JP3979172B2 - 純水の製造方法及び装置並びにスケールモニター装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶、製薬、食品、電力等の分野の各種産業、民生用、又は研究設備で利用される脱イオン水を、電気脱イオン装置を用いて製造する純水の製造方法及び装置に係り、特に電気脱イオン装置でのスケール発生を防止して長期に亘り安定かつ効率的に純水を製造する方法及び装置に関する。また、本発明は、このためのスケールモニター装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工場、液晶製造工場、製薬工業、食品工業、電力工業等の各種の産業又は民生用ないし研究施設等において使用される脱イオン水の製造に、電気脱イオン装置が広く用いられている。この電気脱イオン装置として、図3に示す如く、電極(陽極11,陰極12)の間に複数のアニオン交換膜13及びカチオン交換膜14を交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成し、脱塩室16にイオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体及びカチオン交換体を混合もしくは複層状に充填したものがある(特許第1782943号、特許第2751090号、特許第2699256号)。なお、図3において、17は陽極室、18は陰極室である。
【0003】
電気脱イオン装置は、水解離によってH+イオンとOH−イオンを生成させ、脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続して再生することによって、効率的な脱塩処理が可能であり、従来から広く用いられてきたイオン交換樹脂装置のような薬品を用いた再生処理を必要とせず、完全な連続採水が可能で、高純度の水が得られるという優れた効果を発揮する。
【0004】
この電気脱イオン装置では、濃縮室において炭酸カルシウムを主体としたスケールが析出し、濃縮室が閉塞して連続運転が困難になることがある。
【0005】
電気脱イオン装置における炭酸カルシウムスケール発生のメカニズムを図4に概略的に示す。濃縮室15内のカルシウムイオンは、アニオン交換膜13面に濃縮される。一方、脱塩室16内の炭酸イオン、重炭酸イオン及び水解離によって生じたOH−イオンはアニオン交換膜13を通じて濃縮室15に移動する。このため濃縮室15側のアニオン交換膜13の膜面直近領域では、高濃度の炭酸イオン、重炭酸イオン、カルシウムイオンが存在し、かつOH−イオンにより高pHとなっている。このため、高濃度の重炭酸イオン、炭酸イオン、カルシウムイオンが含まれる供給水を通水した場合や、電気脱イオン装置を高回収率で運転し、高濃度のカルシウムイオンが濃縮室に存在する場合に、アニオン交換膜面に炭酸カルシウムのスケールが発生しやすい。
【0006】
従来より、炭酸カルシウム由来のスケール析出の有無の判定には、ランジェリア指数が用いられているが、上述のように電気脱イオン装置内では水解離が生じており、局所的にアルカリ部分が生じていることより、ランジェリア指数をスケール析出の指標とすることができなかった。また、CO2、シリカ、ホウ素等の弱イオン性物質を除去するために、高電流を流す電気脱イオン装置では、微量のCa、無機炭酸(以下「IC」と呼ぶ。)濃度下でもスケールが発生してしまい、その都度、HClなどの酸洗浄を実施する必要があった。
【0007】
特開2001−314865号公報には、電気脱イオン装置を用いて純水を製造するに当り、炭酸カルシウム発生の指標を明確にすることにより、電気脱イオン装置におけるスケールの発生を確実に防止して、長期安定運転を可能とする純水の製造方法として、下記式で算出されるスケール指標数値SIが200以下となる条件で電気脱イオン装置を運転する方法が記載されている。
スケール指標数値SI=IC膜面積負荷量(mg−CO2/h・dm2)×濃縮水Ca濃度(mg−CaCO3/L)
(ただし、IC膜面積負荷量(mg−CO2/h・dm2)は、該電気脱イオン装置のアニオン交換膜面積(dm2)当たりのIC負荷量(mg−CO2/h)であり、濃縮水Ca濃度は濃縮室流出水のCa濃度(CaCO3換算)である。)
【0008】
なお、電気脱イオン装置のIC負荷量(mg−CO2/h)は、電気脱イオン装置の供給水のIC濃度(mg−CO2/L)に流量(L/h)を掛けることにより求められ、従って、IC膜面積負荷量(mg−CO2/h・dm2)は、
供給水のIC濃度(mg−CO2/L)×セル当たりの流量(L/h)÷セル有効アニオン交換膜面積(dm2)
で算出される。
【0009】
このスケール指標数値SIを規定値以下にすることにより、電気脱イオン装置の濃縮室内での炭酸カルシウムスケールの析出を確実に防止することができ、該電気脱イオン装置を長期間に亘って安定に運転することが可能となる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記特開2001−314865号の方法により電気脱イオン装置を運転する場合、電気脱イオン装置に供給される原水中のIC濃度と濃縮水のCa濃度とをモニタリングし、これに基づいて電気脱イオン装置を制御する必要がある。
【0011】
本発明は、このような濃度のモニタリングを行うまでもなく電気脱イオン装置におけるスケール発生を防止又は抑制することができる純水の製造方法及び装置並びにスケールモニター装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の純水の製造方法は、陽極と陰極との間に複数のアニオン交換膜とカチオン交換膜とを配列して濃縮室と脱塩室とを形成してなる電気脱イオン装置を用い、原水を該電気脱イオン装置の脱塩室に導入し、該脱塩室の流出水を処理水として取り出す純水の製造方法において、少なくとも陽極、陰極及びこれらの間に配設されたアニオン交換膜を有したスケールモニター装置に原水及び/又は前記電気脱イオン装置からの濃縮水を流通させてスケール発生傾向を検出し、この検出結果に基づいて前記電気脱イオン装置の運転条件を制御して該電気脱イオン装置におけるスケール発生を防止又は抑制することを特徴とするものである。
【0013】
本発明の純水製造装置は、陽極と陰極との間に複数のアニオン交換膜とカチオン交換膜とを配列して濃縮室と脱塩室とを形成してなる電気脱イオン装置を備えた純水製造装置において、少なくとも陽極、陰極及びこれらの間に配置されたアニオン交換膜を有し、原水及び/又は該電気脱イオン装置からの濃縮水が流通されるスケール発生傾向検出用スケールモニター装置と、該スケールモニター装置で検出されたスケール発生傾向に基づいて、該電気脱イオン装置におけるスケール発生を防止又は抑制するように該電気脱イオン装置の運転条件を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
【0014】
本発明のスケールモニター装置は、電気脱イオン装置におけるスケール発生傾向を検出するためのモニター装置であって、少なくとも陽極、陰極及びこれらの間に配置されたアニオン交換膜を有し、原水及び/又は電気脱イオン装置からの濃縮水が流通されるものである。
【0015】
かかる本発明によると、電気脱イオン装置を模擬したスケールモニター装置に原水及び/又は電気脱イオン装置濃縮水を通水し、このスケールモニター装置のスケール発生傾向に基づいて電気脱イオン装置を制御するので、電気脱イオン装置のスケール発生を確実に防止又は抑制することができる。
【0016】
スケールモニター装置のスケール発生傾向は、スケールモニター装置の印加電圧及び/又は電流により検出するのが好ましい。
【0017】
このスケールモニター装置では、電気脱イオン装置よりもスケール発生傾向が高い条件で運転される。このスケール発生傾向は、例えば上記スケール指標数値SIによって判断される。なお、このスケールモニター装置において、SI値を算出する場合、濃縮側の流出水のCa濃度としては、アニオン交換膜に接した、且つ該アニオン交換膜よりも陽極側の室からの流出水のCa濃度を充てるものとする。
【0018】
スケールモニター装置のスケール発生傾向を電気脱イオン装置のスケール発生傾向よりも高くするには、
電気脱イオン装置の濃縮排水をスケールモニター装置に通水する方法、
スケールモニター装置の回収率を電気脱イオン装置より高くする方法、
スケールモニター装置のアニオン交換膜1dm2当りの炭酸イオン及び重炭酸イオン移動量を電気脱イオン装置より高くする方法、及び
スケールモニター装置の電流密度を電気脱イオン装置より高くする方法
の少なくとも1つの方法を採用するのが好ましい。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は実施の形態に係る純水製造装置のブロック図である。
【0020】
この純水製造装置は、電気脱イオン装置1と、スケールモニター装置2とを備えている。この電気脱イオン装置1は前記図3と全く同一の構成のものであり、電極(陽極11,陰極12)の間に複数のアニオン交換膜13及びカチオン交換膜14を交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成し、脱塩室16にイオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体及びカチオン交換体を混合もしくは複層状に充填した構成を有する。なお、図1では、各部材ないし室11〜16は図示が省略されている。この電気脱イオン装置1においても、前記図3の場合と同じく、脱塩室16及び濃縮室15にそれぞれ原水が供給され、脱塩室16から希釈水が取り出され、濃縮室15から濃縮水が取り出される。濃縮水の一部は装置外に排出され、残部はポンプによって濃縮室15に戻される。この循環される濃縮水に対し所定量の原水が添加される。
【0021】
図1に示すスケールモニター装置2は、陽極3と陰極4との間に陽極電極室5、アニオン交換膜6、脱塩室7、カチオン交換膜8及び陰極電極室9のみをこの順に配置したものである。脱塩室7には電気脱イオン装置1の脱塩室と同じイオン交換樹脂が充填されている。アニオン交換膜及びカチオン交換膜は電気脱イオン装置1のアニオン交換膜及びカチオン交換膜と同一のものである。
【0022】
陽極電極室5に電気脱イオン装置1の濃縮水が通水され、脱塩室7及び陰極電極室9に原水が通水される。陽極3と陰極4との間に電圧を印加した状態で上記のように濃縮水及び原水が通水される。
【0023】
このように、電気脱イオン装置1の濃縮水を陽極電極室5に通水することにより、スケールモニター装置2のアニオン交換膜6の膜面の陽極電極室側におけるCa濃度を、電気脱イオン装置1のアニオン交換膜膜面の濃縮室側と同じにしている。この実施の形態にあっては、脱塩室7に通水する原水量を調整し、アニオン交換膜6のICの膜面積負荷を電気脱イオン装置のアニオン交換膜における膜面積負荷よりも大きくし、電気脱イオン装置1よりもスケールモニター装置2のアニオン交換膜6膜面をスケールが生成し易い環境としている。即ち、スケールモニター装置2は電気脱イオン装置1よりもスケール発生傾向が高くなっている。
【0024】
そのため、この電気脱イオン装置1及びスケールモニター装置2よりなる純水製造装置を運転しながらスケールモニター装置2でのスケール発生傾向をモニターし、スケールモニター装置2でスケールの生成が認められたときには、電気脱イオン装置1の運転条件をスケール発生を防止ないし抑制するように変化させる。
【0025】
具体的には、スケールモニター装置2の陽極3と陰極4との間に定電圧装置により定電圧を印加して運転している場合には、陽極3と陰極4との間の電流値が低下したときには、スケールモニター装置2内でスケールが析出してきたと判定し、且つこの電流値の低下度合からスケール発生量を知ることができる。
【0026】
また、スケールモニター装置2の陽極3と陰極4との間に定電流装置により定電流を通電して運転している場合には、陽極3と陰極4との間の電圧値が上昇しているときには、スケールモニター装置2内でスケールが析出してきたと判定し、且つこの電圧値の上昇度合からスケール発生量を知ることができる。
【0027】
前記の通り、スケールモニター装置2は、その陽極電極室5に電気脱イオン装置1の濃縮水が流通され、電気脱イオン装置1よりもアニオン交換膜面にスケールが析出し易い環境とされているので、スケールモニター装置2でスケール発生を検知した段階で電気脱イオン装置1の運転条件をスケール防止側に変化させることにより、電気脱イオン装置1でのスケール発生を確実に防止することができる。
【0028】
電気脱イオン装置の運転条件をスケール防止側に変化させるには、例えば、
電流密度を低下させる、
濃縮水の排出量を増加させる、
などの運転条件変更を行う。
【0029】
本発明では、スケールモニター装置の構成を、図2の通り、より簡略化してもよい。図2のスケールモニター装置2’は、陽極3と陰極4との間に陽極電極室5、アニオン交換膜6及び脱塩室7のみをこの順に配置したものである。このスケールモニター装置2’においても、アニオン交換膜6の膜面(陽極電極室5側の膜面)のスケールの発生傾向をモニターすることができる。
【0030】
本発明では、陽極電極室5に電気脱イオン装置1の濃縮水を通水する方法以外にも、
スケールモニター装置2,2’の希釈水回収率を電気脱イオン装置1の希釈水回収率よりも高くする方法;
スケールモニター装置2,2’のアニオン交換膜6の単位面積(1dm2)当りの炭酸イオン、重炭酸イオン移動量を電気脱イオン装置1のアニオン交換膜におけるよりも高くする方法;
スケールモニター装置2,2’の電流密度を電気脱イオン装置1よりも高くする方法;
により、スケールモニター装置のスケール発生傾向を電気脱イオン装置1よりも高くすることができる。これらの方法は、いずれか1つ又は2以上を組み合わせて採用してもよい。
【0031】
なお、図1の純水製造装置において、電気脱イオン装置1の濃縮水をスケールモニター装置2の陽極電極室5に通水することで、アニオン交換膜6の濃縮側のCa濃度を電気脱イオン装置1のアニオン交換膜の濃縮側と同じにし、脱塩室7へ供給する原水量を多くし、IC膜面積負荷を電気脱イオン装置1より大きくした場合において、原水のCO2濃度又はCa濃度が変動したときの電気脱イオン装置1及びスケールモニター装置2におけるSI値の変化の一例を表1,2に示す。
【0032】
表1は、Ca濃度が0.2mg−CaCO3/Lと一定のときに原水のCO2濃度が変化した場合のSI値変化
【0033】
【表1】
【0034】
表2は、CO2濃度が10mg−CaCO3/Lと一定のときに原水のCa濃度が変化した場合のSI値変化である。
【0035】
【表2】
【0036】
表1,2の通り、いずれの場合もスケールモニター装置2のSI値が高く、スケールモニター装置2でスケールが生成し易いことが明らかである。
【0037】
また、図1の純水製造装置において、スケールモニター装置2に定電流装置を用いて0.45Aの定電流を通電したところ、印加電圧は約10Vとほぼ一定であった。この状態で、試験的に、原水に塩化カルシウム水溶液を添加して原水中のCa濃度を0.3mg/Lから4.0mg−CaCO3/Lにまで高めて通水を行った。その結果、印加電圧は0.25V/hの速度で上昇した。なお、その後、スケールモニター装置を分解して検査したところ、Ca添加開始後、4時間でスケールが生成し始めたことが認められた。
【0038】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の純水の製造方法及び装置によれば、電気脱イオン装置の濃縮室におけるスケールの発生を防止ないし抑制して、長期に亘り安定かつ効率的な純水の製造を行うことができる。また、本発明のスケールモニター装置によれば、電気脱イオン装置におけるスケール発生を簡便にモニタリングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態に係る純水製造装置のブロック図である。
【図2】別の実施の形態に係るスケールモニター装置の模式的な断面図である。
【図3】電気脱イオン装置の一般的な構成を示す模式的な断面図である。
【図4】電気脱イオン装置におけるイオンの移動状況を説明する模式図である。
【符号の説明】
1 電気脱イオン装置
2,2’ スケールモニター装置
3 陽極
4 陰極
5 陽極電極室
6 アニオン交換膜
7 脱塩室
8 カチオン交換膜
9 陰極電極室
11 陽極
12 陰極
13 アニオン交換膜
14 カチオン交換膜
15 濃縮室
16 脱塩室
17 陽極室
18 陰極室
Claims (10)
- 陽極と陰極との間に複数のアニオン交換膜とカチオン交換膜とを配列して濃縮室と脱塩室とを形成してなる電気脱イオン装置を用い、
原水を該電気脱イオン装置の脱塩室に導入し、該脱塩室の流出水を処理水として取り出す純水の製造方法において、
少なくとも陽極、陰極及びこれらの間に配設されたアニオン交換膜を有したスケールモニター装置に原水及び/又は前記電気脱イオン装置からの濃縮水を流通させてスケール発生傾向を検出し、
この検出結果に基づいて前記電気脱イオン装置の運転条件を制御して該電気脱イオン装置におけるスケール発生を防止又は抑制することを特徴とする純水の製造方法。 - 請求項1において、前記スケール発生傾向を検出するために、前記スケールモニター装置の陽極と陰極との間の印加電流及び/又は両者の間の通電電流を検出することを特徴とする純水の製造方法。
- 請求項1又は2において、前記スケールモニター装置を前記電気脱イオン装置よりもスケール発生傾向が高い条件で運転することを特徴とする純水の製造方法。
- 請求項3において、下記式で算出される、前記電気脱イオン装置及びスケールモニター装置におけるスケール指標数値SIが、前記電気脱イオン装置よりも前記スケールモニター装置において高くなるように該スケールモニター装置を運転することを特徴とする純水の製造方法。
スケール指標数値SI=IC膜面積負荷量(mg−CO2/h・dm2)×濃縮水Ca濃度(mg−CaCO3/L)
(ただし、IC膜面積負荷量(mg−CO2/h・dm2)は、各装置におけるアニオン交換膜面積(dm2)当たりの無機炭酸負荷量(mg−CO2/h)であり、濃縮水Ca濃度は各装置における濃縮側の流出水のCa濃度(CaCO3換算)である。) - 請求項3又は4において、前記スケールモニター装置を前記電気脱イオン装置よりもスケール発生傾向が高い条件で運転するために、
前記電気脱イオン装置の濃縮排水をスケールモニター装置に通水する方法、
スケールモニター装置の回収率を電気脱イオン装置より高くする方法、
スケールモニター装置のアニオン交換膜1dm2当りの炭酸イオン及び重炭酸イオン移動量を電気脱イオン装置より高くする方法、及び
スケールモニター装置の電流密度を電気脱イオン装置より高くする方法
の少なくとも1つの方法を採用することを特徴とする純水の製造方法。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、前記スケールモニター装置の検出結果に基づき、電気脱イオン装置の印加電圧及び/又は回収率を制御してスケール発生を防止又は抑制することを特徴とする純水の製造方法。
- 陽極と陰極との間に複数のアニオン交換膜とカチオン交換膜とを配列して濃縮室と脱塩室とを形成してなる電気脱イオン装置を備えた純水製造装置において、
少なくとも陽極、陰極及びこれらの間に配置されたアニオン交換膜を有し、原水及び/又は該電気脱イオン装置からの濃縮水が流通されるスケール発生傾向検出用スケールモニター装置と、
該スケールモニター装置で検出されたスケール発生傾向に基づいて、該電気脱イオン装置におけるスケール発生を防止又は抑制するように該電気脱イオン装置の運転条件を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする純水製造装置。 - 電気脱イオン装置におけるスケール発生傾向を検出するためのモニター装置であって、
少なくとも陽極、陰極及びこれらの間に配置されたアニオン交換膜を有し、原水及び/又は電気脱イオン装置からの濃縮水が流通されるスケール発生傾向検出用スケールモニター装置。 - 請求項8において、前記陽極及び陰極の間に陽極電極室、カチオン交換膜、脱塩室、アニオン交換膜及び陰極電極室のみがこの順に配置されていることを特徴とするスケールモニター装置。
- 請求項8において、前記陽極及び陰極の間に脱塩室、アニオン交換膜及び陰極電極室のみがこの順に配置されていることを特徴とするスケールモニター装置。
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