JP4058023B2 - 光素子モジュール - Google Patents

光素子モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP4058023B2
JP4058023B2 JP2004176528A JP2004176528A JP4058023B2 JP 4058023 B2 JP4058023 B2 JP 4058023B2 JP 2004176528 A JP2004176528 A JP 2004176528A JP 2004176528 A JP2004176528 A JP 2004176528A JP 4058023 B2 JP4058023 B2 JP 4058023B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical element
element module
pad
row
module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004176528A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006004971A (ja
Inventor
道秀 笹田
英之 ▲桑▼野
武 山下
Original Assignee
日本オプネクスト株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本オプネクスト株式会社 filed Critical 日本オプネクスト株式会社
Priority to JP2004176528A priority Critical patent/JP4058023B2/ja
Publication of JP2006004971A publication Critical patent/JP2006004971A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4058023B2 publication Critical patent/JP4058023B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/494Connecting portions
    • H01L2224/4943Connecting portions the connecting portions being staggered
    • H01L2224/49433Connecting portions the connecting portions being staggered outside the semiconductor or solid-state body

Landscapes

  • Led Device Packages (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Description

本発明は、光ファイバ通信システムに利用される発光素子または受光素子を実装した光素子モジュール、発光素子モジュールを搭載した光送信モジュールおよび受光素子モジュールを搭載した光受信モジュールに関する。
光ファイバ通信システムに使用される発光素子または受光素子(光素子)を実装したモジュールは、それぞれ発光素子モジュール、受光素子モジュールと呼ばれる。発光素子モジュールと受光素子モジュールとは、光素子モジュールと総称される。また、発光素子モジュールとその周辺回路とを搭載した上位のモジュールは、光送信モジュールと呼ばれる。同様に、受光素子モジュールとその周辺回路とを搭載した上位のモジュールは、光受信モジュールと呼ばれる。しかし、伝送速度の高速化により、発光素子/受光素子の周辺回路を発光素子モジュール/発光素子モジュール内に搭載することも行われる。したがって、光素子モジュールと、光送信モジュールと光受信モジュールとの境界は、あいまいであり、光モジュールと総称する。
光素子モジュールは、光素子と、光ファイバへの光結合のためのレンズなどの部品から構成されている。これらの部品は、パッケージ内に収納され、不活性ガスをパッケージ内部に充填させ封止(気密封止)する。通信システムは、長期間にわたる動作の安定性など高い信頼性が要求されている。このため、光素子モジュールに使われるパッケージは、外部の酸素や水分などの進入を防ぎ、長期間にわたりパッケージ内部の気密を保つことが要求される。パッケージには、特許文献1に記載された金属性基板の上に金属製の枠体を接合したメタルウォールタイプがある。また、特許文献2には、金属製基板上にセラミックなどの誘電体側壁を接合し、電気線路を誘電体基板上に配線したものを枠体側壁に貫通させるいわゆるフィードスルータイプが示されている。
従来の光モジュールは、外部との電気的接続に金属製の棒(リード端子)を用いる。メタルウォールタイプの場合、金属枠体の側壁に開けた穴にリードを貫通させ、パッケージの枠体とリードとの絶縁および気密封止のために、ガラスによってハーメチックシールされる。フィードスルータイプの場合は、枠体の外の誘電体基板上の配線パターン上にリードを銀蝋などで接合する。
特開2003-188304号公報
特開2002-329800号公報
10Gbit/sを超える高速化においては、受光素子からLSIへ伝達する(またはLSIから発光素子へ伝達する)高速電気信号を安定させるために、これらLSIを受光素子(または発光素子)に近接配置することが行われる。
しかし、LSIを収納した光素子モジュールの場合、LSIを制御するためのリード端子が相当数必要となる。上述のメタルウォールやフィードスルータイプのパッケージでは、リード端子の端子幅と間隔は実質、幅0.2mm、間隔0.75mmが最小となる。また、フィードスルータイプパッケージにおいて、リード端子と接合しているセラミック基板3上の配線は、リードの並び方向に一次元的に配置するしかない。このことから、パッケージのリード並び方向の長さは、リード幅とリード間隔とで決まる最小値が存在し、それ以上の小型化ができない。リード端子の幅や間隔および配線の一次元配置の事情は、メタルウォールパッケージでも同じである。
本発明の目的は、光素子の周辺回路を光素子モジュールの枠体に取り込んで、しかも小型な光素子モジュールおよび光モジュールを提供することにある。
上述の課題を解決するために、外部との接続は、リードのないフィードスルータイプのパッケージを採用し、ワイヤボンディングまたはフレキシブルプリント基板で行い、配線基板の外部接続パッド部は少なくとも3列のパッド群で構成する。
ワイヤボンディングまたはフレキシブルプリント基板で外部と接続することによって、外部接続パッドの大きさと間隔を小さくできる。しかも、3列に配置したことによる高密度化でき、小型の光素子モジュールおよび光モジュールを提供することができる。
以下、本発明の実施の形態を説明する実施例を、図面を参照しながら説明する。
本発明の実施の形態である光素子モジュールについて、実施例1を、図1および図3を用いて説明する。ここで、図1は、本発明の実施例1を説明する発光素子モジュールの要部平面図である。また、図3は、実施例1の発光素子モジュールに使用したセラミック基板の外部接続部を拡大した平面図である。
実施例1では、パッケージに金属枠4をセラミック基板3が貫通するセラミックフィードスルータイプを用いた。発光素子5は、キャリア30上にレンズ6と供に搭載されている。表層配線16と図示しない内層配線とが形成されたセラミック基板3上には、発光素子の駆動回路等周辺回路であるLSI7が搭載されている。セラミック基板3の金属枠4内の接続パッドは、LSI7および発光素子5の端子と金ワイヤ18でワイヤボンディング接続されている。セラミック基板3の他端には、発光素子モジュール1の入出力端子である入出力パッド2が、配置されている。本実施例1の発光素子モジュール1は、発光素子5から出た光を、レンズ6で光ファイバ8に結合する。
図3は、セラミック基板3の入出力用パッド2の配置を説明する図である。セラミック基板3の表層配線16のパッドは、外部接続部でy軸方向に一つおきに2列に配置した。このとき図の左下の1番パッドを(0,0)座標としたとき、mm単位で各パッドの座標を示すと、
奇数パッドは、順に(0,0)(0.45,0)(0.90,0)...
偶数パッドは、順に(0.225,0.13)(0.675,0.13)(1.125,0.13)...
とした。また、図示しない内層配線は、表層配線16の各奇数パッドと同じx座標でビア15で表層に立ち上げ、
パッド位置は、順に(0,0.26)(0.45,0.26)(0.90,0.26)...
とした。入出力用パッドは、それぞれ0.15mm角で、間隔は、簡単な計算で得られるように、それぞれ0.26mmである。これらの値は、後述するPCB基板とワイヤボンディングするのに対して、十分な値である。また、間隔が一定とは、すなわち各パッドは正三角形の頂点の位置に配置していることである。これは、パッド間隔は一定値以上確保した上で、パッドをもっとも稠密に配置できるからである。
本実施例では、リードを廃止し、外部との接続をワイヤボンディングまたはフレキシブルプリント基板とすることで、従来に比べ3倍以上の端子を設けることができた。またこれによって、端子数で決まっていたx軸方向の光素子モジュールの大きさを小さくすることができた。
なお、本実施例は発光素子モジュールで説明したが、光素子がフォトダイオードであって、LSIが受光信号の増幅用であっても、適用可能であるのはいうまでも無い。すなわち、受光素子モジュールであっても、他の光素子モジュールであっても適用可能である。これは他の実施例でも同様である。また、各パッドは、正三角形の頂点から若干ずれていてもかまわず、奇数パッド群と、偶数パッド群と、ビア経由のパッド群との、3列構成であればよい。この場合、偶数パッド群の列は、奇数パッド群の列とビア経由のパッド群との中間位置であれば好ましい。
本発明の他の実施の形態である光モジュールについて、実施例2を、図2を用いて説明する。ここで、図2は、本発明の実施例2を説明する送受信モジュールの要部平面図である。
図2に示す送受信モジュール9には、プリント基板(PCB基板)13と、発光素子モジュール1と、受光素子モジュール10とが、搭載されている。発光素子モジュール1と受光素子モジュール10とは、ともに実施例1に記載した構造の光素子モジュールである。プリント基板13と発光素子モジュール1と、プリント基板13と受光素子モジュール10とは、それぞれワイヤ径25μm(マイクロメータ)の金ワイヤで接続されている。発光素子モジュール1と受光素子モジュール10との入出力端子部は、実施例1に記載したとおり、入出力用パッドは、それぞれ0.15mm角で、間隔がそれぞれ0.26mmである。これらの値は、素子モジュール1、10側で、ボールボンディングするのに、十分である。
プリント基板13上には、電気信号を入出力するインターフェイス15と、多数の低速電気信号を高速電気信号にまとめ発光素子モジュール1に送出する多重化回路11と、受光素子モジュール10からの高速電気信号を多数の低速電気信号へ変換する分離化回路12とが、形成されている。また、紙面に垂直に図示しない入出力ピンが、設けられている。
外部からの16本の622Mbit/s信号は、インターフェイス15を経由して、多重化回路11で、10Gbit/s信号に多重化される。多重化された10Gbit/s信号は、発光素子モジュールで10Gbit/sの光信号に変換され、図示しない伝送路に送出される。また、伝送路からの10Gbit/sの光信号は、受光素子モジュール10で10Gbit/sの電気信号に変換され、増幅された後、分離回路12に送られる。分離回路12では、10Gbit/sの信号を、16本の622Mbit/s信号に分離し、インターフェイス15を経由して、外部に送出する。
本実施例によれば、従来プリント基板上に形成していた発光素子駆動回路と、受信信号増幅回路とを、LSI化し、それぞれ光素子モジュール1、10に搭載したので、PCB基板面積を小さくできた。しかも、光素子モジュール1、10自体も小型化できたので、送受信モジュール9も小型化できた。
なお、本実施例は、送受信モジュールで説明したが、単体機能である光送信モジュールであっても、光受信モジュールであっても、他の光モジュールであってもよい。また、発光素子モジュール1と受光素子モジュール10とは、ともに本発明の他の実施例に記載した構造の光素子モジュールであってもよい。また、プリント基板の入出力パッドと、発光素子モジュールの入出力用パッドとを、高度に位置決めする場合には、ワイヤボンディングだけではなく、例えばフレキシブルプリント基板を用いての、はんだ付け接続も可能である。
本発明の実施の形態である光素子モジュールについて、実施例3を、図4および図5を用いて説明する。ここで、図4は、実施例2のPCB基板と光素子モジュールとの接続部を拡大した平面図である。また、図5は、実施例3のPCB基板と光素子モジュールとの接続部を拡大した平面図である。
図4のセラミック基板3の入出力用パッド2の配置は、実施例1に記載した稠密配置である。また、PCB基板13の入出力パッド31は、セラミック基板3側に比べ余裕があり、パッドは、それぞれ0.15mm角で、ピッチは、それぞれ0.26mmで、y軸方向に2列配置とした。
図4では、組立ての公差を考慮して、セラミック基板3に対してPCB基板13がx方向にΔだけずれたとして、作成した。このシミュレーションの結果、図4のA部で、金ワイヤ18交差することが判明した。この交差は、金ワイヤ18のループ形状制御によって、ショートは起こさないものの、設計的には避けるべきである。
このように送受信モジュール9の組立て性までを考慮した場合、セラミック基板3上のパッド配置を、配置密度は概ねそのままで、パッドの配置をずらすことによって、問題を回避できる。図5で、この実施例を説明する。
図5の、セラミック基板3のパッド2の配置は、実施例1で同じx軸位置の表層配線16の奇数パッドと、内層配線のパッドとの、x座標をパッドのx軸中心の右側と、左側とで逆方向にずらしている。具体的には、1番パッドのx座標を0.60mm、3、2、14番パッドを0.45mm、5、4、15番パッドを0.30mm、7、6、16番パッドを0.15mm減らし、9、10、17番パッドを0.15mm、11、12番パッドを0.30mm、13番パッドを0.45mm増加する。
このように、パッド2を配置することによって、図5に示したように、金ワイヤが平面的にクロスしなくなる。なお、−Δ(マイナスデルタ)ずらしてシミュレーションして、問題の発生のないことも確認済みである。
本実施例に拠れば、半田付けを前提としたリードを廃止し、外部との接続をワイヤボンディングとすることで、従来に比べ3倍以上の端子を設けることができた。またこれによって、端子数で決まっていたx軸方向の発光素子モジュールの大きさを小さくすることができた。しかも、組立ての公差を広く採ることができた。
本発明の実施例1を説明する発光素子モジュールの要部平面図である。 本発明の実施例2を説明する送受信モジュールの要部平面図である。 本発明の実施例1の発光素子モジュールに使用したセラミック基板の外部接続部を拡大した平面図である。 本発明の実施例2のPCB基板と光素子モジュールとの接続部を拡大した平面図である。 本発明の実施例3のPCB基板と光素子モジュールとの接続部を拡大した平面図である。
符号の説明
1…発光素子モジュール、2…入出力用パッド、3…セラミック基板、4…金属枠、5…発光素子、6…レンズ、7…LSI、8…光ファイバ、9…送受信モジュール、10…受光素子モジュール、11…多重化回路、12…分離化回路、13…プリント基板(PCB基板)、14…インターフェイス、15…ビア、16…表層配線、18…金ワイヤ、30…キャリア。

Claims (4)

  1. 光素子と、該光素子の周辺回路を形成した集積回路と、前記光素子と前記集積回路とを収容するパッケージと、からなる光素子モジュールであって、
    前記集積回路は、第1の配線層と第2の配線層とを形成した基板に搭載され、
    前記基板は、前記集積回路と接続する第1のパッド部と、外部と接続する第2のパッド部とを、含み、
    前記第2のパッド部は、前記第1の配線層の複数の配線と接続したパッド群からなる第1列と、前記第2の配線層の複数の配線と接続したパッド群からなる第2列と第3列とを、含み、
    前記第1列ないし前記第3列は、いずれも第1の方向と平行、かつ異なる直線上にあって、
    前記第1列にある第1のパッドと前記第2列にある第2のパッドと前記第3列にある第3のパッドとが、前記第1の方向と垂直な第2の方向の同一直線上に配置されないことを特徴とする光素子モジュール。
  2. 請求項1に記載の光素子モジュールであって、
    前記第2のパッド部には、前記第1の配線層と前記第2の配線層とを接続する複数のビアが形成されていることを特徴とする光素子モジュール。
  3. 請求項1または請求項2に記載の光素子モジュールであって、
    前記第2列は、前記第1列と前記第3列との中間にあることを特徴とする光素子モジュール。
  4. 請求項1ないし請求項3のいずれか一つに記載の光素子モジュールであって、
    前記第3列のパッド群の各々は、前記第1のパッド群の各々に対して、前記第1の方向上でずらされて配置されているものであり、かつ、
    前記第1のパッドと前記第3のパッドとは、前記第1のパッド前記第1の方向の概ね中央を境に、互いに逆方向にずらされていることを特徴とする光素子モジュール。
JP2004176528A 2004-06-15 2004-06-15 光素子モジュール Expired - Fee Related JP4058023B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004176528A JP4058023B2 (ja) 2004-06-15 2004-06-15 光素子モジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004176528A JP4058023B2 (ja) 2004-06-15 2004-06-15 光素子モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006004971A JP2006004971A (ja) 2006-01-05
JP4058023B2 true JP4058023B2 (ja) 2008-03-05

Family

ID=35773124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004176528A Expired - Fee Related JP4058023B2 (ja) 2004-06-15 2004-06-15 光素子モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4058023B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6733534B2 (ja) * 2016-12-16 2020-08-05 住友電気工業株式会社 半導体装置およびその製造方法
JP7020261B2 (ja) * 2018-04-13 2022-02-16 住友電気工業株式会社 光受信モジュール用パッケージ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006004971A (ja) 2006-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4697077B2 (ja) 光モジュール
US6752539B2 (en) Apparatus and system for providing optical bus interprocessor interconnection
KR101247389B1 (ko) 반도체 장치 및 그 제조 방법
KR101256000B1 (ko) 광 모듈용 인터포저 및 이를 이용한 광모듈, 인터포저의 제조방법
US20100127402A1 (en) Interconnect System without Through-Holes
KR20140028014A (ko) 두 개 이상의 다이에 대한 다중 다이 페이스-다운 적층
US7306377B2 (en) Integrated optical sub-assembly having epoxy chip package
JP6055661B2 (ja) 光モジュール及び光送受信装置
EP0226433A2 (en) High density printed wiring board
US8867231B2 (en) Electronic module packages and assemblies for electrical systems
JP4445511B2 (ja) マルチチップ半導体装置
US9891396B2 (en) Optical module
US20090026565A1 (en) Optical Module
JP4923712B2 (ja) 光モジュール及びその製造方法
JP4058023B2 (ja) 光素子モジュール
JP2009224617A (ja) 配線基板
US20220304149A1 (en) Multilayer circuit board
JP2001007352A (ja) 光・電気混載モジュール
JP4798863B2 (ja) 光電気配線基板
JP6879440B1 (ja) 光受信モジュール
US7053472B2 (en) Optical package structure
CN118099124B (zh) 一种高速光电耦合器及与该配套设置的引线框架
KR100856497B1 (ko) 광전변환모듈
CN114914223A (zh) 半导体结构
JP2006054259A (ja) 光半導体モジュールとその製造方法、およびそれを用いた半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070525

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070605

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070802

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070828

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071026

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20071120

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20071214

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4058023

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121221

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121221

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131221

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees