JP4080639B2 - Laser drilling method - Google Patents

Laser drilling method Download PDF

Info

Publication number
JP4080639B2
JP4080639B2 JP15386799A JP15386799A JP4080639B2 JP 4080639 B2 JP4080639 B2 JP 4080639B2 JP 15386799 A JP15386799 A JP 15386799A JP 15386799 A JP15386799 A JP 15386799A JP 4080639 B2 JP4080639 B2 JP 4080639B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
range
hole
coordinate
region
center
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP15386799A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2000343260A (en
Inventor
秀典 立石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Via Mechanics Ltd filed Critical Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority to JP15386799A priority Critical patent/JP4080639B2/en
Publication of JP2000343260A publication Critical patent/JP2000343260A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4080639B2 publication Critical patent/JP4080639B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一辺の長さがa、他辺の長さがbの方形の範囲でレーザ光の照射位置を制御可能な手段を備え、前記範囲毎に穴を加工するようにしたレーザ光による穴明け加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ビルドアップ式のプリント基板では層間を接続するブラインドホール(以下、穴という。)をレーザ光により加工することが多い。このようなレーザ加工機を図6により説明する。
図6は、従来から実施されているレーザ加工機の構成図である。レーザ発振器1から発振されたパルス状のレーザ光2は、反射面が固定された全反射コーナミラー3a、3bで反射し、図中矢印で示すように、回転軸の回りに回転自在で、反射面を任意の角度に位置決めができるガルバノミラー4a、4bで定まる光路を通り、集光レンズ5(fθレンズ)で集光される。加工ヘッド6は、ガルバノミラー4a、4bを動作させ、スキャン領域8内の穴を順に加工する。そして、1個のスキャン領域8内の穴の加工が終了したら、X−Yテーブル9を移動させ、次のスキャン領域8内の加工を行う。なお、加工する穴の直径(以下、穴径という。)は通常0.3mm以下、1個のスキャン領域8の大きさは50mm×50mm程度である。また、レーザ発振器が発振可能なレーザパルス周期は0.33ms(周波数3KHz)程度であり、パルス期間TPは数十μsである。また、駆動系のイナーシャや固有振動数の影響を受ける期間TGは2ms程度、また、テーブルの位置決めは200ms程度である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、加工する穴径には種々のものがあり、穴が配置される位置も一様であるとは限らない。このため、スキャン領域を順番に移動させるだけでは、作業能率が低く、穴の品質がばらついた。
【0004】
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、作業能率を向上することができ、かつ穴の品質に優れるレーザ光による穴明け加工方法を提供するにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明は、一辺の長さがa、他辺の長さがbの方形の範囲でレーザ光の照射位置を制御する光路偏向手段を用いて、前記範囲毎に当該範囲内に中心が定められた円形の穴を加工するようにしたレーザ光による穴明け加工方法において、加工に先立ち、加工しようとする穴を穴径毎に区分すると共に、区分した穴径毎に、前記長さa毎に前記範囲を配置する作業を、X方向にワークの一端から他端まで繰返し、この繰り返し作業を、Y方向に前記長さb毎にワークの一端から他端まで繰返すことにより前記範囲をワークの全体に配置し、上記配置作業のそれぞれにおいて配置された前記範囲に存在する前記加工しようとする穴の有無を確認し、当該範囲に前記穴が存在する場合は、前記範囲に存在する1以上の前記穴のうちX座標の最小値をX座標値とし、Y座標の最小値をY座標値とする点を頂点とし、この頂点を基準としてX方向及びY方向に前記方形の範囲と同一の範囲の方形の領域を設定し、前記頂点の座標値を記憶すると共に、この領域内に含まれる前記穴の座標データを次の前記領域を定める対象から外し、前記頂点で定められた前記範囲毎に、当該範囲内に存在する前記穴の中心にレーザ光を照射して、ワークを加工することを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
図1は、本発明に係る穴明け加工方法の加工手順を示すフローチャート、図2は、穴径毎のテーブル移動位置決定手順を示すフローチャートであり、図3はプリント基板の平面図である。プリント基板7は2辺の長さがA×Bの長方形であり、1個の頂点をテーブル9の移動原点0に、長さAの一辺がX軸上に、長さBの他辺がY軸上にそれぞれ位置決めされている。なお、加工機自体は前述の図6に示したものと同等のものを使用する。
【0007】
ワークの加工に先立ち、加工プログラムを読み込み(図1における手順S100)、加工プログラムに記載されている加工しようとする穴径のデータを、穴径毎に区分してまとめる(手順S110)。次に、穴径毎に、中心のx座標を並べ替える(手順S120)。なお、この実施の形態では、x座標が小さい順に並べる。そして、後述する図2の手順により、穴径毎にテーブル9の移動位置を決定し(手順S130)、穴径毎に手順S130で決定した複数の移動位置を最短で接続できる移動経路、すなわちテーブル9の移動距離が最小になるような移動経路、を決定する(手順S140)。
【0008】
なお、手順S110でデータを穴径毎に分類したのは、以下の理由によるものである。すなわち、穴の真円度を向上させたり穴の内面を滑らかにする等、品質の優れる穴を加工するためには、適切な条件で加工する必要がある。しかし、穴径毎に適切な条件が異なるため、例えばレーザ発振器の出力を変更すると、出力が安定するまでに時間を要する場合があり、同一の穴径をまとめて加工する方が作業能率を向上させることができる場合が多いからである。
【0009】
また、手順S120の処理は、後述するテーブルの移動位置決めの演算速度を向上させるためのものであり、省略しても良い。
【0010】
次に、図2により穴径毎のテーブル9の移動位置決定手順を説明する。なお、スキャン領域8の大きさは2辺が等しい50mm×50mmであり、穴の中心がこの範囲にあれば、品質に優れる穴の加工をすることができる。
先ず、i=0、j=0、k=0として(手順S200)、x座標が
50i≦x≦50i+50、
かつ、y座標が
50i≦y≦50i+50
の範囲に穴があるかどうかを調べ(手順S210)、この範囲に加工しようとする穴がない場合は、手順S260の処理を行なう。また、穴がある場合は、
k=k+1
としてから(手順S220)、x座標の最小値xminを求め、
xk=xmin(この場合はx1=xmin)
とする。引続き、y座標の最小値yminを求め、
yk=ymin(この場合はy1=ymin)
とし(手順S230)、X座標がxk、Y座標がykの点Pk(この場合はP1(x1,y1))を記憶する(手順S240)。
【0011】
次に、
xk≦x≦xk+50
かつ
yk≦y≦yk+50
の範囲にある穴の座標を次のPkを決定するデータから外して(手順S250)、手順S260の処理を行なう。
【0012】
手順S260では、i=i+1としてから、50iとAとを比較し(手順S270)、50i≧Aの場合は、手順S280の処理を行ない、50i<Aの場合は手順S210の処理を行なう。
【0013】
手順S280では、i=0、j=j+1としてから、50jとBとを比較し(手順S290)、50j≧Bの場合は、手順S210の処理を行ない、50j<Bの場合は処理を終了する。
【0014】
図4は上記の手順により決定されたPkの例を示す図である。図中×を付したQ1〜Q12は、加工プログラムに記載されていた穴の位置を、P1〜P4は上記で決定された点Pkの位置を、実線で示すD1〜D4はP1〜P4で決まるスキャン範囲を、点線で示すS1〜S15は手順S210において配置された範囲を、それぞれ示している。同図から明らかなように、本実施の形態の場合、例えばS7に含まれるQ6はスキャン領域D1に、S7、S8にそれぞれ含まれるQ7、Q8はスキャン領域D2に含まれる結果、Q6〜Q8を加工するためにテーブルをS7、S8に位置決めする必要がなく、作業能率を向上させることができる。なお、図示の場合、上記した手順S140により、加工はD1→D2→D4→D3の順で行なわれる。
【0015】
図5は、本発明の他の穴径毎のテーブルの移動位置決定手順を示すフローチャートであり、スキャン領域8の大きさは上記と同じ50mm×50mmである。
先ず、i=0、j=0、k=0として(手順S300)、x座標が
50i≦x≦50i+50、
かつ、y座標が
50i≦y≦50i+50
の範囲に穴があるかどうかを調べ(手順S310)、この範囲に加工しようとする穴がない場合は、手順S380の処理を行なう。また、穴がある場合は、
k=k+1
としてから(手順S320)、x座標の最小値xminを求め、
xn=xmin
とする。引続き、y座標の最小値yminを求め、
yn=ymin
とする(手順S330)。
【0016】
次に、
xn≦x≦xn+50
かつ
yn≦y≦yn+50
の範囲にある穴の中心座標のうちx座標の最大値xmaxを求めて、
xm=xmax
とし、引続き、y座標の最大値ymaxを求めて、
ym=ymax
とする(手順S340)。
【0017】
次に、
xk=xn−(xn+50−xm)/2
yk=yn−(yn+50−ym)/2
すなわち、
xk=xm+xn+25
yk=ym+yn+25
として、xk、ykを求め(手順S350)、X座標がxk、Y座標がykの点Pk(この場合はP1(x1,y1))を記憶する(手順S360)。
【0018】
次に、
xk≦x≦xk+50
かつ
yk≦y≦yk+50
の範囲にある穴の座標を次のPkを決定するデータから外して(手順S370)、手順S380の処理を行なう。なお、手順S370で消去した穴は、
xn≦x≦xn+50
かつ
yn≦y≦yn+50
の範囲にある穴と一致することはいうまでもない。
【0019】
手順S380では、i=i+1としてから、50iとAとを比較し(手順S390)、50i≧Aの場合は、手順S400の処理を行ない、50i<Aの場合は手順S310の処理を行なう。手順S400では、i=0、j=j+1としてから、50jとBとを比較し(手順S410)、50j≧Bの場合は、手順S310の処理を行ない、50j<Bの場合は処理を終了する。
【0020】
通常、スキャン領域8の端部で加工された穴の内面は中心付近で加工された穴の内面よりも垂直度が低下する傾向がある。この実施の形態では、手順S340、手順S350により、加工しようとするX軸方向の両端にある穴の中心と、Y座標軸方向の両端にある穴の中心とで形成される四角形の中心にスキャン領域8の中心を配置するから、端部にある穴の中心とスキャン領域8の中心との距離のばらつきを小さくすることができる。この結果、加工した穴の内面の垂直度を向上させることができ、穴の品質をさらに向上させることができる。
【0021】
なお、上記ではスキャン領域内のX座標およびY座標のそれぞれ両端に位置する穴の座標を基準にしてスキャン領域の頂点の座標を決定したが、さらに、あるいは手順S340、手順S350に代えて、Pkの位置を、Pkを頂点とする移動方向のスキャン領域内に含まれる総ての穴の中心からスキャン領域の中心までの距離の和が最小になるように、補正してもよい。
【0022】
なお、上記いずれの場合も、スキャン領域を定める点を、スキャン領域の原点に近い頂点にしたが、例えばスキャン領域の中心にしてもよい。
【0023】
また、本発明は、長方形のワークに限らず、任意の形状であっても適用することができる。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、作業能率を向上させることができ、かつ穴の品質も向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る穴明け加工方法の加工手順を示すフローチャートである。
【図2】本発明のテーブル移動位置決定手順を示すフローチャートである。
【図3】プリント基板の平面図である。
【図4】本発明の手順により決定された結果を示す図である。
【図5】本発明の他のテーブルの移動位置決定手順を示すフローチャートである。
【図6】従来のレーザ加工機の構成図である。
【符号の説明】
1 レーザ発振器
2 レーザ光
3a,3b 全反射コーナミラー
4a,4b ガルバノミラー
5 集光レンズ
6 加工ヘッド
7 プリント基板
8 スキャン領域
9 X−Yテーブル
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
According to the present invention, there is provided a means capable of controlling the irradiation position of the laser beam in a rectangular range in which the length of one side is a and the length of the other side is b. The present invention relates to a drilling method.
[0002]
[Prior art]
In a build-up type printed circuit board, a blind hole (hereinafter referred to as a hole) for connecting layers is often processed with a laser beam. Such a laser processing machine will be described with reference to FIG.
FIG. 6 is a configuration diagram of a laser processing machine that has been conventionally implemented. The pulsed laser beam 2 oscillated from the laser oscillator 1 is reflected by total reflection corner mirrors 3a and 3b whose reflecting surfaces are fixed, and as shown by arrows in the figure, can be rotated around the rotation axis and reflected. The light passes through an optical path determined by galvanometer mirrors 4a and 4b that can position the surface at an arbitrary angle, and is collected by a condenser lens 5 (fθ lens). The processing head 6 operates the galvanometer mirrors 4a and 4b to sequentially process the holes in the scan region 8. When the processing of the holes in one scan area 8 is completed, the XY table 9 is moved to perform the process in the next scan area 8. The diameter of the hole to be processed (hereinafter referred to as the hole diameter) is usually 0.3 mm or less, and the size of one scan region 8 is about 50 mm × 50 mm. The laser pulse period that can be oscillated by the laser oscillator is about 0.33 ms (frequency 3 KHz), and the pulse period TP is several tens of μs. The period TG affected by the inertia of the drive system and the natural frequency is about 2 ms, and the positioning of the table is about 200 ms.