JP4085076B2 - 流体貯留容器と配管システムとの装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造装置や液晶装置、化学薬品製造装置、食品生産ライン等で扱われる薬液、洗浄液等の液の流体の配管システムに用いられる流体貯留容器とその配管システムとの装置に関するものである。

流体貯留容器としては、特許文献１に示されるように、単に大容量の流体を貯蔵するために使われる大容量のものや、特許文献２に示されるように、開閉弁等を伴うことによって流体の排出量を一定値に保つための比較的小容量のものがある。或いは、半導体製造工程における半導体ウェハーの洗浄を行うべく、一定量の洗浄液を一端貯留し、しかるのちに貯留された一定量の洗浄液を排出するための秤量用としてのものもある。いずれの流体貯留容器でも、流体を出し入れするための流体給排部は、容器の上下、前後といった具合に最低でも２箇所形成されているのが一般的である。

例えば、上述の洗浄液を一旦貯留するための流体貯留容器は、最大容量が１リットル未満といった小容量のもので良く、その場合には特許文献３において示されるように、深絞りプレス加工等による有底筒状の容器に、給排口付きの蓋を取付けるといった簡易な構造のものを用いることが可能である。
特開平１１−２８０９９６号公報 特開平５−２８８５８７号公報 特表２００２−５３７８７３

小型の秤量用等として流体貯留容器を作成するにあたり、前述の深絞りプレスによる筒状部材を用いる手段では、プレス用の金型が高価であるため、１種類のみで大量生産する場合には好都合である。しかしながら、装置や配管システムの異なり等によって容量が複数種類必要となる場合にはコスト高になって不適であり、そのような場合における小容量秤量用としての流体貯留容器の構造としては改善の余地が残されているものであった。

また、底部分に流体給排部を備えた有底筒状で互いに同一部品である容器部材を２個用いて、互いの開口部どうしを全周溶接することで、簡易構造で密封状の流体貯留容器を構成したものもあった。しかしながらのこの構造のものでも、異なる容量のものは別途作成するしかなく、容量変更には容易に対応できない点では前記特許文献３のものと同じであり、やはり、廉価構造でありながら、容量変化に容易に対応できるというものでなかった。

本発明の目的は、秤量目的にも対応できる比較的小型で、容量変化に柔軟に対応できる便利な流体貯留容器と配管システムとの装置を提供する点にある。

請求項１の構成は、
流体貯留容器と配管システムとの装置であって、
前記流体貯留容器は、
チューブ材から成るもので上下方向に配置し、薬液、洗浄液等の液の流体を貯留する貯留本体と、この貯留本体の上下両端部の夫々を塞ぐべくそれら端部毎に着脱自在に取付けられる蓋部とから構成され、
前記チューブ材及び前記蓋部がフッ素樹脂製であり、
前記各蓋部が、前記貯留本体の端部を受け入れる受口部及びこの受口部内に設けられた少なくとも一箇所のシール面を有する蓋本体と、前記貯留本体の端部に外嵌された状態で前記蓋本体の受口部側端部に外嵌螺合自在なユニオンナットと、前記ユニオンナットの前記蓋本体への螺進による締付けにより前記貯留本体をこれの外側から押圧し、この押圧作用によって前記貯留本体の端部と前記蓋本体のシール面とが密着することで形成される少なくとも一箇所のシール部と、から構成され、
前記上側の蓋部本体の上端側に備えられた基端部の頂面に第１流体給排部が形成され、
前記上側の蓋部本体の基端部の一横側面に第２流体給排部が形成され、
前記下側の蓋部本体に第３流体給排部及び第４流体給排部が形成され、
前記配管システムは、
前記第１給排部に第１開閉弁を介して接続する大気開放流路と、
前記第２給排部に第２開閉弁を介して接続する、エアポンプが接続されるための加圧流路と、
前記第３給排部に第３開閉弁を介して接続する、上記液の流体を供給するための流体供給手段が接続される供給流路と、
前記第４給排部に第４開閉弁を介して接続する、上記液の流体を排出するための排出流路とを有する、ことを特徴とする。

