JP4052597B2 - 高感度ガス分析装置 - Google Patents
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Description
水蒸気等の吸着性ガスは,質量分析計の管壁や電極に吸着しやすく,いったん吸着すると高温に加熱しない限り簡単に脱離しない性質を有している。
本発明の実施の形態に係る高感度ガス分析装置を図1を用いて説明する。図1は,高感度ガス分析装置を略示的に示した断面図である。高感度ガス分析装置1は,被測定ガスがパルス的に流れるガス流路2と,真空排気装置付四極子型質量分析計3と,前記ガス流路2の中間から被測定ガスの一部を前記四極子型質量分析計3のイオン源に流入させるためのオリフィス4から構成されている。
ポンプ32,33が作動状態にあり,オリフィス4からのガス流入がないときには,四極子型質量分析計31のイオン源34内は圧力が10-5Pa以下の超高真空になっているが,マニホールド25内に被測定ガスが存在すると該被測定ガスの一部がオリフィス4を通ってイオン源34に流入し,イオン源34内の圧力が上昇する。イオン源34に流入したガスは,ポンプ32,33からなる真空排気装置によって排気される。
2 ガス流路
21 被測定ガスリザーバ
22(a),22(b) 開閉弁
23 小容器
24 バッファタンク
25 マニホールド
26 ターボ分子ポンプ
27 ダイヤフラムポンプ
28 配管
3 真空排気装置付四極子型質量分析計
31 四極子型質量分析計
32 ターボ分子ポンプ
33 ダイヤフラムポンプ
34 イオン源
4 オリフィス
5 ガス流路
51 被測定ガスリザーバ
52 可変リークバルブ
55 マニホールド
56 ターボ分子ポンプ
57 ダイヤフラムポンプ
58 配管
61 四極子型質量分析計
62 ターボ分子ポンプ
63 ダイヤフラムポンプ
64 イオン源
7 オリフィス
Claims (3)
- 微量ガスを繰返し定量測定することができるガス分析装置において、
被測定ガス流路が、被測定ガスリザーバ、前記ガスリザーバに開閉弁を介して接続する小容器、前記小容器に開閉弁を介して接続するバッファタンク、前記バッファタンクに配管を介して接続するマニホールド、及び前記マニホールドに配管を介して接続する真空排気装置から構成され、
前記マニホールドと真空排気装置付四極子型質量分析計とが、被測定ガスの一部を前記マニホールドから前記質量分析計のイオン源に導入するオリフィスを介して、接続されることからなり、
前記小容器に採取した大気圧の被測定ガスを前記2つの開閉弁を交互に開閉して流出させることにより被測定ガスパルスを前記質量分析計に導入して定量測定することを特徴とする、前記ガス分析装置。 - 被測定ガス流路が、被測定ガスリザーバ、前記ガスリザーバに開閉弁を介して接続する小容器、前記小容器に開閉弁を介して接続するバッファタンク、前記バッファタンクに配管を介して接続するマニホールド、及び前記マニホールドに配管を介して接続する真空排気装置から構成され、
前記マニホールドと真空排気装置付四極子型質量分析計とが、被測定ガスの一部を前記マニホールドから前記質量分析計のイオン源に導入するオリフィスを介して、接続されることからなり、
前記小容器に採取した大気圧の被測定ガスを前記2つの開閉弁を交互に開閉して流出させることにより被測定ガスパルスを前記質量分析計に導入して定量測定する、微量ガスを繰返し定量測定することができるガス分析装置を使用し、
前記ガスリザーバに入っている被測定ガスを小容器の2つの開閉弁を操作して小容器に一定容積の被測定ガスを採取し、前記ガス流路における前記真空排気装置を作動させた後、前記小容器に設けられたバッファタンクに接続する開閉弁を開き、小容器内の採取された被測定ガスをバッファタンク内に拡散し、その拡散ガスを前記バッファタンクと前記マニホールド間の配管を介してマニホールドに移し、前記オリフィスを介してマニホールドから前記質量分析計のイオン源に供給して被測定ガスをイオン化し、そのイオン電流を測定することにより被測定ガス中の対象ガスの定量を行うことを特徴とする、微量ガスを繰返し定量測定する方法。 - 前記小容器の内容積と前記バッファタンクの内容積の比が1/10000〜1/2000であることを特徴とする請求項2に記載の方法。
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