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, there are various types of hole diameters to be processed, and the positions where the holes are arranged are not always uniform. For this reason, simply moving the scan area in order resulted in low work efficiency and varying hole quality.
[0004]
An object of the present invention is to provide a drilling method using a laser beam that can solve the above-described problems in the prior art, improve work efficiency, and has excellent hole quality.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention uses an optical path deflecting unit that controls the irradiation position of laser light in a rectangular range in which the length of one side is a and the length of the other side is b. In the drilling method using a laser beam so as to process a circular hole whose center is defined within the range, prior to processing, the hole to be processed is classified for each hole diameter, and for each divided hole diameter In addition, the operation of arranging the range for each length a is repeated from one end of the workpiece to the other end in the X direction, and this repeating operation is repeated from one end of the workpiece to the other end in the Y direction for each length b. By arranging the range in the entire work by checking the presence or absence of the hole to be processed existing in the range arranged in each of the placement work, if the hole exists in the range, One or more of the above existing in the range X-coordinate minimum value of the X coordinate value, the minimum value of the Y coordinate and an apex point of the Y-coordinate values, the same range as the range of the square of the vertex in the X direction and the Y direction with respect of The rectangular area is set, the coordinate value of the vertex is stored, and the coordinate data of the hole included in the area is excluded from the target for determining the next area, and for each range defined by the vertex The workpiece is machined by irradiating a laser beam to the center of the hole existing in the range.
[0006]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described based on the illustrated embodiments.
FIG. 1 is a flowchart showing a processing procedure of a drilling method according to the present invention, FIG. 2 is a flowchart showing a table moving position determination procedure for each hole diameter, and FIG. 3 is a plan view of a printed circuit board. The printed circuit board 7 has a rectangular shape with two sides of A × B. One vertex is the moving origin 0 of the table 9, one side of the length A is on the X axis, and the other side of the length B is Y. Each is positioned on an axis. The processing machine itself is the same as that shown in FIG.
[0007]
Prior to machining the workpiece, the machining program is read (step S100 in FIG. 1), and the hole diameter data to be machined described in the machining program is classified for each hole diameter (step S110). Next, the center x coordinate is rearranged for each hole diameter (step S120). In this embodiment, the x coordinates are arranged in ascending order. Then, the movement position of the table 9 is determined for each hole diameter according to the procedure of FIG. 2 to be described later (procedure S130). A movement route that minimizes the movement distance 9 is determined (step S140).
[0008]
The reason why the data is classified for each hole diameter in step S110 is as follows. That is, in order to process a hole with excellent quality, such as improving the roundness of the hole or smoothing the inner surface of the hole, it is necessary to process under appropriate conditions. However, since the appropriate conditions differ depending on the hole diameter, for example, if the output of the laser oscillator is changed, it may take time for the output to stabilize, and working with the same hole diameter together improves work efficiency. This is because there are many cases where this can be achieved.
[0009]
Further, the process of step S120 is for improving the calculation speed of table movement positioning described later, and may be omitted.
[0010]
Next, a procedure for determining the movement position of the table 9 for each hole diameter will be described with reference to FIG. The size of the scan region 8 is 50 mm × 50 mm where the two sides are equal, and if the center of the hole is within this range, it is possible to process a hole with excellent quality.
First, assuming that i = 0, j = 0, and k = 0 (procedure S200), the x coordinate is 50i ≦ x ≦ 50i + 50,
And y coordinate is 50i ≦ y ≦ 50i + 50
Whether there is a hole in the range (step S210). If there is no hole to be processed in this range, the process of step S260 is performed. If there is a hole,
k = k + 1
(Step S220), the minimum value xmin of the x coordinate is obtained,
xk = xmin (in this case x1 = xmin)
And Subsequently, the minimum value ymin of the y coordinate is obtained,
yk = ymin (in this case y1 = ymin)
(Step S230), the point Pk (in this case, P1 (x1, y1)) whose X coordinate is xk and Y coordinate is yk is stored (step S240).
[0011]
next,
xk ≦ x ≦ xk + 50
And yk ≦ y ≦ yk + 50
The coordinates of the hole in the range are removed from the data for determining the next Pk (step S250), and the process of step S260 is performed.
[0012]
In step S260, after i = i + 1, 50i is compared with A (step S270). If 50i ≧ A, the process of step S280 is performed, and if 50i <A, the process of step S210 is performed.
[0013]
In step S280, after i = 0 and j = j + 1, 50j is compared with B (step S290). If 50j ≧ B, the process of step S210 is performed, and if 50j <B, the process ends. .
[0014]
FIG. 4 is a diagram showing an example of Pk determined by the above procedure. Q1 to Q12 marked with “X” in the figure indicate the positions of the holes described in the machining program, P1 to P4 indicate the positions of the points Pk determined above, and D1 to D4 indicated by solid lines are determined by P1 to P4. S1 to S15, which indicate the scan range with dotted lines, indicate the ranges arranged in step S210, respectively. As can be seen from the figure, in the present embodiment, for example, Q6 included in S7 is included in the scan region D1, and Q7 and Q8 included in S7 and S8 are included in the scan region D2. It is not necessary to position the table at S7 and S8 for processing, and the work efficiency can be improved. In the illustrated case, the processing is performed in the order of D1, D2, D4, and D3 by the above-described procedure S140.
[0015]
FIG. 5 is a flowchart showing the procedure for determining the table movement position for each hole diameter according to the present invention. The size of the scan area 8 is 50 mm × 50 mm, the same as described above.
First, assuming that i = 0, j = 0, and k = 0 (step S300), the x coordinate is 50i ≦ x ≦ 50i + 50,
And y coordinate is 50i ≦ y ≦ 50i + 50
Whether there is a hole in the range (step S310). If there is no hole to be processed in this range, the process of step S380 is performed. If there is a hole,
k = k + 1
(Step S320), the minimum value xmin of the x coordinate is obtained,
xn = xmin
And Subsequently, the minimum value ymin of the y coordinate is obtained,
yn = ymin
(Procedure S330).
[0016]
next,
xn ≦ x ≦ xn + 50
And yn ≦ y ≦ yn + 50
The maximum value xmax of the x coordinate out of the center coordinates of the holes in the range of
xm = xmax
Then, the maximum value ymax of the y coordinate is obtained,
ym = ymax
(Procedure S340).
[0017]
next,
xk = xn- (xn + 50-xm) / 2
yk = yn- (yn + 50-ym) / 2
That is,
xk = xm + xn + 25
yk = ym + yn + 25
Xk and yk are obtained (step S350), and the point Pk (in this case, P1 (x1, y1)) whose x coordinate is xk and y coordinate is yk is stored (step S360).
[0018]
next,
xk ≦ x ≦ xk + 50
And yk ≦ y ≦ yk + 50
The coordinates of the hole in the range are removed from the data for determining the next Pk (step S370), and the process of step S380 is performed. The holes erased in step S370 are
xn ≦ x ≦ xn + 50
And yn ≦ y ≦ yn + 50
Needless to say, it matches the hole in the range of.
[0019]
In step S380, after i = i + 1, 50i is compared with A (step S390). If 50i ≧ A, the process of step S400 is performed, and if 50i <A, the process of step S310 is performed. In step S400, after i = 0 and j = j + 1, 50j is compared with B (step S410). When 50j ≧ B, the process of step S310 is performed, and when 50j <B, the process is terminated. .
[0020]
Usually, the inner surface of the hole processed at the end of the scan region 8 tends to have a lower vertical degree than the inner surface of the hole processed near the center. In this embodiment, the scan region is formed at the center of a rectangle formed by the center of the hole at both ends in the X-axis direction to be machined and the center of the hole at both ends in the Y-coordinate axis direction by steps S340 and S350. Since the center of 8 is arranged, variation in the distance between the center of the hole at the end and the center of the scan region 8 can be reduced. As a result, the perpendicularity of the inner surface of the processed hole can be improved, and the quality of the hole can be further improved.
[0021]
In the above description, the coordinates of the vertices of the scan area are determined based on the coordinates of the holes located at both ends of the X coordinate and the Y coordinate in the scan area, but in addition, in place of steps S340 and S350, Pk May be corrected so that the sum of the distances from the centers of all the holes included in the scanning region in the moving direction having Pk as the apex to the center of the scanning region is minimized.
[0022]
In any of the above cases, the point defining the scan area is the apex close to the origin of the scan area, but may be the center of the scan area, for example.
[0023]
Further, the present invention is not limited to a rectangular workpiece, and can be applied to any shape.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to improve the work efficiency, and can also be improved hole quality.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a flowchart showing a processing procedure of a drilling method according to the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing a table moving position determination procedure according to the present invention.
FIG. 3 is a plan view of a printed circuit board.
FIG. 4 is a diagram showing the results determined by the procedure of the present invention.
FIG. 5 is a flowchart showing a procedure for determining the movement position of another table of the present invention.
FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional laser beam machine.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser oscillator 2 Laser beam 3a, 3b Total reflection corner mirror 4a, 4b Galvano mirror 5 Condensing lens 6 Processing head 7 Printed circuit board 8 Scan area 9 XY table

Claims (4)

一辺の長さがa、他辺の長さがbの方形の範囲でレーザ光の照射位置を制御する光路偏向手段を用いて、前記範囲毎に当該範囲内に中心が定められた円形の穴を加工するようにしたレーザ光による穴明け加工方法において、
加工に先立ち、加工しようとする穴を穴径毎に区分すると共に、区分した穴径毎に、前記長さa毎に前記範囲を配置する作業を、X方向にワークの一端から他端まで繰返し、この繰り返し作業を、Y方向に前記長さb毎にワークの一端から他端まで繰返すことにより前記範囲をワークの全体に配置し、
上記配置作業のそれぞれにおいて配置された前記範囲に存在する前記加工しようとする穴の有無を確認し、
当該範囲に前記穴が存在する場合は、前記範囲に存在する1以上の前記穴の座標のうちX座標の最小値をX座標値とし、Y座標の最小値をY座標値とする点を頂点とし、この頂点を基準としてX方向及びY方向に前記方形の範囲と同一の範囲の方形の領域を設定し、前記頂点の座標値を記憶すると共に、この領域内に含まれる前記穴の座標データを次の前記領域を定める対象から外し、前記頂点で定められた前記範囲毎に、当該範囲内に存在する前記穴の中心にレーザ光を照射して、ワークを加工することを特徴とするレーザ光による穴明け加工方法。
A circular hole whose center is determined for each of the ranges by using an optical path deflecting unit that controls the irradiation position of the laser beam in a square range in which the length of one side is a and the length of the other side is b. In the drilling method using laser light,
Prior to machining, the hole to be machined is divided for each hole diameter, and the operation of arranging the range for each length a for each divided hole diameter is repeated from one end of the workpiece to the other end in the X direction. , By repeating this repeated operation from one end of the workpiece to the other end in the Y direction for each length b, the range is arranged over the entire workpiece,
Confirm the presence or absence of the hole to be processed existing in the range arranged in each of the arrangement work,
If the hole in the range exists, the minimum value of the X coordinate of one or more of the holes in the coordinate present in the range as the X coordinate value, the minimum value of the Y-coordinate point of the Y-coordinate value Is set as a vertex, a rectangular region having the same range as the rectangular region is set in the X direction and the Y direction with reference to the vertex, the coordinate value of the vertex is stored, and the holes included in the region are stored. The coordinate data is excluded from the target for determining the next region, and the workpiece is processed by irradiating the center of the hole existing in the range for each range determined by the vertex. Drilling method with laser light.
前記定めた領域に含まれるX方向の両端にある穴のX座標の中間の座標が前記範囲のX方向の中心に、また、前記定めた領域に含まれるY方向の両端にある穴のY座標の中間の座標が前記範囲のY方向の中心に、それぞれ一致するように、前記領域を移動させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光による穴明け加工方法。  The middle coordinate of the X coordinate of the hole at both ends in the X direction included in the defined area is the center in the X direction of the range, and the Y coordinate of the hole at both ends in the Y direction included in the defined area 2. The drilling method using laser light according to claim 1, wherein the region is moved so that the intermediate coordinates of the region coincide with the center of the range in the Y direction. 前記定めた領域に含まれる総ての穴の中心から、前記定めた領域の中心までの距離の和が最小になるように、前記定めた領域を移動させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光による穴明け加工方法。  The defined region is moved so that the sum of the distances from the centers of all the holes included in the defined region to the center of the defined region is minimized. Drilling method by laser beam. 前記定めた領域が3個以上あるとき、これらを結ぶ最も短い経路を求めるようにしたことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のレーザ光による穴明け加工方法。  4. A drilling method using a laser beam according to claim 1, wherein when there are three or more defined areas, the shortest path connecting them is obtained.
JP15386799A 1999-06-01 1999-06-01 Laser drilling method Expired - Fee Related JP4080639B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15386799A JP4080639B2 (en) 1999-06-01 1999-06-01 Laser drilling method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15386799A JP4080639B2 (en) 1999-06-01 1999-06-01 Laser drilling method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000343260A JP2000343260A (en) 2000-12-12
JP4080639B2 true JP4080639B2 (en) 2008-04-23

Family

ID=15571849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15386799A Expired - Fee Related JP4080639B2 (en) 1999-06-01 1999-06-01 Laser drilling method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4080639B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109661116A (en) * 2018-11-28 2019-04-19 惠州中京电子科技有限公司 A kind of wiring board Blind locating holes chassis defect means to save the situation

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013071153A (en) * 2011-09-28 2013-04-22 Hitachi Via Mechanics Ltd Laser beam machining apparatus and method
EP2824699A1 (en) * 2013-07-08 2015-01-14 Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Providing a chip die with electrically conductive elements
CN109570749A (en) * 2018-10-09 2019-04-05 大族激光科技产业集团股份有限公司 A method of improving laser marking system adjustment accuracy

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109661116A (en) * 2018-11-28 2019-04-19 惠州中京电子科技有限公司 A kind of wiring board Blind locating holes chassis defect means to save the situation
CN109661116B (en) * 2018-11-28 2021-08-03 惠州中京电子科技有限公司 Method for remedying defect of blind hole chassis for positioning circuit board

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000343260A (en) 2000-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4218209B2 (en) Laser processing equipment
JP4800939B2 (en) Laser processing apparatus, program creation apparatus, and laser processing method
JP6325646B1 (en) Laser processing robot system for performing laser processing using robot and control method of laser processing robot
US11420288B2 (en) Laser machining systems and methods
JP6595558B2 (en) Laser processing system
JP4614844B2 (en) Laser processing method and laser processing apparatus
JP2017030011A (en) Laser processing device and control program for laser processing device
US10576579B2 (en) Laser machining apparatus that machines surface of workpiece by irradiating laser beam thereon
JP2006281268A (en) Laser beam machine
JP2003136270A (en) Laser beam machining device
JP4080639B2 (en) Laser drilling method
JP2773661B2 (en) Beam scanning type laser marking method and apparatus and mask therefor
JP2020099912A (en) Laser marker
JPH02137687A (en) Laser light condensing device
JP2004358507A (en) Laser beam machining device and laser beam machining method
JP2007054853A (en) Laser beam machining device and machining method
JPH08150474A (en) Method for automatic control of bead shape
JP3177023B2 (en) Method and apparatus for processing external shape of flexible wiring board
JP2002346775A (en) Device and method for laser beam machining
JP2002224865A (en) Laser beam marking device
JP2017006977A (en) Laser machining apparatus and controlling method of laser machining apparatus
JP4039306B2 (en) 3D circuit pattern forming method, apparatus, and 3D circuit board manufactured using the same
JP2021144406A (en) Machining order determination device, laser machining device, and laser machining method
JP2823750B2 (en) Laser marking device
JP2008254073A (en) Laser beam machining apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040913

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060906

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061205

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070205

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070227

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070424

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070522

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20070615

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070720

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20070727

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080205

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080207

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110215

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120215

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120215

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130215

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140215

Year of fee payment: 6

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees