JP3999732B2 - 波長変換素子の製造方法 - Google Patents
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3をスパッタによって作製する。次に、マスクした第1基板31を、170℃に加熱した安息香酸中に浸漬することによってプロトン交換を行う。室温まで冷却した後に、第1基板表面のSiO2マスク33を、DK3溶液によってエッチング除去し、通常の酸洗浄またはアルカリ洗浄を行うことによって表面の親水化処理を行う(第1工程)。
12 非線形導波路
13 分波器
31 第1基板
32 第2基板
33 SiO2マスク
51 加工基板
52 くし型電極
53 プロトン交換導波路
Claims (5)
- 予めプロトン交換導波路が形成されたZカット基板からなり、厚さ200μm以上の第1基板と、該第1基板と同じ組成物であってZカット基板からなり、厚さ200μm以上の第2基板とを分極の向きが揃うように接合する接合工程と、
該接合工程において接合された第1および第2基板の厚さを調整する調整工程であって、前記接合された第1および第2基板の厚さを200μm以上1mm以下に調整し、および前記接合後の第1基板の厚さと前記接合後の第2基板の厚さとが、それぞれが等しいか、またはおよそ等しくなるように調整する調整工程と、
該調整工程において調整された前記接合された第1および第2基板に、周期的な分極反転構造を形成する形成工程と
を備えたことを特徴とする波長変換素子の製造方法。 - 前記接合工程は、熱処理による拡散接合により、前記第1基板に前記第2基板を接合することを特徴とする請求項1に記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記熱処理の温度は、300℃〜500℃であることを特徴とする請求項2に記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記調整工程は、前記接合された第1および第2基板の表面を、鏡面加工することを含むことを特徴とする請求項1、2または3に記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記第1基板と前記第2基板とは、LiNbO3、KNbO3、LiTaO3、LiNb(x)Ta(1−x)O3(0≦x≦1)、KTiOPO4のいずれかであり、またはこれらにMg、Zn、Sc、Inからなる群から選ばれた少なくとも一種を添加物として含有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の波長変換素子の製造方法。
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