JP4080873B2 - 放射線検出器 - Google Patents

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Description

技術分野
本発明は、ファイバ光学プレートを備えた放射線検出器に関する。
背景技術
この種の放射線検出器として、例えば特開昭60−234645号公報(特公平4−25012号公報)に開示されたようなものが知られている。この放射線検出器は、X線を可視光線に変換するシンチレータがX線入射側に形成されたスクリーン(ファイバ光学プレート)と、このファイバ光学プレートのX線出射側に光学的に接続されるCCDと、CCDの出力信号を増幅する超小型電子手段と、超小型電子手段をX線から保護するための鉛ベルトとを備えている。上述したファイバ光学プレートは、光出射面の面積よりも光入射面の面積が大きいテーパー形状を有している。
発明の開示
ところで、放射線検出器においては、放射線の検出精度を高めるために放射線を選択的に透過させるフィルタ部材をシンチレータの放射線入射側に配設することが好ましい。フィルタ部材の材質は、検出対象となる放射線のエネルギーの大きさに応じて選択され、たとえば、高エネルギーの放射線を検出する場合には、低エネルギーの放射線を遮蔽するアルミニウム製のフィルタ部材を配設することになる。
しかしながら、特開昭60−234645号公報(特公平4−25012号公報)に開示された放射線検出器には、上述したフィルタ部材が開示されておらず、フィルタ部材をどのようにして放射線検出器に取付けるのかといった具体的な構造は示唆されていない。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、放射線を選択的に透過させるフィルタ部材を交換可能に且つ容易に組み付けることが可能な放射線検出器を提供することを目的とする。
本発明に係る放射線検出器は、受光部を有し、固定基板上に固定される固体撮像素子と、固体撮像素子から画像信号を得るための駆動回路部と、固体撮像素子及び駆動回路部を収納し、受光部に対応する位置に開口部が形成された筐体と、光出射面の面積よりも光入射面の面積が大きいテーパー形状を有し、光出射面が受光部の受光面と光学的に接続されると共に光入射面側の部分が開口部から筐体外に突出して設けられるファイバ光学プレートと、ファイバ光学プレートの光入射面上に形成されているシンチレータと、ファイバ光学プレートにおける前記筐体外に突出した部分の側面を固定して、ファイバ光学プレートを支持する固定部材と、シンチレータに対して対向する位置に配設され、放射線を選択的に透過させるフィルタ部材と、固体撮像素子とファイバ光学プレートとを位置決めするための位置決め部材と、を備えており、固定部材は、筐体に固定され、フィルタ部材は、固定部材に対して着脱可能に取付けられており、位置決め部材には、受光部の光出射面に当接する部分に対応する位置に、ファイバ光学プレートが挿通可能な開口部が形成されていることを特徴としている。
本発明に係る放射線検出器では、ファイバ光学プレートの筐体外に突出した部分を固定して支持する固定部材が筐体に固定され、この固定部材に対してフィルタ部材が着脱可能に取付けられるので、筐体と固定部材とファイバ光学プレートとが固定された状態でフィルタ部材の取付け及び取外しを行うことができる。この結果、フィルタ部材を交換可能に且つ容易に組み付けることが可能となる。また、位置決め部材には、光出射面に当接する固体撮像素子の受光部分に対応する位置に、ファイバ光学プレートが挿通可能な開口部が形成されているので、ファイバ光学プレートを固体撮像素子に対して適切且つ精度よく組み付けることができる。
また、固定部材は、放射線入射方向に沿って順に積層される複数の固定部材と、複数の固定部材同士を積層した状態で固定する締結部材とを有しており、複数の固定部材のうちの少なくとも一つは筐体に固定され、フィルタ部材は、締結部材に着脱可能に取付けられることが好ましい。このように構成した場合には、筐体と固定部材とファイバ光学プレートとが固定された状態においてフィルタ部材の着脱を確実に行い得る構成を簡易且つ低コストで実現することができる。
また、フィルタ部材は、ファイバ光学プレートの側面を覆う側部を有していることが好ましい。このように構成した場合には、フィルタ部材の側部によりファイバ光学プレートの側面を確実に遮光できる。
また、締結部材は、シンチレータとフィルタ部材との間隔を規定するスペーサを含んでいることが好ましい。このように構成した場合には、新たな部材を用いることなく、シンチレータとフィルタ部材との間隔を規定することができ、より一層の低コスト化を図ることができる。
また、ファイバ光学プレートの側面と開口部を形成する位置決め部材の縁部との間に生じる間隙には、遮光性を有する材料が充填されていることが好ましい。このように構成した場合には、ファイバ光学プレートの光出射面以外から固体撮像素子の受光部(受光面)に光が入射するのを妨げ、固体撮像素子にて撮像する画像周辺のバックグラウンドとなるのを防ぐことができる。
また、受光部の外側に配設され、受光部の信号出力を取り出すためのボンディングワイヤを更に備えており、位置決め部材に形成された開口部は、位置決め部材のボンディングワイヤの放射線入射方向前方に位置する部分よりも内側に形成されていることが好ましい。このように構成した場合には、ファイバ光学プレートを固体撮像素子に接続する際に、ファイバ光学プレートとボンディングワイヤとが接触してボンディングワイヤが切断されるのを防ぐことができる。この結果、固体撮像素子に対してファイバ光学プレートを極めて適切に組み付けることができる。
また、固定部材は、入射する放射線を遮蔽する材料からなることが好ましい。このように構成した場合には、固定部材により、固体撮像素子、固定基板及び駆動回路部に入射する放射線が遮蔽されるので、放射線の照射によるノイズや故障の発生を抑制することができる。
また、位置決め部材は、入射する放射線を遮蔽する材料からなることが好ましい。このように構成した場合には、位置決め部材により、固体撮像素子、固定基板及び駆動回路部に入射する放射線が遮蔽されるので、放射線の照射によるノイズや故障の発生を抑制することができる。
また、位置決め部材は、ファイバ光学プレートの光出射面以外から固体撮像素子に入射する光を遮蔽する材料からなることが好ましい。このように構成した場合には、位置決め部材により、ファイバ光学プレートの光出射面以外から固体撮像素子の受光部(受光面)に光が入射するのを防ぐことができ、固体撮像素子にて撮像する画像周辺のバックグラウンドとなるのを防ぐことができる。
また、固定部材は、ファイバ光学プレートにおける光入射面側の部分の側面が固定される固定部材を含んでいることが好ましい。このように構成した場合には、ファイバ光学プレートの固定をより一層強固なものとすることができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、図面を参照しながら本発明による放射線検出器の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。本実施形態においては、本発明をX線検出器に適用した例を示す。
まず、図1〜図3を参照して、本実施形態に係るX線検出器1の概略構成について説明する。X線検出器1は、筐体11、X線検出部21、筐体11内に配置される駆動回路部91等を備えている。筐体11は、X線を遮蔽するようにステンレス銅製の部材からなり、略直方体形状を呈している。筐体11には、X線入射側となる部分に略円形状の開口部12を有する筒部13が形成されている。また、筐体11には、駆動回路部91に接続される画像信号出力端子17、電源を供給するための電源コネクタ(図示せず)等が設けられている。
X線検出部21は、固定基板22、固体撮像素子31、光入射面にシンチレータ51を形成したファイバ光学プレート41、位置決め部材としての遮蔽板81等を含んでいる。固定基板22はセラミック製の部材からなり、固体撮像素子31を載置固定するものである。固定基板22(固体撮像素子31)は、筐体11内に収納された状態で配設されており、固体撮像素子31を載置して収容する凹部23を有している。固体撮像素子31は、凹部23の底面に載置固定される。凹部23の固体撮像素子31が固定された部分の外側には、複数の電極パッド(図示せず)が配列されている。これらの電極パッドは、固定基板22の裏面に配置されている外部接続用の電極端子25と固定基板22を貫通している内部配線(図示せず)によって電気的に接続されている。
固体撮像素子31は、シリコン基板に形成されたCCDイメージセンサからなり、光電変換素子32の配列された部分が受光部を形成している。各光電変換素子32は図示していない信号ラインによって固体撮像素子31の端部(受光部の外側)に配置された電極パッド(図示せず)のうち対応する電極パッドと電気的に接続されている。
