JP3982039B2 - 形状計測装置 - Google Patents

形状計測装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3982039B2
JP3982039B2 JP03188898A JP3188898A JP3982039B2 JP 3982039 B2 JP3982039 B2 JP 3982039B2 JP 03188898 A JP03188898 A JP 03188898A JP 3188898 A JP3188898 A JP 3188898A JP 3982039 B2 JP3982039 B2 JP 3982039B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shutter
light
measurement object
dimensional
shape measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP03188898A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11230727A (ja
Inventor
護俊 安藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP03188898A priority Critical patent/JP3982039B2/ja
Publication of JPH11230727A publication Critical patent/JPH11230727A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3982039B2 publication Critical patent/JP3982039B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光を使用して形状を三次元計測する形状計測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の形状計測装置の一例の概念図である。図中、1は形状計測対象物、2は均一な照明光を下方向に出射する光源、3は光源2の下方に配置されたハーフミラー、4はハーフミラー3の下方に配置されたレンズ、5はCCDカメラである。
【0003】
この形状計測装置は、光源2から出射された照明光をハーフミラー3及びレンズ4を介して形状計測対象物1の表面に照射し、形状計測対象物1の表面からの反射戻り光をレンズ4及びハーフミラー3を介してCCDカメラ5の受光面に入射し、CCDカメラ5により形状計測対象物1の表面を撮像し、形状計測対象物1の表面形状を三次元計測するというものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
図4に示す従来の形状計測装置によれば、形状計測対象物1の表面形状の三次元計測を行うことができるが、形状計測対象物1の表面の傾き角の計測を高速に行うことができないという問題点がある
【0005】
本発明は、かかる点に鑑み、形状計測対象物の表面の傾き角の計測を高速に行うことができるようにした形状計測装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の形状計測装置は、光源と、形状計測対象物に対向させることができるように、光源から出射される光の光路に配置された対物レンズと、開閉状態を個別に制御可能とされた複数のシャッタを二次元的に配置して構成され、光源から出射される光の光路上、対物レンズの結像面側の焦点位置に配置された二次元シャッタと、二次元シャッタを介して形状計測対象物からの反射戻り光を観測する観測手段とを備えているというものである。
【0007】
本発明によれば、二次元シャッタは、光源から出射される光の光路上、対物レンズの結像面側の焦点位置に配置されているので、光源から出射された光のうち、二次元シャッタを通過して対物レンズから形状計測対象物に照射される光は、光軸に平行な光となる。
【0008】
ここに、形状計測対象物の表面が光軸に直交している場合には、形状計測対象物の表面からの反射戻り光も光軸に平行となり、常に開状態とされたシャッタを介して観測手段により観測することができる。
【0009】
これに対して、形状計測対象物の表面が光軸に直交していない場合には、形状計測対象物の表面からの反射戻り光は、光軸に対して傾きをもつことになるので、常に開状態とされるシャッタ以外のシャッタに入射することになる。
【0010】
そこで、二次元シャッタの所定のシャッタを常に開状態とし、常に開状態とするシャッタ以外のシャッタを順に択一的に開状態とし、形状計測対象物からの反射戻り光が通過するシャッタの位置を観測手段により確認することにより、形状計測対象物の表面の傾き角の計測を高速に行うことができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
は本発明の実施形態の概念図である。図中、74は形状計測対象物、75は均一照明光を水平方向に出射する光源、76は光源75から水平方向に出射された光を下方向に反射するハーフミラーである。
【0012】
また、77はハーフミラー76の下方に配置された投射型の液晶表示パネルからなる二次元シャッタ、78は二次元シャッタ77の下方に配置された結像レンズ、79はハーフミラー76の上方に配置された結像レンズ、80は結像レンズ79の上方に配置されたCCDカメラである。
【0013】
なお、二次元シャッタ77は、光源75から出射される光の光路上、結像レンズ78の結像面側の焦点位置に配置され、二次元シャッタ77と結像レンズ78との間隔は、結像レンズ78の焦点距離fとされている。
【0014】
このように構成された本発明の実施形態においては、光源75から水平方向に出射された均一照明光は、ハーフミラー76で下方向に反射されて、二次元シャッタ77に垂直に入射し、二次元シャッタ77を通過した光は、結像レンズ78を介して形状計測対象物74の表面に照射される。
【0015】
そして、形状計測対象物74の表面からの反射戻り光は、結像レンズ78を介して二次元シャッタ77に入射し、二次元シャッタ77を通過した光は、ハーフミラー76及び結像レンズ79を介してCCDカメラ80に入射する。
【0016】
ここに、二次元シャッタ77は、光源75から出射される光の光路上、結像レンズ78の結像面側の焦点位置に配置されているので、光源75から出射され、二次元シャッタ77を通過して結像レンズ78から形状計測対象物74に照射される光は、光軸に平行な光となる。
【0017】
そこで、いずれか1個のシャッタを開状態とした場合、形状計測対象物74の表面が光軸に直交している場合には、形状計測対象物74の表面からの反射戻り光も光軸に平行となり、開状態とされたシャッタを介してCCDカメラ80により観測することができる。
【0018】
これに対して、形状計測対象物74の表面が光軸に直交していない場合には、形状計測対象物74の表面からの反射戻り光は、光軸に対して傾きをもつことになるので、開状態としたシャッタ以外のシャッタに入射することになる。
【0019】
そこで、たとえば、図に示すように、二次元シャッタ77の中央のシャッタ81を常に開状態とし、周辺のシャッタを、たとえば、実線82に沿って、順に択一的に開状態とする。
【0020】
ここに、形状計測対象物74の表面に傾きがなければ、二次元シャッタ77の中央のシャッタ81を通過して結像レンズ78から形状計測対象物74の表面に向かう光は、形状計測対象物74の表面で垂直に反射し、二次元シャッタ77の中央のシャッタ81を通過して結像レンズ79を介してCCDカメラ80に入射することになるので、この場合には、反射戻り光が通過したシャッタとして二次元シャッタ77の中央のシャッタ81がCCDカメラ80により観測されることになる。
【0021】
これに対して、形状計測対象物74の表面に傾きがある場合には、図に示すように、形状計測対象物74に入射する光83は、光軸に対して傾いて反射し、結像レンズ78で集光され、二次元シャッタ77の周辺のシャッタを通過して結像レンズ79を介してCCDカメラ80に入射することになるので、この場合には、反射戻り光が通過したシャッタとして二次元シャッタ77の周辺のシャッタがCCDカメラ80により観測されることになる。
【0022】
このように、本発明の実施形態によれば、たとえば、二次元シャッタ77の中央のシャッタ81を常に開状態とし、周辺のシャッタを順に択一的に開状態とし、形状計測対象物74の表面からの反射戻り光が通過するシャッタの位置をCCDカメラ80により観測することにより、形状計測対象物74の表面の傾き角の計測を高速に行うことができる。
【0023】
【発明の効果】
本発明によれば、二次元シャッタの所定のシャッタを常に開状態とし、常に開状態とするシャッタ以外のシャッタを順に択一的に開状態とし、形状計測対象物からの反射戻り光が透過するシャッタの位置を観測手段により確認することにより、形状計測対象物の表面の傾き角の計測を高速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態の概念図である。
【図2】 本発明の一実施形態が備える二次元シャッタの制御方法を説明するための平面図である
【図3】 本発明の一実施形態の動作を説明するための図である
【図4】 従来の形状計測装置の一例の概念図である
【符号の説明】
74…形状計測対象物
75…光源
76…ハーフミラー
77…二次元シャッタ
78、79…結像レンズ
80…CCDカメラ

Claims (2)

  1. 光源と、
    形状計測対象物に対向させることができるように、前記光源から出射される光の光路に配置された対物レンズと、
    開閉状態を個別に制御可能とされた複数のシャッタを二次元的に配置して構成され、前記光源から出射される光の光路上、前記対物レンズの結像面側の焦点位置に配置された二次元シャッタと、
    前記二次元シャッタを介して前記形状計測対象物からの反射戻り光を観測する観測手段とを備えていることを特徴とする形状計測装置。
  2. 前記観測手段は、前記二次元シャッタのいずれか一のシャッタを開状態とし、他のシャッタを順次開状態とした場合に、前記形状計測対象物からの反射戻り光が通過するシャッタの位置を観測することを特徴とする請求項1記載の形状計測装置
JP03188898A 1998-02-16 1998-02-16 形状計測装置 Expired - Fee Related JP3982039B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03188898A JP3982039B2 (ja) 1998-02-16 1998-02-16 形状計測装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03188898A JP3982039B2 (ja) 1998-02-16 1998-02-16 形状計測装置

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006337968A Division JP2007071892A (ja) 2006-12-15 2006-12-15 形状計測装置
JP2006337982A Division JP2007071893A (ja) 2006-12-15 2006-12-15 形状計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11230727A JPH11230727A (ja) 1999-08-27
JP3982039B2 true JP3982039B2 (ja) 2007-09-26

Family

ID=12343582

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03188898A Expired - Fee Related JP3982039B2 (ja) 1998-02-16 1998-02-16 形状計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3982039B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002131017A (ja) * 2000-10-27 2002-05-09 Honda Motor Co Ltd 距離測定装置、及び距離測定方法
DE102008015499C5 (de) * 2008-03-25 2013-01-10 Steinbichler Optotechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der 3D-Koordinaten eines Objekts

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11230727A (ja) 1999-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6284629B2 (ja) 高エネルギービームの焦点位置を決定する装置および方法
US7071451B2 (en) Autofocus system and microscope
JP5599314B2 (ja) 試料の検査のための方法および光学装置
JP2015135463A (ja) 顕微鏡装置、及び、顕微鏡システム
JP2006509246A (ja) 照明方向に対して垂直な観察方向を有する顕微鏡
US12105271B2 (en) Microscope and method for microscopic image recording with variable illumination
JP2009053209A (ja) 3次元形状測定装置
JP5424267B2 (ja) マイクロレンズ露光装置
JP2017167535A (ja) ライトフィールド顕微鏡および照明方法
TWI497031B (zh) 產生一物體之一影像的光學裝置及方法
JP2010072014A (ja) 顕微鏡装置
JP6217748B2 (ja) 屈折率測定装置
JP2007078485A (ja) オートコリメータ及びそれを用いた角度測定装置
JP3982039B2 (ja) 形状計測装置
JPH07324923A (ja) 被験表面にテストパターンを投影する装置
JP4716686B2 (ja) 顕微鏡装置
JP3703418B2 (ja) 飛翔物体位置測定方法及び装置
KR101239409B1 (ko) 2d 형상 정보와 3d 형상 정보의 동시 획득이 가능하며 레이저와 백색광을 광원으로 한 위상천이기반 형상측정장치 및 형상측정방법
JPH085344A (ja) 3次元形状入力装置
TWI597474B (zh) Measuring device
JP5131552B2 (ja) 顕微鏡装置
JP6791081B2 (ja) 屈折率測定装置及び屈折率測定方法
JPH10176906A (ja) 測定装置
JP3635267B2 (ja) 粒子特徴量撮影計測装置
JP3299144B2 (ja) 近接露光に適用される位置検出装置及び位置検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061017

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061215

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070612

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070625

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100713

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100713

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110713

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110713

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120713

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120713

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130713

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees