JP4090548B2 - Work alignment apparatus, work alignment stacking method, and work alignment stacking apparatus - Google Patents

Work alignment apparatus, work alignment stacking method, and work alignment stacking apparatus Download PDF

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、整列して排出されてきた部品（ワーク）を所定数量に分離して板状治具に整列配置するワーク整列装置並びにこのワークが整列配置された板状治具を段積み用支柱（スペーサ）にて段積みするワーク整列段積み方法及びワーク整列段積み装置に係わり、特に、ワークを板状治具上に隙間無く効率的に密着整列するとともに、当該ワークの密着整列動作及び段積み動作を、能率良く高品質を維持した状態で自動的且つ無人で行うことを可能にしたワーク整列装置、ワーク整列段積み方法及びワーク整列段積み装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
円柱形状等のワークに対して金属材料の塗布加工やメタライズ加工等の各種加工を連続して行って所望の装置に適用される加工部品を製造する際においては、例えば、ある加工が終了した後の複数のワークを板状治具に整列配置し、その板状治具をスペーサを介して段積みして搬送部（ボート）に収納する。そして、この複数の板状治具が段積みされたボートを次の加工工程やストッカー等に搬送するワーク整列段積みシステムが用いられている場合がある。
【０００３】
上述したワーク整列段積みシステムにおいて、従来では、人手によりワークとスペーサとを板状治具上に整列配置してその板状治具を段積みするか、あるいは、図１５に示すように、予めスペーサＳ1 が固定された板状治具２５０上に人手によりワークを整列配置して当該板状治具を段積みし、段積みされた板状治具をボートに収納していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の人手によるワーク整列・段積み動作は単純作業であるため、このような単純作業を人手を用いて行うことは、加工部品製造コストを上昇させて非能率的であり、ワーク整列・段積み動作の機械化（自動化、ライン化）が強く要望されていた。
【０００５】
特に、図１５に示したワーク整列・段積み方法では、スペーサが板状治具に固定されているため板状治具が専用化され、部品の種類毎に別の板状治具を用意する必要があり、効率が悪かった。また、スペーサが板状治具に固定されているため、板状治具のみ（ワークを積載しない状態）を段積みしてストッカー等に収納する場合にスペーサ分だけストッカー内の占有スペースが増大し、収納効率が悪化した。さらに、ワークを板状治具上に載置する際に固定されたスペーサとワークとが位置的に干渉する恐れがあり、この位置的干渉が発生した場合には、治具上にワークが載置されない空間が発生してその治具に対するワーク積載量を低下させ、部品製造効率を悪化させていた。
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、ワーク整列動作及びワーク段積み動作を、能率良く高品質を維持した状態で自動的且つ無人で行うことにより、加工部品製造コストを著しく低減させることをその目的とする。
【０００７】
また、本発明は、上述した自動的且つ無人によるワーク整列動作においても、当該ワークを板状治具上に隙間無く効率的に密着整列することを他の目的とする。
【０００８】
さらに本発明は、上述した自動的且つ無人によるワーク整列・段積み動作を、スペーサを板状治具上に固定することなく行うことにより、板状治具自体の汎用性及び収納効率を向上させることを他の目的とする
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明のワーク整列装置によれば、請求項１に記載したように、セラミックス部品から成るワークを複数積載した板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部，及びこのテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環して移動させる移動部を備えたテーブル手段と、前記板状治具を複数枚ストックするストック手段と、このストック手段から所定のタイミングに応じて前記板状治具を１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を前記テーブル手段により循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給手段と、多数のワークを複数列に整列して順次搬送するワーク整列搬送部，順次搬送されてきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離するワーク分離部，及びこのワーク分離部により複数個のワークが分離される毎に駆動して当該複数個のワークを保持して搬送するとともに、当該搬送してきた複数個のワークを前記テーブル手段により前記板状治具供給手段を介して送られてくる板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置するワーク密着整列部を備え、当該ワーク分離部及びワーク密着整列部の動作により送られてきた板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給手段と、前記テーブル手段、前記板状治具供給手段、及び前記ワーク供給手段をそれぞれ統轄して制御する統轄制御手段とを備えている。
【００１０】
また、上述した目的を達成するために、本発明におけるワーク整列段積み装置によれば、請求項２に記載したように、セラミックス部品から成るワークを複数積載したワーク積載用の板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部，及びこのテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環移動させる移動部を備えたテーブル手段と、前記板状治具を複数枚ストックするストック手段と、このストック手段から所定のタイミングに応じて前記板状治具を１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を前記テーブル手段により循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給手段と、多数のワークを複数列に整列して順次搬送するワーク整列搬送部，順次搬送してきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離するワーク分離部，及びこのワーク分離部により複数個のワークが分離される毎に駆動して当該複数個のワークを保持して搬送するとともに、当該搬送してきた複数個のワークを前記テーブル手段により前記板状治具供給手段を介して送られてきた板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置するワーク密着整列部を備え、当該ワーク分離部及びワーク密着整列部の動作により送られてくる板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給手段と、予めストックされた複数のスペーサを１列に整列して順次搬送するスペーサ整列搬送部，順次搬送してきたスペーサにおける先頭のスペーサを所定タイミングに応じて順次分離するスペーサ分離部，及びこの分離部によりスペーサが分離される毎に駆動して当該分離されたスペーサを保持して搬送し、この搬送してきたスペーサを前記テーブル手段により送られてきた前記ワークが供給された板状治具上の所定位置に供給するスペーサ搬送供給部を備え、当該スペーサ分離部及びスペーサ搬送供給部の動作により各板状治具毎に所定数のスペーサを供給するスペーサ供給手段と、前記テーブル手段により順次送られてきた前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を順次前記載置部から分離して所定位置まで搬送して当該所定位置に段積みする板状治具段積み手段と、前記テーブル手段、前記板状治具供給手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段をそれぞれ統轄して制御する統轄制御手段とを備えている。
【００１１】
特に、前記テーブル部は略円形で且つ前記複数の載置部は４個であり、この４個の載置部は当該略円形のテーブル部上面にその中心に対して対称的に設置されているとともに、前記ストック手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段は、前記テーブル部の周囲に配設されている一方、前記移動部は前記略円形のテーブル部を前記各載置部が前記ストック手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段に略対向する位置に到達するように間欠状に回転させるようにしている。
【００１２】
また特に、前記ワーク分離部は、前記ワーク整列搬送部により搬送されてきた複数列のワークにおける各列の先頭に位置する複数個のワークのみを１列に並べて保持する保持機構と、この保持機構を上昇させて当該複数個のワークを他のワークから分離する上昇分離機構とを有するとともに、前記ワーク密着整列部は、前記上昇分離機構により上昇分離されたワークの数に対応した複数の吸着機構と、この複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチを前記ワークの列方向に沿って移動可能に支持する第１の移動支持機構と、前記吸着機構及び移動支持機構を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する第２の移動支持機構とを有しており、前記第２の移動支持機構を介して前記複数の吸着機構を移動させて前記複数個のワークをそれぞれ吸着して保持し、当該第２の移動支持機構を介して前記第１の移動支持機構及び前記複数個のワークが保持された前記複数の吸着機構を一体に移動させるとともに、当該第１の移動支持機構を介して前記複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチを最小限度にした状態で当該吸着機構に保持された複数個のワークを前記板状治具上に整列配置するようにしている。
【００１３】
さらに、上述した目的を達成するために、本発明のワーク整列段積み方法によれば、請求項８に記載したように、セラミックス部品から成るワークを複数積載したワーク積載用の板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、かつ、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環移動させるステップと、前記板状治具を複数枚ストックしておくステップと、このストックされた板状治具を所定のタイミングに応じて１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給ステップと、多数のワークを複数列に整列して順次搬送し、搬送してきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次分離し、その分離された複数個のワークを保持して搬送し、その搬送してきた複数個のワークを前記テーブル部循環移動ステップにより前記板状治具供給ステップを介して送られてくる板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置することにより、送られてくる板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給ステップと、予めストックされた複数のスペーサを１列に整列して順次搬送し、順次搬送してきたスペーサにおける先頭のスペーサを所定タイミングに応じて順次分離し、分離されたスペーサを保持して搬送し、搬送してきたスペーサを前記テーブル部循環移動ステップにより送られた前記ワークが供給された板状治具上の所定位置に供給することにより、各板状治具毎に所定数のスペーサを供給するスペーサ供給ステップと、前記テーブル手段により順次送られてきた前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を順次前記載置部から分離して所定位置まで搬送して当該所定位置に段積みする板状治具段積みステップとを備えている。
【００１４】
本発明によれば、統括制御手段の制御に基づいてテーブル手段の移動部により循環移動してストック供給手段に対向する位置にきた複数の載置部上に、統括制御手段の制御に応じた板状治具供給手段の動作によりストック手段にストックされた複数枚の板状治具が１枚ずつ取り出されて載置される。
【００１５】
一方、ワーク整列搬送部により複数列に整列して搬送されてきたワークは、統括制御手段の制御に基づくワーク分離部の動作により各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離され、この分離された複数個のワークは、統括制御手段の制御に基づくワーク搬送部の動作により保持されて搬送される。
【００１６】
すなわち、ワーク整列搬送部により搬送されてきた複数列のワークにおける各列の先頭に位置する複数個のワークは、保持機構により１列に並べられた状態で保持され、上昇分離機構により保持機構が上昇して複数個のワークが他のワークから分離される。
【００１７】
そして、上昇分離機構により上昇分離されたワークは、第２の移動支持機構を介して複数の吸着機構が移動してその複数個のワークがそれぞれ吸着して保持され、この複数個のワークが保持された複数の吸着機構は、第２の移動支持機構を介して第１の移動支持機構と一体に移動する。
【００１８】
このとき、第１の移動支持機構により、複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチが最小限度にされた状態、すなわち、当該複数の吸着機構に吸着された各ワークが密着した状態でテーブル手段の移動部により循環移動してワーク供給手段に対向する位置に到達した載置部に載置された板状治具上に整列供給される。そして、このワーク分離部及びワーク搬送部の動作により、順次移動してきた板状治具上に対して所定数のワークが密着状態で整列供給される。
【００１９】
また、スペーサ整列搬送部により整列して搬送されてきたスペーサは、統括制御手段の制御に基づくスペーサ分離部の動作により先頭に位置するスペーサ毎に順次前記スペーサ整列搬送部から分離され、この分離されたスペーサは、統括制御手段の制御に基づくスペーサ搬送部の動作により保持されて搬送される。
【００２０】
スペーサ搬送部により搬送されたスペーサは、テーブル手段の移動部により循環移動してスペーサ供給手段に対向する位置に到達したワークが供給された板状治具上に供給され、このスペーサ分離部及びスペーサ搬送部の動作により順次移動してきた板状治具に対して所定数のスペーサが供給される。
【００２１】
そして、テーブル手段により順次送られてきたワーク及びスペーサが供給された板状治具は、統括制御手段により順次載置部から分離されて所定位置まで搬送され、その所定位置に段積みされる。
【００２２】
すなわち、本発明によれば、統括制御手段の統括制御に基づく各動作手段（テーブル手段、板状治具供給手段、ワーク供給手段、スペーサ供給手段及び板状治具段積み手段）の連続した動作により、密着状態で整列配置された所定数ワークを有し、且つ所定段に段積みされた板状治具が得られる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して説明する。なお、本実施形態では、例えばマグネトロンに用いられる例えば直径２０mmの円筒形のセラミックス部品（ワーク）を製造する場合のマグネトロン用セラミックス部品製造ラインに用いられるワーク整列段積み装置（さや詰め装置ともいう）について説明する。
【００２４】
図１は、本実施形態におけるマグネトロン用セラミックス部品製造ラインの概略構成を示す斜視図である。図１によれば、マグネトロン用セラミックス部品製造ライン１は、セラミックス部品（ワーク）をワーク搬送コンベア２及びボート搬送コンベア３を介して搬送しながら所定の加工処理を当該ワークに施してマグネトロン用に加工されたワークを製造するラインである。
【００２５】
すなわち、マグネトロン用製造ライン１は、ストッカー等からワーク搬送コンベア２を介して搬送されてきたワークに対して、耐食性があり相当な高温に絶え得るモリブデン（Ｍo ）を塗布するＭo 塗布装置４と、このＭo 塗布装置４により塗布されたＭo を乾燥するＭo 乾燥装置５と、Ｍo 乾燥装置５におけるＭo 乾燥工程が終了してワーク搬送コンベア２を介して複数個ずつ搬送されてくるワークをＭo 等の金属材料で形成された例えば長方形状の板状治具（Ｍo 板）に整列配置し、そのＭo 板を所定数段積みしてＭo で形成された搬送ボート（Ｍo ボート）に収納するワーク整列段積み装置６と、このワーク整列段積み装置６の整列段積み処理後、ボート搬送コンベア３を介して搬送されてきたＭo ボートにおける各ワークに対してメタライジング加工を施すメタライズ炉７と、このメタライズ炉７によるメタライジング加工後、ボート搬送コンベア３を介して搬送されてきたＭo ボートにおける各ワークに対してピン掛け加工を施して最終的にマグネトロン用ワークを製造するピン掛け装置８とを備えており、このＭo 塗布加工からピン掛け加工までの一連の加工を連続して行う製造ラインとなっている。
【００２６】
ここで、ワーク整列段積み装置６について、その構成及び動作を図２〜図１３を用いて詳細に説明する。
【００２７】
図２は、ワーク整列段積み装置６の概略構成を拡大して示す斜視図である。ワーク整列段積み装置６は、Ｍo 乾燥装置５の乾燥工程が終了してワーク搬送コンベア２を介して複数個（例えば１０個）ずつ順次搬送されてくるワークを取り出してＭo 板に所定数ずつ整列させる。そして、ワークが整列されたＭo 板にスペーサを配置し、ワーク及びスペーサが配置されたＭo 板を複数段（例えば５段）分段積みしてボート搬送コンベア３上のＭo ボートに収納するようになっており、上述したワーク取り出し・整列動作及びＭo 板段積み動作からＭo ボートへの収納動作までの一連の動作を自動的且つ無人で行うように構成されている。
【００２８】
すなわち、ワーク整列段積み装置６は、図２に示すように、ベース板１０ａを有する基台部１０と、ベース板１０ａの上面の略中央部に設置され、Ｍo 板及びワークを後述する各動作部へ順次送るＭo 板送り部１１，このＭo 板送り部１１の周囲に配設された各動作部、すなわちＭo 板をＭo 板送り部１１に供給するＭo 板供給部１２，Ｍo 板送り部１１により運搬されてきたＭo 板に対してワークを整列供給するワーク供給部１３，Ｍo 板送り部１１により運搬されてきたワークを有するＭo 板に対してスペーサを供給するスペーサ供給部１４，及びＭo 板送り部１１により運搬されてきたワーク及びスペーサを有するＭo 板を５段に段積みしてＭo ボートへ搬送及び収納するＭo 板段積み搬送部１５を備えたワーク整列段積みユニット１６と、基台部１０の内部に収納され、ワーク整列段積みユニット１６の各構成要素をそれぞれ制御する制御ユニット１７とを有している。なお、基台部１０の内部には、制御ユニット１７とワーク整列段積みユニット１６の各構成要素（１１〜１５）とを接続する配線ダクト等も収納されている。
【００２９】
一方、ワーク整列段積み装置６における操作制御オペレータに面する基台部１０の正面側には、当該オペレータ側から開閉可能なドア部を有するカバー２０が設置されており、ワーク整列段積みユニット１６は、カバー２０に接合された図示しないフロントカバーに収納されている。そして、このフロントカバーの所定位置（例えばオペレータ側から向かって右端部）には、制御ユニット１７に接続されたディスプレイ対話型（操作データ等をディスプレイ上の要素を指定することにより入力可能なタイプ）の図示しない操作部が設置されており、オペレータが操作部を介して操作データを入力することにより、その操作データが制御ユニット１７に送られ、当該制御ユニット１７を介して上述したワーク整列段積み装置６の各構成要素（Ｍo 板送り部１１，Ｍo 板供給部１２，ワーク供給部１３，スペーサ供給部１４，Ｍo 板段積み搬送部１５）がそれぞれ駆動制御されるようになっている。
【００３０】
本実施形態では、Ｍo 板供給部１２はベース板１０ａ上面（以下、ベース面１０ｂともいう）の正面側端部に設置され、ワーク供給部１３は正面側から見てベース面１０ｂの左側面１０ｓ側端部に設置されている。また、スペーサ供給部１４はベース面１０ｂにおけるＭo 板供給部１２の設置端部と対向する端部に設置され、Ｍo 板段積み搬送部１５は正面側から見てベース面１０ｂの右側面１０ｔ側端部に設置されている。
【００３１】
以下、ワーク整列段積みユニット１６の各構成要素についてそれぞれ説明する。
【００３２】
Ｍo 板送り部１２は、図２及び図３に示すように、Ａ５０５２で形成された全体で略円形状を成すロータリーテーブル３０と、このロータリーテーブル３０をベース板１０ａに対して所定の高さで支持し、且つ当該テーブル３０をベース面１０ｂに直交する軸を回転軸として時計回りで且つ所定角度（本実施形態では約９０°）ずつ間欠状に回転させる支持部３１とを有しており、ロータリーテーブル３０の上面に載置されたＭo 板を当該ユニット１６の各構成要素（Ｍo 板供給部１２→ワーク供給部１３→スペーサ供給部１４→Ｍo 板段積み搬送部１５）へ順次運搬するように構成されている。
【００３３】
すなわち、ロータリーテーブル３０には、当該テーブル３０上面（以下、テーブル面ともいう）３０ａにおけるＭo 板供給部１２に近接する周縁部分にＭo 板を載置するためのＭo 板載置部３２ａが設けられている。また、ロータリーテーブル３０には、Ｍo 板載置部３２ａに載置されたＭo 板をＭo 板段積み搬送部１５の動作において当該ロータリーテーブル３０から分離するための矩形状に切り欠かれた切り欠き部３３ａが設けられており、以下、ワーク供給部１３に近接する周縁部分、スペーサ供給部１４に近接する周縁部分、及びＭo 板段積み部１５に近接する周縁部分に、Ｍo 板載置部３２ｂ〜３２ｄと切り欠き部３３ｂ〜３３ｄとがそれぞれ設けられている。
【００３４】
各切り欠き部３３ａ〜３３ｄにおいて互いに隣接する切り欠き部（例えば切り欠き部３３ａ，３３ｂ）は、ロータリーテーブル３０の回転軸に対して互いに約９０°を成すように配設されている。また、各Ｍo 板載置部３２ａ〜３２ｄは、当該切り欠き部３３ａ〜３３ｄを挟むようにロータリーテーブル３０の周縁部分に配設されたペアのＭo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 から構成されており、各Ｍo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 は、Ｍo 板の長手方向の長さに応じて当該Ｍo 板を支持可能に離間している。
【００３５】
各ペアのＭo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 の内、一方のＭo 板支持部３４ｋ1 は固定されており、他方のＭo 板支持部３４ｋ2 は固定されたＭo 板支持部３４ｋ1 を基準として当該固定Ｍo 板支持部３４ｋ1 に対して離間及び近接自在に移動可能になっている。他方のＭo 板支持部３４ｋ2 の移動は、可動ローラ部及びリンク部等を有する移動機構を介して、例えばロータリーシリンダを介した外部からのレバー操作に応じて行なわれるように構成されている。つまり、Ｍo 板は、ロータリーテーブル３０のＭo 支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 に載置対して載置された後で他方のＭo 板支持部３４ｋ2 の移動により位置決めされるようになっている。
【００３６】
一方、支持部３１は、ローラギヤ方式のインデックスユニットが用いられたインデックス機構を有している。すなわち、インデックスユニットには、クラッチ、電磁ブレーキ、例えば１／３１の減速機、及び例えば９０ワットのギヤードタイプのインディックスモータ等が内蔵され、このインディックスモータ等の駆動によりロータリーテーブル３０を所定速度で約９０°で間欠状に回転させている。
【００３７】
したがって、支持部３１のインディックス機構が駆動すると、Ｍo 板供給部１２に対向したＭo 板載置部３２ａは、ロータリーテーブル３０の約９０°の回転により隣接するワーク供給部１３に対向する位置に移動し（以下、このような移動をＭo 板載置部３２ａ→ワーク供給部１３と表す）、同様にワーク供給部１３に対向したＭo 板載置部３２ｂ→スペーサ供給部１４、スペーサ供給部１４に対向したＭo 板載置部３２ｃ→Ｍo 板段積み搬送部１５、Ｍo 板段積み搬送部１５に対向したＭo 板載置部３２ｄ→Ｍo 板供給部１２と移動する。
【００３８】
すなわち、本構成のＭo 板送り部１１は、支持部３１のインディックス機構の駆動に基づくロータリーテーブル３０の回転により、Ｍo 板載置部３２ａ〜３２ｄを…→Ｍo 板供給部１２→ワーク供給部１３→スペーサ供給部１４→Ｍo 板段積み搬送部１５→Ｍo 板供給部１２→…と循環させながら順次搬送するように構成されている（初期状態においては、図３に示す配置関係になっているとする）。なお、ロータリーテーブル３０には、当該ロータリーテーブル３０に対して過負荷が掛けられた場合にそのトルク伝動を制限するための図示しないトルクリミッターが設けられている。
【００３９】
Ｍo 板送り部１１のロータリーテーブル３０の回転速度は、各動作部（Ｍo 板供給部１２、ワーク供給部１３、スペーサ供給部１４、及びＭo 板段積み搬送部１５）の動作速度及び動作時間に応じて予め定められており、各動作部の連続した動作が可能になっている。
【００４０】
Ｍo 板供給部１２は、Ｍo 板をストック可能なストッカー部４０と、このストッカー部４０によりストックされたＭo 板を１枚ずつロータリーテーブル３０のＭo 板供給部１２に近接且つ対向するＭo 板載置部３２ａへ搬送・供給するローダ部４１とを備えている。
【００４１】
ストッカー部４０は、図４に示すように、ベース面１０ｂ上に設置された土台となる土台フレーム部４５及びこの土台フレーム部４５に対して直立状に設けられた側フレーム部４６を有するＬ字形のフレーム４７と、土台フレーム部４５の上面（土台面）４５ａに対してガイドラインが直交するように側フレーム４６に設けられたＬＭガイド４７と、このＬＭガイド４７に隣接し、且つ当該ＬＭガイド４７のガイドラインに沿って配置されたオねじ部４８ａを有する転造ボールねじ（以下、ボールねじと略記する）４８と、このＬＭガイド４７のガイド部分に係合され且つボールねじ４８のメねじ部４８ｂに連結されたフォーク４９とを備えており、このフォーク４９の土台面４５ａに平行なストック面４９ａに例えば１００枚（ワーク整列段積みユニット１６の１．５時間の駆動により処理可能な枚数）のＭo 板Ｍをストックできるようになっている。
【００４２】
一方、土台面４５ａには、転造ボールねじ４８に対して土台面４５ａの長手方向に沿って同一直線上且つ当該転造ボールねじ４８のオねじ部４８ａと平行にペアのシャフト５０、５０が配設されており、そのペアのシャフト５０、５０は、Ｍo 板Ｍの長手方向に応じた長さで離間している。また、フォーク４９のストック面４９ａには、その側フレーム側端部の中央部に、側フレーム４６側のシャフト５０を貫通させるための孔５１が形成されている。なお、この貫通孔５１は、フォーク４９自体の上下運動の妨げにならないようにシャフト５０の直径よりも十分大きい直径を有している。
【００４３】
ところで、図４中に２点鎖線で示すように、Ｍo 板Ｍは、その短手方向側両端面の中央部にそれぞれシャフト５０、５０に係合するための半円部ｍ1 、ｍ2 が設けられており、Ｍo 板Ｍは、シャフト５０、５０を介してガイドされるようになっている。
【００４４】
そして、本構成では、ストック面４９ａに載置されシャフト５０、５０にガイドされたＭo 板Ｍの中心位置が、Ｍo 板供給部１２に対向するＭo 板載置部３２ａの中心位置である切り欠き部３３ａの中心位置及びロータリーテーブル３０の回転軸と同一直線上に位置するように、フレーム４７（フレーム土台部４５）のベース面１０ｂにおける設置位置が定められている。
【００４５】
一方、ストッカー部４０は、ボールねじ４８に例えばプーリー等の巻掛け伝動機構を介して連結され、その回転駆動により巻掛け伝動機構を介してボールねじ４８（オねじ部４８ａ）を回転させてメねじ部４８ｂを上昇及び下降運動させるブレーキ付きモータ５５と、側フレーム部４６の上端部に取り付けられ、モータ５５の駆動に基づくメねじ部４８ｂの上昇運動における最大到達点（上昇端）を検知する上昇端検知センサ５６と、側フレーム部４６の下端部に取り付けられ、モータ５５の駆動に基づくメねじ部４８ｂの下降運動における最大到達点（下降端）を検知する下降端検知センサ５７とを備えており、モータ５５、上昇端検知センサ５６及び下降端検知センサ５７は、図２に示した制御ユニット１７に接続されている。
【００４６】
上昇端検知センサ５６は、モータ５５の駆動及びボールねじ４８の回転駆動に基づくメねじ部４８ｂ及びフォーク４９の上昇及びこの上昇動作と協調して成される後述するローダ部４１のＭo 板搬送供給動作により、フォーク４９にストックされた全てのＭo 板Ｍが供給されてメねじ部４８ｂが上昇端に到達したことを検知し、この検知データを制御ユニット１７に送るようになっている。制御ユニット１７は、送られた検知データに応じてモータ５５を介してボールねじ４８の回転駆動を制御してメねじ部４８ｂ及びフォーク４９を自動的に下降させるようになっている。
【００４７】
そして、下降端検知センサ５７は、メねじ部４８ｂが下降して下降端に到達したことを検知し、この検知データを制御ユニット１７に送るようになっている。制御ユニット１７は、送られた検知データに応じて例えばディスプレイ対話型操作部を介して自動的に警音（オペレータコール）、すなわち、オペレータに対してＭo 板Ｍをフォーク４９に対してストックさせる指令信号を出力するようになっている。
【００４８】
ローダ部４１は、図５に示すように、ベース面１０ｂに対して直立状に設置された角パイプフレーム（以下、単にフレームともいう）６０と、Ｍo 板吸着用のバキュームヘッド部６１と、フレーム６０に取り付けられ、バキュームヘッド部６１を上下方向及び所定の水平方向へ移動自在に支持する支持部６２とを備えており、フレーム６０は、バキュームヘッド部６１の後述するバキュームパッド支持部がストッカー部４０のストック面４９ａの上方且つ互いに対向して位置するようにベース面１０ｂ上に配置されている。
【００４９】
支持部６２は、フレーム６０の上端部に設置され、ストック面４９ａに載置されたＭo 板Ｍの中心位置とＭo 板供給部１２に対向する切り欠き部３３ａの中心位置とを結ぶ直線に平行なガイドラインを有する幅広タイプのＬＭガイド６５と、このＬＭガイド６５に取り付けられ、当該ＬＭガイド６５のガイドラインに沿って水平移動する移動機構を有するロッドレスシリンダ６６とを備えている。
【００５０】
バキュームヘッド部６１は、ロッドレスシリンダ６６の移動機構に取り付けられたエアシリンダ７０と、このエアシリンダ７０に対してストック面４９ａに対向するように取り付けられ、当該エアシリンダ７０の駆動により上下動するバキュームパッド支持部７１と、バキュームパッド支持部７１に垂下状に取り付けられ、Ｍo 板Ｍを吸着可能な２本のバキュームパッド７２、７２とを備えている。
【００５１】
すなわち、ローダ部４１は、図６に示すように、制御ユニット１７の制御に応じたエアシリンダ７０の下方移動によりバキュームパッド支持部７１を下降させ、バキュームパッド支持部７１のバキュームパッド７２、７２によりストッカー部４０のストック面４９ａに載置されたＭo 板Ｍを吸着し、当該エアシリンダ７０の上方移動によりバキュームパッド支持部７１を上昇させてストッカー部４０のストック面４９ａに載置されたＭo 板Ｍを分離する。
【００５２】
エアシリンダ７０の上方移動によりＭo 板Ｍを吸着したバキュームパッド支持部７１が所定の高さまで上昇すると、ローダ部４１のロータリーシリンダ６６は、制御ユニット１７の制御に応じて移動機構及びバキュームパッド支持部７１を一体にＬＭガイド６５のガイドラインを介してＭo 板載置部３２ａに向けて水平移動させる。Ｍo 板載置部３２ａの上方にバキュームパッド支持部７１のバキュームパッド７２、７２に吸着されたＭo 板Ｍが到達した時、ローダ部４１は、制御ユニット１７の制御に応じたエアシリンダ７０の下方移動によりバキュームパッド支持部７１を下降させ、バキュームパッド支持部７１のバキュームパッド７２、７２に吸着されたＭo 板ＭをＭo 板載置部３２ａのＭo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 上に載置する。
【００５３】
このようにして、ローダ部４１によるストッカー部４０からＭo 板載置部３２ａへのＭo 板Ｍの供給が終了すると、Ｍo 板送り部１１のロータリーテーブル３０が約９０°回転して当該Ｍo 板Ｍが供給されたＭo 板載置部３２ａはワーク供給部１３に対向する位置まで回転移動する。
【００５４】
ワーク供給部１３は、図２に示すように、Ｍo 乾燥装置５における乾燥工程終了後にワーク搬送コンベア２を介して例えば１０個ずつ（約６０個分）搬送されてきたワークを受取り所定数の列（本実施形態では８列）に整列する整列フィーダ８０と、この整列フィーダ８０により８列に整列されたワークを整列数と同一の個数（本実施形態では８個）、あるいは整列数よりも所定数少ない個数に分離する分離部８１と、この分離部８１により分離されたワークを取り出して、ロータリーテーブル３０のワーク供給部１３に近接且つ対向するＭo 板載置部３２ｂに載置されたＭo 板へ供給するローダ部８２とを備えている。
【００５５】
整列フィーダ８０は、図２及び図７に示すように、ワーク搬送コンベア２に対して連設されており、当該コンベア２を介して搬送されてきた１０個ずつのワークＷを受取り、受け取られたワークＷに対して振動を加えながら当該ワークＷを搬送路８５を介して搬送するように構成されている。そして、この整列フィーダ８０における分離部８１側の搬送路８５ａには、搬送方向に沿って直線状に整列させるための通路（溝）８６が複数列（８列、８６ａ1 〜８６ａ8 ）形成されており、その通路ピッチはワークＷの直径よりも長く、各通路８６ａ1 〜８６ａ8 とも同一ピッチとなるように形成されている。すなわち、整列フィーダ８０に搬送されてきたワークは振動力により搬送路８５を介して搬送され、通路８６ａ1 〜８６ａ8 を介してそれぞれ一直線上に整列された８列のワーク群として搬送される。
【００５６】
分離部８１は、方形状の筐体部９０と、この筐体部９０にガイドシャフト９１、９１を介して昇降自在に支持され、整列フィーダ８０の通路８６ａ1 〜８６ａ8 の端部（ワーク受け渡し部）８６ｂ1 〜８６ｂ8 に近接配置されたワーク保持ブロック９２とを有している。このワーク保持ブロック９２は、通路８６ａ1 〜８６ａ8 の配列方向に沿って配置された方形状ブロックであり、そのワーク受け渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 に面する箇所に、当該ワーク受け渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 のピッチに対応し且つワークＷを十分載置可能な大きさの半楕円状の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 がそれぞれ設けられている。半楕円状の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 の底面（ワーク載置面）は、ワーク受渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 のワーク通過面と通常時において同一の高さで互いに近接しており、そのワーク受け渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 を介して直進してくるワークＷを溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 により停止させて保持するようになっている（なお、上述した半楕円状の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 のワーク載置面とワーク受渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 のワーク通過面とが同一の高さで互いに近接した状態での分離部８１の位置を基準高さ位置とする）。
【００５７】
ワーク保持ブロック９２には、そのワーク保持ブロック９２にワークＷが所定数量到着して保持されたか否かを検出するワーク検出センサ９４が溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 毎に設けられており、このワーク検出センサ９４の検出データは、制御ユニット１７に送られるようになっている。
【００５８】
ガイドシャフト９１、９１は、その上端部がワーク保持ブロック９２の両端部の底面にそれぞれ連結され、その下端部は筐体部９０の上面にころがり軸受９５、９５を介して貫設されている。また、分離部８１は、ガイドシャフト９１、９１に接続された図示しないエアシリンダを有しており、ガイドシャフト９１、９１は、制御ユニット１７の制御に基づくエアシリンダの駆動により、ころがり軸受９５、９５でガイドされながら上下動するようになっている。
【００５９】
また、分離部８１は、例えば３つの通路８６ａ6 〜８６ａ8 及び受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 を介して直進してくるワークＷを停止可能なストッパー９６を有している。このストッパ９６は、整列フィーダ８０の各ワーク受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 （通路８６ａ6 〜８６ａ8 ）を構成する壁部９７にそれぞれ設けられており、この各ストッパー９６を、後述するストッパーホルダ等の機構により各壁部９７側へ移動させて当該壁部９７内に収納し、且つ当該機構により壁部９７と反対側へそれぞれ移動させて受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 上に位置させることができるようになっている。
【００６０】
各ストッパー９６は、図７に示すように、ストッパーホルダ９８及びスライドブロック９９にそれぞれ保持されており、各スライドブロック９９は、３本のガイドシャフト１００にそれぞれ連結されている。
【００６１】
３本のガイドシャフト１００の一方の端部は連結ブロック１０１を介してエアシリンダ１０２にそれぞれ接続されており、当該エアシリンダ１０２は制御ユニット１７に接続されている。すなわち、制御ユニット１７を介してエアシリンダ１０２が駆動すると、連結ブロック１０１がワーク保持ブロック９２の長手方向（図７中矢印”ａ”で示す方向）へ移動し、その移動に応じてストッパーホルダ９８及びスライドブロック９９が一体となって移動することにより、ストッパー９６が上記長手方向に平行な図７中矢印”ｂ”で示す方向に移動するようになっている。したがって、各ストッパー９６を各壁部９７から受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 上に位置するように移動させておけば、通路８６ａ6 〜８６ａ8 を介して直進してきたワークＷは、ストッパー９６により受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 において停止して分離部８１により保持されない。これに対して、各ストッパー９６を各壁部９７側へ移動させて当該壁部９７内に収納しておけば、通路８６ａ6 〜８６ａ8 を介して直進してきたワークＷは、ストッパー９６に関係なく分離部８１により保持される。
【００６２】
上述した各ストッパ９６の動作は、制御ユニット１７及びエアシリンダ１０２を介して各ストッパー毎に個別に制御可能であるため、本実施形態では、分離部８１により分離されるワークＷの個数を６個〜８個に選択することができる（なお、以下の説明では、分離されるワークＷの個数を８個として説明する）。
【００６３】
ローダ部８２は、図８に示すように、ワーク吸着保持用のバキュームヘッド部１１０と、このバキュームヘッド部１１０を昇降自在に支持する支持部１１１と、この支持部１１１を水平面（Ｘ−Ｙ平面）において移動自在に支持するＸ−Ｙロボット１１２とを備えている。
【００６４】
支持部１１１は、Ｘ−Ｙロボット１１２に設置されたロータリーアクチュエータ１１５と、このロータリーアクチュエータ１１５に対して、所定間隔をあけて対向配置された状態でプレート１１６を介して上下方向に沿って取り付けられた２本のＬＭガイド１１７、１１７とを備えている。
【００６５】
ロータリーアクチュエータ１１５にはプレート１１６を介して連結バー１１８が連結されており、その連結バー１１８はプレート１１６の表面に対して突出状に配設されている。連結バー１１８には、バキュームヘッド部１１０を支持する支持プレート１１９が垂下状に吊設されており、その支持プレート１１９の背面は、ＬＭガイド１１７、１１７のガイド部分と係合されている。そして、支持プレート１１９は、ロータリーアクチュエータ１１５の回転駆動力に応じて生成された直線駆動力により、ＬＭガイド１１７、１１７にガイドされて上下動するようになっている。
【００６６】
バキュームヘッド部１１０は、分離部８１により分離されたワークＷの最大個数（本実施形態では８個）に応じた複数（本実施形態では８個）のバキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 と、このバキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を保持するバキュームパッドホルダ機構１２１とを備えている。バキュームパッドホルダ機構１２１は、支持プレート１１９の前面下部の一端部に固設された固定パッドホルダ１２２ａ1 と、この固定パッドホルダ１２２ａ1 に一端部が固定され、分離部８１の長手方向に平行に配設された２本のシャフト１２３、１２３と、この２本のシャフト１２３、１２３にそれぞれ移動可能に遊貫された移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 と、固定パッドホルダ１２２ａ1 及び移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 を互いに連結し、各移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 を固定パッドホルダ１２２ａ1 に対してシャフト１２３、１２３に沿って伸縮自在に移動可能なクロス連結構造のリンク機構１２４とを備えている。
【００６７】
バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 は、各パッドホルダ（固定パッドホルダ１２２ａ1 、移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 ）の正面下部にそれぞれ設けられており、Ｘ−Ｙロボット１１２に設置された真空発生源１２５に対して図示しないホースを介して連結されている。この真空発生源１２５は制御ユニット１７に接続されており、各バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 は、制御ユニット１７の制御に基づく真空発生源１２５の駆動によりワークを吸着保持可能になっている。
【００６８】
また、支持プレート１１９の前面上部には、制御ユニット１７に接続されたロッドレスエアシリンダ１３０が設けられており、このロッドレスエアシリンダ１３０は、移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 の内の所定のホルダをシャフト１２３、１２３に沿って移動可能に構成されている。したがって、制御ユニット１７を介してロッドレスエアシリンダ１３０を駆動させることにより、移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 の水平方向の位置を自由に定めることができ、隣接するホルダ間のピッチ、すなわち隣接するバキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 のピッチを自由に変更することも可能である。なお、ワーク吸着動作前においては、バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 のピッチは、分離部８１の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 のピッチに対応したピッチに設定されている。
【００６９】
さらに、支持プレート１１９の前面の固定パッドホルダ１２２ａ1 側上部には、ロッドレスエアシリンダ１３０に隣接して当該ロッドレスエアシリンダ１３０の水平移動をストッパーを介して停止させるショックアブソーバー１３１が取り付けられており、このショックアブソーバー１３１のストッパー位置をワークＷの形状に応じて予め定めておくことにより、当該ストッパー位置に当接するまで移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 を固定パッドホルダ１２２ａ1 側へ移動させて各パッドホルダ１２２ａ1 〜１２２ａ8 を密着させることができる。
【００７０】
以上のように構成された分離部８１及びローダ部８２によれば、整列フィーダ８０の各通路８６ａ1 〜８６ａ8 を介して搬送されてきたワークＷ（図７中は、通路８６ａ4 を介して搬送されてきたワークＷのみを示している）は、ワーク受け渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 を介して分離部８１の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 に供給されて停止する。このとき、各ワーク検出センサ９４により対応する溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 にワークＷが保持されていることが検出され、この検出信号は制御ユニット１７に送られる。
【００７１】
制御ユニット１７は、送られた検出信号に応じてエアシリンダを駆動させてガイドシャフト９１を上昇させて、分離部８１のワーク保持ブロック９２を基準高さ位置から所定の高さ位置（この位置をローダ搬送位置とする）まで上昇させる（図８参照）。
【００７２】
このとき、制御ユニット１７の制御に応じてローダ部８２のＸ−Ｙロボット１１２は、支持部１１１をＸ−Ｙ平面内で移動させ、分離部８１の各溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 に保持されたワークＷの背面側近接位置の上方に各バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を位置させる。
【００７３】
続いて、制御ユニット１７の制御に応じたロータリーアクチュエータ１１５の駆動によりバキュームパッド支持部１１０をＬＭガイド１１７、１１７に沿って下降させて、各バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を対応する分離部８１の各ワークＷに近接させる。
【００７４】
そして、制御ユニット１７の制御に応じた真空発生源１２５の駆動により各ワークＷを吸着して保持する（図８参照）。
【００７５】
次いで、制御ユニット１７の制御に応じてエアシリンダを駆動させてガイドシャフト９１を下降させて分離部８１（位置決めブロック９２）を基準高さ位置まで下降させるとともに、ローダ部８２のＸ−Ｙロボット１１２及びロータリーアクチュエータ１１５を駆動させて支持部１１１を水平方向に移動させ且つバキュームヘッド支持部１１０を下降させることにより、バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を、現在ワーク供給部１３に対向しているＭo 板載置部３２ａ（Ｍo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 ）に載置されたＭo 板Ｍ付近まで搬送する（図９参照。なお、図９では、簡単化のため、一つのパッドホルダ１２２ａ1 及びバキュームパッド１２０ａ1 を示している）。このとき、制御ユニット１７を介してロッドレスエアシリンダ１３０を駆動させることにより、移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 を、ワークＷの形状に応じて最大限固定パッドホルダ１２２ａ1 側へ密着させる。そして、バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 に吸着保持され、且つ密着されたワークＷをＭo 板Ｍ上に、例えばＭo 板Ｍの短手方向に沿った１列目に１５個、２列目に１４個と交互で例えば５列に亘って密着整列させる（図９参照）。なお、ストッパー位置を適宜変更することにより、吸着保持されたワークＷの密着ピッチを変更することが可能である。したがって、ワークＷをその外形如何に係わらず密着整列させることができる。
【００７６】
以上の動作を所定回数繰り返してワーク供給部１３によるＭo 板ＭへのワークＷ密着供給処理が終了すると、Ｍo 板送り部１１のロータリーテーブル３０が約９０°回転して当該ワークＷが供給されたＭo 板Ｍが載置されたＭo 板載置部３２ａはスペーサ供給部１４に対向する位置まで回転移動する。
【００７７】
スペーサ供給部１４は、図１０に示すように、ボウルフィーダＢ（図２参照）から排出されたスペーサＳを図示しないパーツフィーダにて１列に整列して搬送する整列フィーダ部１４１と、この整列フィーダ部１４１により搬送されてきたスペーサＳを１個ずつ分離する分離部１４２と、この分離部１４２により分離されたスペーサＳを取り出して、現在ロータリーテーブル３０のスペーサ供給部１４に近接且つ対向するＭo 板載置部３２ａに載置されたＭo 板（既にワークが供給されている）Ｍに供給するローダ部１４３とを備えている。
【００７８】
整列フィーダ部１４１は、ボウルフィーダＢの排出口に連設された水平の搬送路１４４を有する整列フィーダ１４５と、ベース面１０ｂに直立状に設けられた支柱１４６とを備え、整列フィーダ１４５は、支柱１４６により支持部１４７を介して搬送路１４４が所定の高さに位置するように支持されている。
【００７９】
分離部１４２は、支持部１４７に取り付けられており、ワーク供給部１３の分離部８２と類似した構成を有している。すなわち、分離部１４２は、搬送路１４４の端部（スペーサ受け渡し部）１４４ａに近接配置されたスペーサ保持ブロック１５０と、エアシリンダ等を有し、制御ユニット１７の制御に基づいてスペーサ保持ブロック１５０を支柱１４６の軸方向に沿って上下動させるブロック移動部１５１とを備えている。そして、保持ブロック１５０のスペーサ受け渡し部１４４ａに面する箇所には、当該スペーサ受け渡し部１４４ａのピッチに対応し且つスペーサＳを十分載置可能な大きさの半楕円状の溝１５２が設けられており、搬送路１４４（スペーサ受け渡し部１４４ａ）を介して搬送されてきたスペーサＳを溝１５２により停止させて保持するようになっている（なお、スペーサＳを分離して保持可能な分離部１４２（スペーサ保持ブロック１５０）の高さ位置を基準高さ位置という）。
【００８０】
また、スペーサ保持ブロック１５０には、そのスペーサ保持ブロック１５０にスペーサＳが到着して保持されたか否かを検出するスペーサ検出センサ１５５が設けられており、このスペーサ検出センサ１５５の検出データは、制御ユニット１７に送られるようになっている。なお、スペーサＳに接触する搬送路１４４は、ジュラコンとし部分的に交換可能な構造となっている。
【００８１】
ローダ部１４３は、スペーサチャック用のチャッキングヘッド部１６０と、このチャッキングヘッド部１６０を昇降自在に支持する支持部１６１と、この支持部１６１を水平面（Ｘ−Ｙ平面）において移動自在に支持するＸ−Ｙロボット１６２とを備えている。
【００８２】
支持部１６１は、Ｘ−Ｙロボット１６２に設置された薄型シリンダ１６５を有し、この薄型シリンダ１６５の駆動力でチャッキングヘッド部１６０を昇降移動させるように構成されている。
【００８３】
チャッキングヘッド部１６０は、エアシリンダ及びこのエアシリンダにより駆動する駆動機構を内蔵する筐体１６６と、この筐体１６６の下面に突出し且つ駆動機構に機械的に連結されたペアのチャック用爪部１６７、１６７とを備えている。
【００８４】
チャック用爪部１６７、１６７は、所定長さ離間し且つ上下方向に沿って互いに平行に対向して配設されており、それぞれＲ形状を成している。そして、チャック用爪部１６７、１６７は、エアシリンダの動力に応じた駆動機能の駆動により互いに近接する方向に移動して当該爪部１６７、１６７の間に位置したスペーサＳをチャックして保持し、且つ互いに離れる方向に移動してチャックしたスペーサＳを放出することができるように構成されている。なお、チャック用爪部１６７、１６７が最も離間した場合の離間間隔は、スペーサＳの肉圧の長さよりも大きく、爪部１６７、１６７が最も近接した場合の近接間隔は当該肉圧の長さよりも狭くなるように構成されている。そして、スペーサＳチャック前は、爪部１６７、１６７は、最も離間した状態となっている。
【００８５】
以上のように構成された分離部１４２及びローダ部１４３によれば、整列フィーダ１４５の搬送路１４４を介して搬送されてきたスペーサＳは、スペーサ受け渡し部１４４ａを介して分離部１４２のスペーサ保持ブロック１５０の溝１５２に供給されて停止する。このとき、スペーサ検出センサ１５５により溝１５２にスペーサＳが保持されていることが検出され、この検出信号は制御ユニット１７に送られる。
【００８６】
制御ユニット１７は、送られた検出信号に応じてブロック移動部１５１を駆動させて分離部１４２のスペーサ保持ブロック１５０を基準高さ位置から所定の高さ位置（この位置をローダ搬送位置とする）まで上昇させる。
【００８７】
このとき、制御ユニット１７の制御に応じてローダ部１４３のＸ−Ｙロボット１６２は、支持部１６１をＸ−Ｙ平面内で移動させ、分離部１４２の溝１５２に保持されたスペーサＳの肉圧部分の上方に各チャッキングヘッド部１６０の爪部１６７、１６７を位置させる。
【００８８】
続いて、制御ユニット１７の制御に応じた薄型シリンダ１６５の駆動によりチャッキングヘッド部１６０を下降させて、スペーサＳの肉圧を爪部１６７、１６７の間隔内に位置させる。そして、制御ユニット１７の制御に応じたエアシリンダ及び駆動機構の駆動により爪部１６７、１６７を互いに近接するように平行移動させてスペーサＳの肉圧部分をチャックして保持する（図１１参照）。
【００８９】
次いで、制御ユニット１７の制御に応じてブロック移動部１５１を駆動させて分離部１４２のスペーサ保持ブロック１５０を基準高さ位置まで下降させるとともに、ローダ部１４３のＸ−Ｙロボット１６２及び薄型シリンダ１６５を駆動させて支持部１６１を水平方向に移動させ且つチャッキングヘッド部１６０を下降させることにより、現在スペーサ供給部１４に対向するＭo 板載置部３２ａに載置されたＭo 板Ｍ上の所定位置にチャッキングヘッド部１６０のチャック用爪部１６７、１６７にチャックされたスペーサＳを載置する（図１１参照）。そして、制御ユニット１７の制御に応じたエアシリンダ及び駆動機構の駆動により爪部１６７、１６７を互いに離れるように平行移動させてチャックしていたスペーサＳをＭo 板Ｍ上の所定位置に供給する。
【００９０】
以上の動作を所定回数繰り返して（例えば１枚のＭo 板Ｍ当たり４個のスペーサを供給する）、スペーサ供給部１４によるＭo 板ＭへのスペーサＳ供給処理が終了すると、Ｍo 板送り部１１のロータリーテーブル３０が約９０°回転して、ワークＷ及びスペーサＳが供給されたＭo 板Ｍが載置されたＭo 板載置部３２ａは、Ｍo 板段積み搬送部１５に対向する位置まで回転移動する。
【００９１】
Ｍo 板段積み搬送部１５は、図１２に示すように、ベース面１０ｂ上に直立状に設けられた断面Ｌ字型の板状のフレーム１７０と、このフレーム１７０の下部に設けられ、Ｍo 板Ｍをロータリーテーブル３０から取り出すための取り出し部１７１と、フレーム１７０の上部に設けられ、取り出し部１７１により取り出されたＭo 板Ｍを５段に段積みしてボート搬送コンベア３上のＭo ボートに収納するためのローダ部１７２とを備えている。
【００９２】
フレーム１７０は、その短手方向側の側面がベース面１０ｂの右側面１０ｔに平行になるように配設されており、取り出し部１７１は、その主要部が当該フレーム１７０の下部におけるスペーサ供給部１４側平面（内面という）に設置されている。また、ローダ部１７２は、その主要部がフレーム１７０の上部における内面に設置されている。そして、フレーム１７０は、取り出し部１７１の後述するＭo 板取り出し中心位置が、Ｍo 板段積み搬送部１５に近接且つ対向するロータリーテーブル３０の切り欠き部の中心位置に略一致するように対向するようにベース面１１０ｂ上に配設されている。
【００９３】
取り出し部１７１は、フレーム１７０内面に昇降機構１７５を介して昇降自在且つその矩形状作用面１７６ａがベース面１０ｂと平行となるように取り付けられたＬ形ブロック１７６と、このＬ形ブロック１７６ａの作用面１７６ａに設置され、当該作用面１７６ａの長手方向に沿って、すなわち、Ｍo 板送り部１１に対して近接する方向及び離れる方向にスライド部１７７をスライドさせるマグネット式ロッドレスシリンダ１７８と、Ｌ形ブロック１７６の作用面１７６ａに平行なスライド部１７７の上面に設置されたＭo 板突き上げ部１７９とを備えている。
【００９４】
昇降機構１７５は、フレーム１７０内面に互いに所定間隔で対向し且つベース面１０ｂに垂直に配設されたＬＭガイド１８０、１８０と、このＬＭガイド１８０、１８０の離間間隔の中心にそのＬＭガイド１８０、１８０のガイドラインに平行に配置されたオねじ部１８１ａを有する転造ボールねじ（以下、ボールねじと略記する）１８１と、ボールねじ１８１に例えばプーリー等の巻掛け伝動機構を介して連結され、その回転駆動により巻掛け伝動機構を介してボールねじ１８１のオねじ部１８１ａを回転させてメねじ部１８１ｂを上昇及び下降運動させるブレーキ付きモータ１８２とを備えており、Ｌ形ブロック１７６は、ＬＭガイド１８０、１８０に係合された状態でボールねじ１８１のメねじ部１８１ｂに取り付けられている。
【００９５】
Ｍo 板突き上げ部１７９は、スライド部１７７上面におけるフレーム１７０側端部に所定間隔をあけて対向配置された、フレーム１７０内面に面した側から見て略Ｌ字形及び略逆Ｌ字形の支持片１８５、１８５と、同じくスライド部１７７上面におけるフレーム１７０側と反対側端部に所定間隔をあけて対向配置された略Ｌ字形及び略逆Ｌ字形の支持片１８６、１８６とを備えており、支持片１８５、１８５及び１８６、１８６には、ベース面１０ｂ（Ｌ形ブロック１７６の作用面１７６ａ）に平行な上面にそれぞれ同一の高さの支柱１８７が設けられている。
【００９６】
図１２に示すように、支持片１８５、１８５及び支持片１８６、１８６は、その上方に突出した部分１８５ａ及び１８６ａがスライド部１７７のスライド方向側の側面に沿って位置するように配設されているとともに、その支持片１８５、１８５の突出部分１８５ａの対向間隔及び支持片１８６、１８６の突出部分１８６ａの対向間隔がＭo 板Ｍの短手方向の長さよりも長くなるように配設されている。なお、４つの支柱１８５、１８５及び１８６、１８６の上面の中心をクロス状に結んで形成された交点をＭo 板取り出し中心位置とする。
【００９７】
一方、ローダ部１７２は、図１２に示すように、Ｍo 板チャック用のチャッキングヘッド部１９０と、このチャッキングヘッド部１９０をスライド部１７７のスライド方向に沿った水平方向に移動自在に支持する支持部１９１とを備え、この支持部１９１がフレーム１７０上部に取り付けられている。
【００９８】
支持部１９１は、スライド部１７７のスライド方向に平行なガイドラインを有するようにフレーム１７０の内面上部に設置されたＬＭガイド１９２と、このＬＭガイド１９２に取り付けられ、当該ＬＭガイド１９２のガイドラインに沿って水平移動する移動機構１９３を有するロッドレスシリンダ１９４とを備えている。
【００９９】
チャッキングヘッド部１９０は、所定長さ離間して垂下状に対向配置されたペアのチャック用ポール１９５、１９５と、このチャック用ポール１９５、１９５を支持する支持プレート１９６と、ロータリーシリンダ１９７及び支持プレート１９６に機械的に連結された巻掛け伝動機構１９８を有し、ロータリーシリンダ１９７の回転動力に応じた巻掛け伝動機構１９８の駆動により支持プレート１９６を、当該支持プレート１９６の中心を通り且つポール１９５の中心軸に沿った軸を回転軸として約９０角度スイングさせるスイング機構１９９と、このスイング機構１９９を保持する保持部２００とを備えており、保持部２００が移動機構１９３に取り付けられている。
【０１００】
チャック用ポール１９５、１９５は、その直径がＭo 板Ｍの半円部ｍ1 ，ｍ2 の直径よりも若干短くなるように形成されている。また、チャック用ポール１９５、１９５の下方先端には、Ｍo 板Ｍを支持するために、その対向方向に向けて突出して形成されたＭo 板支持片２０１、２０１が取り付けられている。
【０１０１】
支持プレート１９６には、複数のプーリーやリンク機構を有する移動機構２０２が取り付けられており、この移動機構２０２は、ロータリーシリンダ１９７の回転動力に応じてチャック用ポール１９５、１９５を互いに近接する方向に移動し且つ互いに離れる方向に移動させたり、各チャック用ポール１９５、１９５及びそのポール１９５、１９５のＭo 板支持片２０１、２０１の突出方向をその中心軸を回転軸として回転させることが可能になっている。なお、Ｍo 板Ｍをチャックする前の初期状態においては、チャック用ポール１９５、１９５は最も離間しており、また、Ｍo 板支持片２０１、２０１の突出方向は互いに対向する方向になっている。
【０１０２】
また、保持部２００は、チャック用ポール１９５、１９５の中心軸に平行な２本の対向配置されたガイドシャフト２０５、２０５等を有する移動機構２０６を備えており、この移動機構２０６の駆動によりチャック用ポール１９５、１９５、支持プレート１９６、及びスイング機構１９９を一体として昇降移動させることができる。
【０１０３】
以上のように構成されたＭo 板段積み搬送部１５によれば、Ｍo 板段積み搬送部１５に対向する位置までワークＷ及びスペーサＳが供給されたＭo 板Ｍ（以下、単にＭo 板Ｍという）が回転移動してきたとき、すなわち、取り出し部１７１のＭo 板突き上げ部１７９の上方にＭo 板Ｍが位置したとき、制御ユニット１７の制御に応じて昇降機構１７５のブレーキ付きモータ１８２及びボールねじ１８１を駆動させて、メねじ部１８１ｂ及びＬ形ブロック１７６を上昇させる。
【０１０４】
このとき、Ｍo 板突き上げ部１７９の支持片１８５〜１８６及びその支持片１８５〜１８６に設けられた支柱１８７は、Ｌ形ブロック１７６の上昇と共に上昇し、当該Ｍo 板突き上げ部１７９の上方に位置する切り欠き部３３ａを通過してＭo 板載置部３２ａに載置されたＭo 板Ｍを支持片１８５〜１８６の突出部分１８５ａ，１８６ａにより支持した状態で支柱１８７により突き上げて当該Ｍo 板Ｍをロータリーテーブル３０のＭo 板載置部３２ａから分離する（図１３；矢印Ａ参照）。
【０１０５】
Ｍo 板載置部３２ａからＭo 板Ｍが分離した状態で、制御ユニット１７の制御に応じてロッドレスシリンダ１７８を駆動させてスライド部１７７をロータリーテーブル３０から離れる方向へスライドさせる。この結果、スライド部１７７上のＭo 板突き上げ部１７９もスライド部１７７と共にロータリーテーブル３０から離れる方向へスライドし、切り欠き部３３ａの上方位置から離れる（図１３；矢印Ｂ参照）。
【０１０６】
ロータリーテーブル３０の切り欠き部３３ａの上方位置から完全に離れる位置までスライドした状態において、制御ユニット１７の制御に応じて保持部２００の移動機構２０６を駆動させてチャック用ポール１９５、１９５、支持プレート１９６、及びスイング機構１９９を一体として下降させるとともに、ロータリーシリンダ１９７及び巻掛け伝動機構１９８を介してスイング機構１９９を駆動させて、支持プレート１９６をそのチャック用ポール１９５がＭo 板突き上げ部１７９上のＭo 板Ｍの半円部ｍ1 ，ｍ2 に対向する位置に到達するまで移動させる。
【０１０７】
そして、制御ユニット１７の制御に応じて移動機構２０２を駆動させてチャック用ポール１９５、１９５を互いに近接する方向に移動させ、当該ポール１９５、１９５をＭo 板Ｍの半円部ｍ1 ，ｍ2 にそれぞれ係合させる（図１３；矢印Ｂ参照）。
【０１０８】
ポール１９５、１９５がＭo 板Ｍの半円部ｍ1 ，ｍ2 に係合した状態で、制御ユニット１７の制御に応じてローダ部１７２の移動機構２０６を駆動させてチャック用ポール１９５、１９５、支持プレート１９６、及びスイング機構１９９を一体として上昇させる。このとき、Ｍo 板Ｍは、チャック用ポール１９５、１９５のＭo 板支持片２０１、２０１に支持されて、支持プレート１９６等とともに一体に上昇し、Ｍo 板突き上げ部１７９から分離する（図１３矢印Ｃ参照）。
【０１０９】
支持プレート１９６及びＭo 板Ｍ等が所定位置まで上昇した状態において、制御ユニット１７の制御に応じてロータリーシリンダ１９４を駆動させて移動機構１９３を所定位置までスライドさせる。このとき、移動機構１９３に取り付けられた保持部２００は、チャック用ポール１９５、１９５にＭo 板Ｍがチャックされた状態で移動機構１９３のスライドと共に所定位置までスライドする。
【０１１０】
所定位置までスライドした状態において、保持部２００の移動機構２０６を駆動させてチャック用ポール１９５、１９５、支持プレート１９６、及びスイング機構１９９を一体として、チャック用ポール１９５、１９５の下端部分が所定のＭo 板載置位置近傍に到達するまで下降させる。そして、制御ユニット１７の制御に応じて移動機構２０２を駆動させて各チャック用ポール１９５、１９５（すなわち、ポール１９５、１９５のＭo 板支持片２０１、２０１の突出方向）を回転させることにより、当該Ｍo 板支持片２０１、２０１にチャックされていたＭo 板ＭをＭo 板載置位置に載置する。
【０１１１】
続いて以上の動作を次にＭo 板段積み搬送部１５に対向する位置まで回転移動してきたＭo 板Ｍ2 に対して行なうことにより、そのＭo 板Ｍは、Ｍo 板載置位置に載置された最初のＭo 板Ｍ1 の上に、当該Ｍo 板Ｍ1 に供給されたスペーサＳを介して段積みされる。
【０１１２】
このようにして所定段数（５段）Ｍo 板Ｍ1 〜Ｍ5 が段積みされた状態で、制御ユニット１７の制御に応じて上述した各移動機構を同様の制御によりそれぞれ駆動させることにより、チャック用ポール１９５、１９５を最下段のＭo 板Ｍ1 の半円部ｍ1 ，ｍ2 にそれぞれ係合させて当該チャック用ポール１９５、１９５を上昇させることにより、段積みされたＭo 板Ｍ1 〜Ｍ5 を所定のＭo ボートの上方へ搬送し、当該Ｍo ボート内へ収納する。
【０１１３】
次にワーク整列段積み装置６の全体動作について説明する。
【０１１４】
マグネトロン用製造ライン１が稼働すると、Ｍo 板塗布工程及びＭo 板乾燥工程が施されたワークＷは、１０個ずつワーク搬送コンベア２を介してワーク整列段積み装置６に送られてくる。
【０１１５】
このとき、Ｍo 板乾燥工程終了後のワークＷ搬送タイミングに応じて予め定められたタイミングでＭo 板供給部１２のローダ部４１の上述した吸着及び搬送動作によりストッカー部４０からロータリーテーブル３０のＭo 板載置部３２ａに自動的に供給されたＭo 板Ｍは、Ｍo 板送り部１１の動作に基づくロータリーテーブル３０の回転（なお、回転時間をｔr とする）によりワーク供給部１３に対向する位置に移動する。
【０１１６】
ワーク供給部１３に対向する位置にＭo 板Ｍ1 が移動すると、制御ユニット１７の制御に基づいてワーク供給部１３により上述したワークＷの整列、分離、及び搬送動作が実行され、ワークＷがＭo 板Ｍ1 に密着整列して供給される（図９参照）。
【０１１７】
一方、上記ロータリーテーブル３０の回転によりＭo 板載置部３２ｄはＭo 板供給部１２に対向する位置に移動しているため、上述したワークＷ供給動作と同時に２枚目のＭo 板Ｍ2 のＭo 板載置部３２ｂの供給動作も行なわれる（なお、ワーク供給動作時間ｔw の方がＭo 板供給動作ｔm よりも大きいとする）。
【０１１８】
そして、ワーク供給部１３の動作が所定回数繰り返されてワーク供給部１３によるＭo 板Ｍ1 へのワークＷの密着供給処理が全て終了すると、ワークＷが供給されたＭo 板Ｍ1 は、Ｍo 板送り部１１の動作に基づくロータリーテーブル３０の回転によりスペーサ供給部１４に対向する位置まで移動し、Ｍo 板Ｍ2 はワーク供給部１３に対向する位置まで移動する。
【０１１９】
スペーサ供給部１４に対向する位置にＭo 板Ｍ1 が移動すると、制御ユニット１７の制御に基づいてスペーサ供給部１４により上述したスペーサＳの分離及び搬送動作が実行され、スペーサＳがＭo 板Ｍ1 の所定位置に供給される（図１１参照）。
【０１２０】
またＭo 板Ｍ2 に対してもワーク供給部１３の動作によりワーク密着供給処理が行なわれており、さらに、Ｍo 板供給部１２に対向する位置に移動したＭo 板載置部３２ｃに対しても３枚目のＭo 板Ｍ3 が供給される（なお、スペーサ供給時間ｔs ＞ｔw ＞ｔm とする）。
【０１２１】
スペーサ供給部１４の動作が所定数繰り返されてスペーサ供給部１４によるＭo 板Ｍ1 へのスペーサＳ供給動作が全て終了すると、ワークＷ及びスペーサＳが供給されたＭo 板Ｍ1 は、Ｍo 板送り部１１の動作に基づくロータリーテーブル３０の回転移動によりＭo 板整列段積み搬送部１５に対向する位置まで回転移動し、同様にＭo 板Ｍ2 →スペーサ供給部１４、Ｍo 板Ｍ3 →ワーク供給部１３と回転移動する。
【０１２２】
続いて、Ｍo 板段積み搬送部１５に対向する位置にＭo 板Ｍ1 が移動すると、制御ユニット１７の制御に基づいてＭo 板段積み搬送部１５により上述したＭo 板Ｍ1 の段積み用搬送動作が行なわれる。
【０１２３】
またＭo 板Ｍ2 に対してもスペーサ供給部１４の動作によりスペーサ供給処理が行なわれ、Ｍo 板Ｍ3 に対してワーク供給部１３の動作によりワーク密着供給処理が行なわれている。さらに、Ｍo 板供給部１２に対向する位置に移動したＭo 板載置部３２ｄに対しても４枚目のＭo 板Ｍ4 が供給される（なお、Ｍo 板段積み用搬送処理時間ｔc ＞ｔs ＞ｔw ＞ｔm とする）。
【０１２４】
段積み用搬送動作が終了すると、Ｍo 板Ｍ1 が分離されたＭo 板載置部３２ａは、Ｍo 板送り部１１の動作に基づくロータリーテーブル３０の回転によりＭo 板供給部１２に対向する位置まで移動し、同様に、Ｍo 板Ｍ2 →Ｍo 板段積み搬送部１５、Ｍo 板Ｍ3 →スペーサ供給部１４、Ｍo 板Ｍ4 →ワーク供給部１３と回転移動して、以下、上述した動作が順次供給されてくるＭo 板Ｍ5 、Ｍ6 、・・・に対して連続して行なわれる。
【０１２５】
以上の動作に対応する制御ユニット１７のＭo 板送り部１１の制御タイミング、Ｍo 板供給部１２の制御タイミング、ワーク供給部１３の制御タイミング、スペーサ供給部１４の制御タイミング、及びＭo 板段積み搬送部１５の制御タイミングの概要を表すタイムチャートを図１４に示す。
【０１２６】
図１４に示すように、各動作部（Ｍo 板供給部１２、ワーク供給部１３、スペーサ供給部１４、及びＭo 板段積み搬送部１５）の動作時間（制御時間）に対応させてＭo 板送り部１１の制御タイミング（ロータリーテーブル３０の回転移動タイミング）を定めているため、各動作部（Ｍo 板供給部１２、ワーク供給部１３、スペーサ供給部１４、及びＭo 板段積み搬送部１５）のロータリーテーブル３０の回転移動に応じた動作により連続したワーク密着整列処理及びワークが整列密着されたＭo 板の段積み・搬送処理を自動的且つ無人で行なうことができる。なお、本実施形態における段積み数である５の倍数枚目のＭo 板Ｍ5 、Ｍ10、…においては、例えばＭo 板Ｍ5 をＭ1 〜Ｍ4 が段積みされたＭo 板Ｍ1 〜Ｍ4 の上へさらに段積みした後、その所定段（５段）に段積みされたＭo 板Ｍ1 〜Ｍ5 をＭo ボートへ搬送し収納する際の処理時間ｔc1がかかることになり、後は他のＭo 板と同様の処理になる。
【０１２７】
以上詳述したように、本実施形態のワーク整列段積み装置６によれば、ワークの密着整列処理、及び当該ワークが密着整列されたＭo 板の段積み処理を自動的且つ無人（あるいは、動作監視オペレータ等必要最小限）で機械的に行なうようにしたため、当該密着整列処理及び段積み処理の効率を向上させ、ワーク製造コストを飛躍的に高めることができる。
【０１２８】
また、本実施形態のワーク整列段積み装置６によれば、ワークＷをＭo 板Ｍに整列供給するローダ部８２におけるワークＷ搬送供給部分をバキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を用いて構成し、当該バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 のピッチを自由に変化できるように構成したため、自動的且つ無人の機械的なワーク整列処理においてもワークを密着整列することができ、Ｍo 板Ｍに対するワーク供給効率を向上させることができる。
【０１２９】
さらに、本実施形態のワーク整列段積み装置６によれば、ワークＷが密着供給されたＭo 板Ｍに対するスペーサＳをローダ部１４３の搬送動作により自動的に、しかもＭo 板Ｍにおける所望の位置へ供給することができる。すなわち、スペーサをＭo 板に予め固定しておく必要がないため、Ｍo 板を専用化することなくどんなワークに対してでも用いることができ、Ｍo 板の汎用性を高めることができる。
【０１３０】
また、Ｍo 板のみを段積みしてストッカー等に収納する場合においても、スペーサが固定されていない分だけ収納スペースが増大する。
【０１３１】
さらに、ワークをＭo 板上に載置する際にスペーサとの位置的干渉が発生しないため、ワークを最大限密着させてＭo 板上に載置することができ、Ｍo 板上のワーク積載量を増大させることができる。この結果、ワーク製造効率を向上させることができる。
【０１３２】
なお、本実施形態では、部品（ワーク）として、マグネトロンに用いられる例えば直径２０mmの円筒形のセラミックス部品を例にとったマグネトロン用セラミックス部品製造ラインに用いられるワーク整列段積み装置について説明したが本発明はこれに限定されるものではなく、他のワークを加工製造するラインにおいても適用可能である。
【０１３３】
また、本実施形態では、板状治具としてＭo 板を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の材料で形成された板状治具（例えばワークの種類に応じて定められる）を用いてもよい。
【０１３４】
さらに、本実施形態では、密着整列してワークが供給されたＭo 板をスペーサ供給動作を介して段積みするワーク整列段積み装置について説明したが、段積みする必要の無い装置、すなわち、順次搬送されてくる多数のワークを整列してＭo 板に密着して整列供給するワーク整列装置についても適用できるのは当然である。
【０１３５】
【発明の効果】
以上述べたように本発明に係るワーク整列装置、ワーク整列段積み方法及びワーク整列段積み装置によれば、ワークの密着整列処理、及び（あるいは）ワークが密着整列された板状治具の段積み処理を統括制御手段の統括制御に基づく各動作手段（テーブル手段、板状治具供給手段、ワーク供給手段、スペーサ供給手段及び板状治具段積み手段）の連続した動作により自動的且つ無人で機械的に行なうことができるため、密着整列処理及び（あるいは）段積み処理の効率を向上させ、ワーク製造コストを飛躍的に高めることができる。
【０１３６】
特に、本発明によれば、第１の移動支持機構により、複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチが最小限度にされた状態、すなわち、当該複数の吸着機構に吸着された各ワークが密着した状態で当該ワークを板状治具上整列供給することができるため、ワークを最大限に密着した状態で整列供給することができ、板状治具に対するワーク供給効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係わるワーク整列段積み装置を用いたマグネトロン用セラミックス部品製造ラインの概略構成を示す斜視図。
【図２】ワーク整列段積み装置の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図３】ロータリーテーブルの構成を示す上面図。
【図４】ストッカー部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図５】ローダ部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図６】ローダ部のＭo 板供給動作を説明するための図。
【図７】整列フィーダ部及び分離部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図８】ローダ部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図９】ローダ部のワーク供給動作を説明するための図。
【図１０】スペーサ供給部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図１１】ローダ部のスペーサ供給動作を説明するための図。
【図１２】Ｍo 板段積み搬送部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図１３】Ｍo 板段積み搬送部のロータリーテーブルからのＭo 板分離動作を説明する溜めの図。
【図１４】制御ユニットのＭo 板送り部、Ｍo 板供給部、ワーク供給部、スペーサ供給部、及びＭo 板段積み搬送部の制御タイミングの概要を表すタイムチャート。
【図１５】従来のスペーサが固定された板状治具を用いたワーク整列工程を示す斜視図。
【符号の説明】
６ ワーク整列段積み装置
１１ Ｍo 板送り部
１２ Ｍo 板供給部
１３ ワーク供給部
１４ スペーサ供給部
１５ Ｍo 板段積み搬送部
１６ ワーク整列段積みユニット
１７ 制御ユニット
３０ ロータリーテーブル
３１、６２、７１、１１１、１４７、１６１、１９１ 支持部
３２ａ〜３２ｄ Ｍo 板載置部
３３ａ〜３３ｄ 切り欠き部
４０ ストッカー部
４７、６０、１７０ フレーム
４８、１８１ 転造ボールねじ
４９ フォーク
５０ シャフト
５５、１８２ ブレーキ付きモータ
５６ 上昇端検知センサ
５７ 下降端検知センサ
６１、１１０、１１７ バキュームヘッド部
６５、１８０、１９２ ＬＭガイド
６６、１９４ ロッドレスシリンダ
７０ エアシリンダ
７２、１２０ａ1 〜１２０ａ8 バキュームパッド
８０、１４５ 整列フィーダ
８１、１４２ 分離部
８２、１４３、１７２ ローダ部
８５、１４４ 搬送路
８６（８６ａ1 〜８６ａ8 ） 通路
８６ｂ1 〜８６ｂ8 ワーク受渡し部
９１、２０５ ガイドシャフト
９２ ワーク保持ブロック
９３ｂ1 〜９３ｂ8 、１５２ 溝
９４ ワーク検出センサ
１１０ バキュームヘッド支持部
１１２、１６２ Ｘ−Ｙロボット
１１５ ロータリーアクチュエータ
１２１ バキュームパッドホルダ機構
１２２ａ1 固定パッドホルダ
１２２ａ2 〜１２２ａ8 移動パッドホルダ
１２３ シャフト
１２４ リンク機構
１２５ 真空発生源
１３０ ロッドレスエアシリンダ
１３１ ショックアブソーバー
１４１ 整列フィーダ部
１４４ａ スペーサ受け渡し部
１４６、１８７ 支柱
１５０ スペーサ保持ブロック
１５１ ブロック移動部
１５５ スペーサ検出センサ
１６０、１９０ チャッキングヘッド部
１６５ 薄型シリンダ
１６７ チャック用爪部
１７１ 取り出し部
１７５ 昇降機構
１７６ Ｌ形ブロック
１７７ スライド部
１７８ マグネット式ロッドレスシリンダ
１７９ Ｍo 板突き上げ部
１８５、１８６ 支持片
１９３、２０２、２０６ 移動機構
１９５ チャック用ポール
１９６ 支持プレート
１９７ ロータリーシリンダ
１９８ 巻掛け伝動機構
１９９ スイング機構
２００ 保持部
２０１ Ｍo 板支持用片[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a work aligning device that separates a predetermined number of parts (workpieces) that have been aligned and discharged and aligns and arranges them on a plate-like jig, and a plate-like jig on which the works are arranged and arranged. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a workpiece alignment stacking method and a workpiece alignment stacking apparatus that stack with (spacer), and in particular, efficiently aligns and aligns workpieces on a plate-shaped jig without gaps, The present invention relates to a workpiece alignment device, a workpiece alignment stacking method, and a workpiece alignment stacking device that can perform a stacking operation automatically and unattended while maintaining high quality efficiently.
[0002]
[Prior art]
When manufacturing a processed part to be applied to a desired device by continuously performing various processes such as metal material coating and metallization on a cylindrical workpiece, for example, after a certain process is completed The plurality of workpieces are arranged and arranged on a plate-shaped jig, and the plate-shaped jigs are stacked through a spacer and stored in a transport unit (boat). In some cases, a workpiece alignment stacking system that transports the boat in which the plurality of plate-shaped jigs are stacked to the next processing step, a stocker, or the like is used.
[0003]
In the workpiece alignment stacking system described above, conventionally, the workpiece and the spacer are aligned and arranged on the plate-shaped jig manually, or the plate-shaped jig is stacked, or as shown in FIG. The workpieces were aligned and arranged on the plate jig 250 to which the spacer S1 was fixed, and the plate jigs were stacked. The stacked plate jigs were stored in the boat.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the conventional manual work alignment / stacking operation is a simple operation, it is inefficient to perform such a simple operation using a manual operation, which increases the manufacturing cost of processed parts. There was a strong demand for mechanization (automation and line) of stacking operations.
[0005]
In particular, in the work alignment / stacking method shown in FIG. 15, since the spacer is fixed to the plate-shaped jig, the plate-shaped jig is dedicated, and a separate plate-shaped jig is prepared for each type of component. It was necessary and inefficient. In addition, since the spacer is fixed to the plate-shaped jig, when only the plate-shaped jig (with no workpiece loaded) is stacked and stored in the stocker, etc., the occupied space in the stocker increases by the amount of the spacer. , Storage efficiency deteriorated. Furthermore, there is a possibility that the fixed spacer and the workpiece may interfere with each other when the workpiece is placed on the plate-shaped jig. If this positional interference occurs, the workpiece is placed on the jig. A space that is not placed is generated, reducing the work load on the jig and deteriorating the component manufacturing efficiency.
[0006]
The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and the work aligning operation and the work stacking operation are performed automatically and unattended while maintaining high quality efficiently, thereby significantly reducing the manufacturing cost of processed parts. That is the purpose.
[0007]
Another object of the present invention is to efficiently and closely align the workpiece on the plate-shaped jig without a gap even in the above-described automatic and unattended workpiece alignment operation.
[0008]
Furthermore, the present invention improves the versatility and storage efficiency of the plate jig itself by performing the above-described automatic and unattended workpiece alignment / stacking operation without fixing the spacer on the plate jig. For other purposes
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-described object, according to the workpiece alignment apparatus of the present invention, as described in claim 1, Made of ceramic parts work Multiple Loading did A plurality of placement parts that can place plate-like jigs are installed. A notch is provided at a position facing the plate-shaped jig placed above. Table means, table means having a moving part for moving the table part and circulating the plurality of mounting parts, stock means for stocking a plurality of the plate-like jigs, and the stock means The plate-shaped jigs are taken out one by one according to a predetermined timing and transported, and the transported plate-shaped jigs are respectively mounted on the mounting units that are circulated and moved by the table means. A plate-shaped jig supply means, a workpiece aligning / conveying section that sequentially conveys a large number of workpieces arranged in a plurality of rows, and a plurality of workpieces positioned at the head of each row according to a predetermined timing. A workpiece separating unit that sequentially separates the workpiece from the workpiece aligning and conveying unit, and each time a plurality of workpieces are separated by the workpiece separating unit, the plurality of workpieces are driven and held and conveyed, A workpiece contacting and aligning section for aligning and arranging a plurality of workpieces that are sent in close contact with each other on the plate-shaped jig sent by the table means via the plate-shaped jig supplying means; And a workpiece supply means for supplying a predetermined number of workpieces for each plate-shaped jig sent by the operation of the workpiece contact and alignment unit, and the table means, the plate-shaped jig supply means, and the workpiece supply means, respectively. And controlling control means.
[0010]
In order to achieve the above-described object, according to the workpiece alignment stacking apparatus of the present invention, as described in claim 2, Made of ceramic parts work Multiple Loading did A plurality of mounting parts that can mount plate jigs for workpiece loading are installed. A notch is provided at a position facing the plate-shaped jig placed above. Table means, and table means provided with a moving part for moving the table part to circulate and move the plurality of mounting parts; stock means for stocking a plurality of the plate-shaped jigs; The plate-like jigs are taken out and conveyed one by one according to the timing of the plate, and the plate-like jigs that have been carried are placed on each of the placement parts that circulate and move by the table means. A jig supply means, a work alignment transport unit that sequentially transports a plurality of workpieces arranged in a plurality of rows, and sequentially transfers the workpieces that have been transported sequentially for each of a plurality of workpieces positioned at the head of each row according to a predetermined timing. A workpiece separating unit that separates from the workpiece aligning and conveying unit, and is driven each time a plurality of workpieces are separated by the workpiece separating unit to hold and convey the plurality of workpieces. A workpiece contact alignment section for aligning and arranging a plurality of workpieces in close contact with each other on the plate jig sent by the table means via the plate jig supply means; A workpiece supply means for supplying a predetermined number of workpieces for each plate-shaped jig sent by the operation of the close-contact alignment portion, and a spacer alignment transport portion for aligning and sequentially transporting a plurality of pre-stocked spacers in a row, A spacer separation unit that sequentially separates the leading spacers in the spacers that have been sequentially conveyed according to a predetermined timing, and is driven each time the spacers are separated by the separation unit, and the separated spacers are held and conveyed. A spacer transport and supply section for supplying the transported spacer to a predetermined position on the plate-shaped jig to which the workpiece sent by the table means is supplied; For example, the spacer separating portion and the spacer conveying feed Part A spacer supply means for supplying a predetermined number of spacers for each plate-shaped jig by operation, and the workpiece and the plate-shaped jig supplied with the spacers sequentially fed by the table means are sequentially separated from the mounting portion. Plate jig stacking means for transporting to a predetermined position and stacking at the predetermined position, the table means, the plate jig supply means, the workpiece supply means, the spacer supply means, and the plate jig. And control means for controlling and controlling the stacking means.
[0011]
In particular, the table portion is substantially circular and the plurality of placement portions are four, and the four placement portions are symmetrically installed on the upper surface of the substantially circular table portion with respect to the center thereof. The stock means, the workpiece supply means, the spacer supply means, and the plate-shaped jig stacking means are disposed around the table portion, while the moving portion has the substantially circular table portion. Each mounting portion is rotated intermittently so as to reach a position substantially opposite to the stock means, the workpiece supply means, the spacer supply means, and the plate-like jig stacking means.
[0012]
Further, in particular, the workpiece separating unit includes a holding mechanism that holds only a plurality of workpieces positioned at the head of each row of the plurality of rows of workpieces conveyed by the workpiece alignment conveying unit, and the holding mechanism. And a plurality of workpieces that are separated from the other workpieces by the lifting separation mechanism, and the workpiece contact and alignment section is configured to support a plurality of suction mechanisms corresponding to the number of workpieces that are separated by the lifting separation mechanism. A first moving support mechanism that supports the pitch between adjacent suction mechanisms in the plurality of suction mechanisms so as to be movable along the row direction of the workpiece; and the suction mechanism and the movement support mechanism in the horizontal direction and the vertical direction. And a second moving support mechanism that supports the plurality of workpieces by moving the plurality of suction mechanisms via the second moving support mechanism. The first suction support mechanism and the plurality of suction mechanisms holding the plurality of workpieces are moved together via the second movement support mechanism, and the first suction support mechanism is moved together. A plurality of workpieces held by the suction mechanism are arranged and arranged on the plate-shaped jig in a state where the pitch between adjacent suction mechanisms in the plurality of suction mechanisms is minimized via the movable support mechanism. I have to.
[0013]
Furthermore, in order to achieve the above-described object, according to the work alignment stacking method of the present invention, as described in claim 8, Made of ceramic parts work Multiple Loading did A plurality of mounting parts that can mount plate jigs for workpiece loading are installed. In addition, a notch is provided at a position facing the plate-shaped jig placed above. A step of moving the table portion to circulate the plurality of mounting portions; a step of stocking a plurality of the plate-shaped jigs; and the stocked plate-shaped jigs according to a predetermined timing. A plate-shaped jig supply step for placing and moving each of the loaded plate-shaped jigs in a circulating manner and aligning a number of workpieces in multiple rows. The workpieces that have been conveyed are sequentially separated into a plurality of workpieces positioned at the head of each row in accordance with a predetermined timing, and the plurality of separated workpieces are held and conveyed. A plurality of workpieces are aligned and arranged in close contact with each other on the plate-shaped jig sent through the plate-shaped jig supply step by the table portion circulation movement step, thereby feeding the plate-shaped jigs to be sent. Predetermined number per tool A workpiece supply step for supplying a workpiece, and a plurality of pre-stocked spacers are sequentially transported in a row, and the leading spacer of the sequentially transported spacers is sequentially separated according to a predetermined timing, and the separated spacers Is supplied to the predetermined position on the plate-shaped jig to which the workpiece sent by the table section circulation movement step is supplied, so that a predetermined amount is set for each plate-shaped jig. A spacer supplying step for supplying a plurality of spacers, and the workpiece and the plate-shaped jig supplied with the spacers sequentially fed by the table means are sequentially separated from the mounting portion and transported to a predetermined position. A plate-like jig stacking step for stacking at a position.
[0014]
According to the present invention, the plate according to the control of the overall control means is placed on the plurality of mounting parts that are circulated by the moving part of the table means and face the stock supply means based on the control of the overall control means. A plurality of plate-shaped jigs stocked in the stock means by the operation of the shaped jig supply means are taken out one by one and placed.
[0015]
On the other hand, the workpieces aligned and conveyed by the workpiece aligning / conveying unit are sequentially arranged for each of a plurality of workpieces positioned at the head of each column by the operation of the workpiece separating unit based on the control of the overall control unit. The plurality of separated workpieces are separated from the conveyance unit, and are held and conveyed by the operation of the workpiece conveyance unit based on the control of the overall control unit.
[0016]
That is, a plurality of workpieces positioned at the head of each row of the plurality of rows of workpieces conveyed by the workpiece alignment conveyance unit are held in a single row by the holding mechanism, and the holding mechanism is Ascending, a plurality of workpieces are separated from other workpieces.
[0017]
The workpieces that have been lifted and separated by the lift separation mechanism are moved by the plurality of suction mechanisms via the second moving support mechanism, and the plurality of workpieces are sucked and held, and the plurality of workpieces are held. The plurality of suction mechanisms thus moved move integrally with the first movement support mechanism via the second movement support mechanism.
[0018]
At this time, the table is in a state in which the pitch between adjacent suction mechanisms in the plurality of suction mechanisms is minimized by the first moving support mechanism, that is, in a state where the workpieces sucked by the plurality of suction mechanisms are in close contact with each other. The sheet is circulated and moved by the moving part of the means and aligned and supplied onto the plate-like jig placed on the placing part that has reached the position facing the work supply means. Then, by the operations of the workpiece separating unit and the workpiece conveying unit, a predetermined number of workpieces are aligned and supplied on the plate jig that has been sequentially moved.
[0019]
In addition, the spacers that have been aligned and conveyed by the spacer alignment and conveyance unit are sequentially separated from the spacer alignment and conveyance unit for each of the spacers positioned at the head by the operation of the spacer separation unit based on the control of the overall control means. The spacers are held and conveyed by the operation of the spacer conveyance unit based on the control of the overall control means.
[0020]
The spacer conveyed by the spacer conveying unit is circulated and moved by the moving unit of the table unit, and is supplied onto the plate-shaped jig supplied with the workpiece that has reached the position facing the spacer supplying unit. A predetermined number of spacers are supplied to the plate-shaped jig that has been sequentially moved by the operation of the transport unit.
[0021]
Then, the plate-like jigs supplied with the workpieces and the spacers sequentially fed by the table means are sequentially separated from the placing portion by the overall control means, conveyed to a predetermined position, and stacked at the predetermined position.
[0022]
That is, according to the present invention, continuous operation of each operation means (table means, plate jig supply means, work supply means, spacer supply means, and plate jig stacking means) based on the overall control of the overall control means. As a result, a plate-like jig having a predetermined number of works arranged in close contact with each other and stacked in a predetermined level is obtained.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the present embodiment, for example, a workpiece alignment stacking device (also referred to as a sheathing device) used in a magnetron ceramic component manufacturing line when manufacturing a cylindrical ceramic component (work) having a diameter of 20 mm, for example, used in a magnetron. Will be described.
[0024]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a magnetron ceramic component manufacturing line in the present embodiment. According to FIG. 1, the magnetron ceramic parts production line 1 performs a predetermined processing on the work while conveying the ceramic parts (workpiece) through the work transport conveyor 2 and the boat transport conveyor 3 to process the magnetron. It is a line that manufactures a workpiece that has been processed.
[0025]
That is, the magnetron production line 1 has a Mo coating device 4 for applying molybdenum (Mo) that is corrosion-resistant and can be kept at a considerably high temperature to a workpiece conveyed from a stocker or the like via a workpiece conveyor 2. The Mo drying device 5 for drying Mo applied by the Mo coating device 4, and the workpieces transported by the Mo transporting device 2 after the Mo drying process in the Mo drying device 5 are transferred to the Mo or the like. For example, a work alignment stage that is arranged in a rectangular plate-shaped jig (Mo plate) made of a metal material, and that a predetermined number of the Mo plates are stacked and stored in a transfer boat (Mo boat) formed of Mo. After the stacking process of the stacking device 6 and the work stacking device 6, the metallization is performed on each work in the Mo boat that has been transported through the boat transporting conveyor 3. And a metallizing furnace 7 for performing the machining, and after metallizing by the metallizing furnace 7, each workpiece in the Mo boat conveyed through the boat conveyor 3 is subjected to a pinning process and finally a work for the magnetron And a pinning device 8 that manufactures a manufacturing line that continuously performs a series of processes from the Mo coating process to the pinning process.
[0026]
Here, the structure and operation | movement about the workpiece | work alignment stacking apparatus 6 are demonstrated in detail using FIGS.
[0027]
FIG. 2 is an enlarged perspective view showing a schematic configuration of the workpiece alignment stacking device 6. The work aligning / stacking device 6 finishes the drying process of the Mo drying device 5, takes out the workpieces sequentially conveyed by a plurality (for example, 10) via the workpiece conveying conveyor 2, and arranges them on the Mo plate by a predetermined number. Let Then, spacers are arranged on the Mo plates on which the workpieces are aligned, and the Mo plates on which the workpieces and the spacers are arranged are stacked in a plurality of stages (for example, five stages) and stored in the Mo boat on the boat conveyor 3. Thus, a series of operations from the workpiece take-out / alignment operation and the Mo plate stacking operation to the storage operation to the Mo boat are performed automatically and unattended.
[0028]
That is, as shown in FIG. 2, the work aligning and stacking device 6 is installed at a base portion 10 having a base plate 10a and a substantially central portion of the upper surface of the base plate 10a. Mo plate feeding portion 11 that is sequentially sent to the plate, each operation portion arranged around this Mo plate feeding portion 11, that is, Mo plate feeding portion 12 that supplies Mo plate to Mo plate feeding portion 11, Mo plate feeding portion 11 A workpiece supply unit 13 for aligning and supplying workpieces to the Mo plate conveyed by the Mo plate, a spacer supply unit 14 for supplying spacers to the Mo plate having the workpiece conveyed by the Mo plate feeding unit 11, and the Mo plate A work alignment stacking unit 16 having a Mo plate stacking and transporting unit 15 for stacking Mo plates having workpieces and spacers conveyed by the feeding unit 11 in five stages and transporting and storing them in a Mo boat; And a control unit 17 that is housed inside the unit 10 and controls each component of the workpiece alignment unit 16. In addition, a wiring duct or the like for connecting the control unit 17 and the constituent elements (11 to 15) of the workpiece alignment stacking unit 16 is also stored in the base unit 10.
[0029]
On the other hand, a cover 20 having a door portion that can be opened and closed from the operator side is installed on the front side of the base portion 10 facing the operation control operator in the workpiece alignment stacking device 6. Is housed in a front cover (not shown) joined to the cover 20. At a predetermined position of the front cover (for example, the right end portion from the operator side), a display interactive type connected to the control unit 17 (a type in which operation data or the like can be input by designating elements on the display) The operation unit (not shown) is installed, and when the operator inputs the operation data via the operation unit, the operation data is sent to the control unit 17, and the above-described workpiece alignment stacking is performed via the control unit 17. Each component of the apparatus 6 (Mo plate feeding unit 11, Mo plate supplying unit 12, work supplying unit 13, spacer supplying unit 14, Mo plate stacking and conveying unit 15) is driven and controlled.
[0030]
In the present embodiment, the Mo plate supply unit 12 is installed at the front side end of the upper surface of the base plate 10a (hereinafter also referred to as the base surface 10b), and the workpiece supply unit 13 is the left side surface 10s of the base surface 10b when viewed from the front side. It is installed at the side edge. The spacer supply unit 14 is installed at an end of the base surface 10b facing the installation end of the Mo plate supply unit 12, and the Mo plate stacking and conveying unit 15 is viewed from the front side as viewed from the right side surface 10t of the base surface 10b. It is installed at the end.
[0031]
Hereinafter, each component of the workpiece alignment unit 16 will be described.
[0032]
As shown in FIGS. 2 and 3, the Mo plate feed section 12 has a rotary table 30 formed of A5052 and having a substantially circular shape as a whole, and the rotary table 30 at a predetermined height with respect to the base plate 10a. A support portion 31 that supports the table 30 and rotates the table 30 intermittently by a predetermined angle (about 90 ° in the present embodiment) clockwise about an axis orthogonal to the base surface 10b as a rotation axis; The Mo plate placed on the upper surface of the rotary table 30 is sequentially conveyed to each component of the unit 16 (Mo plate supply unit 12 → work supply unit 13 → spacer supply unit 14 → Mo plate stacking conveyance unit 15). It is configured.
[0033]
That is, the rotary table 30 is provided with a Mo plate mounting portion 32a for mounting the Mo plate on the peripheral portion of the table 30 upper surface (hereinafter also referred to as a table surface) 30a adjacent to the Mo plate supply unit 12. ing. Further, the rotary table 30 has a notch cut into a rectangular shape for separating the Mo plate placed on the Mo plate placing portion 32a from the rotary table 30 in the operation of the Mo plate stacking and conveying portion 15. A portion 33a is provided. Hereinafter, a Mo plate mounting portion 32b is provided at a peripheral portion adjacent to the workpiece supply portion 13, a peripheral portion adjacent to the spacer supply portion 14, and a peripheral portion adjacent to the Mo plate stacking portion 15. To 32d and notches 33b to 33d are provided.
[0034]
In each of the notches 33 a to 33 d, notches adjacent to each other (for example, notches 33 a and 33 b) are arranged so as to form about 90 ° with respect to the rotation axis of the rotary table 30. Each Mo plate mounting portion 32a to 32d is composed of a pair of Mo plate support portions 34k1 and 34k2 disposed on the peripheral portion of the rotary table 30 so as to sandwich the cutout portions 33a to 33d. The Mo plate support portions 34k1 and 34k2 are spaced apart so as to support the Mo plate according to the length of the Mo plate in the longitudinal direction.
[0035]
Of each pair of Mo plate support portions 34k1, 34k2, one Mo plate support portion 34k1 is fixed, and the other Mo plate support portion 34k2 is fixed Mo plate support with reference to the fixed Mo plate support portion 34k1. It can be moved away from and close to the portion 34k1. The other Mo plate support 34k2 is moved in response to an external lever operation via a rotary cylinder, for example, via a moving mechanism having a movable roller portion and a link portion. That is, after the Mo plate is placed on the Mo support portions 34k1 and 34k2 of the rotary table 30, the Mo plate is positioned by the movement of the other Mo plate support portion 34k2.
[0036]
On the other hand, the support portion 31 has an index mechanism using a roller gear type index unit. That is, the index unit incorporates a clutch, an electromagnetic brake, for example, a 1/31 speed reducer, and a 90 watt geared type index motor, and the like, and the rotary table 30 is driven at a predetermined speed by driving the index motor. Is rotated intermittently at about 90 °.
[0037]
Therefore, when the index mechanism of the support portion 31 is driven, the Mo plate placement portion 32a facing the Mo plate supply portion 12 is positioned at a position facing the adjacent workpiece supply portion 13 by the rotation of the rotary table 30 by about 90 °. Move (hereinafter, this movement is expressed as Mo plate mounting portion 32a → work supply portion 13), and similarly, Mo plate mounting portion 32b facing the work supply portion 13 → spacer supply portion 14, spacer supply portion 14 The Mo plate mounting portion 32c facing the plate → Mo plate stacking conveyance portion 15 and the Mo plate mounting portion 32d facing the Mo plate stacking conveyance portion 15 move to the Mo plate supply portion 12.
[0038]
That is, the Mo plate feeding unit 11 of this configuration is configured to move the Mo plate mounting units 32a to 32d through rotation of the rotary table 30 based on the driving of the index mechanism of the support unit 31. → Mo plate supply unit 12 → Work supply unit 13 → Spacer supply unit 14 → Mo plate stacking conveyance unit 15 → Mo plate supply unit 12 →... Suppose). The rotary table 30 is provided with a torque limiter (not shown) for limiting torque transmission when the rotary table 30 is overloaded.
[0039]
The rotational speed of the rotary table 30 of the Mo plate feeding section 11 depends on the operating speed and operating time of each operating section (Mo plate supplying section 12, work supplying section 13, spacer supplying section 14 and Mo plate stacking and conveying section 15). Accordingly, it is determined in advance, and continuous operation of each operation unit is possible.
[0040]
The Mo plate supply unit 12 has a stocker unit 40 capable of stocking Mo plates, and Mo plates placed by the stocker unit 40 close to and opposed to the Mo plate supply unit 12 of the rotary table 30 one by one. A loader unit 41 for conveying and supplying the unit 32a.
[0041]
As shown in FIG. 4, the stocker portion 40 has an L-shape having a base frame portion 45 serving as a base installed on the base surface 10 b and a side frame portion 46 provided upright with respect to the base frame portion 45. Frame 47, an LM guide 47 provided on the side frame 46 so that the guide line is orthogonal to the upper surface (base surface) 45a of the base frame portion 45, and the LM guide 47 adjacent to and adjacent to the LM guide 47. A rolled ball screw (hereinafter abbreviated as “ball screw”) 48 having a male screw portion 48 a arranged along the guide line of the above-mentioned guide, and a female screw portion 48 b of the ball screw 48 that is engaged with the guide portion of the LM guide 47. Fork 49 connected to the fork 49, for example, 100 sheets (work alignment) on the stock surface 49a parallel to the base surface 45a of the fork 49 By driving the 1.5 hours of loading unit 16 is adapted to be stocked Mo plate M can be processed sheets).
[0042]
On the other hand, a pair of shafts 50, 50 are arranged on the foundation surface 45 a along the same straight line along the longitudinal direction of the rolling ball screw 48 and in parallel with the male thread portion 48 a of the rolling ball screw 48. The shafts 50 and 50 of the pair are separated by a length corresponding to the longitudinal direction of the Mo plate M. The stock surface 49a of the fork 49 is formed with a hole 51 for allowing the shaft 50 on the side frame 46 side to pass through at the center of the side frame side end. The through hole 51 has a diameter sufficiently larger than the diameter of the shaft 50 so as not to hinder the vertical movement of the fork 49 itself.
[0043]
By the way, as shown by a two-dot chain line in FIG. 4, the Mo plate M is provided with semicircular portions m1 and m2 for engaging with the shafts 50 and 50, respectively, at the central portions of both end surfaces on the short side. The Mo plate M is guided through the shafts 50 and 50.
[0044]
In this configuration, the center position of the Mo plate M placed on the stock surface 49 a and guided by the shafts 50, 50 is the notch that is the center position of the Mo plate placement portion 32 a facing the Mo plate supply portion 12. The installation position on the base surface 10b of the frame 47 (frame base 45) is determined so as to be positioned on the same straight line as the center position of the portion 33a and the rotation axis of the rotary table 30.
[0045]
On the other hand, the stocker section 40 is connected to the ball screw 48 via a winding transmission mechanism such as a pulley, and the ball screw 48 (male thread section 48a) is rotated via the winding transmission mechanism by its rotational drive. A brake-equipped motor 55 that raises and lowers the screw portion 48b and the upper end of the side frame portion 46 are attached to detect the maximum reaching point (upward end) in the upward movement of the female screw portion 48b based on the driving of the motor 55. A rising end detection sensor 56 and a lowering end detection sensor 57 that is attached to the lower end portion of the side frame portion 46 and detects the maximum reaching point (lowering end) in the downward movement of the female screw portion 48b based on the driving of the motor 55 are provided. The motor 55, the rising end detection sensor 56, and the falling end detection sensor 57 are connected to the control unit 17 shown in FIG.
[0046]
The rising end detection sensor 56 raises the female screw portion 48b and the fork 49 based on the drive of the motor 55 and the rotational drive of the ball screw 48, and transports and supplies the Mo plate of the loader portion 41 to be described later in cooperation with the raising operation. By the operation, it is detected that all Mo plates M stocked on the fork 49 are supplied and the female thread portion 48b has reached the rising end, and this detection data is sent to the control unit 17. The control unit 17 controls the rotational drive of the ball screw 48 via the motor 55 in accordance with the sent detection data, and automatically lowers the female screw portion 48b and the fork 49.
[0047]
The descending end detection sensor 57 detects that the female thread portion 48 b has descended and has reached the descending end, and sends this detection data to the control unit 17. The control unit 17 automatically issues a warning sound (operator call), for example, via a display interactive operation unit in accordance with the sent detection data, that is, a command for causing the operator to stock the Mo plate M on the fork 49. A signal is output.
[0048]
As shown in FIG. 5, the loader unit 41 includes a square pipe frame (hereinafter also simply referred to as a frame) 60 installed upright with respect to the base surface 10b, a Mo head suction vacuum head unit 61, 60, and a support portion 62 that supports the vacuum head portion 61 so as to be movable in the vertical direction and a predetermined horizontal direction. The frame 60 has a vacuum pad support portion (to be described later) of the vacuum head portion 61 as a stocker portion. It is arranged on the base surface 10b so as to be positioned above the 40 stock surfaces 49a and facing each other.
[0049]
The support part 62 is installed at the upper end of the frame 60 and is parallel to a straight line connecting the center position of the Mo plate M placed on the stock surface 49a and the center position of the notch 33a facing the Mo plate supply part 12. A wide type LM guide 65 having a guideline and a rodless cylinder 66 attached to the LM guide 65 and having a moving mechanism that moves horizontally along the guideline of the LM guide 65.
[0050]
The vacuum head portion 61 is attached to an air cylinder 70 attached to a moving mechanism of the rodless cylinder 66 and is attached to the air cylinder 70 so as to face the stock surface 49a, and moves up and down by driving the air cylinder 70. A vacuum pad support 71 and two vacuum pads 72 and 72 attached to the vacuum pad support 71 in a suspended manner and capable of adsorbing the Mo plate M are provided.
[0051]
That is, as shown in FIG. 6, the loader unit 41 lowers the vacuum pad support 71 by the downward movement of the air cylinder 70 according to the control of the control unit 17, and the vacuum pads 72 and 72 of the vacuum pad support 71 The Mo plate M placed on the stock surface 49a of the stocker 40 is adsorbed by the Mo plate M placed on the stock surface 49a of the stocker unit 40, and the vacuum pad support 71 is raised by the upward movement of the air cylinder 70. Separate M.
[0052]
When the vacuum pad support portion 71 that has adsorbed the Mo plate M ascended by the upward movement of the air cylinder 70 rises to a predetermined height, the rotary cylinder 66 of the loader portion 41 is moved by the movement mechanism and the vacuum pad support portion under the control of the control unit 17. 71 is moved horizontally toward the Mo plate mounting portion 32a through the guideline of the LM guide 65. When the Mo plate M adsorbed by the vacuum pads 72 and 72 of the vacuum pad support portion 71 reaches above the Mo plate mounting portion 32 a, the loader portion 41 moves below the air cylinder 70 according to the control of the control unit 17. The vacuum pad support 71 is lowered by the movement, and the Mo plate M adsorbed by the vacuum pads 72 and 72 of the vacuum pad support 71 is placed on the Mo plate supports 34k1 and 34k2 of the Mo plate mounting part 32a.
[0053]
In this way, when the supply of the Mo plate M from the stocker unit 40 to the Mo plate mounting unit 32a by the loader unit 41 is completed, the rotary table 30 of the Mo plate feeding unit 11 is rotated by about 90 ° and the Mo plate M is rotated. The Mo plate mounting portion 32a supplied with the rotation rotates to a position facing the workpiece supply portion 13.
[0054]
As shown in FIG. 2, the work supply unit 13 receives, for example, 10 works (about 60 pieces) conveyed through the work conveyer 2 after the drying process in the Mo drying apparatus 5 is completed, and receives a predetermined number of rows. Alignment feeders 80 that are aligned in this embodiment (eight rows), and workpieces that are aligned in eight rows by this alignment feeder 80 are the same as the number of alignments (eight in this embodiment), or more predetermined than the number of alignments. A separation unit 81 that separates into a small number and a workpiece separated by the separation unit 81 are taken out and moved to a Mo plate placed on a Mo plate placement unit 32b that is close to and faces the workpiece supply unit 13 of the rotary table 30. And a loader unit 82 for supply.
[0055]
As shown in FIGS. 2 and 7, the alignment feeder 80 is connected to the workpiece transfer conveyor 2, and receives and receives 10 workpieces W transferred through the conveyor 2. The workpiece W is configured to be conveyed via the conveyance path 85 while applying vibration to the workpiece W. A plurality of rows (eight rows, 86a1 to 86a8) of passages (grooves) 86 are formed in the conveyance path 85a on the separation unit 81 side of the alignment feeder 80 for linear alignment along the conveyance direction. The passage pitch is longer than the diameter of the workpiece W, and the passages 86a1 to 86a8 are formed to have the same pitch. That is, the workpieces conveyed to the alignment feeder 80 are conveyed via the conveyance path 85 by vibration force, and are conveyed as eight rows of workpiece groups aligned on a straight line via the paths 86a1 to 86a8.
[0056]
The separating portion 81 is supported by a rectangular housing portion 90 and the housing portion 90 so as to be movable up and down via guide shafts 91, 91, and ends of the passages 86 a 1 to 86 a 8 of the alignment feeder 80 (work transfer portion). 86b1 to 86b8 and a work holding block 92 disposed in the vicinity. The work holding block 92 is a square block arranged along the direction in which the passages 86a1 to 86a8 are arranged, and corresponds to the pitch of the work transfer portions 86b1 to 86b8 at locations facing the work transfer portions 86b1 to 86b8. In addition, semi-elliptical grooves 93b1 to 93b8 each having a size capable of sufficiently placing the workpiece W are provided. The bottom surfaces (work placement surfaces) of the semi-elliptical grooves 93b1 to 93b8 are close to each other at the same height as the work passing surfaces of the work delivery parts 86b1 to 86b8, and the work delivery parts 86b1 to 86b8 are normal. The workpiece W that goes straight through the groove is stopped and held by the grooves 93b1 to 93b8 (note that the workpiece mounting surface of the semi-elliptical grooves 93b1 to 93b8 and the workpiece transfer portions 86b1 to 86b8 described above). The position of the separating portion 81 in a state where the workpiece passing surfaces are close to each other at the same height is defined as a reference height position).
[0057]
The work holding block 92 is provided with a work detection sensor 94 for each of the grooves 93b1 to 93b8 for detecting whether or not a predetermined amount of the work W has arrived and held in the work holding block 92. The detected data is sent to the control unit 17.
[0058]
The upper ends of the guide shafts 91 and 91 are respectively connected to the bottom surfaces of both end portions of the work holding block 92, and the lower end portions of the guide shafts 91 and 91 are inserted through the upper surface of the housing portion 90 via rolling bearings 95 and 95. Further, the separating portion 81 has an air cylinder (not shown) connected to the guide shafts 91, 91, and the guide shafts 91, 91 are driven by the air cylinders based on the control of the control unit 17, so that the rolling bearing 95, It moves up and down while being guided by 95.
[0059]
Further, the separating portion 81 has a stopper 96 that can stop the workpiece W that goes straight through, for example, the three passages 86a6 to 86a8 and the transfer portions 86b6 to 86b8. The stopper 96 is provided on each of the wall portions 97 constituting the workpiece transfer portions 86b6 to 86b8 (passages 86a6 to 86a8) of the aligning feeder 80, and the stoppers 96 are arranged by mechanisms such as a stopper holder described later. It can be moved to the wall 97 side and housed in the wall 97, and moved to the opposite side of the wall 97 by the mechanism to be positioned on the transfer portions 86b6 to 86b8.
[0060]
As shown in FIG. 7, the stoppers 96 are respectively held by a stopper holder 98 and a slide block 99, and each slide block 99 is connected to three guide shafts 100.
[0061]
One end of each of the three guide shafts 100 is connected to an air cylinder 102 via a connecting block 101, and the air cylinder 102 is connected to the control unit 17. That is, when the air cylinder 102 is driven via the control unit 17, the connecting block 101 moves in the longitudinal direction of the work holding block 92 (in the direction indicated by the arrow “a” in FIG. 7), and the stopper holder 98 is moved according to the movement. When the slide block 99 moves together, the stopper 96 moves in the direction indicated by the arrow “b” in FIG. 7 parallel to the longitudinal direction. Therefore, if each stopper 96 is moved from each wall portion 97 so as to be positioned on the transfer portions 86b6 to 86b8, the workpiece W that has moved straight through the passages 86a6 to 86a8 is transferred by the stopper 96 to the transfer portions 86b6 to 86b8. And is not held by the separation unit 81. On the other hand, if each stopper 96 is moved to each wall portion 97 side and stored in the wall portion 97, the workpiece W that has traveled straight through the passages 86a6 to 86a8 is separated regardless of the stopper 96. Held by the portion 81.
[0062]
Since the operation of each stopper 96 described above can be individually controlled for each stopper via the control unit 17 and the air cylinder 102, in this embodiment, the number of workpieces W separated by the separating portion 81 is six. -8 can be selected (in the following description, the number of workpieces W to be separated will be described as eight).
[0063]
As shown in FIG. 8, the loader unit 82 includes a vacuum head unit 110 for holding and holding a workpiece, a support unit 111 that supports the vacuum head unit 110 so as to be movable up and down, and the support unit 111 on a horizontal plane (XY plane). ) And an XY robot 112 that is movably supported.
[0064]
The support unit 111 is attached along the vertical direction via the plate 116 in a state of being opposed to the rotary actuator 115 installed on the XY robot 112 and spaced apart from the rotary actuator 115. And two LM guides 117 and 117.
[0065]
A connecting bar 118 is connected to the rotary actuator 115 via a plate 116, and the connecting bar 118 is disposed so as to protrude from the surface of the plate 116. A support plate 119 that supports the vacuum head unit 110 is suspended from the connection bar 118, and the back surface of the support plate 119 is engaged with the guide portions of the LM guides 117 and 117. The support plate 119 is guided by the LM guides 117 and 117 by a linear driving force generated according to the rotational driving force of the rotary actuator 115 and moves up and down.
[0066]
The vacuum head unit 110 includes a plurality (eight in this embodiment) of vacuum pads 120a1 to 120a8 corresponding to the maximum number (8 in this embodiment) of the workpieces W separated by the separating unit 81, and the vacuum pads 120a1. And a vacuum pad holder mechanism 121 for holding 120a8. The vacuum pad holder mechanism 121 has a fixed pad holder 122a1 fixed to one end portion of the lower front surface of the support plate 119, and one end portion fixed to the fixed pad holder 122a1 and arranged in parallel with the longitudinal direction of the separating portion 81. The two shafts 123, 123 formed, the movable pad holders 122a2 to 122a8 movably loosened through the two shafts 123 and 123, and the fixed pad holder 122a1 and the movable pad holders 122a2 to 122a8 are connected to each other. Each of the movable pad holders 122a2 to 122a8 is provided with a link mechanism 124 having a cross connection structure capable of moving along the shafts 123 and 123 with respect to the fixed pad holder 122a1.
[0067]
The vacuum pads 120a1 to 120a8 are provided at the lower front of each pad holder (fixed pad holder 122a1 and moving pad holders 122a2 to 122a8), respectively, and are illustrated with respect to the vacuum generation source 125 installed in the XY robot 112. Not connected through a hose. The vacuum generation source 125 is connected to the control unit 17, and each of the vacuum pads 120 a 1 to 120 a 8 can suck and hold the workpiece by driving the vacuum generation source 125 based on the control of the control unit 17.
[0068]
Further, a rodless air cylinder 130 connected to the control unit 17 is provided on the upper front surface of the support plate 119. This rodless air cylinder 130 is provided with a predetermined holder among the moving pad holders 122a2 to 122a8. It is configured to be movable along the shafts 123 and 123. Therefore, by driving the rodless air cylinder 130 via the control unit 17, the horizontal positions of the moving pad holders 122a2 to 122a8 can be freely determined, and the pitch between adjacent holders, that is, adjacent vacuum pads, can be determined. It is also possible to freely change the pitch of 120a1 to 120a8. Before the workpiece suction operation, the pitch of the vacuum pads 120a1 to 120a8 is set to a pitch corresponding to the pitch of the grooves 93b1 to 93b8 of the separating portion 81.
[0069]
Further, a shock absorber 131 is attached to the upper portion of the front surface of the support plate 119 on the fixed pad holder 122a1 side so as to stop the horizontal movement of the rodless air cylinder 130 via a stopper adjacent to the rodless air cylinder 130. The stopper position of the shock absorber 131 is determined in advance according to the shape of the workpiece W, so that the movable pad holders 122a2 to 122a8 are moved toward the fixed pad holder 122a1 until they come into contact with the stopper position. ~ 122a8 can be adhered.
[0070]
According to the separation part 81 and the loader part 82 configured as described above, the workpiece W (in FIG. 7, it has been conveyed through the path 86a4) conveyed through the paths 86a1 to 86a8 of the alignment feeder 80. Only the workpiece W is shown) is supplied to the grooves 93b1 to 93b8 of the separating portion 81 via the workpiece transfer portions 86b1 to 86b8 and stops. At this time, each workpiece detection sensor 94 detects that the workpiece W is held in the corresponding grooves 93b1 to 93b8, and this detection signal is sent to the control unit 17.
[0071]
The control unit 17 drives the air cylinder in response to the sent detection signal to raise the guide shaft 91, and moves the work holding block 92 of the separation unit 81 from the reference height position to a predetermined height position (this position is changed). (Refer to FIG. 8).
[0072]
At this time, the XY robot 112 of the loader unit 82 moves the support unit 111 in the XY plane in accordance with the control of the control unit 17, and the workpiece W held in the grooves 93 b 1 to 93 b 8 of the separation unit 81. The vacuum pads 120a1 to 120a8 are positioned above the rear side proximity position.
[0073]
Subsequently, the vacuum pad support 110 is lowered along the LM guides 117 and 117 by driving the rotary actuator 115 in accordance with the control of the control unit 17, and the vacuum pads 120 a 1 to 120 a 8 are moved to the corresponding works of the separation unit 81. Close to W.
[0074]
Then, each workpiece W is sucked and held by driving the vacuum generation source 125 according to the control of the control unit 17 (see FIG. 8).
[0075]
Next, the air cylinder is driven in accordance with the control of the control unit 17 to lower the guide shaft 91 to lower the separation unit 81 (positioning block 92) to the reference height position, and to the XY robot 112 of the loader unit 82. Then, the rotary actuator 115 is driven to move the support portion 111 in the horizontal direction, and the vacuum head support portion 110 is lowered, whereby the vacuum pads 120a1 to 120a8 are placed on the Mo plate facing the work supply portion 13 at present. It is transported to the vicinity of the Mo plate M mounted on the portion 32a (Mo plate support portions 34k1, 34k2) (see FIG. 9. In FIG. 9, one pad holder 122a1 and a vacuum pad 120a1 are shown for simplification. ing). At this time, the rodless air cylinder 130 is driven via the control unit 17 to bring the moving pad holders 122a2 to 122a8 into close contact with the fixed pad holder 122a1 as much as possible according to the shape of the workpiece W. Then, the workpiece W attracted and held by the vacuum pads 120a1 to 120a8 is placed on the Mo plate M, for example, 15 in the first row along the short direction of the Mo plate M and 14 in the second row. Alternatingly, for example, closely aligned over 5 rows (see FIG. 9). In addition, it is possible to change the contact | adherence pitch of the workpiece | work W adsorbed-held by changing a stopper position suitably. Therefore, the workpiece W can be closely aligned regardless of its outer shape.
[0076]
When the above operation is repeated a predetermined number of times and the work W contact supply process to the Mo plate M by the work supply unit 13 is completed, the rotary table 30 of the Mo plate feed unit 11 is rotated by about 90 ° to supply the work W. The Mo plate mounting portion 32 a on which the Mo plate M is mounted rotates and moves to a position facing the spacer supply portion 14.
[0077]
As shown in FIG. 10, the spacer supply unit 14 includes an alignment feeder unit 141 that conveys the spacers S discharged from the bowl feeder B (see FIG. 2) in a line by a parts feeder (not shown), and this alignment. A separation unit 142 that separates the spacers S conveyed by the feeder unit 141 one by one, and the spacers S separated by the separation unit 142 are taken out, and the Mo that is close to and faces the spacer supply unit 14 of the current rotary table 30 is taken out. And a loader unit 143 for supplying the Mo plate (work is already supplied) M mounted on the plate mounting unit 32a.
[0078]
The alignment feeder unit 141 includes an alignment feeder 145 having a horizontal conveyance path 144 connected to the discharge port of the bowl feeder B, and a support column 146 provided upright on the base surface 10b. The alignment feeder 145 includes: The conveyance path 144 is supported by the support column 146 through the support portion 147 so as to be positioned at a predetermined height.
[0079]
The separation unit 142 is attached to the support unit 147 and has a configuration similar to the separation unit 82 of the workpiece supply unit 13. In other words, the separation unit 142 includes a spacer holding block 150 disposed in the vicinity of the end (spacer delivery unit) 144 a of the conveyance path 144, an air cylinder, and the like, and the spacer holding block 150 is controlled based on the control of the control unit 17. And a block moving unit 151 that moves up and down along the axial direction of the support column 146. Further, a semi-elliptical groove 152 of a size corresponding to the pitch of the spacer transfer portion 144a and a size on which the spacer S can be sufficiently placed is provided at a position facing the spacer transfer portion 144a of the holding block 150. The spacer S transported via the transport path 144 (spacer delivery portion 144a) is stopped and held by the groove 152 (note that the separation portion 142 (spacer S capable of separating and retaining the spacer S) The height position of the holding block 150) is referred to as a reference height position).
[0080]
Further, the spacer holding block 150 is provided with a spacer detection sensor 155 that detects whether or not the spacer S has arrived and held in the spacer holding block 150. The detection data of the spacer detection sensor 155 is a control data. It is sent to the unit 17. In addition, the conveyance path 144 which contacts the spacer S has a structure that can be partially exchanged as a Duracon.
[0081]
The loader unit 143 includes a chucking head unit 160 for a spacer chuck, a support unit 161 that supports the chucking head unit 160 so that the chucking head unit 160 can be moved up and down, and a support unit 161 that is movable on a horizontal plane (XY plane). And an XY robot 162.
[0082]
The support part 161 has a thin cylinder 165 installed in the XY robot 162, and is configured to move the chucking head part 160 up and down by the driving force of the thin cylinder 165.
[0083]
The chucking head unit 160 includes an air cylinder and a housing 166 having a driving mechanism driven by the air cylinder, and a pair of chuck claws protruding from the lower surface of the housing 166 and mechanically coupled to the driving mechanism. 167, 167.
[0084]
The chuck claws 167 and 167 are spaced apart from each other by a predetermined length and are disposed in parallel with each other along the vertical direction, and each has an R shape. The chucking claws 167 and 167 move in a direction close to each other by driving a driving function according to the power of the air cylinder, and chuck and hold the spacer S positioned between the claws 167 and 167. In addition, the spacer S that has moved and moved away from each other can be discharged. Note that the separation interval when the chuck claws 167 and 167 are farthest apart is larger than the length of the wall pressure of the spacer S, and the proximity interval when the claws 167 and 167 are closest is the length of the meat pressure. Is also configured to be narrow. Before the spacer S chuck, the claw portions 167 and 167 are in the most separated state.
[0085]
According to the separation unit 142 and the loader unit 143 configured as described above, the spacer S conveyed via the conveyance path 144 of the alignment feeder 145 is separated from the spacer holding block of the separation unit 142 via the spacer delivery unit 144a. 150 is supplied to the groove 152 and stops. At this time, the spacer detection sensor 155 detects that the spacer S is held in the groove 152, and this detection signal is sent to the control unit 17.
[0086]
The control unit 17 drives the block moving unit 151 according to the sent detection signal, and moves the spacer holding block 150 of the separation unit 142 to a predetermined height position from the reference height position (this position is set as a loader transport position). Raise to.
[0087]
At this time, the XY robot 162 of the loader unit 143 moves the support unit 161 in the XY plane according to the control of the control unit 17, and the pressure of the spacer S held in the groove 152 of the separation unit 142 is increased. The claw portions 167 and 167 of each chucking head portion 160 are positioned above the portion.
[0088]
Subsequently, the chucking head portion 160 is lowered by driving the thin cylinder 165 according to the control of the control unit 17, and the wall pressure of the spacer S is positioned within the interval between the claw portions 167 and 167. Then, the claw portions 167 and 167 are moved parallel to each other by driving the air cylinder and the drive mechanism according to the control of the control unit 17 to chuck and hold the pressure portion of the spacer S (see FIG. 11). .
[0089]
Next, the block moving unit 151 is driven under the control of the control unit 17 to lower the spacer holding block 150 of the separation unit 142 to the reference height position, and the XY robot 162 and the thin cylinder 165 of the loader unit 143 are moved. The predetermined position on the Mo plate M placed on the Mo plate placement portion 32a facing the spacer supply portion 14 is moved by driving the support portion 161 in the horizontal direction and lowering the chucking head portion 160. Then, the spacer S chucked by the chucking claws 167 and 167 of the chucking head unit 160 is placed (see FIG. 11). Then, the claw portions 167 and 167 are moved parallel to each other by driving the air cylinder and the drive mechanism according to the control of the control unit 17, and the chucked spacer S is supplied to a predetermined position on the Mo plate M.
[0090]
The above operation is repeated a predetermined number of times (for example, four spacers are supplied per Mo plate M), and when the spacer S supply processing to the Mo plate M by the spacer supply unit 14 is completed, the Mo plate feeding unit 11 The rotary table 30 rotates about 90 °, and the Mo plate mounting portion 32a on which the Mo plate M supplied with the workpiece W and the spacer S is rotated and moved to a position facing the Mo plate stacking and conveying portion 15. To do.
[0091]
As shown in FIG. 12, the Mo plate stacking and conveying section 15 is provided with a plate-like frame 170 having an L-shaped cross section provided upright on the base surface 10b, and a lower portion of the frame 170. A take-out portion 171 for taking out M from the rotary table 30 and an upper portion of the frame 170, and the Mo plates M taken out by the take-out portion 171 are stacked in five stages and stored in the Mo boat on the boat conveyor 3. A loader unit 172.
[0092]
The frame 170 is disposed such that the lateral side surface thereof is parallel to the right side surface 10t of the base surface 10b, and the take-out portion 171 has a main portion as a spacer supply portion 14 at the lower portion of the frame 170. It is installed on the side plane (referred to as the inner surface). The main part of the loader part 172 is installed on the inner surface of the upper part of the frame 170. The frame 170 is opposed so that the Mo plate removal center position, which will be described later, of the take-out portion 171 substantially coincides with the center position of the notch portion of the rotary table 30 that is close to and faces the Mo plate stacking conveyance portion 15. Is disposed on the base surface 110b.
[0093]
The take-out portion 171 has an L-shaped block 176 attached to the inner surface of the frame 170 via an elevating mechanism 175 so that the rectangular action surface 176a is parallel to the base surface 10b, and the action of the L-shaped block 176a. A magnet-type rodless cylinder 178 that is installed on the surface 176a and slides the slide portion 177 along the longitudinal direction of the working surface 176a, that is, in a direction toward and away from the Mo plate feed portion 11; And a Mo plate push-up portion 179 installed on the upper surface of the slide portion 177 parallel to the action surface 176a of the block 176.
[0094]
The elevating mechanism 175 includes LM guides 180 and 180 that are opposed to each other on the inner surface of the frame 170 at a predetermined interval and perpendicular to the base surface 10 b, and the LM guide 180 and 180 at the center of the interval between the LM guides 180 and 180. A rolled ball screw (hereinafter abbreviated as a ball screw) 181 having a male screw portion 181a arranged in parallel with 180 guide lines, and connected to the ball screw 181 via a winding transmission mechanism such as a pulley, The L-shaped block 176 includes an LM guide, and a motor 182 with a brake that rotates the male screw portion 181a of the ball screw 181 via a winding transmission mechanism by rotation and moves the female screw portion 181b up and down. The ball screw 181 is attached to the female screw portion 181b in a state of being engaged with 180,180.
[0095]
The Mo plate push-up portion 179 is arranged to face the frame 170 side end portion on the upper surface of the slide portion 177 at a predetermined interval, and is substantially L-shaped and substantially inverted L-shaped support piece 185 as viewed from the side facing the inner surface of the frame 170. , 185, and substantially L-shaped and substantially inverted L-shaped support pieces 186 and 186 disposed on the upper surface of the slide portion 177 opposite to the frame 170 side at a predetermined interval. 185, 185 and 186, 186 are provided with support columns 187 having the same height on the upper surface parallel to the base surface 10b (the working surface 176a of the L-shaped block 176).
[0096]
As shown in FIG. 12, the support pieces 185 and 185 and the support pieces 186 and 186 are arranged so that portions 185 a and 186 a protruding upward are positioned along the side surface of the slide portion 177 on the slide direction side. In addition, the opposing spacing of the protruding portions 185a of the supporting pieces 185 and 185 and the opposing spacing of the protruding portions 186a of the supporting pieces 186 and 186 are arranged to be longer than the length of the Mo plate M in the short direction. . Note that an intersection formed by connecting the centers of the upper surfaces of the four columns 185, 185, 186, and 186 in a cross shape is defined as a Mo plate removal center position.
[0097]
On the other hand, the loader unit 172 supports the chucking head unit 190 for Mo plate chuck and the chucking head unit 190 movably in the horizontal direction along the sliding direction of the sliding unit 177, as shown in FIG. A support portion 191, and the support portion 191 is attached to the upper portion of the frame 170.
[0098]
The support portion 191 is attached to the LM guide 192 installed on the upper surface of the inner surface of the frame 170 so as to have a guideline parallel to the sliding direction of the slide portion 177, and is attached to the LM guide 192 along the guideline of the LM guide 192. And a rodless cylinder 194 having a moving mechanism 193 that moves horizontally.
[0099]
The chucking head unit 190 includes a pair of chuck poles 195 and 195 that are spaced apart from each other by a predetermined length, a support plate 196 that supports the chuck poles 195 and 195, a rotary cylinder 197, and a support A winding transmission mechanism 198 mechanically coupled to the plate 196; the driving transmission mechanism 198 is driven by the rotation transmission mechanism 198 according to the rotational power of the rotary cylinder 197; A swing mechanism 199 that swings about 90 degrees about an axis along the central axis of 195 as a rotation axis, and a holding unit 200 that holds the swing mechanism 199 are provided, and the holding unit 200 is attached to the moving mechanism 193. .
[0100]
The chuck poles 195 and 195 are formed so that their diameters are slightly shorter than the diameters of the semicircular portions m1 and m2 of the Mo plate M. Further, Mo plate support pieces 201 and 201 that protrude in the facing direction are attached to the lower ends of the chuck poles 195 and 195 in order to support the Mo plate M.
[0101]
A moving mechanism 202 having a plurality of pulleys and a link mechanism is attached to the support plate 196. The moving mechanism 202 moves the chuck poles 195 and 195 in the direction of approaching each other according to the rotational power of the rotary cylinder 197. The chuck poles 195 and 195 and the protruding directions of the Mo plate support pieces 201 and 201 of the poles 195 and 195 can be rotated around the central axis as a rotation axis. ing. In the initial state before the Mo plate M is chucked, the chuck poles 195 and 195 are most distant from each other, and the protruding directions of the Mo plate support pieces 201 and 201 are opposite to each other.
[0102]
The holding unit 200 includes a moving mechanism 206 having two guide shafts 205, 205 and the like disposed in parallel with the central axes of the chuck poles 195 and 195. The driving mechanism 206 drives the chuck 200. The poles 195 and 195, the support plate 196, and the swing mechanism 199 can be moved up and down as a unit.
[0103]
According to the Mo plate stacking and conveying unit 15 configured as described above, the Mo plate M (hereinafter simply referred to as Mo plate M) to which the workpiece W and the spacer S are supplied up to a position facing the Mo plate stacking and conveying unit 15. ) Has been rotated, that is, when the Mo plate M is positioned above the Mo plate push-up portion 179 of the take-out portion 171, the brake motor 182 and the ball screw 181 of the lifting mechanism 175 are controlled according to the control of the control unit 17. To raise the female thread portion 181b and the L-shaped block 176.
[0104]
At this time, the support pieces 185 to 186 of the Mo plate push-up portion 179 and the support column 187 provided on the support pieces 185 to 186 rise with the rise of the L-shaped block 176 and are located above the Mo plate push-up portion 179. The Mo plate M that passes through the notch 33a and is mounted on the Mo plate mounting portion 32a is supported by the projecting portions 185a and 186a of the support pieces 185 to 186, and is pushed up by the support column 187 to rotate the Mo plate M. Separated from the Mo plate mounting portion 32a of the table 30 (see FIG. 13; arrow A).
[0105]
In a state where the Mo plate M is separated from the Mo plate mounting portion 32 a, the rodless cylinder 178 is driven under the control of the control unit 17 to slide the slide portion 177 away from the rotary table 30. As a result, the Mo plate push-up portion 179 on the slide portion 177 also slides in the direction away from the rotary table 30 together with the slide portion 177, and away from the upper position of the notch 33a (see FIG. 13; arrow B).
[0106]
In a state in which the rotary table 30 is slid to a position completely away from the upper position of the notch 33a of the rotary table 30, the moving mechanism 206 of the holding unit 200 is driven under the control of the control unit 17, thereby causing the chuck poles 195 and 195 and the support plate. 196 and the swing mechanism 199 are lowered together, and the swing mechanism 199 is driven via the rotary cylinder 197 and the winding transmission mechanism 198 so that the chuck pole 195 is placed on the Mo plate push-up portion 179. Mo Move the plate M until it reaches a position facing the semicircular portions m1 and m2.
[0107]
Then, the moving mechanism 202 is driven in accordance with the control of the control unit 17 to move the chuck poles 195 and 195 in directions close to each other, and the poles 195 and 195 are moved to the semicircular portions m1 and m2 of the Mo plate M, respectively. Engage (see arrow B in FIG. 13).
[0108]
In a state where the poles 195 and 195 are engaged with the semicircular portions m1 and m2 of the Mo plate M, the moving mechanism 206 of the loader portion 172 is driven under the control of the control unit 17, and the chuck poles 195 and 195, the support plate 196 and the swing mechanism 199 are raised together. At this time, the Mo plate M is supported by the Mo plate support pieces 201 and 201 of the chuck poles 195 and 195, and ascends together with the support plate 196 and the like, and is separated from the Mo plate push-up portion 179 (FIG. 13 arrow C). reference).
[0109]
In a state where the support plate 196, Mo plate M and the like are raised to the predetermined position, the rotary cylinder 194 is driven under the control of the control unit 17 to slide the moving mechanism 193 to the predetermined position. At this time, the holding unit 200 attached to the moving mechanism 193 slides to a predetermined position together with the slide of the moving mechanism 193 in a state where the Mo plate M is chucked on the chuck poles 195 and 195.
[0110]
In a state of sliding to a predetermined position, the moving mechanism 206 of the holding unit 200 is driven to integrate the chuck poles 195 and 195, the support plate 196, and the swing mechanism 199 so that the lower end portions of the chuck poles 195 and 195 are predetermined. Move down until it reaches the vicinity of the Mo plate placement position. Then, by moving the moving mechanism 202 according to the control of the control unit 17 and rotating the chuck poles 195 and 195 (that is, the protruding directions of the Mo plate support pieces 201 and 201 of the poles 195 and 195), The Mo plate M chucked by the Mo plate support pieces 201 and 201 is placed at the Mo plate mounting position.
[0111]
Subsequently, the above operation is performed on the Mo plate M2 which has been rotated and moved to the position next to the Mo plate stacking and conveying section 15, so that the Mo plate M is placed at the Mo plate placement position. The first Mo plate M1 is stacked via a spacer S supplied to the Mo plate M1.
[0112]
In this way, with the predetermined number of stages (five stages) Mo plates M1 to M5 stacked, the above-mentioned moving mechanisms are driven by the same control in accordance with the control of the control unit 17, respectively. 195 and 195 are engaged with the semicircular portions m1 and m2 of the lowermost Mo plate M1, respectively, and the chuck poles 195 and 195 are lifted to move the stacked Mo plates M1 to M5 to a predetermined Mo boat. Is transported upward and stored in the Mo boat.
[0113]
Next, the overall operation of the workpiece alignment stacking apparatus 6 will be described.
[0114]
When the magnetron production line 1 is in operation, the workpieces W that have been subjected to the Mo plate coating step and the Mo plate drying step are sent to the workpiece alignment stacking device 6 through the workpiece transfer conveyor 2 one by one.
[0115]
At this time, the Mo plate of the rotary table 30 is transferred from the stocker unit 40 by the above-described suction and transfer operation of the loader unit 41 of the Mo plate supply unit 12 at a predetermined timing according to the workpiece W transfer timing after the completion of the Mo plate drying process. The Mo plate M automatically supplied to the placement unit 32a is positioned at a position facing the workpiece supply unit 13 by the rotation of the rotary table 30 based on the operation of the Mo plate feeding unit 11 (the rotation time is tr). Moving.
[0116]
When the Mo plate M1 moves to a position facing the workpiece supply unit 13, the workpiece supply unit 13 performs the above-described alignment, separation, and transfer operations of the workpiece W based on the control of the control unit 17, and the workpiece W is moved to the Mo plate. Supplied in close alignment with M1 (see FIG. 9).
[0117]
On the other hand, since the Mo plate mounting portion 32d is moved to a position facing the Mo plate supply portion 12 by the rotation of the rotary table 30, the Mo plate of the second Mo plate M2 is simultaneously with the work W supply operation described above. The supply operation of the mounting portion 32b is also performed (assuming that the workpiece supply operation time tw is longer than the Mo plate supply operation tm).
[0118]
Then, when the operation of the workpiece supply unit 13 is repeated a predetermined number of times and the work supply unit 13 completes the process of closely supplying the workpiece W to the Mo plate M1, the Mo plate M1 to which the workpiece W has been supplied becomes the Mo plate feeding unit. When the rotary table 30 is rotated based on the operation 11, the rotary table 30 is moved to a position facing the spacer supply unit 14, and the Mo plate M 2 is moved to a position facing the workpiece supply unit 13.
[0119]
When the Mo plate M1 moves to a position facing the spacer supply unit 14, the spacer supply unit 14 performs the above-described separation and transport operations of the spacer S based on the control of the control unit 17, and the spacer S becomes a predetermined value on the Mo plate M1. The position is supplied (see FIG. 11).
[0120]
Further, the workpiece contact supplying process is performed on the Mo plate M2 by the operation of the workpiece supplying unit 13, and the Mo plate mounting portion 32c moved to a position facing the Mo plate supplying unit 12 is also 3 The first Mo plate M3 is supplied (space supply time ts>tw> tm).
[0121]
When the operation of the spacer supplying unit 14 is repeated a predetermined number of times and the spacer S supplying operation to the Mo plate M1 by the spacer supplying unit 14 is completed, the Mo plate M1 to which the workpiece W and the spacer S are supplied becomes the Mo plate feeding unit 11. The rotary table 30 is rotated and moved to a position facing the Mo plate aligning and stacking conveyance unit 15 based on the above operation, and similarly, the Mo plate M2 → the spacer supply unit 14 and the Mo plate M3 → the workpiece supply unit 13 are rotated and moved. To do.
[0122]
Subsequently, when the Mo plate M1 moves to a position opposite to the Mo plate stacking and conveying unit 15, the Mo plate stacking and conveying unit 15 performs the above-described stacking and conveying operation of the Mo plate M1 based on the control of the control unit 17. Done.
[0123]
Also, the spacer supply process is performed on the Mo plate M2 by the operation of the spacer supply unit 14, and the workpiece contact supply process is performed on the Mo plate M3 by the operation of the workpiece supply unit 13. Furthermore, the fourth Mo plate M4 is also supplied to the Mo plate mounting portion 32d moved to a position facing the Mo plate supply portion 12 (Note that the Mo plate stacking conveyance processing time tc>ts>tw> tm).
[0124]
When the transporting operation for stacking is completed, the Mo plate mounting portion 32a from which the Mo plate M1 is separated moves to a position facing the Mo plate supply portion 12 by the rotation of the rotary table 30 based on the operation of the Mo plate feeding portion 11. Similarly, Mo plate M2 → Mo plate stacking and conveying unit 15, Mo plate M3 → spacer supplying unit 14, Mo plate M4 → work supplying unit 13, and the above-described operations are sequentially supplied. It is performed continuously for the following Mo plates M5, M6,.
[0125]
The control timing of the Mo plate feed section 11 of the control unit 17 corresponding to the above operation, the control timing of the Mo plate supply section 12, the control timing of the workpiece supply section 13, the control timing of the spacer supply section 14, and the Mo plate stacking conveyance FIG. 14 is a time chart showing an outline of the control timing of the unit 15.
[0126]
As shown in FIG. 14, Mo plate feeding is performed in accordance with the operation time (control time) of each operation unit (Mo plate supply unit 12, work supply unit 13, spacer supply unit 14, and Mo plate stacking conveyance unit 15). Since the control timing of the unit 11 (rotational movement timing of the rotary table 30) is determined, each of the operation units (Mo plate supply unit 12, work supply unit 13, spacer supply unit 14, and Mo plate stacking and conveying unit 15). By the operation according to the rotational movement of the rotary table 30, the continuous work contact and alignment process and the Mo plate stacking and transporting process in which the work is aligned and closely contacted can be performed automatically and unattended. In the fifth multiple Mo plates M5, M10,..., Which is the number of stacks in this embodiment, for example, the Mo plate M5 is further stacked on top of the Mo plates M1 to M4 on which M1 to M4 are stacked. After loading, the processing time tc1 for transporting and storing the Mo plates M1 to M5 stacked in the predetermined level (five levels) to the Mo boat is required, and the same processing as other Mo plates is performed thereafter. become.
[0127]
As described above in detail, according to the work alignment stacking apparatus 6 of the present embodiment, the work alignment process and the Mo plate stacking process in which the work is closely aligned are automatically and unmanned (or operated). Since it is performed mechanically by a monitoring operator or the like (minimum necessary), the efficiency of the close contact alignment process and the stacking process can be improved, and the work manufacturing cost can be dramatically increased.
[0128]
Further, according to the workpiece alignment stacking apparatus 6 of the present embodiment, the workpiece W conveyance supply portion in the loader unit 82 that supplies and supplies the workpiece W to the Mo plate M is configured using the vacuum pads 120a1 to 120a8, and the vacuum pad Since the pitches 120a1 to 120a8 can be freely changed, the workpieces can be closely aligned in automatic and unattended mechanical workpiece alignment processing, and the efficiency of supplying workpieces to the Mo plate M can be improved. .
[0129]
Furthermore, according to the workpiece alignment stacking apparatus 6 of the present embodiment, the spacer S for the Mo plate M to which the workpiece W is closely supplied is automatically moved to a desired position on the Mo plate M by the transport operation of the loader unit 143. Can be supplied. That is, since it is not necessary to fix the spacer to the Mo plate in advance, the Mo plate can be used for any workpiece without specializing, and the versatility of the Mo plate can be improved.
[0130]
Even when only Mo plates are stacked and stored in a stocker or the like, the storage space is increased by the amount that the spacer is not fixed.
[0131]
Furthermore, since there is no positional interference with the spacer when placing the workpiece on the Mo plate, the workpiece can be placed on the Mo plate with maximum contact, and the work load on the Mo plate can be reduced. Can be increased. As a result, work manufacturing efficiency can be improved.
[0132]
In the present embodiment, the workpiece alignment stacking apparatus used in a magnetron ceramic parts manufacturing line, for example, a cylindrical ceramic part having a diameter of 20 mm used for a magnetron as an example is described as a part (work). The invention is not limited to this, and can also be applied to lines for processing and manufacturing other workpieces.
[0133]
In this embodiment, the Mo plate is used as the plate-shaped jig. However, the present invention is not limited to this, and a plate-shaped jig formed of other materials (for example, depending on the type of workpiece). May be used.
[0134]
Furthermore, in the present embodiment, the work alignment stacking apparatus that stacks Mo plates, which are closely aligned and supplied with workpieces, via a spacer supply operation has been described. However, an apparatus that does not need to be stacked, that is, sequentially transports. Needless to say, the present invention can also be applied to a workpiece aligning apparatus that aligns and supplies a large number of workpieces in close contact with the Mo plate.
[0135]
【The invention's effect】
As described above, according to the work aligning device, the work aligning and stacking method, and the work aligning and stacking device according to the present invention, the work alignment process and / or the step of the plate-like jig in which the work is closely aligned are arranged. Stacking processing is automatically and automatically performed by continuous operation of each operation means (table means, plate jig supply means, work supply means, spacer supply means and plate jig stacking means) based on the overall control of the overall control means. Therefore, the efficiency of the close contact alignment process and / or stacking process can be improved, and the work manufacturing cost can be dramatically increased.
[0136]
In particular, according to the present invention, a state in which the pitch between adjacent suction mechanisms in the plurality of suction mechanisms is minimized by the first moving support mechanism, that is, each work sucked by the plurality of suction mechanisms is Since the workpiece can be aligned and supplied on the plate-shaped jig in a close contact state, the workpiece can be aligned and supplied in a state of maximum contact, and the efficiency of supplying the workpiece to the plate jig can be improved. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a magnetron ceramic component manufacturing line using a workpiece alignment stacking apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged perspective view showing a schematic configuration of a work alignment stacking apparatus.
FIG. 3 is a top view showing a configuration of a rotary table.
FIG. 4 is an enlarged perspective view showing a schematic configuration of a stocker unit.
FIG. 5 is an enlarged perspective view showing a schematic configuration of a loader unit.
FIG. 6 is a view for explaining the Mo plate supply operation of the loader unit.
FIG. 7 is an enlarged perspective view illustrating a schematic configuration of an alignment feeder unit and a separation unit.
FIG. 8 is an enlarged perspective view showing a schematic configuration of a loader unit.
FIG. 9 is a view for explaining a workpiece supply operation of the loader unit.
FIG. 10 is an enlarged perspective view illustrating a schematic configuration of a spacer supply unit.
FIG. 11 is a diagram for explaining a spacer supply operation of the loader unit.
FIG. 12 is an enlarged perspective view showing a schematic configuration of a Mo plate stacking conveyance unit.
FIG. 13 is a view for explaining the Mo plate separation operation from the rotary table of the Mo plate stacking conveyance unit.
FIG. 14 is a time chart showing an outline of control timings of a Mo plate feeding unit, a Mo plate supplying unit, a workpiece supplying unit, a spacer supplying unit, and a Mo plate stacking and conveying unit of the control unit.
FIG. 15 is a perspective view showing a workpiece alignment process using a plate-like jig to which a conventional spacer is fixed.
[Explanation of symbols]
6 Work alignment stacking device
11 Mo Plate feeder
12 Mo plate supply section
13 Work supply section
14 Spacer supply section
15 Mo Plate stacking conveyance section
16 Work alignment unit
17 Control unit
30 Rotary table
31, 62, 71, 111, 147, 161, 191
32a to 32d Mo plate placement section
33a-33d Notch
40 Stocker
47, 60, 170 frames
48, 181 Rolled ball screw
49 Fork
50 shaft
55, 182 Motor with brake
56 Rising end detection sensor
57 Lower end detection sensor
61, 110, 117 Vacuum head
65, 180, 192 LM Guide
66, 194 Rodless cylinder
70 Air cylinder
72, 120a1 to 120a8 Vacuum pad
80, 145 Alignment feeder
81, 142 Separation part
82, 143, 172 Loader section
85, 144 Transport path
86 (86a1-86a8) passage
86b1 to 86b8 Work delivery section
91, 205 Guide shaft
92 Workpiece holding block
93b1 to 93b8, 152 grooves
94 Work detection sensor
110 Vacuum head support
112, 162 XY robot
115 Rotary actuator
121 Vacuum pad holder mechanism
122a1 fixed pad holder
122a2 to 122a8 Moving pad holder
123 shaft
124 Link mechanism
125 Vacuum source
130 Rodless Air Cylinder
131 Shock absorber
141 Alignment feeder
144a Spacer transfer section
146, 187 strut
150 Spacer holding block
151 Block moving part
155 Spacer detection sensor
160, 190 Chucking head
165 Thin cylinder
167 Chuck for chuck
171 Takeout part
175 Lifting mechanism
176 L-shaped block
177 Slide part
178 Magnet type rodless cylinder
179 Mo board push-up part
185, 186 support piece
193, 202, 206 Movement mechanism
195 Chuck pole
196 Support plate
197 Rotary cylinder
198 Winding mechanism
199 Swing mechanism
200 Holding part
201 Mo plate support piece

Claims (9)

セラミックス部品から成るワークを複数積載した板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部，及びこのテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環して移動させる移動部を備えたテーブル手段と、前記板状治具を複数枚ストックするストック手段と、このストック手段から所定のタイミングに応じて前記板状治具を１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を前記テーブル手段により循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給手段と、多数のワークを複数列に整列して順次搬送するワーク整列搬送部，順次搬送されてきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離するワーク分離部，及びこのワーク分離部により複数個のワークが分離される毎に駆動して当該複数個のワークを保持して搬送するとともに、当該搬送してきた複数個のワークを前記テーブル手段により前記板状治具供給手段を介して送られてくる板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置するワーク密着整列部を備え、当該ワーク分離部及びワーク密着整列部の動作により送られてきた板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給手段と、前記テーブル手段、前記板状治具供給手段、及び前記ワーク供給手段をそれぞれ統轄して制御する統轄制御手段とを備えたことを特徴とするワーク整列装置。 A table portion provided with a plurality of placement portions capable of placing a plate-like jig on which a plurality of workpieces made of ceramic parts are loaded, and a notch portion provided at a position facing the plate-like jig placed above ; And table means provided with a moving part for moving the table part to circulate and move the plurality of mounting parts, stock means for stocking a plurality of the plate-shaped jigs, and a predetermined amount from the stock means. According to the timing, the plate-shaped jigs are taken out one by one and transported, and the plate-shaped jigs that are transported and placed by the table means are circulated by the table means, respectively. A tool supply means, a work aligning / conveying section that sequentially conveys a plurality of workpieces in a plurality of rows, and sequentially feeds the sequentially conveyed workpieces to a plurality of workpieces positioned at the head of each row in accordance with a predetermined timing. Work alignment A workpiece separating unit that separates from the feeding unit, and each time a plurality of workpieces are separated by the workpiece separating unit, the workpiece is driven and held and conveyed, and the plurality of workpieces that have been conveyed are A work contact alignment unit that aligns and arranges in a close contact state on the plate jig sent by the table means via the plate jig supply unit, and operates by the work separation unit and the work contact alignment unit. A workpiece supply means for supplying a predetermined number of workpieces for each plate-shaped jig that has been sent, a control means for controlling the table means, the plate-shaped jig supply means, and the workpiece supply means, respectively. A work aligning apparatus comprising: セラミックス部品から成るワークを複数積載したワーク積載用の板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部，及びこのテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環移動させる移動部を備えたテーブル手段と、前記板状治具を複数枚ストックするストック手段と、このストック手段から所定のタイミングに応じて前記板状治具を１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を前記テーブル手段により循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給手段と、多数のワークを複数列に整列して順次搬送するワーク整列搬送部，順次搬送してきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離するワーク分離部，及びこのワーク分離部により複数個のワークが分離される毎に駆動して当該複数個のワークを保持して搬送するとともに、当該搬送してきた複数個のワークを前記テーブル手段により前記板状治具供給手段を介して送られてきた板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置するワーク密着整列部を備え、当該ワーク分離部及びワーク密着整列部の動作により送られてくる板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給手段と、予めストックされた複数のスペーサを１列に整列して順次搬送するスペーサ整列搬送部，順次搬送してきたスペーサにおける先頭のスペーサを所定タイミングに応じて順次分離するスペーサ分離部，及びこの分離部によりスペーサが分離される毎に駆動して当該分離されたスペーサを保持して搬送し、この搬送してきたスペーサを前記テーブル手段により送られてきた前記ワークが供給された板状治具上の所定位置に供給するスペーサ搬送供給部を備え、当該スペーサ分離部及びスペーサ搬送供給部の動作により各板状治具毎に所定数のスペーサを供給するスペーサ供給手段と、前記テーブル手段により順次送られてきた前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を順次前記載置部から分離して所定位置まで搬送して当該所定位置に段積みする板状治具段積み手段と、前記テーブル手段、前記板状治具供給手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段をそれぞれ統轄して制御する統轄制御手段とを備えたことを特徴とするワーク整列段積み装置。A plurality of mounting parts on which a workpiece loading plate-like jig on which a plurality of workpieces made of ceramic parts are loaded can be placed, and a notch is provided at a position facing the plate-like jig placed above. A table means having a table part, a moving part for moving the table part to circulate the plurality of mounting parts, a stock means for stocking a plurality of the plate-like jigs, and a stock means The plate-like jigs are taken out one by one according to a predetermined timing and conveyed, and the plate-like jigs that have been conveyed are placed on each of the placement units that circulate and move by the table means. A jig supply means, a work alignment transport unit that sequentially transports a plurality of workpieces arranged in a plurality of rows, and sequentially feeds the sequentially transported workpieces to a plurality of workpieces positioned at the head of each row in accordance with a predetermined timing. Said A workpiece separating unit that separates from the workpiece aligning and conveying unit, and each time a plurality of workpieces are separated by the workpiece separating unit, the plurality of workpieces are driven and held, and the plurality of workpieces that have been conveyed are A workpiece contact alignment section for aligning and arranging the workpieces in close contact with each other on the plate jig sent by the table means via the plate jig supply means; A workpiece supply means for supplying a predetermined number of workpieces for each plate-shaped jig sent by operation, and a spacer alignment / conveying section for sequentially conveying a plurality of pre-stocked spacers in a row and sequentially conveying A spacer separating portion that sequentially separates the leading spacer in the spacer according to a predetermined timing, and is driven and separated each time the spacer is separated by the separating portion. A spacer transporting and supplying unit that transports the spacer while holding the spacer, and supplies the transported spacer to a predetermined position on the plate-shaped jig to which the workpiece sent by the table means is supplied, and the spacer separating unit And a spacer supply means for supplying a predetermined number of spacers for each plate-like jig by the operation of the spacer conveyance supply section, and a plate-like jig to which the workpiece and spacers supplied in sequence by the table means are sequentially supplied. A plate-shaped jig stacking means for separating from the mounting portion and transporting to a predetermined position and stacking at the predetermined position, the table means, the plate-shaped jig supply means, the workpiece supply means, and the spacer supply And a work control stacking device for controlling and controlling each of the plate-shaped jig stacking devices. 前記テーブル部は略円形で且つ前記複数の載置部は４個であり、この４個の載置部は当該略円形のテーブル部上面にその中心に対して対称的に設置されているとともに、
前記ストック手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段は、前記テーブル部の周囲に配設されている一方、
前記移動部は前記略円形のテーブル部を前記各載置部が前記ストック手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段に略対向する位置に到達するように間欠状に回転させるようにした請求項２記載のワーク整列段積み装置。The table portion is substantially circular and the plurality of placement portions are four, and the four placement portions are symmetrically installed on the upper surface of the substantially circular table portion with respect to the center thereof.
The stock means, the workpiece supply means, the spacer supply means, and the plate-like jig stacking means are disposed around the table portion,
The moving part is intermittently arranged so that the substantially circular table part reaches the position where each mounting part substantially faces the stock means, the work supply means, the spacer supply means, and the plate jig stacking means. The workpiece alignment stacking apparatus according to claim 2, wherein the workpiece alignment stacking device is rotated in a shape. 前記ストック手段は、前記複数枚の板状治具を載置する載置部と、この載置部を前記所定のタイミングに応じて昇降自在に支持する支持部とを有し、前記板状治具供給手段は、垂下状に支持された吸着機構と、この吸着機構を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する移動支持機構とを有しており、前記移動支持機構を介して前記吸着機構を移動させて前記載置部に載置された複数枚の板状治具における最上部の板状治具を吸着保持し、当該移動支持機構を介して前記吸着機構を移動させてこの吸着機構により保持された板状治具を前記板状治具上に載置するように構成した請求項２又は３記載のワーク整列段積み装置。  The stock means has a placement portion for placing the plurality of plate-shaped jigs, and a support portion for supporting the placement portion so as to be raised and lowered according to the predetermined timing. The tool supply means has a suction mechanism supported in a hanging shape, and a moving support mechanism that supports the suction mechanism so as to be movable in the horizontal direction and the vertical direction, and the suction mechanism via the movement support mechanism. The uppermost plate-like jig among the plurality of plate-like jigs placed on the placement part is sucked and held, and the suction mechanism is moved via the moving support mechanism. The workpiece alignment stacking apparatus according to claim 2 or 3, wherein the plate-like jig held by the step is placed on the plate-like jig. 前記ワーク分離部は、前記ワーク整列搬送部により搬送されてきた複数列のワークにおける各列の先頭に位置する複数個のワークのみを１列に並べて保持する保持機構と、この保持機構を上昇させて当該複数個のワークを他のワークから分離する上昇分離機構とを有するとともに、
前記ワーク密着整列部は、前記上昇分離機構により上昇分離されたワークの数に対応した複数の吸着機構と、この複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチを前記ワークの列方向に沿って移動可能に支持する第１の移動支持機構と、前記吸着機構及び移動支持機構を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する第２の移動支持機構とを有しており、前記第２の移動支持機構を介して前記複数の吸着機構を移動させて前記複数個のワークをそれぞれ吸着して保持し、当該第２の移動支持機構を介して前記第１の移動支持機構及び前記複数個のワークが保持された前記複数の吸着機構を一体に移動させるとともに、当該第１の移動支持機構を介して前記複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチを最小限度にした状態で当該吸着機構に保持された複数個のワークを前記板状治具上に整列配置するようにした請求項２、３又は４記載のワーク整列段積み装置。The workpiece separation unit raises the holding mechanism that holds only a plurality of workpieces positioned at the head of each row of the plurality of rows of workpieces conveyed by the workpiece alignment conveyance unit in a row, and raises the holding mechanism. And a lifting separation mechanism for separating the plurality of workpieces from other workpieces,
The workpiece close-up alignment unit includes a plurality of suction mechanisms corresponding to the number of workpieces lifted and separated by the lift separation mechanism, and a pitch between adjacent suction mechanisms in the plurality of suction mechanisms along the row direction of the workpieces. A first movement support mechanism that supports the movement; and a second movement support mechanism that supports the suction mechanism and the movement support mechanism so as to move in a horizontal direction and a vertical direction. The plurality of adsorption mechanisms are moved via a support mechanism to adsorb and hold the plurality of workpieces, respectively, and the first movement support mechanism and the plurality of workpieces via the second movement support mechanism. The plurality of suction mechanisms that are held together are moved together, and the pitch between adjacent suction mechanisms in the plurality of suction mechanisms is minimized via the first movement support mechanism. Work aligning stacking apparatus a plurality of work held on wear mechanism so as to align on the plate-shaped jig according to claim 2, 3 or 4, wherein. 前記スペーサ分離部は、前記スペーサ整列搬送部により搬送されてきたスペーサにおける先頭に位置するスペーサのみを保持する保持機構と、この保持機構を上昇させて当該スペーサを他のスペーサから分離する上昇分離機構とを有するとともに、
前記スペーサ供給部は、前記上昇分離機構により上昇分離されたスペーサをチャックするためのチャック機構と、このチャック機構を支持する支持機構と、前記チャック機構及び支持機構を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する移動支持機構とを有しており、前記移動支持機構を介して前記チャック機構を移動させて前記スペーサをチャッキングして保持し、当該移動支持機構を介して前記支持機構及び前記スペーサが保持された前記チャック機構を一体に移動させて前記スペーサが供給された板状治具上の所定位置に配設するようにした請求項２乃至５の内の何れか１項記載のワーク整列段積み装置。The spacer separation unit includes a holding mechanism that holds only the spacer located at the head of the spacers conveyed by the spacer alignment conveyance unit, and a rising separation mechanism that raises the holding mechanism to separate the spacers from other spacers. And having
The spacer supply unit is configured to chuck a spacer that has been lifted and separated by the lift separating mechanism, a support mechanism that supports the chuck mechanism, and the chuck mechanism and the support mechanism that can move in a horizontal direction and a vertical direction. A moving support mechanism for supporting the spacer, the chuck mechanism is moved via the moving support mechanism, and the spacer is chucked and held, and the support mechanism and the spacer are supported via the moving support mechanism. The workpiece alignment according to any one of claims 2 to 5, wherein the chuck mechanism that holds the workpiece is integrally moved to be disposed at a predetermined position on the plate-shaped jig to which the spacer is supplied. Stacking equipment. 板状治具段積み手段は、前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を上昇させることにより前記載置部から分離する上昇分離部と、この上昇分離された板状治具を所定方向にスライドさせて前記テーブル部上方から離間させる離間部と、当該テーブル部から離間された板状治具をチャックするためのチャック機構と、このチャック機構を回転自在に支持する回転支持機構と、この支持機構を垂直方向及び水平方向に移動自在に支持する移動支持機構とを有しており、前記移動支持機構及び前記回転支持機構を介して前記チャック機構を移動させて前記テーブル部から離間された板状治具をチャッキングして保持し、当該移動支持機構を介して前記回転支持機構及び前記板状治具が保持された前記チャック機構を一体に移動させて前記所定位置に載置するようにした請求項２乃至６の内の何れか１項記載のワーク整列段積み装置。The plate-shaped jig stacking means is configured to lift the plate-shaped jig to which the workpiece and the spacer are supplied to separate the ascending separation unit from the placement unit, and the plate-shaped jig separated and separated in a predetermined direction. A separation part that slides away from above the table part, a chuck mechanism for chucking the plate-like jig separated from the table part, a rotation support mechanism that rotatably supports the chuck mechanism, A movable support mechanism that supports the support mechanism so as to be movable in a vertical direction and a horizontal direction, and the chuck mechanism is moved via the movable support mechanism and the rotary support mechanism to be separated from the table portion. a plate-shaped jig and held by chucking, the predetermined said chuck mechanism, wherein via the moving support mechanism rotating support device構及beauty before Symbol plate jig is held is moved together Work aligning stacking apparatus according to any one of claims 2 to 6 were as placed on the location. セラミックス部品から成るワークを複数積載したワーク積載用の板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、かつ、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環移動させるステップと、前記板状治具を複数枚ストックしておくステップと、このストックされた板状治具を所定のタイミングに応じて１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給ステップと、多数のワークを複数列に整列して順次搬送し、搬送してきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次分離し、その分離された複数個のワークを保持して搬送し、その搬送してきた複数個のワークを前記テーブル部循環移動ステップにより前記板状治具供給ステップを介して送られてくる板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置することにより、送られてくる板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給ステップと、予めストックされた複数のスペーサを１列に整列して順次搬送し、順次搬送してきたスペーサにおける先頭のスペーサを所定タイミングに応じて順次分離し、分離されたスペーサを保持して搬送し、搬送してきたスペーサを前記テーブル部循環移動ステップにより送られた前記ワークが供給された板状治具上の所定位置に供給することにより、各板状治具毎に所定数のスペーサを供給するスペーサ供給ステップと、前記テーブル手段により順次送られてきた前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を順次前記載置部から分離して所定位置まで搬送して当該所定位置に段積みする板状治具段積みステップとを備えたことを特徴とするワーク整列段積み方法。A plurality of mounting portions on which a workpiece loading plate-like jig on which a plurality of workpieces made of ceramic parts are loaded can be placed , and a notch is provided at a position facing the plate-like jig placed above. A step of circulating the plurality of mounting portions by moving the provided table portion, a step of stocking a plurality of the plate-like jigs, and a predetermined timing of the stocked plate-like jigs The plate-shaped jig supply step for placing and moving each of the loaded plate-shaped jigs for each of the loading parts that circulate and move, and a plurality of workpieces in multiple rows The workpieces that have been conveyed are sequentially separated into a plurality of workpieces positioned at the top of each row according to a predetermined timing, and the separated workpieces are held and conveyed, Multiple workpieces that have been transported By arranging and arranging in close contact with each other on the plate jig sent through the plate jig supply step by the table portion circulation movement step, a predetermined number of each plate jig sent A workpiece supply step for supplying a workpiece, and a plurality of pre-stocked spacers are sequentially transported in a row, and the leading spacer of the sequentially transported spacers is sequentially separated according to a predetermined timing, and the separated spacers Is supplied to the predetermined position on the plate-shaped jig to which the workpiece sent by the table section circulation movement step is supplied, so that a predetermined amount is set for each plate-shaped jig. A spacer supplying step for supplying a number of spacers, and a plate-like jig to which the workpieces and spacers, which have been sequentially fed by the table means, are sequentially moved forward. Work aligning stacking method comprising separate from mounting portion further comprising a plate-shaped jig stacking step of stacking stage to the predetermined position by conveying to a predetermined position. 前記板状治具がＭｏ板であることを特徴とする請求項２記載のワーク整列段積み装置。The workpiece alignment stacking apparatus according to claim 2, wherein the plate-shaped jig is a Mo plate.
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