請求項２の構成は、請求項１に記載の流体貯留容器と配管システムとの装置において、前記シール部Ｓが、前記蓋本体１５の軸線方向の外方に向けて漸次拡径するテーパ面を前記受口部１８の入口より内奥に形成することで成るシール面１０と、前記貯留本体１の端部にこれを断面山形状に拡径膨出させるように圧入されたインナーリング２５における前記貯留本体１の端部から突出した突出部２９の先端に形成したテーパ面からなる突出端面２２との密着により形成されていることを特徴とする。

請求項３の構成は、請求項１又は２に記載の流体貯留容器と配管システムとの装置において、前記シール部Ｓが、前記蓋本体１５の受口部１８の入口に、前記蓋本体１５の軸線に対して交差するテーパ面により構成されたシール面１１と、前記貯留本体１の端部にこれを断面山形状に拡径膨出させるように圧入されたインナーリング２５の圧入部２６の斜面部に形成された内向きテーパ面２０と、の間に前記貯留本体１の端部を傾斜状態で挟持自在に構成することによって形成されていることを特徴とする。

請求項４の構成は、請求項１〜３に記載の流体貯留容器と配管システムとの装置において、前記シール部Ｓが、前記蓋本体１の受口部１８の内奥の前記シール面１０よりも径方向外方に前記蓋本体１５の軸線と平行に形成された環状溝部１３に、前記貯留本体１の端部に圧入されたインナーリング２５の突出部２９の先端に形成された円筒部２４を嵌入自在に構成することによって形成されていることを特徴とする。

請求項５の構成は、請求項１〜４の何れか一項に記載の流体貯留容器と配管システムとの装置において、前記蓋本体１５の夫々に、前記軸線に沿う方向に向く流体給排部Ｋと、前記軸線に直交又はほぼ直交する方向に向く流体給排部Ｋとが形成されていることを特徴とする。

請求項１の構成によれば、両端の夫々に蓋部を着脱自在に装備され、流体を貯留する部分である貯留本体はチューブ材で構成されているから、チューブ材の長さを変更するだけの簡単な手段により、容量変更に容易に対応することが可能になる。

例えば、秤量用として３００ｃｃの容量を有する流体貯留容器を５００ｃｃ用に変更するには、長さが約３分の５倍の貯留本体に付換えるだけで良い。その結果、秤量目的にも対応できるとか、比較的小型で廉価なもの等、容量変化に柔軟に対応できる便利な流体貯留容器を提供することができる。

請求項１の構成によれば、ユニオンナットを蓋本体の一端部に締め付けるだけの簡単な操作で貯留本体の端部と蓋本体とのシール面とを密着させるシール部を介して確実に密封することができる。

例えば、従来において、タイロッドや通しボルト等の金属製締結部材及びＯリングを用いて蓋部を貯留本体に密封装備する手段があったが、この手段に対して本請求項１によれば、部品点数を少なくして廉価で、スリム、コンパクトで耐圧性の高いケーシング構造及び信頼性の高いシール構造の流体貯留容器を得ることができる。

蓋部と貯留本体とは、ユニオンナットによる増締めによってシール性を均一に確保することが可能であり、信頼性の高いシール構造が得られ、しかもスリムなケーシングでもって流体貯留容器の小型化、コンパクト化を図ることができる。

また、ユニオンナットの増締めによりシール性をその都度確保することが可能であって、ネジシールやＯリングシールと比較しても長期に亘り信頼性の高いものとなる。さらに、単一のユニオンナットを増締めするという簡単な手段で足りるので、溶着による接続構造と異なり現場施工が容易であり、現場での保守・点検も容易に行うことが可能である。

また、ユニオンナットの締め付けによればチューブの端部の外側全周を均等に押圧することができるため、チューブや蓋部材の不慮の変形を招くようなことが無くなる。したがって、これら部材のクリープや交換の問題を解消できる。

加えて、ユニオンナットの締付けを緩めることによりチューブの端部から蓋部材を簡単に取り外すことができるため、チューブ内に滞留する滞留物がある場合には、その除去が容易に行える。

請求項２〜４の構成によれば、貯留本体の端部を拡径させて圧入内嵌合されるインナーリングを用いてシール部を構成してあるので、貯留本体と蓋部とのシール性がさらに向上し、より長期に亘って漏れ防止の信頼性が維持されるといった利点がある。

請求項５の構成によれば、各蓋部の夫々に縦横の二箇所の流体給排部が形成されているので、貯留本体への流体の供給及び排出、並びに流体の給排を自在とするための空気の供給及び排出が独立して行えるようになるとともに、流体の給排と空気の給排の位置の選択肢が多くなり、設計の自由度が高くなる利点が得られる。

請求項１の構成によれば、全ての構成部材をフッ素樹脂で成形することで、高温、腐蝕性の強い薬液にもよく対応でき、耐薬品性雰囲気への適用、設置が可能となり、流体中流容器の用途範囲を拡大できるとともに、金属製締結部材等の金属材を一切使用しないので、メタル溶出や金属摩耗粉発生の問題を解消できる利点もある。

以下、本発明による流体貯留容器の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は実施例による流体貯留容器を示す全体正面図、図２は図１の流体貯留容器の構造を示す断面図、図３は図１の流体貯留容器の平面図、図４は蓋部の構造を示す要部の拡大断面図である。図５、図６は夫々蓋部のシール構造の別構造を示す要部の拡大断面図、図７、図８は夫々流体給排部の数や使い方の別例を示す流体貯留容器の正面図である。

図１〜３には、半導体ウェハーの洗浄装置において用いられる洗浄液用の流体貯留容器Ａが示されている。この実施例による流体貯留容器Ａは、ＰＦＡ等のフッ素樹脂製のチューブ材から成る貯留本体１と、この貯留本体１の両端部の夫々を塞ぐべくそれら端部毎に着脱自在に取付けられる一対の蓋部２とから構成されるとともに、貯留本体１の内部空間に対する流体給排部Ｋが各蓋部２毎に２箇所ずつ形成されている。実施例の流体貯留容器Ａにおいては、一対の蓋部２は互いに同一のものに設定されている。

この流体貯留容器Ａの使用状況例としては、図１に示すように、最上端の第１流体給排部Ｋ１には第１開閉弁Ｖ１を介して大気開放流路３が接続され、上側の蓋部２の横側面に形成された横向きの第２流体給排部Ｋ２には、第２開閉弁Ｖ２を介してエアポンプ４を接続するための加圧流路５が連通接続されている。下側の蓋部２の横側面に形成された横向きの第３流体給排部Ｋ３には、第３開閉弁Ｖ３を介して洗浄液供給手段６を接続するための供給流路７が連通接続され、最下端の第４流体給排部Ｋ４には第４開閉弁Ｖ４を介して洗浄装置８を接続するための排出流路９が連通接続されている。

実施例による流体貯留容器Ａは秤量用として用いられるものであり、その作用は次のようである。ここで、黒塗りの矢印は流体の流れを、そして白抜きの矢印は空気の流れを夫々示すものとする。先ず、第１及び第３開閉弁Ｖ１，Ｖ３を開き、第２及び第４開閉弁Ｖ２，Ｖ４を閉じた状態に操作してから洗浄液供給手段６からの洗浄液を流体貯留容器Ａに（貯留本体１に）供給する。このとき余剰空気は第１開閉弁Ｖ１及び大気開放流路３を通って大気排出される。一定量の洗浄液が貯留される（例えばラインＬまでの３００ｃｃ）と、第１及び第３開閉弁Ｖ１，Ｖ３を閉じる。そして、しかる後に第１及び第３開閉弁Ｖ１，Ｖ３は閉じたままで第２及び第４開閉弁Ｖ２，Ｖ４を開き、エアポンプ４の圧搾空気によって流体貯留容器Ａ内（貯留本体１内）を加圧し、貯留された洗浄液を排出流路９及び第４開閉弁Ｖ４を通して洗浄装置８に迅速供給する、というものである。