固体撮像素子31は固定基板22上にそれぞれの対応する電極パッド同士が近接するように載置されており、対応する電極パッド同士はボンディングワイヤ34によって電気的に接続されている。ボンディングワイヤ34は、光電変換素子32(受光部)の信号出力を取り出すためのもので、固体撮像素子31の受光部(光電変換素子32の配列された部分)の外側に配設される。固体撮像素子31側の電極パッドは、ボンディングワイヤ34、固定基板22側の電極パッド、内部配線、及び、電極端子25と電気的に接続されることになる。
ファイバ光学プレート41は、光出射面43の面積よりも光入射面42の面積が大きいテーパー形状を有している。ファイバ光学プレート41の光入射面42の面積は、707mm程度(直径30mm程度)に設定されており、ファイバ光学プレート41の光出射面43の面積は、光入射面42の面積は、34mm程度(直径6.6mm程度)に設定されている。ファイバ光学プレート41のX線入射方向での長さは、38mm程度に設定されている。ファイバ光学プレート41は、コアガラス材料からなるコア、クラッドガラス材料からなるクラッドコアガラス等で構成される。
ファイバ光学プレート41は、光出射面43が固体撮像素子31の受光部の受光面35と光学的に接続された状態で固定される。ファイバ光学プレート41が固定される位置は、X線入射方向から見て固体撮像素子31の受光部の有効領域がファイバ光学プレートの光出射面43を含むように設定されている。また、開口部12は、固体撮像素子31の受光部に対応する位置に形成されており、ファイバ光学プレート41は、固体撮像素子31(受光部)に接続された状態においては、図1及び図2に示されるように、ファイバ光学プレート41の光入射面42側の部分が筐体11に形成された開口部12から筐体11外に突出して設けられることになる。
ファイバ光学プレート41の光入射面42には、入射したX線を光電変換素子32が感度を有する波長帯の光に変換するシンチレータ51が形成されている。シンチレータ51は、CsI、NaI等の柱状結晶、あるいは、GdS等の粉状結晶からなる。シンチレータ51の表面には、有機膜がコーティングされている。この有機膜は、シンチレータ51が空気に触れるのを防止して、潮解性による発光効率の劣化を防いでいる。有機膜は、X線透過性が高く且つ水蒸気及びガスの透過が極めて少ない、ポリパラキシレン(スリーボンド社製、商品名パリレン)、ポリパラクロロキシリレン(同社製、商品名パリレンC)等のキシレン系樹脂からなり、CVD(化学的蒸着)法等を用いることで形成される。これらのパリレンによるコーティング膜は、水蒸気及びガスの透過が極めて少なく、撥水性、耐薬品性も高いほか、薄膜でも優れた電気絶縁性を有し、放射線、可視光線に対して透明であるなど保護膜にふさわしい優れた特徴を有している。
有機膜の外側あるいは内側には、金、銀、アルミニウム等からなる反射薄膜がコーティングされている。反射薄膜は、シンチレータ51で発生した光のうち、固体撮像素子31(ファイバ光学プレート41)側でなく、X線入射面側に向かう光を反射することで発光量の損失を低減し、検出器の検出感度を増大させることができる。また、反射膜は、外部からの直接光を遮断することもできる。
ファイバ光学プレート41は、光入射面42と光出射面43との間の筐体11外に突出した部分の側面が固定部材61に固定されて、この固定部材61に支持されている。固定部材61は、X線入射方向に沿って順に積層される第1固定部材62と、第2固定部材63と、第3固定部材64と、これらの第1固定部材62〜第3固定部材64同士を積層した状態で固定するためのスペーサ65及び固定ネジ66とを有している。ファイバ光学プレート41は、モールド剤67(たとえば、ポリエーテル変性物)により固定部材61(本実施形態においては、第1固定部材62及び第2固定部材63)に固定されている。
第1固定部材62は、ステンレス鋼製の部材からなり、略中央部にはファイバ光学プレート41が挿通される開口部62aが形成されている。第2固定部材63は、X線を遮蔽するように鉛製の部材からなり、略中央部にはファイバ光学プレート41が挿通される開口部63aが形成されている。第3固定部材64は、ステンレス鋼製の部材からなり、略中央部にはファイバ光学プレート41が挿通される開口部64aが形成されている。第1固定部材62、第2固定部材63、及び、第3固定部材64は、X線入射方向から見て、略矩形形状を呈している。第1固定部材62、第2固定部材63、及び、第3固定部材64のそれぞれの4つの角部には、固定ネジ66が挿通可能な穴部62b,63b,64bが形成されている。
