JP4006393B2 - 金属製光学素子の製造方法 - Google Patents
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Description
光学素子ブランクの光学面となる部分の純度を99.995モル%以上にした場合、その素材コストが急上昇して製品コストを押し上げる結果を招くため、光学素子ブランクの光学面となる部分の純度は99.995モル%未満にすることが好ましいと言える。なお、不可避不純物の最大粒径が500μm以下に調整されるため、このプレス成形に関する雰囲気を清浄度の高い環境下にて行うことが有効である。
2 光学面
3 コーティング層
4 フランジ部
5 光学素子ブランク
11 ダイホルダ
12 凹成形面
13 ダイス
14 ダイプレート
15 凸成形面
16 ポンチ
Claims (3)
- 最大形状誤差PVが2μm以下、表面あらさRaが10nm以下の成形面を有すると共に超硬合金,工具鋼,サーメット,セラミックスの何れかをベースとして形成された成形型を用い、光学面の最大形状誤差PVが5μm以下、表面あらさRaが20nm以下の形状を有する金属製光学素子を製造する方法であって、
少なくとも前記光学面となる部分がアルミニウム,銅,ニッケル,銀,亜鉛,錫,鉄,チタンの何れか1つを97モル%以上含み、それ以外の不純物の最大粒径が500μm以下に調整された光学素子ブランクを用意するステップと、
前記光学面となる前記光学素子ブランクの部分を平滑化処理するステップと、
平滑化処理された前記光学素子ブランクをプレス成形することにより、前記光学面を後加工することなく前記金属製光学素子を得るステップと
を具えたことを特徴とする金属製光学素子の製造方法。 - 前記成形面は、金属酸化物,金属炭化物,金属窒化物,高密度炭素、貴金属基合金の何れか1つか、あるいはこれらのうちの2種類以上の積層膜にて形成されていることを特徴とする請求項1に記載の金属製光学素子の製造方法。
- 前記プレス成形するステップは、前記光学素子ブランクに対して塑性変形,超塑性変形,クリープ変形の少なくとも1つを与えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の金属製光学素子の製造方法。
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