蓋部２は、図２〜４に示すように、貯留本体１の端部を受け入れる受口部１８及びこの受口部１８内に設けられた少なくとも一箇所のシール面１０〜１２を有するＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の蓋本体１５と、貯留本体１の端部に外嵌された状態で蓋本体１５の受口部側端部に外嵌螺合自在なＰＦＡ等のフッ素樹脂製のユニオンナット１６と、ユニオンナット１６の蓋本体１５への螺進による締付けにより貯留本体１をこれの外側から押圧し、この押圧作用によって貯留本体１の端部と蓋本体１５のシール面１０〜１２とが密着することで形成される少なくとも一箇所のシール部Ｓと、から構成されるとともに、流体給排部Ｋ１〜Ｋ４は蓋本体１５に形成されている。

蓋本体１５は、胴壁部１７と、この胴壁部１７の一端に開放する受口部１８、及び胴壁部１７の他端を閉塞する底壁部１９とを有する形に形成される。そして、図２に示すように、蓋本体１５の受口部１８の内部には第１〜３のシール面１０〜１２が設けられる。第１のシール面１０は、蓋本体１５の受口部１８の入口より内奥に、蓋本体１５の軸線Ｃに対して交差状、つまり軸線Ｃ方向の外方に向けて漸次拡径するテーパ面により構成される。第２のシール面１１は、受口部１８の入口に、軸線Ｃに対して交差状、つまり軸線Ｃ方向の外方に向けて漸次拡径するテーパ面により構成される。第３のシール面１２は、蓋本体１５の受口部１８の内奥において第１のシール面１０よりも径方向外方に軸線Ｃと平行に形成された環状溝部１３により構成される。蓋本体１５の受口部１８の外周には雄ねじ１４が形成されている。

一方、貯留本体１の一端部及び他端部には夫々ＰＦＡ等のフッ素樹脂製のインナーリング２５が圧入されている。インナーリング２５は、図２に示すように、貯留本体１の端部に圧入されて該端部を断面山形状に拡径膨出させる断面算盤玉形状の圧入部２６と、この圧入部２６に連設されて貯留本体１の端部に突出する突出部２９とを有するスリーブ形状に形成されている。断面山形状の圧入部２６はこれの一斜面部に外向きテーパ面２８を、他斜面部に第２のシール面１１との間で貯留本体１の端部を傾斜状態に挟持して第２のシール部Ｓ２を形成する内向きテーパ面２０をそれぞれ形成している。突出部２９の先端には第１のシール面１０に密着状に当接して第１のシール部Ｓ１を形成するテーパ面からなる突出端面２２、および環状溝部１３に嵌入して第３のシール部Ｓ３を形成する円筒部２４を形成してなる。このインナーリング２５の内径は貯留本体１の内径と同一か略同一に設定して流体が滞留することなく、円滑に流動できるようにしてある。

図２に示すように、ユニオンナット１６はこれの内周に蓋本体１５の雄ねじ１４に螺合される雌ねじ２５が形成され、かつ、一端部に環状鍔部２１を内向きに張り出すとともに、その環状鍔部２１の内周面の軸方向内端に鋭角または直角の押圧エッジ部２３を設けてある。そして、インナーリング２５が圧入された貯留本体１の端部を蓋本体１５の受口部１８に挿入し、貯留本体１の端部の外周に予め遊嵌させてあるユニオンナット１６の雌ねじ２５を蓋本体１５の雄ねじ１４に螺合させて締付ける。

この締付けに伴いユニオンナット１６の押圧エッジ部２３が貯留本体１の拡径部２７の拡径付け根部に当接してインナーリング２５を軸方向から押圧する。これにより、図２に示すように、インナーリング２５の突出端面２２が蓋本体１５の第１のシール面１０に対し押付けられて第１のシール部Ｓ１を形成するとともに、インナーリング２５の内向きテーパ面２０と蓋本体１５の第２のシール面１１との間で貯留本体１の端部を傾斜状態に挟持して第２のシール部Ｓ２を形成し、さらにインナーリング２５の円筒部２４が環状溝部１３に圧入して第３のシール部Ｓ３を形成する。これら第１〜３のシール部Ｓ１〜Ｓ３により信頼性の高いシール機能を発揮する。

蓋本体１５は、図３に示すように、略四角筒状の基端部１５Ａを有しており、その基端部１５Ａの一横側面１５ｓと頂面１５ｔの夫々に流体給排部Ｋ１〜Ｋ４が形成されている。流体給排部Ｋ１〜Ｋ４は互いに同じ構造であり、第２流体給排部Ｋ２で説明する。図４に示すように、第２流体給排部Ｋ２は、基端部１５Ａに一体形成される筒状の給排ポート３０と、これに嵌入される流体チューブ３１（加圧流路５）と、給排ポート３０部位において流体チューブ３１に内嵌されるＰＦＡ等のフッ素樹脂製のインナーリング３２と、給排ポート３０に外嵌螺着されるＰＦＡ等のフッ素樹脂製のユニオンナット３３とから成る管継手構造に構成されている。各流体給排部Ｋ１〜Ｋ４の内部構造は、インナーリング３２の突出部３４と給排ポート３０との嵌合部Ｒの形状が異なる以外は、径は異なるが、蓋部２の受口８の内部構造と同一に構成されているため、その詳細な説明は省略する。

この実施例による流体貯留容器Ａにおいては、一対の管継手構造を有する蓋部２が両端部に着脱自在に装備される貯留本体１は、所定寸法に寸断されたチューブ材から成るものであるから、秤量変更等によって容量を変更する場合には、チューブ材を長さの異なるものに変えるだけで良く、経済的、合理的に対応できる利点がある。尚、貯留本体１を、中の流体が見通せる透明又は半透明のフッ素樹脂等のチューブから形成すれば、目視によって秤量の確認が行える便利なものとなる。

次に、蓋部２におけるシール部の別構造について説明する。例えば、図５に示すように、図４に示すシール部と比較して、第１，２のシール部Ｓ１，Ｓ２だけを形成して、第３のシール部Ｓ３を省略するもの、すなわち蓋本体１５の内奥に環状溝部１３を設けず、またインナーリング２５に円筒部２４を設けないものであってもよい。この場合、蓋本体１５の内奥に設ける第１のシール面１０は、軸線Ｃに対して第２のシール面１１とは逆向きの交差状、つまり軸線Ｃ方向の外方に向けて漸次縮径するテーパ面により構成している。そしてこの構造は、前述した各流体給排部Ｋ１〜Ｋ４における嵌合部Ｒと同等である。

また、前記シール部は、図６に示すように、蓋本体１５の受口部１８の先端側における端部外周に、貯留本体１の内径より径大のテーパ面からなるシール面４２を形成し、このシール面４２の後方の外周に該シール面４２の外径より径大の雄ねじ１４を形成することで構成しても良い。この場合、貯留本体１の端部はフレア加工して拡径部４３を形成する。かくして、貯留本体１の端部の拡径部４３を蓋本体１５のシール面４２上に圧入する。そして、貯留本体１に外嵌されているユニオンナット１６の雌ねじ２５を蓋本体１５の雄ねじ１４に螺合して締付け、ユニオンナット１６の環状鍔部２１の押圧エッジ部２３を貯留本体１の外側に当接させて拡径部４３の内周面を受口部１８のシール面４２に軸方向から押し付けて密着させることにより、シール部Ｓを形成することもできる。
〔参考例１〕