第1固定部材62に形成された開口部62aと、第2固定部材63に形成された開口部63aと、第3固定部材64に形成された開口部64aとは、X線入射方向に見て略円形形状を呈しており、これらの第1固定部材62〜第3固定部材64同士を積層した状態では略同心軸上に位置する。第3固定部材64は、開口部64aと筐体11の開口部12とが重なる状態で、ステンレス鋼製の固定ネジ68により筐体11に固定されている。
スペーサ65及び固定ネジ66は、ステンレス鋼製の部材からなり、スペーサ65には、固定ネジ66の雄ネジ部が螺合可能な雌ネジ部が形成されている。スペーサ65及び固定ネジ66は、4組設けられており、第1固定部材62と第3固定部材64と第2固定部材63とは、4つの角部において、第1固定部材62と第3固定部材64とで第2固定部材63を挟持する状態でスペーサ65及び固定ネジ66により固定されることになる。
スペーサ65のX線入射方向に見て後方側となる端部には、X線を選択的に透過させるフィルタ部材71が固定ネジ73により着脱可能に取付けられている。これにより、フィルタ部材71は、固定部材61(第1固定部材62、第2固定部材63、及び、第3固定部材64)に対して着脱可能に取付けられることになる。フィルタ部材71は、本実施形態においては、アルミニウム製の板状部材からなる。フィルタ部材71の厚さは、1mm程度に設定されている。アルミニウム製の部材を用いることにより、低エネルギーのX線を遮蔽して、高エネルギーのX線を精度よく検出することができる。また、フィルタ部材71の材質及び厚さは、検出対象となるX線のエネルギーの大きさに応じて適宜選択されることになる。
フィルタ部材71は、X線入射方向から見て、略矩形形状を呈している。フィルタ部材71の4つの角部には、固定ネジ73が挿通可能な穴部72が形成されている。スペーサ65には、固定ネジ73の雄ネジ部が螺合可能な雌ネジ部が形成されている。フィルタ部材71は、4つの角部においてスペーサ65に取付けられることになる。固定ネジ73は、ステンレス鋼製の部材からなる。
なお、フィルタ部材71は、図1〜図3に示されるような板形状とされたものに限られるものではない。たとえば、図4及び図5に示されるように、ファイバ光学プレート41及び固定部材61の側面を覆う側部74を有するケース形状とされたものを用いるようにしてもよい。フィルタ部材71が側部74を有することにより、ファイバ光学プレート41の側面を確実に遮光することができる。
スペーサ65の長さは、フィルタ部材71とシンチレータ51との間隔が所定値となるように設定されている。本実施形態においては、フィルタ部材71とシンチレータ51との間隔が1mm程度となるように、スペーサ65の長さは、8mm程度に設定されている。これにより、フィルタ部材71とシンチレータ51との間隔は、スペーサ65により規定されることになる。
遮蔽板81は、凹部23を覆ってボンディングワイヤ34のX線入射方向前方を遮蔽するように固定基板22に固定されている。遮蔽板81は、厚さ1mm程度のステンレス鋼製の不透明な板状部材からなり、X線及び可視光線を遮蔽する。遮蔽板81には、ファイバ光学プレート41の光出射面に当接する固体撮像素子31の受光部部分に対応する位置に、ファイバ光学プレート41が挿通可能であり固体撮像素子31(受光部)に対してファイバ光学プレート41を位置決めするための開口部82が形成されている。この開口部82は、遮蔽板81がボンディングワイヤ34のX線入射方向前方を遮蔽するように、ボンディングワイヤ34のX線入射方向前方に位置する部分よりも内側に位置している。ファイバ光学プレート41は、遮蔽板81を貫通した状態で固体撮像素子31に固定される。
ファイバ光学プレート41の側面と開口部82を形成する遮蔽板81の縁部との間に生じる間隙には、遮光性を有する材料として黒色のモールド剤83(たとえば、ポリエーテル変性物)が全周にわたって塗布、充填され、ファイバ光学プレート41を遮蔽板81に固定している。
駆動回路部91は、固定基板22の電極端子25と電気的に接続されており、電極端子25から出力される画像信号に所定の演算処理を行う演算処理部、演算処理部の出力を増幅する増幅部等を有している。駆動回路部91は、筐体11内に収納された状態で配設されている。
次に、上述した構成のX線検出器1の組立方法について説明する。なお、ファイバ光学プレート41の光入射面42には、シンチレータ51を予め形成しておく。
まず、第1固定部材62の上に第2固定部材63及び第3固定部材64を積層し、固定ネジ66を第1固定部材62、第2固定部材63及び第3固定部材64に形成されたそれぞれの穴部62b,63b,64b内に通し、固定ネジ66とスペーサ65とで第1固定部材62、第2固定部材63及び第3固定部材64を締め付けて固定する。そして、ファイバ光学プレート41の光出射面43側部分を、第1固定部材62、第2固定部材63及び第3固定部材64に形成されたそれぞれの開口部62a,63a,64a、及び、遮蔽板81に形成された開口部82から挿入する。
続いて、開口部62a,63a,64aを形成する第1固定部材62、第2固定部材63及び第3固定部材64のそれぞれの縁部とファイバ光学プレート41の側面との間の間隙にモールド剤67を充填する。このとき、モールド剤67としては、粘性が高く、固体撮像素子31(遮蔽板81)側に流れ込まないものを用いることが好ましい。これにより、ファイバ光学プレート41と固定部材61とを確実に固定することができる。
そして、スペーサ65の上にフィルタ部材71を載せて、固定ネジ73をフィルタ部材71に形成された穴部72に通し、固定ネジ73とスペーサ65とでフィルタ部材71を締め付けて固定する。
一方、固体撮像素子31が載置固定された固定基板22を駆動回路部91に電気的に接続して固定する。このとき、固体撮像素子31は、図3にも示されるように、光電変換素子32(受光部)の受光面35を表にして載置して既に固定され、対応する固定基板22側の電極パッドと固体撮像素子31側の電極パッドとはボンディングワイヤ34により電気的に接続されている。そして、遮蔽板81を、遮蔽板81に形成された開口部82が固体撮像素子31の受光部のX線入射方向前方に位置するように位置決めした状態で、固定基板22に接着剤(たとえば、エポキシ樹脂系接着剤)を用いて接着固定する。
そして、ファイバ光学プレート41の光出射面43と固体撮像素子31の受光面35とに光学接着剤(たとえば、エポキシ樹脂系接着剤)を塗布し、ファイバ光学プレート41の光出射面43側部分を、遮蔽板81に形成された開口部82から挿入し、ファイバ光学プレート41の光出射面43と固体撮像素子31の受光面35とを貼り合わせてファイバ光学プレート41と固体撮像素子31とを光学的に接続する。このとき、ファイバ光学プレート41は、開口部82により、固体撮像素子31の受光部の有効領域がファイバ光学プレート41の光出射面43を含むように位置決めされることになる。また、開口部82は遮蔽板81のボンディングワイヤ34のX線入射方向前方に位置する部分よりも内側に形成されているので、開口部82から挿入されたファイバ光学プレート41とボンディングワイヤ34とが接触してボンディングワイヤ34が切断することはない。
次に、ファイバ光学プレート41の側面と開口部82を形成する遮蔽板81の縁部との間に生じる間隙に、黒色のモールド剤83を充填し、ファイバ光学プレート41と遮蔽板81とを固定する。このとき、モールド剤83としては、粘性が高く、固体撮像素子31、固定基板22に流れ込まないものを用いることが好ましく、モールド剤が流れ込むことによりボンディングワイヤ34が切断されるのを防ぐことができる。
次に、駆動回路部91及び固定基板22(ファイバ光学プレート41の光出射面43側部分)を筐体11の開口部12から挿入し、筐体11の筒部13に第1固定部材62を嵌め込んで、筐体11と第1固定部材62とを固定ネジ68により固定する。なお、駆動回路部91及び固定基板22を、筐体11内部に別途固定するようにしてもよい。
次に、X線検出器1の動作を説明する。入射したX線は、反射薄膜、有機膜の全てを透過してシンチレータ51に達する。このX線は、シンチレータ51で吸収され、X線の光量に対応した光が放射される。放射された光は、光入射面42からファイバ光学プレート41内に入射する。ファイバ光学プレート41に入射した光は、ファイバ光学プレート41内を通って光出射面43から光電変換素子32(固体撮像素子31の受光部)へと入射する。
各々の光電変換素子32では、光電変換により、この可視光の光量に対応する電気信号が生成されて一定時間蓄積される。この可視光の光量は入射するX線の光量に対応しているから、つまり、各々の光電変換素子32に蓄積されている電気信号は、入射するX線の光量に対応することになり、X線画像に対応する画像信号が得られる。光電変換素子32に蓄積されたこの画像信号を図示していない信号ラインから固体撮像素子31側の電極パッド、ボンディングワイヤ34、固定基板22側の電極パッド、内部配線を介して最終的には電極端子25から順次出力することにより、外部へと転送し、これを駆動回路部91で処理することにより、X線像を表示することができる。
なお、固定基板22に遮蔽板81を固定すると共に、ファイバ光学プレート41の側面と開口部82を形成する遮蔽板81の縁部との間に生じる間隙に黒色のモールド剤83を塗布、充填することにより、光がファイバ光学プレート41の光出射面43以外から光電変換素子32に入射するのを防いでいる。また、遮蔽板81及び固定部材61(第2固定部材63)、特に第2固定部材63によりX線が遮断されるので、ボンディングワイヤ34、受光部以外の固体撮像素子31部分、駆動回路部91にX線が入射するのが抑制される。
このように、本実施形態に係るX線検出器1にあっては、ファイバ光学プレート41の筐体11外に突出した部分を固定して支持する固定部材61(第1固定部材62、第2固定部材63及び第3固定部材64)が筐体に固定され、この固定部材61(スペーサ65)に対してフィルタ部材71が着脱可能に取付けられるので、筐体11と固定部材61とファイバ光学プレート41とが固定された状態でフィルタ部材71の取付け及び取外しを行うことができる。この結果、フィルタ部材71を交換可能に且つ容易に組み付けることが可能となる。また、遮蔽板81には、ファイバ光学プレート41の光出射面43に当接する固体撮像素子31の受光部(光電変換素子32の配列された部分)部分に対応する位置に、ファイバ光学プレート41が挿通可能な開口部82が形成されているので、ファイバ光学プレート41を固体撮像素子31に対して適切且つ精度よく組み付けることができる。
また、固定部材61は、X線入射方向に沿って順に積層される第1固定部材62、第2固定部材63及び第3固定部材64と、第1固定部材62、第2固定部材63及び第3固定部材64を積層した状態で固定するスペーサ65及び固定ネジ66とを有しており、第3固定部材64は筐体11に固定され、フィルタ部材71は、スペーサ65に着脱可能に取付けられることにより、筐体11と固定部材61とファイバ光学プレート41とが固定された状態においてフィルタ部材71の着脱を確実に行い得る構成を簡易且つ低コストで実現することができる。
また、スペーサ65は、シンチレータ51とフィルタ部材71との間隔を規定するので、新たな部材を用いることなく、シンチレータ51とフィルタ部材71との間隔を規定することができ、より一層の低コスト化を図ることができる。
また、ファイバ光学プレート41の側面と開口部82を形成する遮蔽板81の縁部との間に生じる間隙には、黒色のモールド剤83が充填されていることにより、ファイバ光学プレート41の光出射面43以外から固体撮像素子31の受光部(受光面35)に光が入射するのを妨げて、固体撮像素子31にて撮像する画像周辺のバックグラウンドとなるのを防ぐことができる。
また、第2固定部材63(固定部材61)は、入射するX線を遮蔽する材料である鉛からなるので、第2固定部材63(固定部材61)により、固体撮像素子31、固定基板22及び駆動回路部91に入射するX線が遮蔽されるので、X線の照射によるノイズや故障の発生を抑制することができる。
また、位置決め部材としての遮蔽板81は、ファイバ光学プレート41の光出射面43以外から固体撮像素子31に入射する光を遮蔽する材料である不透明なステンレス鋼からなるので、この遮蔽板81により、ファイバ光学プレート41の光出射面43以外から固体撮像素子31の受光部(受光面35)に光が入射するのを防ぐことができ、固体撮像素子31にて撮像する画像周辺のバックグラウンドとなるのを防ぐことができる。
また、遮蔽板81に形成された開口部82は、遮蔽板81のボンディングワイヤ34のX線入射方向前方に位置する部分よりも内側に形成されていることにより、ファイバ光学プレート41を固体撮像素子31に接続する際に、ファイバ光学プレート41とボンディングワイヤと34が接触してボンディングワイヤ34が切断されるのを防ぐことができる。この結果、固体撮像素子31に対してファイバ光学プレート41を極めて適切に組み付けることができる。
また、万が一、第2固定部材63(固定部材61)をX線が透過した場合でも、遮蔽板81は入射するX線を遮蔽する材料からなるので、この遮蔽板81により、固体撮像素子31、ボンディングワイヤ34、固定基板22及び駆動回路部91に入射するX線が遮蔽されるので、X線の照射によるノイズや故障の発生を確実に抑制することができる。
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、ファイバ光学プレート41の光入射面42及び光出射面43、遮蔽板81に形成される開口部82といった各構成部品の形状等も適宜変更して設定することができる。また、本実施形態においては、固定部材61が第1固定部材62、第2固定部材63及び第3固定部材64の3つの部材からなるように構成されているが、これに限られることなく、固定部材61を1つ又は2つの部材、あるいは、4つ以上の部材からなるように構成するようにしてもよい。
また、本実施形態においては、X線を遮蔽する材料で第2固定部材63(固定部材61)を構成し、X線及び可視光線を遮蔽する材料で遮蔽板81を構成するようにしているが、これに限られるものではない。たとえば、X線を透過する材料で第2固定部材63(固定部材61)を構成し、X線及び可視光線を遮蔽する材料で遮蔽板81を構成するようにしてよく、また、X線を遮蔽する材料で第2固定部材63(固定部材61)を構成し、可視光線を遮蔽するがX線を透過する材料で遮蔽板81を構成するようにしてもよい。
また、固定部材61は、図6及び図7に示されるように、ファイバ光学プレート41における光入射面42側の部分の側面が固定される第4固定部材69を含んでいてもよい。第4固定部材69の略中央部には、ファイバ光学プレート41が挿通される開口部69aが形成されている。第4固定部材69の4つの角部には、固定ねじ73が挿通可能な穴部が形成されている。第4固定部材69に形成された開口部69aは、X線入射方向から見て略円形形状を呈しており、開口部62a,63a,64aと略同心軸上に位置する。第4固定部材69は、フィルタ部材71と共に4つの角部においてスペーサ65に着脱可能に取付けられることになる。
開口部69aを形成する第4固定部材69の縁部とファイバ光学プレート41における光入射面42側の部分の側面との間の間隙にはモールド剤70が充填、塗布されている。モールド剤70により、第4固定部材69とファイバ光学プレート41とがファイバ光学プレート41における光入射面42近傍の位置で固定される。このように、ファイバ光学プレート41における光入射面42近傍の位置にて、ファイバ光学プレート41の側面を第4固定部材69に固定することにより、ファイバ光学プレート41の固定をより一層強固なものとすることができる。なお、モールド剤70はモールド剤67と同じ材質を用いることができる。
産業上の利用可能性
本発明の放射線検出器は、医療機器や非破壊検査機器等のX線検出器に利用できる。
【図面の簡単な説明】
図1は、実施形態に係る放射線検出器を示す側面図である。
図2は、実施形態に係る放射線検出器を示す構成断面図である。
図3は、実施形態に係る放射線検出器を示す要部分解斜視図である。
図4は、実施形態に係る放射線検出器の変形例を示す側面図である。
図5は、実施形態に係る放射線検出器の変形例を示す構成断面図である。
図6は、実施形態に係る放射線検出器の変形例を示す構成断面図である。
図7は、実施形態に係る放射線検出器の変形例を示す構成断面図である。

Claims (10)

  1. 受光部を有し、固定基板上に固定される固体撮像素子と、
    前記固体撮像素子から画像信号を得るための駆動回路部と、
    前記固体撮像素子及び前記駆動回路部を収納し、前記受光部に対応する位置に開口部が形成された筐体と、
    光出射面の面積よりも光入射面の面積が大きいテーパー形状を有し、前記光出射面が前記受光部の受光面と光学的に接続されると共に前記光入射面側の部分が前記開口部から前記筐体外に突出して設けられるファイバ光学プレートと、
    前記ファイバ光学プレートの前記光入射面上に形成されているシンチレータと、
    前記ファイバ光学プレートにおける前記筐体外に突出した部分の側面を固定して、前記ファイバ光学プレートを支持する固定部材と、
    前記シンチレータに対して対向する位置に配設され、放射線を選択的に透過させるフィルタ部材と、
