JP4009366B2 - 磁気中性線放電プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マスクガラス基板特にマスク石英基板をプラズマ処理する磁気中性線放電プラズマ処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えばマスクパターン用エッチング処理装置で処理できる基板サイズは7インチ平方の大きさまでであった。また装置としては平行平板型、マグネット利用型、ICP型、ECR型など種々のものが知られており、これらの装置を利用した場合に、エッチング領域基板面内のエッチング分布は、それぞれのプロセス方式の問題や、圧力領域による問題、プラズマの引き込み方法による限界などのために、分布表示3δで5%位がせいぜい出せるレベルであった。
【0003】
【発明が解決しょうとする課題】
近年、半導体ウエハーは大形化されると共にデバイスが高密度化してきて加工幅が微細になってきている。そのため、使用するマスクに対してもマスクの大型化はもちろんのこと、パターンも0.18μm以下の微細加工が要求されるようになってきている。
しかしながら、上述のように、従来技術によるマスクパターン用エッチング処理装置では処理できるマスク基板は7インチ平方のサイズまでであり、9インチ平方の大きさのマスクを製作することはできないという問題がある。
また、従来技術によるマスクパターン用エッチング処理装置においては、ほとんどの場合エッチング条件を試行錯誤で設定してプロセス条件を求めているために、超微細加工のプロセスには対処できず、そのため0.18μm以下の微細加工が要求されるようなマスクパターンを形成することはできないという問題がある。
【0004】
そこで、本発明は、従来技術の問題点を解決して300mm φのウエハー用の大形(例えば9インチ□、レチクル、厚さ約10mm)マスク基板を形成する磁気中性線放電プラズマ処理装置を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明による磁気中性線放電プラズマ処理装置においては、磁気中性線放電プラズマを使用し基板電極にバイアスを印加させ、プラズマを基板側へ引き込み、エッチングを行う際に、NLD条件(中性磁場領域)を変化させて、バイアス側ヘのプラズマ引き込み状態を基板面内に均一になるよう制御する。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の一つの実施の形態によれば、磁気中性線放電を使用して300mmφのウエハー用のマスク基板をプラズマ処理する磁気中性線放電プラズマ処理装置は、磁気中性線放電プラズマを発生する磁気中性線放電プラズマ生成室と、磁気中性線放電プラズマ生成室に隣接して設けられ、プラズマ生成室内に生成された磁気中性線放電プラズマを引き込むバイアス基板電極を配設したプロセス室と、処理すべきマスク基板をプロセス室内のバイアス基板電極に対して搬入、搬出する基板搬送機構を備えた基板搬送室とを有し、磁気中性線放電プラズマ生成室で発生される磁気中性線放電プラズマを変化させて、バイアス基板電極側ヘのプラズマ引き込み状態を基板表面上で均一になるよう制御する磁気中性線放電プラズマ条件設定手段が設けられ、磁気中性線放電プラズマ生成室がプロセス室に対して水平方向に移動可能に構成されている。
【0007】
処理すべきマスク基板の装着されるプロセス室内のバイアス基板電極には、基板外周部におけるプラズマの乱れを抑制するために基板と同じ厚みの処理面高さ均一化用石英製電極表面材が設けられる。
特に、露光に使用するマスク石英基板のパターンは、パーティクルによる影響が非常に大きく、装置としてエッチング処理前及びエッチング処理中のパーティクル発生を極力抑える必要があるが、本発明においては、スロー排気・スローベントとなるように排気時間及び大気開放時間を制御しているので、真空排気及び大気圧解放時にパーティクルの拡散を防ぎ、マスク基板上に付着しないようにできる。
真空搬送室においても基板を基板表面と隙間1mm程度になるように設定された整流板を設け、その位置にて、真空排気及び大気解放時には時間と圧力との関係よりパーティクル発生を抑えるようにスロー排気・スローベントするように構成することによって、パーティクルレスなマスク基板を製作できる。
石英材部品については、好ましくは、全面鏡面仕上げ及び面取りを行ってチッピングや表面からのパーティクル発生を防ぐように構成され得る。
また、シリコンウエハー等では、基板裏面についてそれほど、接触による傷やパーティクル付着等については注意されていないが、マスク石英基板においては露光時の光の透過があるため、マスク基板裏面については接触による傷は絶対避ける必要がある。そこで、本発明の好ましい実施の形態においては、基板搬送ロボットのハンド、カセット、プロセス室の基板が載る電極部においてマスク基板外周部2mm以外は接触しないように構成される。特に、電極部においては段差が設けられ、また、プラズマに直接晒されることによる金属汚染を防ぐために、マスク基板外周部に相当するバイアス電極表面部分にはアルミナが溶射され得る。
【0008】
プラズマ生成室には、パーティクルフリーな焼結炭化珪素材からなるシールド部材が設けられ得る。
また、プロセス室は、常圧焼結型炭化珪素系セラミックで構成され得る。
【0009】
また、本発明による300mmφのウエハー用のマスク形成用の磁気中性線放電プラズマ処理装置においては、好ましくは、基板搬送室の排気時間及び大気開放時間を制御して真空排気及び大気圧解放時にパーティクルの拡散を防ぎ、マスク基板上に付着しないように構成され得る。
【0010】
さらに、本発明による300mmφのウエハー用のマスク形成用の磁気中性線放電プラズマ処理装置においては、基板搬送室内に設けられる基板搬送機構は、ツイン型のチタン製ハンドとN2ガスパージ機構を内蔵したアームとから成り得る。
大気側には、基板をロボットのハンド上に装着させる基板移載機構或いは基板を収納したカセットを昇降するための機構を備えたカセットステーションが設けられ得る。
真空搬送室内にある基板移動用ロボットのハンドはツイン型であるため、搬送すべき基板1枚当たりのタクトタイムを短縮することができ、またハンドにチタン材質を使用したことにより、特に1枚当たり重量が約1Kgの口径9インチのマスク石英基板においてもハンド先端の撓み量を減少させることができると共に、ハンド自体の重量を低減させることができる。さらに、ロボットアームはN2ガス陽圧型を採用しているので、アーム内部への例えばエッチングガスのような処理ガスに対する腐食、劣化を極力抑えることができる。
【0011】
本発明をエッチング装置として応用した場合には、プラズマ生成にNLDプラズマ方式を採用したことにより、10-1Paから10-2Paのエッチング圧力で安定して放電ができ、被エッチング膜のエッチングレート、エッチング分布、エッチング形状を最善化することができる。
また、磁気中性線放電プラズマ条件設定手段は、NLDプラズマ条件を設定する磁場を上下左右に揺動させるファンクション機構を備え、これにより、基板面のエッチング分布、エッチング形状を従来のエッチング方式に比べて改善することができる。
【0012】
さらに本発明の別の実施の形態によれば、プロセス室は、各々外部に磁場発生機構を備えた複数の室から成り、各プロセス室の外側に、磁場相互干渉を防止するため漏洩磁場防止用シールド部材を設けることができる。
これは、プロセス室外部に磁場発生機構を備えたプロセス室を組込んだマルチチャンバー装置の場合に必要であり、これにより他のプロセス室への影響だけでなく、隣接した他の装置への影響も防ぐことができる。
【0013】
特に、露光に使用するマスク石英基板のパターンは、パーティクルによる影響が非常に大きく、装置としてエッチング処理前及びエッチング処理中のパーティクル発生を極力抑える必要があるが、本発明においては、スロー排気・スローベントとなるように排気時間及び大気開放時間を制御しているので、真空排気及び大気圧解放時にパーティクルの拡散を防ぎ、マスク基板上に付着しないようにできる。
石英材部品については、好ましくは、全面鏡面仕上げ及び面取りを行ってチッピングや表面からのパーティクル発生を防ぐように構成され得る。
【実施例】
以下、添付図面を参照して本発明の実施例について説明する。
図1及び図2には本発明を大型マスク形成するエッチング装置として実施している磁気中性線放電プラズマ処理装置の全体構成を概略的に示し、図示装置は磁気中性線放電プラズマを発生する磁気中性線放電プラズマ生成室1と、エッチング室2と、基板搬送室3と、カセットステーション4とを備えている。
またエッチング室2と基板搬送室3との間及び基板搬送室3とカセットステーション4との間には、それぞれ仕切弁5、6が設けられている。7は装置の操作盤、8はガスボックス、9は給排水盤である。
【0014】
磁気中性線放電プラズマ生成室1は、図3に示すように、円筒状側壁10と上部天板11とで画定されている。円筒状側壁10の外側に、プラズマ生成室1内に磁気中性線を形成するための三つの電磁石12、13、14が設けられ、電磁石と円筒状側壁10の外側との間にはプラズマ発生用の高周波コイル15が配置され、この高周波コイル15は図示していない高周波電源に接続され、三つの電磁石12、13、14によってプラズマ生成室1内に形成された磁気中性線に沿って高周波電場を加えて磁気中性線に放電プラズマを発生するようにしている。
プラズマ生成室1の上部の天板11にはエッチングプロセスガス導入口16が設けられ、このエッチングプロセスガス導入口16はガスボックス8内のエッチングプロセスガス源(図示していない)に接続されている。
また、プラズマ生成室1内には、プラズマの拡散を塞ぐシールド板17、 18が円筒状側壁10及び天板11にそれぞれ沿って設けられ、これらのシールド板は、パーティクルを極力防ぐ為に炭化珪素系のセラミック材で構成されているを使用している。またプラズマ生成室1の組立体は図1に矢印19で示すように水平方向に移動可能に構成されている。
【0015】
図3に示すように、エッチング室2はプラズマ生成室1に連続してその下側に位置し、プラズマ生成室1内に生成された磁気中性線放電プラズマを引き込むバイアス基板電極20と、後で説明するロボットによって基板搬送室3から搬送されてきた基板21をバイアス基板電極20上に載せる基板昇降機構22と、排気ポート23とを備え、排気ポート23には自動圧力調整機24が組込まれ、そして真空排気ポンプ25に接続されている。
バイアス基板電極20にバイアスを印加することにより、プラズマ生成室1内に生成された磁気中性線放電プラズマはバイアス基板電極20側へ引き込まれ、そしてこの場合磁気中性線放電条件(中性磁場領域)を変化させることによって、バイアス基板電極20側ヘのプラズマ引き込み状態は基板21の面内に均一になるように制御される。
また、エッチング処理されるマスク自体の厚みが約10mmと厚く基板21の外周部におけるプラズマの乱れを抑制するために、基板21と同じ厚みのエッチング面高さ均一化用石英の電極表面材26が設けられている。
【0016】
図4及び図5には真空搬送室3を示し、この真空搬送室3は側壁30に四つの開口31a、31b、31c、31dを備え、また天板32はパワーシリンダ装置33で開閉できるように構成されている。開口31aは仕切弁6を介してカセットステーション4に連通し、開口31bは仕切弁5を介してエッチング室2に連通している。また開口31c、31dは図示例では閉鎖されているが、多数の付属チャンバーを接続できるようになっており、エッチングの他に、成膜、アッシング等の複合プロセスにも対応ができるように構成されている。
なお、開口31aの仕切弁6とカセットステーション4との間の基板通路には基板位置決め機構45が設けられている。
真空搬送室3内には、真空槽内で回転収縮する搬送機構を構成するロボット 34と、そのアーム35と、アーム35上に固定されマスク基板21を載せて搬送するツイン型ハンド36と、真空排気及び大気解放時にパーティクルの拡散を防ぐため、マスク基板21を一時的に収納する整流板37とが設けられている。また真空搬送室3には排気及び大気導入量をコントロールするスロー排気・スローベント機構38が取付けられている。ツイン型ハンド36には、搬送方向に於ける基板位置決め用の四本のピン39が設けられている。
また、ツイン型ハンド36は図4に示すように330°回動できるように構成さ れている。それにより、基板21を所望の処理室へ搬送することができる。
【0017】
カセットステーション部4は図6及び図7に示すように、カセット昇降機構から成り、このカセット昇降機構は、カセット設置テーブル41と、カセット設置テーブル41を垂直方向に昇降させる昇降シリンダ42と、昇降シリンダ42を駆動するモータ−43と、昇降シリンダ42を案内支持する案内支持部材44と、エリアセンサー46と、基板有無確認センサ−47とを備えている。
【0018】
このように構成した図示装置の動作作動について説明する。
装置は、内部に基板がなく初期状態にあると仮定して説明をする。
通常装置内は真空槽内の水分及びその他のガスからの汚染を防ぐために、真空保持されている。
次に、作業者はマスク基板収納専用カセットに基板21をセッティングし、そのカセットをカセットステーション4におけるカセット設置テーブル41上に固定します。基板の完全枚葉管理を行いAGVシステムにて基板が搬送されるような構造の場合には、カセットステーション4に相当する位置まで基板を搬送する。
次に、真空搬送室3はスローベント機構38によって大気圧に開放され、この動作と並行してカセットステーション4においてはカセット昇降機構が作動され、カセット内の処理すべき基板21が真空搬送室3内のロボット34によって搬送可能な高さに調整される。
次に、カセットステーション4と真空搬送室3との間の仕切弁6が開放され、そして真空搬送室3内のロボット34作動され、それによりアーム35及びツイン型ハンド36が回転、伸長されてカセット内の基板の下方位置へ動かされる。
こうしてロボット34のハンド36が基板の下方位置にくると、カセット昇降機構は下降し、ロボット34のハンド36上にマスク基板を収納させる。
その後、ロボット34のハンド36上に収納されたマスク基板は整流板37の下部に搬送され、そして仕切弁6は閉じ、真空搬送室3内は、スロー排気される。スロー排気によって真空搬送室3内が設定圧力に到達した後、真空搬送室3は、ターボ分子ポンプを使用して高真空に排気される。
【0019】
このようにして真空搬送室3内が予め設定してあるチャンバー間受け渡し圧力値になると、真空搬送室3とエッチングプロセス室2との間の仕切弁5が開放され、それによりマスク基板は、エッチングプロセス室2へ搬送される。
エッチングプロセス室2に搬送されたマスク基板は、基板昇降機構22によってロボットハンド36上からバイアス基板電極20上に移される。
その後、ロボットハンド36はエッチングプロセス室2から真空搬送室3へ戻され、仕切弁5は閉じられ、そしてエッチングプロセス室2は設定圧力まで排気される。エッチングプロセス室2が設定圧力まで排気されると、プラズマ生成室1の上部天板11にあるプロセスガス導入口16を介して選択したガスが導入され、エッチングプロセス室2の排気ポート23に設けられた自動圧力調整機24によってプロセスガス圧力に設定される。
この状態において、先ず電磁石12、13、14に設定電流を流し、次にバイアス基板電極20に設定電力を投入した後、高周波コイルすなわちアンテナ15に設定電力を投入してプラズマ生成室1内に磁気中性線放電プラズマを生成させ、生成した磁気中性線放電プラズマはプラズマ生成室1内からエッチングプロセス室2のバイアス基板電極20上へ引き込まれ、マスク基板21上の被エッチング膜のパターニング(エッチング)が行なわれる。
エッチング終了後、電磁石12、13、14、バイアス基板電極20、アンテナ15への電力投入は停止され、その後ガス導入が停止され、エッチングプロセス室2内は高真空に排気される。
こうしてエッチングプロセス室2内のガス抜きを行った後、仕切弁5が開放され、ロボット1のハンド36がエッチングプロセス室2内に挿入され、処理した基板21を収納する。
【0020】
エッチングプロセスが終了したマスク基板21は真空搬送室3へ搬送されるが、それと同時にツイン型ハンド36のもう一方のハンドに乗っている未処理基板がエッチングプロセス室2へ搬送される。
プロセス処理済み基板21は、上述の基板搬送動作と逆の動作によりカセット内の当初と同じ位置に収納される。
すなわち真空搬送室3内では、エッチングプロセス室2にマスク基板21を搬入後、スローベント機構38により大気圧に開放され、次の3枚目の基板をカセットステーション4へ取りにいく。ロボット34のハンド36はツイン型なので、カセットから基板を取り出す側のハンドとカセット内に基板を収納する側のハンドとは区別されている。この場合、カセットから基板を取り出す動作は、上記と同じ仕方で行われる。
【0021】
上記実施例では、半導体用マスク等の磁気中性線放電プラズマを使用したエッチング処理の場合について説明してきたが、CVD等の成膜プロセスやその他の基板処理プロセスに対しても同様に応用できる。
また、上記実施例では、エッチングプロセスだけの動作について説明してきたが、当然複合プロセス用として実施することもできる。
【0022】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明による300mmφのウエハー用のマスク形成用の磁気中性線放電プラズマ処理装置においては、マスク基板の枚葉処理で、NLDプラズマ生成室にて生成されたNLDプラズマをプラズマ生成室と分離したプロセス室内の基板の装着されるバイアス基板電極にバイアスをかけることにより引き込みNLDプラズマの垂直成分エネルギーを利用し、しかもNLD条件を変化させることによって、バイアス基板電極側ヘのプラズマ引き込み状態を基板面内に均一になるよう制御するように構成し、更には磁気中性線放電プラズマ生成室をプロセス室に対して水平方向に移動可能に構成しているので、今後必要とされる300mm φのウエハー用のO.18μmパターン以下の半導体用のマスク基板をマスク内分布がよくしかも優れたマスクパターン形状をもって効率よく製作することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明を大型マスク形成するエッチッグ装置として実施している磁気中性線放電プラズマ処理装置の全体構成を概略的に示す斜視図。
【図2】 図1の装置の概略平面図。
【図3】 図1及び図2に示す装置におけるプラズマ生成室及びエッチッグ室の構成を示す概略断面図。
【図4】 図1及び図2に示す装置における基板搬送室の概略平面図。
【図5】 図4に示す基板搬送室の概略断面図。
【図6】 図1及び図2に示す装置におけるカセットステーションの概略平面図。
【図7】 図6に示すカセットステーションの概略断面図。
【符号の説明】
1:磁気中性線放電プラズマ生成室
2:エッチングプロセス室
3:基板搬送室
4:カセットステーション
5:仕切弁
6:仕切弁
10:円筒状側壁
11:上部天板
12:電磁石
13:電磁石
14:電磁石
15:プラズマ発生用の高周波コイル
16:エッチングプロセスガス導入口
17:シールド板
18:シールド板
20:バイアス基板電極
21:基板
22:基板昇降機構
23:排気ポート
24:自動圧力調整機
25:真空排気ポンプ
26:石英の電極表面材
30:真空搬送室の側壁
31a、31b、31c、31d:開口
32:天板
33:パワーシリンダ装置
34:ロボット
35:アーム
36:ツイン型ハンド
37:整流板
38:スロー排気・スローベント機構
39:基板位置決め用のピン
Claims (7)
- 磁気中性線放電を使用して300mmφのウエハー用のマスク基板をプラズマ処理する磁気中性線放電プラズマ処理装置であって、
磁気中性線放電プラズマを発生する磁気中性線放電プラズマ生成室と、
前記磁気中性線放電プラズマ生成室に隣接して設けられ、前記磁気中性線放電プラズマ生成室内に生成された磁気中性線放電プラズマを引き込むバイアス基板電極を配設したプロセス室と、
処理すべきマスク基板を前記プロセス室内の前記バイアス基板電極に対して搬入、搬出する基板搬送機構を備えた基板搬送室と
を有し、
前記磁気中性線放電プラズマ生成室で発生される磁気中性線放電プラズマを変化させて、前記バイアス基板電極側ヘのプラズマ引き込み状態を基板表面上で均一になるよう制御する磁気中性線放電プラズマ条件設定手段を設け、
前記磁気中性線放電プラズマ生成室が前記プロセス室に対して水平方向に移動可能に構成されていること
を特徴とする磁気中性線放電プラズマ処理装置。 - 処理すべきマスク基板の装着されるプロセス室内のバイアス基板電極が、基板外周部におけるプラズマの乱れを抑制するために基板と同じ厚みの処理面高さ均一化用石英製電極表面材を備えていることを特徴とする請求項1に記載の磁気中性線放電プラズマ処理装置。
- プラズマ生成室が、パーティクルフリーな焼結炭化珪素材からなるシールド部材を備えていることを特徴とする請求項1に記載の磁気中性線放電プラズマ処理装置。
- プロセス室が、常圧焼結型炭化珪素系セラミックで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気中性線放電プラズマ処理装置。
- 基板搬送室の排気時間及び大気開放時間を制御して真空排気及び大気圧解放時にパーティクルの拡散を防ぎ、マスク基板上に付着しないように構成したことを特徴とする請求項1に記載の磁気中性線放電プラズマ処理装置。
- 基板搬送室内に設けられる基板搬送機構が、ツイン型のチタン製ハンドとN2ガスパージ機構を内蔵したアームとから成るマスク基板搬送用ロボットを備えていることを特徴とする請求項1に記載の磁気中性線放電プラズマ処理装置。
- プロセス室が、各々外部に磁場発生機構を備えた複数の室から成り、各プロセス室の外側に、磁場相互干渉を防止するため漏洩磁場防止用シールド部材を設けたことを特徴とする請求項1に記載の磁気中性線放電プラズマ処理装置。
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