JP3982039B2 - 形状計測装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光を使用して形状を三次元計測する形状計測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は従来の形状計測装置の一例の概念図である。図4中、1は形状計測対象物、2は均一な照明光を下方向に出射する光源、3は光源2の下方に配置されたハーフミラー、4はハーフミラー3の下方に配置されたレンズ、5はCCDカメラである。
【0003】
この形状計測装置は、光源2から出射された照明光をハーフミラー3及びレンズ4を介して形状計測対象物1の表面に照射し、形状計測対象物1の表面からの反射戻り光をレンズ4及びハーフミラー3を介してCCDカメラ5の受光面に入射し、CCDカメラ5により形状計測対象物1の表面を撮像し、形状計測対象物1の表面形状を三次元計測するというものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
図4に示す従来の形状計測装置によれば、形状計測対象物1の表面形状の三次元計測を行うことができるが、形状計測対象物1の表面の傾き角の計測を高速に行うことができないという問題点がある。
【0005】
本発明は、かかる点に鑑み、形状計測対象物の表面の傾き角の計測を高速に行うことができるようにした形状計測装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の形状計測装置は、光源と、形状計測対象物に対向させることができるように、光源から出射される光の光路に配置された対物レンズと、開閉状態を個別に制御可能とされた複数のシャッタを二次元的に配置して構成され、光源から出射される光の光路上、対物レンズの結像面側の焦点位置に配置された二次元シャッタと、二次元シャッタを介して形状計測対象物からの反射戻り光を観測する観測手段とを備えているというものである。
【0007】
本発明によれば、二次元シャッタは、光源から出射される光の光路上、対物レンズの結像面側の焦点位置に配置されているので、光源から出射された光のうち、二次元シャッタを通過して対物レンズから形状計測対象物に照射される光は、光軸に平行な光となる。
【0008】
ここに、形状計測対象物の表面が光軸に直交している場合には、形状計測対象物の表面からの反射戻り光も光軸に平行となり、常に開状態とされたシャッタを介して観測手段により観測することができる。
【0009】
これに対して、形状計測対象物の表面が光軸に直交していない場合には、形状計測対象物の表面からの反射戻り光は、光軸に対して傾きをもつことになるので、常に開状態とされるシャッタ以外のシャッタに入射することになる。
【0010】
そこで、二次元シャッタの所定のシャッタを常に開状態とし、常に開状態とするシャッタ以外のシャッタを順に択一的に開状態とし、形状計測対象物からの反射戻り光が通過するシャッタの位置を観測手段により確認することにより、形状計測対象物の表面の傾き角の計測を高速に行うことができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施形態の概念図である。図1中、74は形状計測対象物、75は均一照明光を水平方向に出射する光源、76は光源75から水平方向に出射された光を下方向に反射するハーフミラーである。
【0012】
また、77はハーフミラー76の下方に配置された投射型の液晶表示パネルからなる二次元シャッタ、78は二次元シャッタ77の下方に配置された結像レンズ、79はハーフミラー76の上方に配置された結像レンズ、80は結像レンズ79の上方に配置されたCCDカメラである。
【0013】
なお、二次元シャッタ77は、光源75から出射される光の光路上、結像レンズ78の結像面側の焦点位置に配置され、二次元シャッタ77と結像レンズ78との間隔は、結像レンズ78の焦点距離fとされている。
【0014】
このように構成された本発明の一実施形態においては、光源75から水平方向に出射された均一照明光は、ハーフミラー76で下方向に反射されて、二次元シャッタ77に垂直に入射し、二次元シャッタ77を通過した光は、結像レンズ78を介して形状計測対象物74の表面に照射される。
【0015】
そして、形状計測対象物74の表面からの反射戻り光は、結像レンズ78を介して二次元シャッタ77に入射し、二次元シャッタ77を通過した光は、ハーフミラー76及び結像レンズ79を介してCCDカメラ80に入射する。
【0016】
ここに、二次元シャッタ77は、光源75から出射される光の光路上、結像レンズ78の結像面側の焦点位置に配置されているので、光源75から出射され、二次元シャッタ77を通過して結像レンズ78から形状計測対象物74に照射される光は、光軸に平行な光となる。
【0017】
そこで、いずれか1個のシャッタを開状態とした場合、形状計測対象物74の表面が光軸に直交している場合には、形状計測対象物74の表面からの反射戻り光も光軸に平行となり、開状態とされたシャッタを介してCCDカメラ80により観測することができる。
【0018】
これに対して、形状計測対象物74の表面が光軸に直交していない場合には、形状計測対象物74の表面からの反射戻り光は、光軸に対して傾きをもつことになるので、開状態としたシャッタ以外のシャッタに入射することになる。
【0019】
そこで、たとえば、図2に示すように、二次元シャッタ77の中央のシャッタ81を常に開状態とし、周辺のシャッタを、たとえば、実線82に沿って、順に択一的に開状態とする。
【0020】
ここに、形状計測対象物74の表面に傾きがなければ、二次元シャッタ77の中央のシャッタ81を通過して結像レンズ78から形状計測対象物74の表面に向かう光は、形状計測対象物74の表面で垂直に反射し、二次元シャッタ77の中央のシャッタ81を通過して結像レンズ79を介してCCDカメラ80に入射することになるので、この場合には、反射戻り光が通過したシャッタとして二次元シャッタ77の中央のシャッタ81がCCDカメラ80により観測されることになる。
【0021】
これに対して、形状計測対象物74の表面に傾きがある場合には、図3に示すように、形状計測対象物74に入射する光83は、光軸に対して傾いて反射し、結像レンズ78で集光され、二次元シャッタ77の周辺のシャッタを通過して結像レンズ79を介してCCDカメラ80に入射することになるので、この場合には、反射戻り光が通過したシャッタとして二次元シャッタ77の周辺のシャッタがCCDカメラ80により観測されることになる。
【0022】
このように、本発明の一実施形態によれば、たとえば、二次元シャッタ77の中央のシャッタ81を常に開状態とし、周辺のシャッタを順に択一的に開状態とし、形状計測対象物74の表面からの反射戻り光が通過するシャッタの位置をCCDカメラ80により観測することにより、形状計測対象物74の表面の傾き角の計測を高速に行うことができる。
【0023】
【発明の効果】
本発明によれば、二次元シャッタの所定のシャッタを常に開状態とし、常に開状態とするシャッタ以外のシャッタを順に択一的に開状態とし、形状計測対象物からの反射戻り光が透過するシャッタの位置を観測手段により確認することにより、形状計測対象物の表面の傾き角の計測を高速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態の概念図である。
【図2】 本発明の一実施形態が備える二次元シャッタの制御方法を説明するための平面図である。
【図3】 本発明の一実施形態の動作を説明するための図である。
【図4】 従来の形状計測装置の一例の概念図である。
【符号の説明】
74…形状計測対象物
75…光源
76…ハーフミラー
77…二次元シャッタ
78、79…結像レンズ
80…CCDカメラ
Claims (2)
- 光源と、
形状計測対象物に対向させることができるように、前記光源から出射される光の光路に配置された対物レンズと、
開閉状態を個別に制御可能とされた複数のシャッタを二次元的に配置して構成され、前記光源から出射される光の光路上、前記対物レンズの結像面側の焦点位置に配置された二次元シャッタと、
前記二次元シャッタを介して前記形状計測対象物からの反射戻り光を観測する観測手段とを備えていることを特徴とする形状計測装置。 - 前記観測手段は、前記二次元シャッタのいずれか一のシャッタを開状態とし、他のシャッタを順次開状態とした場合に、前記形状計測対象物からの反射戻り光が通過するシャッタの位置を観測することを特徴とする請求項1記載の形状計測装置。
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JP03188898A JP3982039B2 (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | 形状計測装置 |
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JP03188898A JP3982039B2 (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | 形状計測装置 |
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JPH11230727A JPH11230727A (ja) | 1999-08-27 |
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- 1998-02-16 JP JP03188898A patent/JP3982039B2/ja not_active Expired - Fee Related
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