    前記固体撮像素子と前記ファイバ光学プレートとを位置決めするための位置決め部材と、を備えており、
    前記固定部材は、前記筐体に固定され、
    前記フィルタ部材は、前記固定部材に対して着脱可能に取付けられており、
    前記位置決め部材には、前記受光部の前記光出射面に当接する部分に対応する位置に、前記ファイバ光学プレートが挿通可能な開口部が形成されていることを特徴とする放射線検出器。
  2. 前記固定部材は、放射線入射方向に沿って順に積層される複数の固定部材と、前記複数の固定部材同士を積層した状態で固定する締結部材とを有しており、
    前記複数の固定部材のうちの少なくとも一つは前記筐体に固定され、
    前記フィルタ部材は、前記締結部材に着脱可能に取付けられることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の放射線検出器。
  3. 前記フィルタ部材は、前記ファイバ光学プレートの側面を覆う側部を有していることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の放射線検出器。
  4. 前記締結部材は、前記シンチレータと前記フィルタ部材との間隔を規定するスペーサを含んでいることを特徴とする請求の範囲第2項に記載の放射線検出器。
  5. 前記ファイバ光学プレートの側面と前記開口部を形成する前記位置決め部材の縁部との間に生じる間隙には、遮光性を有する材料が充填されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の放射線検出器
  6. 前記受光部の外側に配設され、前記受光部の信号出力を取り出すためのボンディングワイヤを更に備えており、
    前記位置決め部材に形成された前記開口部は、前記位置決め部材の前記ボンディングワイヤの前記放射線入射方向前方に位置する部分よりも内側に形成されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の放射線検出器。
  7. 前記固定部材は、入射する前記放射線を遮蔽する材料からなることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の放射線検出器。
  8. 前記位置決め部材は、入射する前記放射線を遮蔽する材料からなることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の放射線検出器。
  9. 前記位置決め部材は、前記ファイバ光学プレートの前記光出射面以外から前記固体撮像素子に入射する光を遮蔽する材料からなることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の放射線検出器。
  10. 前記固定部材は、前記ファイバ光学プレートにおける前記光入射面側の部分の側面が固定される固定部材を含んでいることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の放射線検出器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4874639B2 (ja) * 2005-12-12 2012-02-15 株式会社東芝 放射線モニタ装置
JP7023605B2 (ja) * 2017-01-18 2022-02-22 キヤノン・コンポーネンツ株式会社 放射線検出器および放射線検出装置
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS568579A (en) * 1979-07-02 1981-01-28 Mitsubishi Electric Corp Radiation detector
JPS6168580A (ja) * 1984-09-12 1986-04-08 Hitachi Ltd 放射線二次元分布検出装置
JPS63105090U (ja) * 1986-12-25 1988-07-07
JP2873270B2 (ja) * 1994-05-17 1999-03-24 アロカ株式会社 放射線検出器
JP3836208B2 (ja) * 1997-04-09 2006-10-25 浜松ホトニクス株式会社 医療用小型x線画像検出装置

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