JP4084111B2 - 絶縁基板の変形防止方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば太陽電池パネル製造装置や太陽電池パネル製膜装置(PCVD装置、TCO装置等)に適用して好適なガラス基板等絶縁基板の変形防止方法に関する。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
一般に、大型(大面積)の太陽電池パネルの製造に際しては、ガラス基板の製膜前の予備加熱時あるいは製膜時の変形や座屈を防止する必要が有る。例えば、ガラス基板に変形や座屈があると、製膜時に膜(電極)が付かなかったり、ガラス基板と膜(電極)との間に間隙が出来て膜質が劣るとか、搬送用台車の爪にかからず搬送不能になったりするのである。
【0003】
ガラス基板の変形や座屈は、基板面内あるいは厚さ方向の温度分布により発生する。このため、現在は「温度分布をできるだけ小さくする」方向で対策をおこなっている。例えば、加熱ヒータの多数への分割及びそれぞれの独立制御等が種々検討されているが、これには多大の費用がかかるという欠点がある。また、ガラス基板の座屈温度限界(座屈させないための許容温度差)はかなり小さく、基板内温度分布の一様化はなかなか困難である。
【0004】
本発明はこのような実情に鑑み提案されたもので、基板の変形を低コストで効果的に防止できる絶縁基板の変形防止方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
斯かる目的を達成するための本発明に係る絶縁基板の変形防止方法は、絶縁基板を加熱ヒータにより加熱する際に、該絶縁基板の端部近傍に同基板の端部及び中央部より温度が低い低温部を発生させることを特徴とする。
また、前記低温部は、前記基板と加熱ヒータとの間に障害物を介在させて発生させることを特徴とする。
また、前記障害物は、基板搬送用台車の支柱を利用することを特徴とする。
また、前記低温部は、前記加熱ヒータを複数本並設させ、同加熱ヒータの間隔を一部拡げることで発生させることを特徴とする。
また、前記低温部は、前記加熱ヒータを複数本並設させ、同加熱ヒータの一部の発熱量を低減することで発生させることを特徴とする。
また、前記低温部は、前記基板と前記加熱ヒータが収容される真空容器の一部に窓孔を開けることで発生させることを特徴とする。
また。前記基板は太陽電池パネルのガラス基板であることを特徴とする。
【0006】
斯かる目的を達成するための本発明に係る太陽電池パネルは、前記絶縁基板の変形防止方法を用いて製作されたことを特徴する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る絶縁基板の変形防止方法を実施例により図面を用いて詳細に説明する。
【0014】
[第1実施例]
図1は本発明の第1実施例を示す太陽電池パネル製造装置における真空容器の正断面図、図2は同じく側断面図、図3は同じく平断面図、図6はIRヒータ加熱時の基板温度分布の解析結果を示すグラフ、図7はケース1の温度分布の解析結果を示す図、図8はケース1の横方向応力の解析結果を示す図、図9はケース1の座屈モードの解析結果を示す図、図10はケース2の温度分布の解析結果を示す図、図11はケース2の横方向応力の解析結果を示す図、図12はケース2の座屈モードの解析結果を示す図である。尚、図6中で位置「0」は基板横方向中央で、「700」は基板横方向端である。
【0015】
図1乃至図3に示すように、太陽電池パネル製造装置における真空容器1内には、基板搬送台車2を介してガラス基板3が収容され、このガラス基板3に対向して真空容器1内に多数本設置されたIRヒータ(赤外線加熱ヒータ)4により、製膜前に予備加熱が行われるようになっている。
【0016】
前記ガラス基板3とIRヒータ4群との間には、左,右両部に位置して基板搬送台車2の支柱5が介在される。そして、本実施例では、該支柱5を利用してガラス基板3の加熱の際に、当該ガラス基板3内に意図的に低温部を発生させるようになっている。即ち、支柱5を障害物としてガラス基板3の左,右両端部近傍に影を作るようになっているのである。
【0017】
このように構成されるため、図6乃至図12に示す後述の解析結果からも判るように、ガラス基板3の内部(端部近傍)に低温部があると、ガラス基板3端部に集中する引張り応力や圧縮応力が緩和されるなどしてガラス基板3の座屈温度限界は大きく増大する。
【0018】
これにより、従来から有る基板搬送台車2の支柱5を利用してガラス基板3の変形を低コストで防止することができ、太陽電池パネル製造のコストダウンが図れる。換言すれば、IRヒータ4の多数への分割及びそれぞれの独立制御等によりガラス基板3の温度分布を一様化する必要がないのである。
【0019】
ガラス基板3のIRヒータ4加熱時の座屈温度限界をコンピュータ解析した結果を図6乃至図12に示す。
【0020】
図6はIRヒータ加熱時の基板温度分布の解析結果を示すグラフで、この中の基板表の温度分布解析結果をそのまま使用した場合(ケース1)と基板表の温度分布解析結果凹部を無視した場合(ケース2)の2種類の解析ケースについて説明する。
【0021】
ケース1の温度分布、横方向応力及び座屈モードの解析結果を示す図7乃至図8からも判るように、ガラス基板3の左,右両端部近傍に低温部イ(図7参照)を発生させると、座屈限界温度差が123℃となり(図9参照)、低温部イは座屈に対して強化効果がある。尚、図7中ロは高温部、ハは中高温部である。
【0022】
一方、ケース2の温度分布、横方向応力及び座屈モードの解析結果を示す図10乃至図12からも判るように、ガラス基板3の左,右両端部近傍に低温部イが生じないように温度分布を概ね一様化する(図10参照)と、座屈限界温度差が32℃となり(図12参照)、変形防止効果はない。
【0023】
[第2実施例]
図4は本発明の第2実施例を示す太陽電池パネル製造装置における真空容器の平断面図である。
【0024】
これは、複数本並設されるIRヒータ4の間隔を一部拡げる(図示例では、支柱5背部の2本のIRヒータ4が抜かれている)ことで、ガラス基板3の左,右両端部近傍に低温部を発生させるようにした例であり、これによるも第1実施例と同様の作用・効果が得られる。
【0025】
[第3実施例]
図5は本発明の第3実施例を示す太陽電池パネル製造装置における真空容器の正面図である。
【0026】
これは、ガラス基板3とIRヒータ4が収容される真空容器1の前壁部1a(又は後壁部)の、ガラス基板3の上,下及び左,右両端部近傍に対応した位置に複数のスリット状の窓孔6を明けることで、IRヒータ4の熱の一部を放熱してガラス基板3の上,下及び左,右両端部近傍に低温部を発生させるようにした例であり、これによるも第1実施例と同様の作用・効果が得られる。
【0027】
尚、本発明は上記各実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、各種変更が可能であることはいうまでもない。例えば、複数本並設される加熱ヒータの一部の発熱量を低減することで、ガラス基板の一部に低温部を発生させるよう構成することもできる。また、本発明は太陽電池パネル製造装置に限らず、太陽電池パネル製膜装置(PCVD装置、TCO装置等)にも適用でき、また、太陽電池パネルのガラス基板に限らず、セラミックス基板等他の絶縁基板にも適用することができる。
【0028】
【発明の効果】
以上、実施例に基づいて詳細に説明したように、本発明によれば、絶縁基板を加熱ヒータにより加熱する際に、該絶縁基板の端部近傍に同基板の端部及び中央部より温度が低い低温部を発生させるので、絶縁基板の加熱の際に、基板内に意図的に低温部を発生させられ、基板の変形を低コストで効果的に防止できる。
また、前記低温部を発生させる手段としての障害物に基板搬送用台車の支柱を利用することで、既設の構造材をそのまま利用できる。
また、前記基板は太陽電池パネルのガラス基板であると、製膜時に膜(電極)が付かなかったり、ガラス基板と膜(電極)との間に間隙が出来て膜質が劣るとか、搬送用台車の爪にかからず搬送不能になったりすることが未然に回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す太陽電池パネル製造装置における真空容器の正断面図である。
【図2】同じく側断面図である。
【図3】同じく平断面図である。
【図4】本発明の第2実施例を示す太陽電池パネル製造装置における真空容器の平断面図である。
【図5】本発明の第3実施例を示す太陽電池パネル製造装置における真空容器の正面図である。
【図6】赤外線ヒータ加熱時の基板温度分布の解析結果を示すグラフである。
【図7】ケース1の温度分布の解析結果を示す図である。
【図8】ケース1の横方向応力の解析結果を示す図である。
【図9】ケース1の座屈モードの解析結果を示す図である。
【図10】ケース2の温度分布の解析結果を示す図である。
【図11】ケース2の横方向応力の解析結果を示す図である。
【図12】ケース2の座屈モードの解析結果を示す図である。
【符号の説明】
1 真空容器
2 基板搬送台車
3 ガラス基板
4 IRヒータ
5 支柱
6 窓孔
Claims (7)
- 絶縁基板を加熱ヒータにより加熱する際に、該絶縁基板の端部近傍に同基板の端部及び中央部より温度が低い低温部を発生させることを特徴とする絶縁基板の変形防止方法。
- 前記低温部は、前記基板と加熱ヒータとの間に障害物を介在させて発生させることを特徴とする請求項1に記載の絶縁基板の変形防止方法。
- 前記障害物は、基板搬送用台車の支柱を利用することを特徴とする請求項2に記載の絶縁基板の変形防止方法。
- 前記低温部は、前記加熱ヒータを複数本並設させ、同加熱ヒータの間隔を一部拡げることで発生させることを特徴とする請求項1に記載の絶縁基板の変形防止方法。
- 前記低温部は、前記加熱ヒータを複数本並設させ、同加熱ヒータの一部の発熱量を低減することで発生させることを特徴とする請求項1に記載の絶縁基板の変形防止方法。
- 前記低温部は、前記基板と前記加熱ヒータが収容される真空容器の一部に窓孔を開けることで発生させることを特徴とする請求項1に記載の絶縁基板の変形防止方法。
- 前記基板は太陽電池パネルのガラス基板であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の絶縁基板の変形防止方法。
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