JP4025116B2 - Plate material support table for plate material processing machine - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は板材加工機械の板材支持テーブルに関する。さらに詳細には非接触で板材を支持することができる板材加工機械の板材支持テーブルに関する。
【0002】
【従来の技術】
板状のワークの端部を把持して移動位置決めして加工を行う板材加工機械、例えばパンチプレス、レーザ加工機またはプラズマ切断加工機などにおいて、被加工材である板材は板材支持テーブルに配置したフリーベアやローラーまたはブラシなどの支持体によって支持されている。
【0003】
しかし、板材を移動させるときこれら支持体との接触により、裏面に傷がついたり潤滑油が付いたりする問題がある。また、板材と支持体との接触抵抗による板材に生じる捻れで加工開始点と加工終点がずれるという問題もある。
【0004】
例えば、上述のレーザ加工機においては、金属酸化物の粉塵等を含有するアシストガスが切断穴または切断面から下方に通過すると共に、板材下面に沿って飛散し、板材支持テーブル上に堆積する。板材下面に沿って飛散する粉塵の集塵は困難であり、この飛散する粉塵または堆積した粉塵が支持体上を移動する板材の裏面に傷を付けることもあった。
【0005】
上述の如き問題に対応する板材支持テーブルとして、図9に示すような空圧を利用して非接触で板材Wを浮上支持する支持テーブル101が知られている。
【0006】
板材支持テーブル101は支持テーブル面板103の下側に多数の空気噴出口105を備えた空気室107を有し、この空気室107に高圧(数気圧)の空気を供給し、前記空気噴出口105から上方へ空気を噴出させて板材Wを浮上支持するように構成したものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
前述の板材加工機械の板材支持テーブル101においては、板材Wの浮上高さhが空気噴出量(または空気圧)と板材Wの重量(FW)の釣合で決まり、浮上高さhを安定させるのが難かしく、板材Wに小穴109があると板材Wを支持する力が減少し浮上高さhが変動する原因となる。また、板材Wの自由端111は上向きの噴流によって振動が発生しやすい。
【0008】
板材支持テーブル下面に高圧がかかるので、板材支持テーブルはこの圧力に耐える構造にする必要がある。しかし、供給空気圧を低圧(1気圧より若干高い程度)にした場合には多数の空気噴出口が必要となる。
【0009】
本発明は上述の如き問題を解決するためになされたものであり、本発明の課題は、板材Wの浮上高さhの変化が少なく、かつ板材自由端での振動が発生しにくい非接触で板材を浮上支持できる板材加工機械の板材支持テーブルを提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決する手段として、請求項1に記載の板材加工機械の板材支持テーブルは、板材加工機械の板材支持テーブルにおいて、平坦な板材保持面と該板材保持面の内側に前記板材に対向するすり鉢状の凹部を有する吸着支持手段を前記板材支持テーブル上面と同一水準になるように設け、前記すり鉢状凹部の下方に旋回空気室を設け、該旋回空気室上部に前記凹部に連通する空気噴出口を設けると共に該旋回空気室側部に空気流入口を設け、前記旋回空気室に流入する空気に旋回運動を付与することを要旨とするものである。
【0011】
請求項2に記載の板材加工機械の板材支持テーブルは、請求項1に記載の板材加工機械の板材支持テーブルにおいて、前記空気噴出口の口径を前記空気流入口の口径に対して大きく設けたことを要旨とするものである。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面によって説明する。
【0017】
図1は第1の実施の形態を示したものであり、本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブル10には吸着支持手段3が適宜な配列で、例えば、格子状または千鳥格子状に前記板材支持テーブル10のテーブル面板5に取り付けてある。なお、図1には吸着支持手段3の中の1個を代表して示してある。
【0018】
前記吸着支持手段3は、ノズル本体7、空気噴出部9および板材保持面11などからなっており、前記板材保持面11はノズル本体7上面の平坦部に環状に形成してある。この環状で平坦な板材保持面11の内側には、すり鉢状の凹部13が形成してあり、この凹部13の中心部に前記空気噴出部9が設けてある。
【0019】
前記空気噴出部9にはノズル15が設けてあり、このノズル15は前記凹部13内に突出した頭部17を有し、この頭部17には前記ノズル本体7に設けた管路19を介して供給される高圧空気を噴出する環状の間隙21が設けてある。
【0020】
また、前記吸着支持手段3は、前記板材保持面11とテーブル面板5の上面とが同一水準になるようにテーブル面板5に取り付けてある。
【0021】
上記構成の板材支持テーブル10において、板材支持テーブル10のテーブル面板5に板材Wを載置し、吸着支持手段3のノズル15から高圧の空気を噴出させれば、ノズル15から流出した空気は、前記凹部13のすり鉢状曲面に沿って中心から放射方向に流れ、次いでテーブル面板5と板材Wとの間を水平に流れて板材Wの外方へ流出する。
【0022】
このとき、テーブル面板5と板材Wとの間を水平に流れて板材Wの外方へ流出する空気の圧力により板材Wを上方へ浮上させる力「J↑」が作用して板材Wが若干浮上した状態となる。
【0023】
一方、テーブル面板5と板材Wとの間を空気が流れることにより、ベルヌーイの定理により板材Wの上面と下面の流速の差によって、テーブル面板5と板材Wとの間の圧力が上面より低下して、板材Wをテーブル面板5方向へ吸引する力「FB↓」が作用する。
【0024】
また、前記すり鉢状の凹部13にある空気が前記放射方向に流出する空気に巻き込まれて流出するため(ejector 効果)、凹部13の上方が負圧となって板材Wを下方に吸引する力「FE↓」が作用する。
【0025】
さらに、板材Wに作用する重力により、板材Wを下方向(鉛直方向)に引っ張る力「FW↓」が作用する。
【0026】
その結果、板材Wは下方に作用する3種類の力の和、「FB↓」+「FE↓」+「FW↓」と、板材Wを上方へ浮上させる力「J↑」とがバランスした位置h(板材支持高さ)において浮上状態となって保持されることになる。
【0027】
また、テーブル面板5と板材Wとの間を空気が流れている限り、板材Wに小穴23が在っても板材Wを上方へ浮上させる力「J↑」は得られるので、板材Wがテーブル面板5に接触することはない。
【0028】
上述の力のバランスは、板材Wと吸着支持手段3との間の距離h(板材支持高さ)が変化すると急激に崩れるものである。逆に言うと、板材Wは吸着支持手段3の間で安定距離hに留まろうとする作用が大きく、これが板材Wの自由端の振動の抑制作用と浮上位置h(板材支持高さ)の安定化作用として働き、板材Wの浮上位置が安定する。
【0029】
図2は本発明に係わる板材支持テーブルの第2の実施形態を示すものである。なお図2において、第1の実施の形態における部材と共通の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【0030】
板材支持テーブル20を構成する吸着支持手段4(前記吸着支持手段3相当)は、ノズル本体7の上部に第1の実施の形態と同様な凹部14(前記凹部13相当)が設けてあり、この凹部14の下方には円筒形の旋回空気室25が設けてある。
【0031】
旋回空気室25の上部には前記凹部14に連通する空気噴出口29が設けてあり、また、旋回空気室25の側部には空気流入口27が設けてある。空気流入口27は旋回空気室25に流入した空気に旋回運動Vmを与えるために前記旋回空気室25の内周に接する接線方向に設けてある。
【0032】
したがって、旋回空気室25に流入した空気は旋回空気室25の円形の内壁に沿って流れ、図3に示すような旋回運動を行うようになっている。なお、前記空気噴出口29の口径は、前記空気流入口27の口径に対して大きく設定してあり、このような設定にすることにより、空気噴出口29から流出する空気は上方向には行かずに前記凹部14のすり鉢状曲面に沿って中心から放射方向へ流れるようになる。
【0033】
その結果、板材支持テーブル20においても前記第1の実施形態の板材支持テーブル10と同一の作用効果を得ることができる。
【0034】
図4は、第3の実施形態の板材支持テーブル30であって、前記第2の実施形態のノズル本体7に形成した凹部14と同一形状の凹部16をテーブル面板5に形成し、この凹部16の下方に旋回空気室31を一体的に設けて、前記第2の実施形態における吸着支持手段4に相当する吸着支持手段33を構成したものである。
【0035】
なお、前記旋回空気室31のほぼ中央上部には前記凹部16に連通する空気噴出口29を設けると共に、旋回空気室31の内周の接線方向に空気流入口27が設けてある。また、第2の実施形態と同様に空気噴出口29の口径は空気流入口27の口径に対して大きく設定してある。
【0036】
したがって、第3の実施形態における板材支持テーブル30においても前記第2の実施形態の板材支持テーブル20と同一の作用効果を得ることができる。
【0037】
図5は、第4の実施形態の板材支持テーブル40であって、前記第3の実施形態の板材支持テーブル30において、テーブル面板5に設けた凹部16の部分をテーブル面板5上面と同一水準の平坦面としたものである。なお、空気流入口27および空気噴出口29の口径の設定は第3の実施形態と同一である。
【0038】
上記構成の第4の実施形態の板材支持テーブル40においては、板材Wに作用する下方向の3種類の力、「FB↓」、「FE↓」および「FW↓」の内、前述のエジェクタ(ejector) 効果による吸引力「FE↓」はなくなり、「FB↓」+「FW↓」に対して空気圧によって板材Wを上方へ浮上させる力「J↑」とがバランスする位置に安定することになる。
【0039】
図6は、第5の実施の形態であり、前記旋回空気室31の上部も旋回空気室31で一体的に構成し、第4の実施形態と同様に旋回空気室31の上面とテーブル面板5の上面を同一水準に設けた構成となっている。なお、空気流入口27および空気噴出口29の口径の設定は第4の実施形態と同一である。したがって、第5の実施の形態における板材支持テーブル50も第4の実施形態の板材支持テーブル40と同一の作用効果が得られる。
【0040】
図7および図8は、第4の実施の形態をより詳細に示した板材支持テーブルの実施例である。
【0041】
板材支持テーブル60は、非接触で板材Wを支持するためのテーブル面板61を備えており、このテーブル面板61には複数の吸着支持手段63が適宜な配列で、例えば、格子状または千鳥格子状に取り付けてある。なお、図7および図8には複数の吸着支持手段63の中の1個を代表して示してある。
【0042】
前記吸着支持手段63は、空気室本体65と旋回ノズル67およびシール69(a,b)などで構成してある。空気室本体65には上方に開口した円形有底の旋回ノズル装着穴68が設けてあり、この旋回ノズル装着穴68に前記旋回ノズル67が装着してある。
【0043】
上述の旋回ノズル67は中空円筒状をなしており、外径を旋回ノズル装着穴の内径より小径に設けると共に、上端部には前記旋回ノズル装着穴に嵌合するフランジ部67fが設けてある。
【0044】
また、旋回ノズル67の上端面は前記空気室本体65の上端面と同一水準に設けてあって、空気室本体65の上端面に前記テーブル面板61を密着させて当接させると共に、空気室本体65とテーブル61とをボルト71などの締結手段で固着してある。
【0045】
前記旋回ノズルの中空円筒部外径と空気室本体65の旋回ノズル装着穴との間には円筒形の環状空間73が形成されている。また、前記旋回ノズル67の中空円筒内部は旋回空気室75となる空間である。前記環状空間73と旋回空気室75との間を連通する4個の空気流入口77(a,b,c,d)が旋回ノズルに設けてある。
【0046】
前記4個の空気流入口77(a,b,c,d)は、前記旋回ノズル67の中空円筒下端にあって、中空円筒形の旋回空気室75の内径に接する接線方向に中心に対して方位角90度間隔で設けてある。
【0047】
また、旋回ノズル67の軸心上方の前記テーブル面板61には空気噴出口79が設けてある。なお、前記空気噴出口79の断面積は前記空気流入口77の断面積より大きく設定してある。
【0048】
前記空気室本体65には、空圧源(図示省略)に接続されたコネクタ81から前記環状空間73へ連通する空気供給穴83が設けてある。
【0049】
なお、空気室本体65とテーブル61との間には、前記旋回空気室75内の空気が外部へ流出するのを遮断するためのシール部材69bが設けてある。また、前記環状空間73のフランジ部67f下には、環状空間73内の空気が外部へ流出するのを遮断するためのシール部材69aが設けてある。
【0050】
上記構成において、コネクタ81、空気供給穴83を介して環状空間73へ空圧源からの空気を供給すれば、環状空間73内に入った空気は、4個の空気流入口77から旋回空気室75内に流入し、旋回空気室75内で旋回運動Vmを行うことになる。そして、空気噴出口79から流出する空気は真っ直ぐ上には行かずに板材Wとテーブル上面の間をほぼ水平方向へ流出する。
【0051】
その結果、本実施例においても、前記第4の実施形態の板材支持テーブル40と同様に、「FB↓」+「FW↓」に対して空気圧によって板材Wを上方へ浮上させる力「J↑」とがバランスする位置に安定することになる。
【0052】