参考例１による流体貯留容器Ａ２は、図７に示すように、図１，２に示す実施例の流体貯留容器Ａとは下側の蓋部２のみが異なるものであって、貯留本体１と上蓋部２と下蓋部５２とから構成されている。下蓋部５２は、横側面の第３流体給排部Ｋ３が省略された蓋本体５５を持つものである以外は、実施例１による蓋部２と同じである。つまり、三箇所の流体給排部Ｋ１，Ｋ２，Ｋ４を持つものであり、この場合は、第１流体給排部Ｋ１には、第１開閉弁Ｖ１を有するエアー給排流路５１が接続され、第２流体給排部Ｋ２には、第２開閉弁Ｖ２を有する洗浄液、薬液等の流体供給路５３が、そして、第４流体給排部Ｋ４には、第４開閉弁Ｖ４を有する流体排出路５４が夫々接続されている。

この参考例１の流体貯留容器Ａ２の使い方例を述べる。第１，２開閉弁Ｖ１，Ｖ２を開き、第４開閉弁Ｖ４は閉じた状態として、流体供給路５３から流体貯留容器Ａ２（貯留本体１）に流体を貯留する。そして、所定量の流体が貯留留されたら、今度は第２開閉弁Ｖ２を閉じ、第１，４開閉弁Ｖ１，Ｖ４は開いた状態として、貯留本体１に貯留された所定量の流体を重力によって流体排出路５４から排出するのである。また、第１開閉弁Ｖ１のみ閉じ、第、４開閉弁Ｖ２，Ｖ４は開くことにより、流体供給路５３からの流体を流体排出路５４に流す単なる通路として流体貯留容器Ａ２を用いることも自在である。
〔参考例２〕

参考例２による流体貯留容器Ａ３は、図８に示すように、図７に示す参考例１の流体貯留容器Ａ２とは上側の蓋部２のみが異なるものであって、参考例１による流体貯留容器Ａ２の下蓋部５２を上側にも用いたもの、即ち、二箇所の流体給排部Ｋ１，Ｋ４を持つものである。第１流体給排部Ｋ１には、第１開閉弁Ｖ１を有するエアー給排流路５１が接続され、第４流体給排部Ｋ４には、三方弁５６を介して流体供給路５３及び流体排出路５４が夫々接続されている。

この参考例２の流体貯留容器Ａ３の使い方例を述べる。三方弁５６を流体供給路５３のみが開く状態に切換え、かつ、第１開閉弁Ｖ１を開いた状態で流体貯留容器Ａ３（貯留本体１）に流体を貯留し、所定量の流体が貯留されると、三方弁５６及び第１開閉弁Ｖ１を閉じる。その後、必要に応じて、三方弁５６を流体排出路５４のみが開く状態に切換え、かつ、第１開閉弁Ｖ１を開く状態に切換えることにより、所定量貯留された流体を流体排出路５４に流すのである。
〔参考形態〕

例えば、貯留本体を透明アクリルパイプ等のふっス樹脂以外の合成樹脂材や、金属チューブ（パイプ）、或いはアルミ合金等の非鉄金属製のチューブ等から成るものでも可能であるとともに、蓋部２，５２をフッ素樹脂以外の合成樹脂等、他の材料から構成することも可能である。また、貯留本体１を、断面形状が正方形、長方形等の矩形の角チューブ（角パイプ）製として、流体貯留容器Ａ（Ａ２，Ａ３）を横臥姿勢で秤量その他の目的で流体を貯留させる、という使い方も可能である。

流体貯留容器及びその前後の配管システムを示す系統図（実施例） 流体貯留容器の構造を示す断面正面図 図２の流体貯留容器の側面図 貯留本体と蓋部とのシール構造を示す要部の拡大断面図（実施例） 貯留本体と蓋部との別シール構造を示す要部の拡大断面図 貯留本体と蓋部との他の別シール構造を示す要部の拡大断面図 流体貯留容器及びその前後の配管システムを示す系統図（参考例１） 流体貯留容器及びその前後の配管システムを示す系統図（参考例２）

符号の説明

１ 貯留本体
２，５２ 蓋部
１０ シール面
１１ シール面
１３ 環状溝部
１５ 蓋本体
１５Ａ 基端部
１６ ユニオンナット
１８ 受口部
２０ 内向きテーパ面
２２ 突出端面
２４ 円筒部
２５ インナーリング
２６ 圧入部
２９ 突出部
Ａ 流体貯留容器
Ｋ１ 第１流体給排部
Ｋ２ 第２流体給排部
Ｋ３ 第３流体給排部
Ｋ４ 第４流体給排部
Ｓ シール部

Claims (5)

1. 流体貯留容器と配管システムとの装置であって、
   前記流体貯留容器は、
   チューブ材から成るもので上下方向に配置し、薬液、洗浄液等の液の流体を貯留する貯留本体と、この貯留本体の上下両端部の夫々を塞ぐべくそれら端部毎に着脱自在に取付けられる蓋部とから構成され、
   前記チューブ材及び前記蓋部がフッ素樹脂製であり、
   前記各蓋部が、前記貯留本体の端部を受け入れる受口部及びこの受口部内に設けられた少なくとも一箇所のシール面を有する蓋本体と、前記貯留本体の端部に外嵌された状態で前記蓋本体の受口部側端部に外嵌螺合自在なユニオンナットと、前記ユニオンナットの前記蓋本体への螺進による締付けにより前記貯留本体をこれの外側から押圧し、この押圧作用によって前記貯留本体の端部と前記蓋本体のシール面とが密着することで形成される少なくとも一箇所のシール部と、から構成され、
   前記上側の蓋部本体の上端側に備えられた基端部の頂面に第１流体給排部が形成され、
   前記上側の蓋部本体の基端部の一横側面に第２流体給排部が形成され、
   前記下側の蓋部本体に第３流体給排部及び第４流体給排部が形成され、
   前記配管システムは、
   前記第１給排部に第１開閉弁を介して接続する大気開放流路と、
   前記第２給排部に第２開閉弁を介して接続する、エアポンプが接続されるための加圧流路と、
   前記第３給排部に第３開閉弁を介して接続する、上記液の流体を供給するための流体供給手段が接続される供給流路と、
   前記第４給排部に第４開閉弁を介して接続する、上記液の流体を排出するための排出流路とを有する、
   流体貯留容器と配管システムとの装置。
2. 前記シール部が、前記蓋本体の軸線方向の外方に向けて漸次拡径するテーパ面を前記受口部の入口より内奥に形成することで成るシール面と、前記貯留本体の端部にこれを断面山形状に拡径膨出させるように圧入されたインナーリングにおける前記貯留本体の端部から突出した突出部の先端に形成したテーパ面からなる突出端面との密着により形成されている請求項１に記載の流体貯留容器と配管システムとの装置。
3. 前記シール部が、前記蓋本体の受口部の入口に、前記蓋本体の軸線に対して交差するテーパ面により構成されたシール面と、前記貯留本体の端部にこれを断面山形状に拡径膨出させるように圧入されたインナーリングの圧入部の斜面部に形成された内向きテーパ面と、の間に前記貯留本体の端部を傾斜状態で挟持自在に構成することによって形成されている請求項１又は２に記載の流体貯留容器と配管システムとの装置。
4. 前記シール部が、前記蓋本体の受口部の内奥の前記シール面よりも径方向外方に前記蓋本体の軸線と平行に形成された環状溝部に、前記貯留本体の端部に圧入されたインナーリングの突出部の先端に形成された円筒部を嵌入自在に構成することによって形成されている請求項１〜３に記載の流体貯留容器と配管システムとの装置。
5. 前記上側の蓋部の蓋本体に、前記第１流体給排部が前記軸線に沿う方向に向かって形成され、前記第２流体給排部が前記軸線に直交又はほぼ直交する方向に向かって形成され、
   前記下側の蓋部の蓋本体に、前記第４流体給排部が前記軸線に沿う方向に向かって形成され、前記第３流体給排部が前記軸線に直交又はほぼ直交する方向に向かって形成されている請求項１〜４の何れか一項に記載の流体貯留容器と配管システムとの装置。

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