
40 : 본더 100 : 스토커 캐비닛
200 : 랙 마스터 300 : 스트립 전달 장치
400 : 매거진 이송부 500 : 매거진 셔틀 장치
600 : 매거진 로딩/언로딩 장치 700 : 스트립 매거진 이송 대차
710 : 대차 본체 711 : 주행 휠
720 : 매거진 그립핑 유닛 730 : 이동식 그립퍼
740 : 그립퍼 구동부 750 : 차폐용 가드
751 : 연결부 753 : 가드 업/다운 구동부
760 : 추락 방지용 유닛 770 : 추락 방지부
771 : 지지벽부 772 : 경사면
780 : 유닛 구동부 800 : 레일
10: strip magazine 11: magazine body
12: slot 13: through hole
14: gripping tunnel 30: magazine handling robot
40: bonder 100: stocker cabinet
200: rack master 300: strip delivery device
400: magazine transfer unit 500: magazine shuttle device
600: magazine loading/unloading device 700: strip magazine transfer cart
710: bogie body 711: traveling wheel
720: magazine gripping unit 730: movable gripper
740: gripper driving unit 750: shielding guard
751: connection part 753: guard up/down driving part
760: fall prevention unit 770: fall prevention unit
771: support wall 772: slope
780: unit drive unit 800: rail

Claims (19)

  1. 삭제delete
  2. 삭제delete
  3. 삭제delete
  4. 삭제delete
  5. 삭제delete
  6. 삭제delete
  7. 삭제delete
  8. 삭제delete
  9. 삭제delete
  10. 삭제delete
  11. 레일;
    상기 레일 상을 주행하면서 스트립 매거진(strip magazine)을 이송하는 스트립 매거진 이송 대차;
    상기 스트립 매거진이 개별적으로 적재되면서 보관되는 복수의 선반을 구비하는 스토커 캐비닛;
    상기 스토커 캐비닛의 일측에 배치되며, 상기 스트립 매거진이 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)되는 장소를 형성하는 매거진 로딩/언로딩 장치;
    상기 스토커 캐비닛 내에서 이동할 수 있게 배치되며, 상기 매거진 로딩/언로딩 장치 상의 스트립 매거진을 상기 선반에 안착시키거나 상기 선반 상의 스트립 매거진을 취출해서 상기 매거진 로딩/언로딩 장치로 이동시키기 위해 상기 매거진을 핸들링(handling)하는 랙 마스터;
    상기 매거진 로딩/언로딩 장치의 일측에 배치되며, 소정의 매거진 핸들링 로봇에 의해 전달되는 스트립 매거진을 이송하는 매거진 이송부;
    상기 매거진 이송부와 상기 매거진 로딩/언로딩 장치 사이에 배치되며, 상기 매거진 이송부와 상기 매거진 로딩/언로딩 장치로 상기 스트립 매거진을 이송시키는 매거진 셔틀 장치; 및
    상기 스토커 캐비닛 내의 일측에 배치되며, 제1 스트립 매거진 내의 물품을 제2 스트립 매거진으로 자동 전달하는 스트립 전달 장치를 포함하며,
    상기 스트립 매거진 이송 대차는,
    상기 레일 상에서 주행하는 복수의 주행 휠을 구비하는 대차 본체; 및
    상기 대차 본체에 이동 가능하게 마련되되 스트립 매거진에 마련되는 그립핑 터널에 접근 또는 이격되면서 상기 스트립 매거진을 그립핑하는 이동식 그립퍼를 구비하는 매거진 그립핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
    rail;
    A strip magazine transfer cart for transferring a strip magazine while traveling on the rail;
    A stocker cabinet having a plurality of shelves in which the strip magazines are individually stacked and stored;
    A magazine loading/unloading device disposed on one side of the stocker cabinet and forming a place where the strip magazine is loaded or unloaded;
    It is disposed to be movable in the stocker cabinet, and the magazine is moved to the magazine loading/unloading device by placing the strip magazine on the magazine loading/unloading device on the shelf or taking out the strip magazine on the shelf. A rack master to handle;
    A magazine transfer unit disposed on one side of the magazine loading/unloading device and transferring a strip magazine delivered by a predetermined magazine handling robot;
    A magazine shuttle device disposed between the magazine transfer unit and the magazine loading/unloading device and transferring the strip magazine to the magazine transfer unit and the magazine loading/unloading device; And
    It is disposed on one side of the stocker cabinet, and includes a strip transfer device for automatically transferring the article in the first strip magazine to the second strip magazine,
    The strip magazine transfer cart,
    A bogie main body having a plurality of traveling wheels running on the rail; And
    And a magazine gripping unit provided to be movable on the bogie body and having a movable gripper for gripping the strip magazine while approaching or spaced apart from the gripping tunnel provided in the strip magazine.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 매거진 그립핑 유닛은 상기 이동식 그립퍼와 연결되고, 상기 이동식 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 더 포함하며,
    상기 이동식 그립퍼는 상기 스트립 매거진의 그립핑 터널부를 사이에 두고 그 양측에 대칭되게 마련되며,
    상기 그립퍼 구동부에 의해 복수의 상기 이동식 그립퍼가 동시에 동작하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
    The method of claim 11,
    The magazine gripping unit further includes a gripper driving unit connected to the movable gripper and driving the movable gripper,
    The movable gripper is provided symmetrically on both sides of the strip magazine with the gripping tunnel portion therebetween,
    A strip magazine transfer system, characterized in that a plurality of the movable grippers operate simultaneously by the gripper driving unit.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 매거진 그립핑 유닛은,
    상기 이동식 그립퍼와 연결되되 상기 이동식 그립퍼와 함께 동작하면서 상기 스트립 매거진의 개구 일측을 선택적으로 차폐하는 차폐용 가드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
    The method of claim 11,
    The magazine gripping unit,
    And a shielding guard connected to the movable gripper and selectively shielding one side of the opening of the strip magazine while operating together with the movable gripper.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 매거진 그립핑 유닛은,
    상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드 사이에 마련되되 상기 이동식 그립퍼와 상기 차폐용 가드를 연결하는 연결부; 및
    상기 연결부에 마련되고, 상기 연결부 상에서 상기 차폐용 가드를 독립적으로 업/다운(up/down) 구동시키는 가드 업/다운 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
    The method of claim 13,
    The magazine gripping unit,
    A connection part provided between the movable gripper and the shielding guard and connecting the movable gripper and the shielding guard; And
    A strip magazine transfer system, further comprising a guard up/down driving unit provided at the connection part and independently driving the shielding guard up/down on the connection part.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 스트립 매거진 이송 대차는,
    상기 대차 본체에 마련되며, 상기 매거진 그립핑 유닛에 의해 그립핑된 상기 스트립 매거진의 하부를 지지하여 상기 스트립 매거진의 추락을 방지시키는 추락 방지용 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
    The method of claim 11,
    The strip magazine transfer cart,
    A strip magazine transfer system, further comprising a fall prevention unit provided on the bogie body and supporting a lower portion of the strip magazine gripped by the magazine gripping unit to prevent the strip magazine from falling.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 추락 방지용 유닛은,
    상기 스트립 매거진의 하단부에 접하는 추락 방지부; 및
    상기 추락 방지부와 연결되고 상기 추락 방지부를 상기 스트립 매거진에 접근 또는 이격 구동시키는 유닛 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
    The method of claim 15,
    The fall prevention unit,
    A fall prevention part in contact with the lower end of the strip magazine; And
    And a unit driving unit connected to the fall prevention unit and driving the fall prevention unit to or away from the strip magazine.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 추락 방지부는 상기 스트립 매거진의 하단부를 지지하되 높이별로 위치가 다른 복수의 지지벽부를 포함하며,
    상기 지지벽부의 선단부에 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 스트립 매거진 이송 시스템.
    The method of claim 16,
    The fall prevention part includes a plurality of support wall parts that support the lower end of the strip magazine but have different positions for each height,
    A strip magazine transfer system, characterized in that an inclined surface is formed at the tip of the support wall.
  18. 삭제delete
  19. 삭제delete
KR1020190056571A 2019-05-14 2019-05-14 Transporting magazine transporting system KR102159553B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190056571A KR102159553B1 (en) 2019-05-14 2019-05-14 Transporting magazine transporting system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190056571A KR102159553B1 (en) 2019-05-14 2019-05-14 Transporting magazine transporting system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102159553B1 true KR102159553B1 (en) 2020-09-24

Family

ID=72706456

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190056571A KR102159553B1 (en) 2019-05-14 2019-05-14 Transporting magazine transporting system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102159553B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080000117A (en) * 2006-06-26 2008-01-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Stocker and transferring method of cassette thereof
JP2011006244A (en) * 2009-06-29 2011-01-13 Muratec Automation Co Ltd Carrying carriage
KR20120003368A (en) * 2010-07-02 2012-01-10 무라텍 오토메이션 가부시키가이샤 Gripper device of overhead transportation vehicle and overhead transportation vehicle
KR20170064756A (en) * 2015-12-02 2017-06-12 세메스 주식회사 Magazine transferring module and die bonding apparatus having the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080000117A (en) * 2006-06-26 2008-01-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Stocker and transferring method of cassette thereof
JP2011006244A (en) * 2009-06-29 2011-01-13 Muratec Automation Co Ltd Carrying carriage
KR20120003368A (en) * 2010-07-02 2012-01-10 무라텍 오토메이션 가부시키가이샤 Gripper device of overhead transportation vehicle and overhead transportation vehicle
KR20170064756A (en) * 2015-12-02 2017-06-12 세메스 주식회사 Magazine transferring module and die bonding apparatus having the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107667061B (en) Method and storage system for storing piece goods in a rack
TWI388479B (en) Warehousing
JP5380785B2 (en) Board processing system
JP5034669B2 (en) Plate material conveying and storing system and plate material conveying and storing method
JP6136775B2 (en) Transport device
US20080265500A1 (en) Work sheet conveying system
JP5461032B2 (en) Sorting device
KR102159553B1 (en) Transporting magazine transporting system
JP2008229634A (en) Apparatus and method for carrying out plate material
JP5402156B2 (en) Traveling vehicle system
JP2006124112A (en) Material shelf device and plate processing system
JP4666216B2 (en) Goods storage equipment
KR102037725B1 (en) System for transporting goods
KR102064193B1 (en) Split and merge apparatus for goods
JP4369301B2 (en) Component supply apparatus and mounting machine having the same
WO2019049557A1 (en) Transport vehicle and transport facility
KR101341425B1 (en) Stocker system
KR101297380B1 (en) Stocker
JP3581870B2 (en) Article transfer equipment
JP6848676B2 (en) Picking system
JP2007246259A (en) Method of delivering cassette in stacker crane
JP6025343B2 (en) Method for picking workpieces in a shelf device and the shelf device
JP4411537B2 (en) Collecting equipment
KR101952749B1 (en) Three part detachable type adhesive applyng apparatus having two row rail structure
TW202039337A (en) Transfer apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant