JP4050881B2 - Optical element manufacturing method - Google Patents

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JP4050881B2 JP2001225894A JP2001225894A JP4050881B2 JP 4050881 B2 JP4050881 B2 JP 4050881B2 JP 2001225894 A JP2001225894 A JP 2001225894A JP 2001225894 A JP2001225894 A JP 2001225894A JP 4050881 B2 JP4050881 B2 JP 4050881B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に光学パターンを一括的に形成するようにした光学素子の製造方法に関するものである。本発明が対象とする光学素子は、その表裏両面または片面に何らかの光学パターンを有するものであれば何でもよいが、特には、CD(コンパクト・ディスク)、CD―R(書き込み可能なCD)、CD−ROM(読み出し専用CD)、LD(レーザ・ディスク)、MD(ミニディスク)、DVD(デジタル・バーサタイル・ディスク)、DVD―ROM(読み出し専用DVD)、DVD−RAM(何度でも書き換え可能なDVD)などの光ディスク/光磁気ディスクに記録されている光情報を光学的に読み取ると共に、フォーカスエラー信号やトラッキングエラー信号を生成する光ピックアップに用いられる光学素子が発明の対象である。
【0002】
【従来の技術】
光ディスク用の光ピックアップの部品として使用される光学素子は、通常数mm角の大きさのものであり、大量かつ安価に製造することを目的として、大型の透明基板上に一括して複数個の光学パターンを形成した後に分断することにより製造される。光学素子には、ホログラムや回折格子(グレーティング)を構成するきわめて微細なパターンが精密に形成されている。微細パターンを形成する方法としては、2P(フォトポリマ)法を適用した、本発明者が出願中の特許(特願平11−055281号公報)が有効な手段である。
【0003】
従来より、光学素子の製造方法としては、以下のようにして行う方法がある。
【0004】
まず、図8(a)に示すように、透明な下スタンパ112の上に紫外線硬化樹脂(2P樹脂)102を塗布する。また、四角板状の透明基板101の上に紫外線硬化樹脂102を塗布し、この透明基板101を、上記下スタンパ112と上スタンパ111の間に挿入する。この上スタンパ111の透明基板101側の表面には転写用表光学パターンが形成されており、下スタンパ112の透明基板101側の表面には転写用裏光学パターンが形成されている。
【0005】
次に、図8(b)に示すように、上記透明基板101を、透明な上スタンパ111と透明な下スタンパ112とで挟み込んで加圧し、紫外線硬化樹脂102を透明基板101の表面と裏面に広げ、上スタンパ111の上方から紫外線を照射して、上記紫外線硬化樹脂102を硬化させる。
【0006】
次に、図8(c)に示すように、上スタンパ111と下スタンパ112を透明基板101から離型させると、透明基板101の表面に上スタンパ111の表光学パターンが形成されると共に、透明基板101の裏面に下スタンパ112の裏光学パターンが形成される。
【0007】
次に、AR(アンチリフレクション)コート装置への入り数を増大させるために四角板状の透明基板101を外形加工して、図8(d)に示すような円板状の透明基板101aを形成した後、図8(e)に示すように、透明基板101aにARコートを行う。
【0008】
最後に、図8(f)に示すように、ダイシングブレード201を用いて透明基板101aのダイシング加工を行って、透明基板101aを複数に分割する。これにより、図8(g)に示すように、個々の光学素子が完成する。
【0009】
上記構成の光学素子製造方法は、透明基板101の表面と裏面に密着させた紫外線硬化樹脂102に表、裏光学パターンを同時に形成でき、短い生産時間と高い生産効率を達成できる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の光学素子の製造方法では、透明基板101としてガラス基板を用いた場合、複数の光学パターンを1枚のガラス基板上に形成した後、ダイシングで所定の形状に分割して複数個の光学素子を作成するが、ダイヤモンドブレードを用いてダイシングするので費用がかかり、また時間もかかってしまうという問題があった。
【0011】
ダイシングの時間を短縮する方法としては、透明基板101としてプラスチック基板を用いる方法がある。しかし、上記透明基板101としてプラスチック基板を使用する場合は、ガラス基板を使用する場合より速度を上げて、プラスチック基板を切断することは可能であるが、さらに高速でダイシングを行うと、光学素子にバリが発生してしまう。
【0012】
そこで、本発明の課題は、光学素子を安価に製造することができて、基板を高速に分割することができる光学素子の製造方法を提供することにある
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明に係わる光学素子は、プラスチック基板の両面にプライマー層が形成され、そのプライマー層上には、2P法によって形成された微細パターンを有する紫外線硬化型樹脂層が形成されている。
【0014】
そして、本発明の光学素子の製造方法は、微細パターンが形成されたプラスチック基板を分割するためにプレスを用いることにより、分割工程の高速化と低コスト化を図ろうとするものであって、バラバラにならないように基板を固定した状態で、互いに対向した上刃と下刃により基板に圧力を加えて、基板の素子間にクラックを入れて素子どうしを分離させることを特徴としている。
【0015】
すなわち、上記課題を解決するため、本発明の光学素子の製造方法は、
複数の光学素子が形成されたプラスチック基板をそのプラスチック基板の周囲から保持具で保持する工程と、
上記プラスチック基板を、互いに対向する第1,第2刃の間に位置させる工程と、
上記第1,第2刃を上記プラスチック基板に圧接させて、上記複数の光学素子間にクラックを入れる工程と、
上記プラスチック基板に力を加えて、上記複数の光学素子を個々別々に分離させる工程とを備えたことを特徴としている。
【0016】
上記構成の光学素子の製造方法によれば、上記第1,第2刃をプラスチック基板に圧接させて、複数の光学素子間にクラックを入れた後、プラスチック基板に力を加えて、複数の光学素子を個々別々に分離させる。このように、上記第1,第2刃を用いてプラスチック基板を分割するから、安価に製造することができると共に、プラスチック基板を高速に分割することができる。
【0017】
また、上記複数の光学素子間にクラックが入ったプラスチック基板に力を加えて、複数の光学素子を個々別々に分離させるので、その光学素子にバリが生じない。
【0018】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記保持具は上記プラスチック基板よりも薄い。
【0019】
上記実施形態の光学素子の製造方法によれば、上記第1,第2刃をプラスチック基板に圧接させたとき、保持具がプラスチック基板よりも薄いから、第1,第2刃と保持具との接触を防ぐことができる。
【0020】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記保持具は、上記プラスチック基板と同じ材質であると共に、上記プラスチック基板と同じ厚みである。
【0021】
上記実施形態の光学素子の製造方法によれば、上記保持具は、プラスチック基板と同じ材質であると共に、プラスチック基板と同じ厚みであるから、プラスチック基板の周縁部とプラスチック基板の中心部との加工条件は同じでよい。
【0022】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記複数の光学素子間にクラックを入れる工程と、上記複数の光学素子を個々別々に分離させる工程との間に、上記プラスチック基板の一方の表面の全面に粘着シートを貼り付ける工程を備えている。
【0023】
上記実施形態の光学素子の製造方法によれば、上記プラスチック基板の一方の表面の全面に粘着シートが貼り付けられているから、プラスチック基板を分割して複数の光学素子を個々別々に分離しても、光学素子が散逸しない。
【0024】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記第1刃の数が複数であり、かつ、上記第2刃の数が複数である。
【0025】
上記実施形態の光学素子の製造方法によれば、上記第1刃の数が複数であり、かつ、第2刃の数が複数であるから、プラスチック基板に効率良くクラックを入れることができる。
【0026】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記第1,第2刃は格子状に形成されている。
【0027】
上記実施形態の光学素子の製造方法によれば、上記第1,第2刃は格子状に形成されているから、第1,第2刃をプラスチック基板に一度圧接させるでけで、プラスチック基板は格子状に分割可能な状態になる。
【0028】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記プラスチック基板の両面に光学パターンが形成されている。
【0029】
一実施形態の光学素子の製造方法およびその光学素子は、上記光学素子は、20μm以下のピッチを有する回折格子である。
【0030】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記プラスチック基板はアクリル樹脂である。
【0031】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記保持具は環状である。
【0032】
【0033】
【0034】
【0035】
【0036】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光学素子の製造方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0037】
図1は本発明の光学素子の製造方法の原理を説明するための図である。図1の参照番号1は、光学パターンとしての微細パターンが形成されたプラスチック基板である。
【0038】
上記プラスチック基板1の両側から、第1,第2刃の一例である刃物2A,2Bを当て加圧すると、刃物2A,2Bの刃先がプラスチック基板1に少しくいこんだ時点でクラック10が伝播し、プラスチック基板1を分断できるようになる。ただし、上記刃物2A,2Bの刃先をプラスチック基板1に少しくいこませるだけではプラスチック基板1にクラック10が入るだけなので、プラスチック基板1の形態はそのまま保たれたままであり、プラスチック基板1を分断するには別途分離工程が必要である。また、上記刃物2A,2Bの刃先の角度θは60度以下が望ましい。ここでは、上記刃物2A,2Bの刃先の角度θは26度になっている。また、上記プラスチック基板1に刃物2A,2Bで加える加圧力は、被加工物の強度、加工の長さ(時間)に応じて適宜決定する必要がある。
【0039】
図2は、微細パターンが数百個形成されたプラスチック基板から例えば1個3.2mm角の光学素子を分断する場合の説明図である。
【0040】
まず、図2(a)に示す、第1,第2刃の一例である直線状の刃物22A,22Bが上下にセットされた金型内に、プラスチック基板21を挿入し加圧することにより、プラスチック基板21は1ラインの分断が可能な状態となる。
【0041】
次に、図2(b)に示すように、上下の刃物22A,22Bを開いた後、図示しない基板送り機構により3.2mmピッチでステップ送りする。
【0042】
次に、図2(c)に示すように、再度上下の刃物22A,22Bを閉じることにより、その刃物22A,22Bでプラスチック基板21を加圧して、プラスチック基板21はもう1ラインの分断が可能な状態となる。
【0043】
そして、図2(a)〜(c)の操作を繰り返すことによって、図2(d)に示すように、プラスチック基板21は多数ラインの分断が可能な状態となる。
【0044】
その後、上記プラスチック基板21を刃物22A,22Bに対して90度回転させ、図2(a)〜(c)の操作を繰り返すと、プラスチック基板21は、図2(e)に示すように、複数個に分割可能な状態となる。そして、この状態のプラスチック基板21に分割工程を行えば、個々別々に分離された3.2mm角の光学素子を得ることができる。
【0045】
以下、本発明の光学素子の製造方法の実施の一形態について説明する。
【0046】
まず、図3(a)に示す微細パターン30が数百個形成された円板形状のプラスチック基板31を、図3(b)に示すように、そのプラスチック基板31の周囲から環状の保持具33で保持する。これにより、上記プラスチック基板31を分割しても、プラスチック基板31はバラバラにならない。
【0047】
次に、図2(a)〜(c)の操作を繰り返して、図3(c)に示すように、プラスチック基板31を、1方向の複数の分割線34に沿う分断が可能な状態にする。なお、図2(c)に示す状態のとき、つまり上下の刃物22A,22Bが閉じたとき、その刃物22A,22Bをプラスチック基板31のみに接触させるために、保持具33の厚さをプラスチック基板31の厚さよりも薄くしておく必要がある。
【0048】
次に、図3(d)に示すように、上記保持具33と共にプラスチック基板31を刃物22A,22Bに対して90度回転させる。そして、図2(a)〜(c)の操作を繰り返して、プラスチック基板31を、1方向の複数の分割線34に沿う分断が可能な状態にする。これにより、上記プラスチック基板31は、2方向において分断可能な状態となる。
【0049】
次に、図3(e)に示すように、上記プラスチック基板31の一方の表面の全面に粘着シート35を貼りつけた後、プラスチック基板31から保持具33を取り外す。
【0050】
次に、上記保持具33から取り外したプラスチック基板31を、図3(f)に示すように、ローラ36の上で折り曲げる。具体的には、上記プラスチック基板31に対して1方向の折り曲げを行った後、プラスチック基板31をローラ36に対して90度回転させ、プラスチック基板31に対してもう1方向の折り曲げを行う。そうすると、個々別々に分離された光学素子が得られる。このとき、上記粘着シート35が個々の光学素子がバラバラにならないよう保持している。つまり、上記粘着シート35によって光学素子が散逸しない。
【0051】
その後、図3(g)に示すように、上記粘着シート35をエクスパンダーにかけて拡大し、後工程のハンドリングが容易なように、個々の光学素子間に隙間を設けて、粘着シート35の外周をリング7に貼りつける。この状態で光学素子の組み立て工程に投入すると、複数の光学素子を一度にハンドリングできるので好適である。
【0052】
上記構成の光学素子の製造方法によれば、上記刃物22A,22Bを用いてプラスチック基板31を分割するから、安価に製造することができると共に、プラスチック基板31を高速に分割することができる。
【0053】
また、上記複数の光学素子間にクラックが入ったプラスチック基板31を折り曲げて、複数の光学素子を個々別々に分離させるので、その光学素子にバリが生じない。
【0054】
また、上記分割線34は微細パターン30と重ならないように設定されているから、微細パターン30に何の影響も与えずにプラスチック基板31を分割することができる。
【0055】
上記実施の形態では、プラスチック基板31をそのプラスチック基板31の周囲から環状の保持具33で保持したが、複数の棒状部材からなる保持具で保持してもよい。また、環状の保持具として矩形状の枠を用いてもよい。
【0056】
また、図4(a)〜(d)に示すように、保持具33の代わりに保持具43を用いて光学素子の製造を行ってもよい。
【0057】
上記保持具43は、円板形状のプラスチック基板31を作製するときに、外形打ち抜き工程で打ち抜いた抜きカスである。この抜きカスを再利用してプラスチック基板31の保持具43にすると、特別の保持具を作成する必要がないので、さらに低コスト化を実現することができる。
【0058】
また、上記保持具43は円板形状のプラスチック基板31と同じ材質、同じ厚さなので、円形の内部と円形の外部に同時に分割加工を施せる。
【0059】
また、上記保持具43は円板形状のプラスチック基板31と同じ材質、同じ厚さなので、プラスチック基板31の周縁部を加工するときと、プラスチック基板31の中央部を加工するときとで加工条件を変えなくてよい。
【0060】
また、上記実施の形態では、プラスチック基板31の一方の表面に1つの刃物2Aを圧接させ、かつ、プラスチック基板31の他方の表面に1つの刃物2Bを圧接させていたが、プラスチック基板31の一方に表面に複数の刃物を圧接させ、かつ、プラスチック基板31の他方の表面に複数の刃物を圧接させてもよい。要するに、上記プラスチック基板31に一方または他方の表面に圧接させる刃物の数は複数であってもよい。
【0061】
例えば、図5(b)に示すように、プラスチック基板の一例としての、アクリル樹脂からなるアクリル基板51の一方に表面に第1刃の一例である3つの刃物52Aを圧接させ、かつ、アクリル基板51の他方の表面に第2刃の一例である3つの刃物52Bを圧接させてもよい。
【0062】
以下、上記刃物52A,52Bを用いた光学素子の製造方法について述べる。
【0063】
まず、図5(a)に示すように、複数の刃物52A,52Bを平行に並べてセットし、微細パターンが数百個形成されたアクリル基板51を刃物52Aと刃物52Bとの間に位置させる。上記刃物52A,52Bの間隔は基板サイズ、カットラインの長さ、加圧力、被加工物の強度等を考慮して適宜決定する必要がある。ここでは、基板サイズを直径116mm、カットライン長さを116mm、加圧力5トンに設定している。また、上記刃物52A,52Bの間隔は3.2mmに設定している。
【0064】
次に、図5(b)に示すように、アクリル基板51の各表面に刃物52A,52Bを一度圧接させると、アクリル基板51は3ラインの分断が可能な状態となる。
【0065】
そして、図示しない送り機構により9.6mmステップ送りすることにより、順次3ラインづつ分割ラインを形成するものである。ここでは、13回のステップ送りすると、図5(c)に示すように、1方向の加工が完了する。
【0066】
その後、上記アクリル基板51を刃物52A,52Bに対して90度回転させ、図5(b),(c)と同様の操作を行うと、アクリル基板51は、図5(d)に示すように、2方向において分断可能な状態となる。その後、図3(e),(f)と同様の工程を行えば、3.2mm角の光学素子が得られる。
【0067】
また、図6(a),(b)に示すように、プラスチック基板21の一方に表面に第1刃の一例である格子状の刃物62Aを圧接させ、かつ、プラスチック基板21の他方の表面に第2刃の一例である格子状の刃物62Bを圧接させてもよい。このように、互いに対向する刃物62A,62Bがともに格子状であるから、縦の分割ラインと横の分割ラインを同時に形成できる。つまり、上記プラスチック基板21に刃物62A,62Bを一度圧接させるだけで、プラスチック基板21は、図6(c)に示すように、格子状に分断可能な状態となる。
【0068】
なお、図6(a),(b)は、図5(a),(b)に対応する工程断面図である。また、図5(a),(b)および図6(a),(b)では、刃物52A,52Bおよび刃62A,62Bの一断面が示されている。
【0069】
また、図6(a),図6(b)では、3枚の刃物62A,62Bの断面を記載しているが、縦方向、横方向ともに36枚の刃物が並べた格子状の刃物を用いてもよい。この場合、直径116mmのプラスチック基板なら、一度の圧接工程を行えばよく、ステップ送りは不要である。
【0070】
図7は、本発明の光学素子の製造方法により作成された光学素子の一例の模式斜視図である。この光学素子の図中上面に形成されたホログラムパターン71のピッチは1〜3μm、光学素子の図中下面に形成されたグレーティングパターン72のピッチは10〜20μmであり、ホログラムパターン71およびグレーティングパターン72の溝深さは0.2〜0.6μmである。また、上記光学素子の側面にはクラック73の伝播した後が見られる。上記光学素子は側面が破断面であるから、その側面は不均一であり、よけいな光線を乱反射する効果がある。つまり、上記光学素子は側面で所望としない光を散乱することができる。したがって、上記光学素子を有する半導体レーザ装置を光ピックアップに用いた場合、所望としない光は光学素子の側面で散乱されるから、所望としない光は光ピックアップの受光素子に入射せず、雑音を低減することができる。
【0071】
【発明の効果】
以上より明らかなように、本発明の光学素子の製造方法は、第1,第2刃をプラスチック基板に圧接させて、複数の光学素子間にクラックを入れた後、プラスチック基板に力を加えて、複数の光学素子を個々別々に分離させるから、安価に製造することができると共に、プラスチック基板を高速に分割することができる。
【0072】
また、上記複数の光学素子間にクラックが入ったプラスチック基板に力を加えて、複数の光学素子を個々別々に分離させるので、その光学素子にバリが生じるの防止できる。
【0073】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記第1,第2刃をプラスチック基板に圧接させたとき、保持具がプラスチック基板よりも薄いから、第1,第2刃と保持具との接触を阻止することができる。
【0074】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記プラスチック基板を保持する保持具は、プラスチック基板と同じ材質であると共に、プラスチック基板と同じ厚みであるから、プラスチック基板の周縁部とプラスチック基板の中心部との加工条件を同じにすることができる。
【0075】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記プラスチック基板の一方の表面の全面に粘着シートを貼り付ける工程を有するので、プラスチック基板を分割して複数の光学素子を個々別々に分離しても、光学素子が散逸しない。
【0076】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記第1刃の数が複数であり、かつ、第2刃の数が複数であるから、プラスチック基板に効率良くクラックを入れることができる。
【0077】
一実施形態の光学素子の製造方法は、上記第1,第2刃は格子状に形成されているから、第1,第2刃をプラスチック基板に一度圧接させるけで、プラスチック基板を格子状に分割可能な状態にすることができる。
【0078】
【0079】
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は本発明の光学素子の製造方法の原理を説明するための図である。
【図2】 図2は本発明の光学素子の製造方法においてプラスチック基板を分割するときの説明図である。
【図3】 図3(a)〜(g)は本発明の実施の一形態の光学素子の製造方法の工程図である。
【図4】 図4(a)〜(d)は本発明の他の実施の形態の光学素子の製造方法の工程図である。
【図5】 図5(a)〜(d)は本発明の他の実施の形態の光学素子の製造方法の工程図である。
【図6】 図6(a)〜(c)は本発明の他の実施の形態の光学素子の製造方法の工程図である
【図7】 図7は本発明の光学素子の製造方法により作成された光学素子の模式斜視図である。
【図8】 図8(a)〜(g)は従来の光学素子の製造方法の工程図である。
【符号の説明】
1,21,31 プラスチック基板
2A,52A,62A 第1刃
2B,52B,62B 第2刃
33,43 保持具
51 アクリル基板
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to the production how of the optical element so as to collectively form an optical pattern on the substrate. The optical element targeted by the present invention may be anything as long as it has an optical pattern on both the front and back sides or one side. In particular, a CD (Compact Disc), a CD-R (Writable CD), a CD -ROM (read-only CD), LD (laser disc), MD (mini disc), DVD (digital versatile disc), DVD-ROM (read-only DVD), DVD-RAM (DVD that can be rewritten any number of times) An optical element used for an optical pickup that optically reads optical information recorded on an optical disc / magneto-optical disc such as) and generates a focus error signal and a tracking error signal is an object of the invention.
[0002]
[Prior art]
An optical element used as an optical pickup component for an optical disk is usually a few mm square, and a plurality of optical elements are collectively formed on a large transparent substrate for the purpose of mass production and low cost. It is manufactured by dividing after forming an optical pattern. In the optical element, a very fine pattern constituting a hologram or a diffraction grating (grating) is precisely formed. As a method for forming a fine pattern, a patent (Japanese Patent Application No. 11-055881) filed by the present inventor and applying the 2P (photopolymer) method is an effective means.
[0003]
Conventionally, as a method for manufacturing an optical element, there is a method performed as follows.
[0004]
First, as shown in FIG. 8A, an ultraviolet curable resin (2P resin) 102 is applied on a transparent lower stamper 112. Further, an ultraviolet curable resin 102 is applied on the rectangular plate-like transparent substrate 101, and the transparent substrate 101 is inserted between the lower stamper 112 and the upper stamper 111. A transfer front optical pattern is formed on the surface of the upper stamper 111 on the transparent substrate 101 side, and a transfer back optical pattern is formed on the surface of the lower stamper 112 on the transparent substrate 101 side.
[0005]
Next, as shown in FIG. 8 (b), the transparent substrate 101 is sandwiched between a transparent upper stamper 111 and a transparent lower stamper 112 and pressed, and an ultraviolet curable resin 102 is applied to the front and back surfaces of the transparent substrate 101. The ultraviolet curable resin 102 is cured by spreading and irradiating ultraviolet rays from above the upper stamper 111.
[0006]
Next, as shown in FIG. 8C, when the upper stamper 111 and the lower stamper 112 are released from the transparent substrate 101, a surface optical pattern of the upper stamper 111 is formed on the surface of the transparent substrate 101, and transparent A back optical pattern of the lower stamper 112 is formed on the back surface of the substrate 101.
[0007]
Next, in order to increase the number of entering the AR (anti-reflection) coating apparatus, the rectangular plate-like transparent substrate 101 is processed to form a disk-like transparent substrate 101a as shown in FIG. Then, as shown in FIG. 8E, AR coating is performed on the transparent substrate 101a.
[0008]
Finally, as shown in FIG. 8F, the transparent substrate 101a is diced using a dicing blade 201 to divide the transparent substrate 101a into a plurality of pieces. Thereby, as shown in FIG. 8G, individual optical elements are completed.
[0009]
In the optical element manufacturing method having the above-described configuration, the front and back optical patterns can be simultaneously formed on the ultraviolet curable resin 102 in close contact with the front and back surfaces of the transparent substrate 101, and a short production time and high production efficiency can be achieved.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional method for manufacturing an optical element, when a glass substrate is used as the transparent substrate 101, a plurality of optical patterns are formed on a single glass substrate, and then divided into a predetermined shape by dicing. Although an optical element is produced, since it is diced using a diamond blade, there is a problem that it is expensive and time consuming.
[0011]
As a method for shortening the dicing time, there is a method using a plastic substrate as the transparent substrate 101. However, when a plastic substrate is used as the transparent substrate 101, it is possible to cut the plastic substrate at a higher speed than when a glass substrate is used. Burrs will occur.
[0012]
Therefore, an object of the present invention is to provide an optical element manufacturing method that can manufacture an optical element at low cost and can divide a substrate at high speed .
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In the optical element according to the present invention, a primer layer is formed on both surfaces of a plastic substrate, and an ultraviolet curable resin layer having a fine pattern formed by the 2P method is formed on the primer layer.
[0014]
The method of manufacturing an optical element according to the present invention intends to increase the speed and cost of the dividing process by using a press to divide a plastic substrate on which a fine pattern is formed. In a state where the substrate is fixed so as not to occur, pressure is applied to the substrate by the upper and lower blades opposed to each other, and cracks are formed between elements of the substrate to separate the elements from each other.
[0015]
That is, in order to solve the above-described problem, the method for manufacturing an optical element of the present invention includes:
A step of holding a plastic substrate on which a plurality of optical elements are formed with a holder from around the plastic substrate;
Positioning the plastic substrate between the first and second blades facing each other;
Pressing the first and second blades against the plastic substrate and forming a crack between the plurality of optical elements;
And applying a force to the plastic substrate to separate the plurality of optical elements individually.
[0016]
According to the method for manufacturing an optical element having the above-described configuration, the first and second blades are pressed against a plastic substrate, cracks are formed between the plurality of optical elements, and then a force is applied to the plastic substrate. Separate the elements individually. Thus, since the plastic substrate is divided using the first and second blades, it can be manufactured at low cost and the plastic substrate can be divided at high speed.
[0017]
In addition, since a force is applied to the plastic substrate having cracks between the plurality of optical elements to separate the plurality of optical elements individually, burrs do not occur in the optical elements.
[0018]
In one embodiment of the method of manufacturing an optical element, the holder is thinner than the plastic substrate.
[0019]
According to the method for manufacturing an optical element of the above embodiment, when the first and second blades are pressed against the plastic substrate, the holder is thinner than the plastic substrate. Contact can be prevented.
[0020]
In one embodiment of the optical element manufacturing method, the holder is made of the same material as the plastic substrate and has the same thickness as the plastic substrate.
[0021]
According to the method for manufacturing an optical element of the above embodiment, the holder is made of the same material as the plastic substrate and has the same thickness as the plastic substrate, so that the processing of the peripheral portion of the plastic substrate and the central portion of the plastic substrate is performed. The conditions may be the same.
[0022]
An optical element manufacturing method according to an embodiment includes an entire surface of one surface of the plastic substrate between a step of cracking between the plurality of optical elements and a step of separating the plurality of optical elements individually. The process of sticking an adhesive sheet on is provided.
[0023]
According to the method of manufacturing an optical element of the above embodiment, since the adhesive sheet is attached to the entire surface of one surface of the plastic substrate, the plastic substrate is divided and a plurality of optical elements are separated individually. However, the optical element does not dissipate.
[0024]
In the optical element manufacturing method of one embodiment, the number of the first blades is plural, and the number of the second blades is plural.
[0025]
According to the method for manufacturing an optical element of the above embodiment, since the number of the first blades is plural and the number of the second blades is plural, it is possible to efficiently crack the plastic substrate.
[0026]
In the optical element manufacturing method of one embodiment, the first and second blades are formed in a lattice shape.
[0027]
According to the method of manufacturing an optical element of the above embodiment, since the first and second blades are formed in a lattice shape, the plastic substrate can be obtained by simply pressing the first and second blades against the plastic substrate once. It becomes a state that can be divided into a grid.
[0028]
In an optical element manufacturing method according to an embodiment, optical patterns are formed on both surfaces of the plastic substrate.
[0029]
In one embodiment of the method of manufacturing an optical element and the optical element, the optical element is a diffraction grating having a pitch of 20 μm or less.
[0030]
In one embodiment of the optical element manufacturing method, the plastic substrate is an acrylic resin.
[0031]
In the optical element manufacturing method according to one embodiment, the holder is annular.
[0032]
[0033]
[0034]
[0035]
[0036]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter will be described in detail by embodiments thereof illustrated in the manufacture how the optical element of the present invention.
[0037]
FIG. 1 is a view for explaining the principle of the optical element manufacturing method of the present invention. Reference numeral 1 in FIG. 1 is a plastic substrate on which a fine pattern as an optical pattern is formed.
[0038]
When the blades 2A and 2B, which are examples of the first and second blades, are pressed from both sides of the plastic substrate 1 and pressed, the crack 10 propagates when the blade edges of the blades 2A and 2B are slightly bitten into the plastic substrate 1. The plastic substrate 1 can be divided. However, if the blades of the blades 2A and 2B are slightly bitten into the plastic substrate 1, the plastic substrate 1 is only cracked 10, so that the shape of the plastic substrate 1 is kept as it is, and the plastic substrate 1 is divided. Requires a separate separation step. Further, it is desirable that the angle θ of the blade edges of the blades 2A and 2B is 60 degrees or less. Here, the angle θ of the cutting edges of the blades 2A and 2B is 26 degrees. Further, the pressure applied to the plastic substrate 1 by the blades 2A and 2B needs to be appropriately determined according to the strength of the workpiece and the length (time) of processing.
[0039]
FIG. 2 is an explanatory diagram for dividing, for example, one 3.2 mm square optical element from a plastic substrate on which hundreds of fine patterns are formed.
[0040]
First, a plastic substrate 21 is inserted into a mold in which linear blades 22A and 22B, which are examples of first and second blades shown in FIG. The board | substrate 21 will be in the state in which the division | segmentation of 1 line is possible.
[0041]
Next, as shown in FIG. 2B, after the upper and lower blades 22A and 22B are opened, step feed is performed at a pitch of 3.2 mm by a substrate feed mechanism (not shown).
[0042]
Next, as shown in FIG. 2C, by closing the upper and lower blades 22A and 22B again, the plastic substrate 21 is pressurized with the blades 22A and 22B, and the plastic substrate 21 can be divided into another line. It becomes a state.
[0043]
Then, by repeating the operations of FIGS. 2A to 2C, as shown in FIG. 2D, the plastic substrate 21 can be divided into a large number of lines.
[0044]
Thereafter, when the plastic substrate 21 is rotated 90 degrees with respect to the blades 22A and 22B and the operations shown in FIGS. 2A to 2C are repeated, the plastic substrate 21 includes a plurality of plastic substrates 21 as shown in FIG. It can be divided into pieces. Then, by performing a dividing step on the plastic substrate 21 in this state, it is possible to obtain 3.2 mm square optical elements separated individually.
[0045]
Hereinafter, an embodiment of a method for producing an optical element of the present invention will be described.
[0046]
First, a disk-shaped plastic substrate 31 on which several hundred fine patterns 30 shown in FIG. 3A are formed is formed into an annular holder 33 from the periphery of the plastic substrate 31 as shown in FIG. Hold on. Thereby, even if the plastic substrate 31 is divided, the plastic substrate 31 does not fall apart.
[0047]
Next, the operations of FIGS. 2A to 2C are repeated, so that the plastic substrate 31 can be divided along a plurality of dividing lines 34 in one direction as shown in FIG. 3C. . In the state shown in FIG. 2C, that is, when the upper and lower blades 22A and 22B are closed, the thickness of the holder 33 is set to a plastic substrate in order to bring the blades 22A and 22B into contact with only the plastic substrate 31. It is necessary to make it thinner than 31.
[0048]
Next, as shown in FIG. 3D, the plastic substrate 31 is rotated 90 degrees with respect to the blades 22A and 22B together with the holder 33. Then, the operations of FIGS. 2A to 2C are repeated so that the plastic substrate 31 can be divided along the plurality of dividing lines 34 in one direction. As a result, the plastic substrate 31 can be divided in two directions.
[0049]
Next, as shown in FIG. 3E, the adhesive sheet 35 is attached to the entire surface of one surface of the plastic substrate 31, and then the holder 33 is removed from the plastic substrate 31.
[0050]
Next, the plastic substrate 31 removed from the holder 33 is bent on a roller 36 as shown in FIG. Specifically, after the plastic substrate 31 is bent in one direction, the plastic substrate 31 is rotated 90 degrees with respect to the roller 36, and the plastic substrate 31 is bent in the other direction. Then, optical elements separated individually can be obtained. At this time, the adhesive sheet 35 holds the individual optical elements so that they do not fall apart. That is, the optical element is not dissipated by the adhesive sheet 35.
[0051]
Thereafter, as shown in FIG. 3G, the pressure-sensitive adhesive sheet 35 is expanded by an expander, and a gap is provided between the individual optical elements so that the subsequent process is easy to handle. Affix to ring 7. It is preferable to put the optical element in the assembly process in this state because a plurality of optical elements can be handled at one time.
[0052]
According to the method for manufacturing an optical element having the above configuration, the plastic substrate 31 is divided using the blades 22A and 22B. Therefore, the plastic substrate 31 can be manufactured at a low cost and can be divided at a high speed.
[0053]
Further, since the plastic substrate 31 having cracks between the plurality of optical elements is bent to separate the plurality of optical elements individually, no burr occurs in the optical elements.
[0054]
Further, since the dividing line 34 is set so as not to overlap the fine pattern 30, the plastic substrate 31 can be divided without affecting the fine pattern 30.
[0055]
In the above embodiment, the plastic substrate 31 is held from the periphery of the plastic substrate 31 by the annular holder 33, but may be held by a holder made of a plurality of rod-shaped members. Moreover, you may use a rectangular frame as a cyclic | annular holder.
[0056]
Further, as shown in FIGS. 4A to 4D, an optical element may be manufactured using a holder 43 instead of the holder 33.
[0057]
The holder 43 is a punched piece punched in the outer shape punching process when the disk-shaped plastic substrate 31 is manufactured. When this punched waste is reused to make the holder 43 of the plastic substrate 31, it is not necessary to create a special holder, so that further cost reduction can be realized.
[0058]
The holder 43 is made of the same material and the same thickness as the disc-shaped plastic substrate 31, so that it can be divided into a circular interior and a circular exterior simultaneously.
[0059]
Further, since the holder 43 is the same material and the same thickness as the disc-shaped plastic substrate 31, processing conditions are different when processing the peripheral portion of the plastic substrate 31 and when processing the central portion of the plastic substrate 31. There is no need to change.
[0060]
In the above embodiment, one blade 2A is pressed against one surface of the plastic substrate 31 and one blade 2B is pressed against the other surface of the plastic substrate 31. Alternatively, a plurality of blades may be pressed against the surface, and a plurality of blades may be pressed against the other surface of the plastic substrate 31. In short, the number of blades that are brought into pressure contact with the one or the other surface of the plastic substrate 31 may be plural.
[0061]
For example, as shown in FIG. 5B, three knives 52A as an example of a first blade are pressed against one surface of an acrylic substrate 51 made of acrylic resin as an example of a plastic substrate, and the acrylic substrate Three blades 52 </ b> B as an example of the second blade may be pressed against the other surface of 51.
[0062]
Hereinafter, an optical element manufacturing method using the blades 52A and 52B will be described.
[0063]
First, as shown in FIG. 5A, a plurality of blades 52A and 52B are set in parallel, and an acrylic substrate 51 on which several hundred fine patterns are formed is positioned between the blade 52A and the blade 52B. The interval between the blades 52A and 52B needs to be appropriately determined in consideration of the substrate size, the length of the cut line, the applied pressure, the strength of the workpiece, and the like. Here, the substrate size is set to a diameter of 116 mm, the cut line length is set to 116 mm, and the pressing force is set to 5 tons. The interval between the blades 52A and 52B is set to 3.2 mm.
[0064]
Next, as shown in FIG. 5B, once the blades 52 </ b> A and 52 </ b> B are brought into pressure contact with the respective surfaces of the acrylic substrate 51, the acrylic substrate 51 can be divided into three lines.
[0065]
Then, by feeding 9.6 mm step by a feeding mechanism (not shown), divided lines are formed in order of 3 lines. Here, when step feeding is performed 13 times, the machining in one direction is completed as shown in FIG.
[0066]
Thereafter, when the acrylic substrate 51 is rotated by 90 degrees with respect to the blades 52A and 52B and the same operation as that shown in FIGS. 5B and 5C is performed, the acrylic substrate 51 becomes as shown in FIG. It becomes a state that can be divided in two directions. Thereafter, by performing the same steps as those in FIGS. 3E and 3F, a 3.2 mm square optical element can be obtained.
[0067]
Also, as shown in FIGS. 6A and 6B, a lattice-shaped blade 62A, which is an example of a first blade, is brought into pressure contact with one surface of the plastic substrate 21, and the other surface of the plastic substrate 21 is contacted. You may press-contact the grid-shaped blade 62B which is an example of a 2nd blade. Thus, since the blades 62A and 62B facing each other are in a lattice shape, a vertical division line and a horizontal division line can be formed simultaneously. In other words, the plastic substrate 21 can be divided into a lattice shape as shown in FIG. 6C only by bringing the blades 62A and 62B into pressure contact with the plastic substrate 21 once.
[0068]
6A and 6B are process cross-sectional views corresponding to FIGS. 5A and 5B. 5A and 5B and FIGS. 6A and 6B show one section of the blades 52A and 52B and the blades 62A and 62B.
[0069]
6 (a) and 6 (b) show the cross sections of the three blades 62A and 62B, but a grid-like blade in which 36 blades are arranged in both the vertical and horizontal directions is used. May be. In this case, if it is a plastic substrate having a diameter of 116 mm, it is sufficient to perform a single pressure contact process, and step feed is unnecessary.
[0070]
FIG. 7 is a schematic perspective view of an example of an optical element produced by the method for producing an optical element of the present invention. The pitch of the hologram pattern 71 formed on the upper surface of the optical element in the drawing is 1 to 3 μm, and the pitch of the grating pattern 72 formed on the lower surface of the optical element in the drawing is 10 to 20 μm. The groove depth is 0.2 to 0.6 μm. Moreover, after the propagation of the crack 73 is seen on the side surface of the optical element. Since the side surface of the optical element has a broken surface, the side surface is non-uniform and has an effect of irregularly reflecting extraneous light rays. That is, the optical element can scatter unwanted light on the side surface. Therefore, when the semiconductor laser device having the optical element is used for an optical pickup, undesired light is scattered on the side surface of the optical element, so that the undesired light does not enter the light receiving element of the optical pickup and noise is generated. Can be reduced.
[0071]
【The invention's effect】
As apparent from the above, in the method for manufacturing an optical element of the present invention, the first and second blades are pressed against the plastic substrate, cracks are formed between the plurality of optical elements, and then a force is applied to the plastic substrate. Since the plurality of optical elements are separately separated, it can be manufactured at low cost and the plastic substrate can be divided at high speed.
[0072]
In addition, since a force is applied to the plastic substrate having cracks between the plurality of optical elements to separate the plurality of optical elements individually, it is possible to prevent the optical elements from being burred.
[0073]
In one embodiment of the method of manufacturing an optical element, when the first and second blades are pressed against a plastic substrate, the holder is thinner than the plastic substrate. Can be blocked.
[0074]
In one embodiment of the method of manufacturing an optical element, the holder for holding the plastic substrate is made of the same material as the plastic substrate and has the same thickness as the plastic substrate. The processing conditions can be made the same.
[0075]
Since the manufacturing method of the optical element of one embodiment has a step of attaching an adhesive sheet to the entire surface of one surface of the plastic substrate, even if the plastic substrate is divided and a plurality of optical elements are separated individually, Optical elements do not dissipate.
[0076]
In the optical element manufacturing method of one embodiment, since the number of the first blades is plural and the number of the second blades is plural, it is possible to efficiently crack the plastic substrate.
[0077]
The method for manufacturing an optical element of one embodiment, the first, since the second blade is formed in a lattice pattern, first, by a second blade only it is once pressed against the plastic substrate, the lattice-like plastic substrate It can be made into a state that can be divided into two.
[0078]
[0079]
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram for explaining the principle of a method for producing an optical element of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory view when a plastic substrate is divided in the method of manufacturing an optical element of the present invention.
FIGS. 3A to 3G are process diagrams of an optical element manufacturing method according to an embodiment of the present invention.
4 (a) to 4 (d) are process diagrams of an optical element manufacturing method according to another embodiment of the present invention.
FIGS. 5A to 5D are process diagrams of a method of manufacturing an optical element according to another embodiment of the present invention.
FIGS. 6A to 6C are process diagrams of a method of manufacturing an optical element according to another embodiment of the present invention .
FIG. 7 is a schematic perspective view of an optical element produced by the optical element manufacturing method of the present invention.
FIGS. 8A to 8G are process diagrams of a conventional method of manufacturing an optical element.
[Explanation of symbols]
1, 21, 31 Plastic substrate 2A, 52A, 62A First blade 2B, 52B, 62B Second blade 33, 43 Holder 51 Acrylic substrate

Claims (10)

複数の光学素子が形成されたプラスチック基板をそのプラスチック基板の周囲から保持具で保持する工程と、
上記プラスチック基板を、互いに対向する第1,第2刃の間に位置させる工程と、
上記第1,第2刃を上記プラスチック基板に圧接させて、上記複数の光学素子間にクラックを入れる工程と、
上記プラスチック基板に力を加えて、上記複数の光学素子を個々別々に分離させる工程とを備えたことを特徴とする光学素子の製造方法。
A step of holding a plastic substrate on which a plurality of optical elements are formed with a holder from around the plastic substrate;
Positioning the plastic substrate between the first and second blades facing each other;
Pressing the first and second blades against the plastic substrate and forming a crack between the plurality of optical elements;
Applying a force to the plastic substrate, method of manufacturing an optical element, characterized in that a step of individually separately separating the plurality of optical elements.
請求項1に記載の光学素子の製造方法において、
上記保持具は上記プラスチック基板よりも薄いことを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to claim 1,
The method of manufacturing an optical element, wherein the holder is thinner than the plastic substrate.
請求項1に記載の光学素子の製造方法において、
上記保持具は、上記プラスチック基板と同じ材質であると共に、上記プラスチック基板と同じ厚みであることを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to claim 1,
The holding device is made of the same material as the plastic substrate and has the same thickness as the plastic substrate.
請求項1乃至3のいずれか1つに記載の光学素子の製造方法において、
上記複数の光学素子間にクラックを入れる工程と、上記複数の光学素子を個々別々に分離させる工程との間に、上記プラスチック基板の一方の表面の全面に粘着シートを貼り付ける工程を備えたことを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to any one of claims 1 to 3,
A step of attaching an adhesive sheet to the entire surface of one surface of the plastic substrate between the step of making cracks between the plurality of optical elements and the step of separating the plurality of optical elements individually. A method for producing an optical element characterized by the above.
請求項1乃至4のいずれか1つに記載の光学素子の製造方法において、
上記第1刃の数が複数であり、かつ、上記第2刃の数が複数であることを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to any one of claims 1 to 4,
The method of manufacturing an optical element, wherein the number of the first blades is plural and the number of the second blades is plural.
請求項1乃至4のいずれか1つに記載の光学素子の製造方法において、
上記第1,第2刃は格子状に形成されていることを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to any one of claims 1 to 4,
The method for manufacturing an optical element, wherein the first and second blades are formed in a lattice shape.
請求項1乃至6のいずれか1つに記載の光学素子の製造方法において、
上記プラスチック基板の両面に光学パターンが形成されていることを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to any one of claims 1 to 6,
An optical element manufacturing method, wherein optical patterns are formed on both surfaces of the plastic substrate.
請求項1乃至7のいずれか1つに記載の光学素子の製造方法において、
上記光学素子は、20μm以下のピッチを有する回折格子であることを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to any one of claims 1 to 7,
The method of manufacturing an optical element, wherein the optical element is a diffraction grating having a pitch of 20 μm or less.
請求項1乃至8のいずれか1つに記載の光学素子の製造方法において、
上記プラスチック基板はアクリル樹脂であることを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to any one of claims 1 to 8,
The method of manufacturing an optical element, wherein the plastic substrate is an acrylic resin.
請求項1乃至9のいずれか1つに記載の光学素子の製造方法において、
上記保持具は環状であることを特徴とする光学素子の製造方法。
In the manufacturing method of the optical element according to any one of claims 1 to 9,
The method of manufacturing an optical element, wherein the holder is annular.
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