なお、上述の第1の実施形態〜第5の実施形態および実施例において、前記テーブル面板(5、61)に、前記吸着支持手段(3,4,33)の板材支持高さhより低い支持高さで板材Wを支持するフリーベアまたはローラーまたはブラシを適宜な間隔をおいて配置し、前記吸着支持手段(3,4,33)による非接触支持と、フリーベアまたはローラーまたはブラシなどの支持体による接触支持とを選択して使用するようにすることもできる。
【0053】
【発明の効果】
請求項1の発明によれば、テーブル面板と板材との間を流れる空気圧により板材Wを上方へ浮上させる力「J↑」と、板材Wの上面と下面の流速の差によって生ずる、板材Wをテーブル面板方向へ吸引する力「FB↓」と、吸着支持手段の凹部から排出される空気により生ずる吸引力「FE↓」(ejector 効果)とのバランスにより、板材は板材に小穴が存在しても一定の板材支持高さhに非接触状態で安定保持することができる。
【0054】
また、上述の力のバランスは、板材と吸着支持手段との間の距離hが変化すると急激に崩れるものである。逆に言うと、板材は吸着支持手段の間で安定距離hに留まろうとする作用が大きく、これが板材の自由端の振動の抑制作用と浮上位置hの安定化作用として働き浮上位置が安定する。
【0055】
請求項2の発明によれば、旋回空気室による旋回流と空気噴出口の口径を空気流入口の口径に対して大きく設定したことによって、空気噴出口から流出する空気は上方向にはいかずにすり鉢状凹部の曲面に沿って中心から放射方向へ流れるようになるため、請求項1の発明と同様な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブルの第1の実施の形態を示した図。
【図2】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブルの第2の実施の形態を示した図。
【図3】図2におけるI-I断面図。
【図4】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブルの第3の実施の形態を示した図。
【図5】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブルの第4の実施の形態を示した図。
【図6】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブルの第5の実施の形態を示した図。
【図7】第4の実施の形態をより詳細に示した板材支持テーブルの実施例である(平面図)。
【図8】図7におけるII-II断面図。
【図9】非接触で板材を浮上支持する従来の板材加工機の支持テーブルの例。
【符号の説明】
3 吸着支持手段
5 テーブル面板
7 ノズル本体
9 空気噴出部
10、20、30、40、60 板材支持テーブル
11 板材保持面
13、14、16 凹部
15 ノズル
17 頭部
19 管路
21 環状の間隙
23 小穴
25、31 旋回空気室
27 空気流入口
29 空気噴出口
33、63 吸着支持手段
65 空気室本体
67 旋回ノズル
68 旋回ノズル装着穴
69(a,b) シール
71 ボルト
73 円筒形の環状空間
75 旋回空気室
77(a,b,c,d) 空気流入口
79 空気噴出口
81 コネクタ
83 空気供給穴
W 板材[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a plate material support table for a plate material processing machine. More specifically, the present invention relates to a plate material support table of a plate material processing machine that can support a plate material in a non-contact manner.
[0002]
[Prior art]
In a plate material processing machine that grips and moves and positions an end of a plate-shaped workpiece, for example, a punch press, a laser processing machine, or a plasma cutting processing machine, the plate material that is a workpiece is arranged on a plate support table. It is supported by a support such as a free bear, a roller, or a brush.
[0003]
However, when the plate material is moved, there is a problem that the back surface is scratched or lubricated due to contact with the support. Further, there is a problem that the processing start point and the processing end point are shifted due to a twist generated in the plate material due to the contact resistance between the plate material and the support.
[0004]
For example, in the laser processing machine described above, an assist gas containing metal oxide dust or the like passes downward from the cut hole or cut surface, and is scattered along the lower surface of the plate material and is deposited on the plate material support table. It is difficult to collect dust scattered along the lower surface of the plate material, and the scattered dust or accumulated dust sometimes scratches the back surface of the plate material moving on the support.
[0005]
As a plate material support table corresponding to the above-described problem, a support table 101 that supports the plate material W in a floating manner in a non-contact manner using air pressure as shown in FIG. 9 is known.
[0006]
The plate material support table 101 has an
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
In the plate material support table 101 of the above-described plate material processing machine, the flying height h of the plate material W is determined by the balance between the air ejection amount (or air pressure) and the weight (F W ) of the plate material W, and the flying height h is stabilized. Therefore, if the plate material W has the
[0008]
Since a high pressure is applied to the lower surface of the plate material support table, the plate material support table needs to be structured to withstand this pressure. However, when the supply air pressure is set to a low pressure (a little higher than 1 atm), a large number of air outlets are required.
[0009]
The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and an object of the present invention is a non-contact method in which the change in the flying height h of the plate material W is small and vibration at the free end of the plate material is less likely to occur. It is to provide a plate material support table for a plate material processing machine capable of levitating and supporting a plate material.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
As a means for solving the above-mentioned problems, the plate material support table of the plate material processing machine according to claim 1 is a plate material support table of the plate material processing machine, and is opposed to the plate material on a flat plate material holding surface and inside the plate material holding surface. The suction support means having a mortar-shaped recess is provided so as to be at the same level as the upper surface of the plate material support table, a swirling air chamber is provided below the mortar-shaped recess, and the air communicating with the recess is provided above the swirling air chamber The gist of the invention is to provide a jet outlet and an air inlet on the side of the swirling air chamber to impart a swirling motion to the air flowing into the swirling air chamber .
[0011]
The plate material support table of the plate material processing machine according to claim 2 is the plate material support table of the plate material processing machine according to claim 1, wherein the diameter of the air outlet is larger than the diameter of the air inlet. Is a summary .
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0017]
FIG. 1 shows a first embodiment. In the plate material support table 10 of the plate material processing machine according to the present invention, suction support means 3 are arranged in an appropriate arrangement, for example, in a lattice shape or a staggered lattice shape. It is attached to the
[0018]
The suction support means 3 includes a
[0019]
The
[0020]
The suction support means 3 is attached to the
[0021]
In the plate material support table 10 having the above configuration, if the plate material W is placed on the
[0022]
At this time, the force “J ↑” that causes the plate material W to float upward due to the pressure of the air that flows horizontally between the
[0023]
On the other hand, when air flows between the
[0024]
Further, since the air in the mortar-
[0025]
Furthermore, the force “F W ↓” that pulls the plate material W downward (vertical direction) acts due to the gravity acting on the plate material W.
[0026]
As a result, the plate material W has the sum of three types of forces acting downward, “F B ↓” + “F E ↓” + “F W ↓”, and the force “J ↑” that lifts the plate material W upward. At the balanced position h (plate material support height), it is held in a floating state.
[0027]
In addition, as long as air flows between the
[0028]
The balance of the force described above is abruptly broken when the distance h (plate material support height) between the plate material W and the suction support means 3 changes. In other words, the plate material W has a large effect of staying at the stable distance h between the suction support means 3, which suppresses the vibration of the free end of the plate material W and stabilizes the floating position h (plate material support height). It works as a crystallization action, and the floating position of the plate material W is stabilized.
[0029]
FIG. 2 shows a second embodiment of a plate material support table according to the present invention. In FIG. 2, members that are the same as those in the first embodiment are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.
[0030]
The suction support means 4 (corresponding to the suction support means 3) constituting the plate material support table 20 is provided with a recess 14 (corresponding to the recess 13) similar to that of the first embodiment at the upper part of the
[0031]
An
[0032]
Therefore, the air that has flowed into the swirling
[0033]
As a result, the same effect as that of the plate material support table 10 of the first embodiment can be obtained also in the plate material support table 20.
[0034]
FIG. 4 shows a plate material support table 30 according to the third embodiment, in which a
[0035]
In addition, an
[0036]
Therefore, the same effect as that of the plate support table 20 of the second embodiment can be obtained also in the plate support table 30 of the third embodiment.
[0037]
FIG. 5 shows a plate material support table 40 according to the fourth embodiment. In the plate material support table 30 according to the third embodiment, the portion of the
[0038]
In the plate material support table 40 of the fourth embodiment having the above-described configuration, the above-described three types of forces acting on the plate material W, “F B ↓”, “F E ↓”, and “F W ↓”, are described above. The position where the suction force “F E ↓” due to the effect of the “ejector” disappears and the force “J ↑” that lifts the plate material W upward by air pressure is balanced against “F B ↓” + “F W ↓” Will be stable.
[0039]
FIG. 6 shows a fifth embodiment. The upper part of the swirling
[0040]
7 and 8 are examples of the plate material support table showing the fourth embodiment in more detail.
[0041]
The plate material support table 60 includes a
[0042]
The suction support means 63 includes an
[0043]
The
[0044]
Further, the upper end surface of the
[0045]
A cylindrical
[0046]
The four air inlets 77 (a, b, c, d) are located at the lower end of the hollow cylinder of the
[0047]
An
[0048]
The air chamber
[0049]
A
[0050]
In the above configuration, if air from an air pressure source is supplied to the
[0051]
As a result, also in the present example, as with the plate material support table 40 of the fourth embodiment, the force “J” that lifts the plate material W upward by air pressure with respect to “F B ↓” + “F W ↓” It will stabilize at the position where “↑” balances.
[0052]
In the first to fifth embodiments and examples described above, the table face plate (5, 61) is supported lower than the plate material support height h of the suction support means (3,4, 33). Free bears, rollers, or brushes that support the plate material W at a height are arranged at appropriate intervals, and are supported by non-contact support by the suction support means (3,4, 33) and by support members such as free bears, rollers, brushes, etc. It is also possible to select and use contact support.
[0053]
【The invention's effect】
According to the invention of claim 1, the plate material W produced by the difference between the force “J ↑” that causes the plate material W to float upward by the air pressure flowing between the table face plate and the plate material, and the flow velocity between the upper surface and the lower surface of the plate material W. Due to the balance between the force “F B ↓” sucked in the direction of the table face plate and the suction force “F E ↓” (ejector effect) generated by the air discharged from the recess of the suction support means, the plate material has small holes in the plate material. However, it can be stably held in a non-contact state at a constant plate material support height h.
[0054]
Moreover, the balance of the above-mentioned force collapses rapidly when the distance h between the plate material and the suction support means changes. In other words, the plate material has a large effect of staying at the stable distance h between the suction support means, and this acts as a vibration suppressing action of the free end of the plate material and a stabilizing operation of the floating position h, and the floating position is stabilized. .
[0055]
According to the invention of claim 2, since the swirling flow by the swirling air chamber and the diameter of the air outlet are set larger than the diameter of the air inlet, the air flowing out from the air outlet does not go upward. Since it flows in the radial direction from the center along the curved surface of the mortar-shaped recess, the same effect as the invention of claim 1 can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a plate material support table of a plate material processing machine according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing a second embodiment of a plate material support table of the plate material processing machine according to the present invention.
FIG. 3 is a sectional view taken along line II in FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a third embodiment of a plate material support table of a plate material processing machine according to the present invention.
FIG. 5 is a view showing a fourth embodiment of a plate material support table of a plate material processing machine according to the present invention.
FIG. 6 is a view showing a fifth embodiment of a plate material support table of the plate material processing machine according to the present invention.
FIG. 7 is an example of a plate material support table showing the fourth embodiment in more detail (plan view).
8 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
FIG. 9 shows an example of a support table of a conventional plate material processing machine that floats and supports a plate material in a non-contact manner.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Adsorption support means 5
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