JP3976421B2 - 光半導体装置のモジュール - Google Patents
光半導体装置のモジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP3976421B2 JP3976421B2 JP29700298A JP29700298A JP3976421B2 JP 3976421 B2 JP3976421 B2 JP 3976421B2 JP 29700298 A JP29700298 A JP 29700298A JP 29700298 A JP29700298 A JP 29700298A JP 3976421 B2 JP3976421 B2 JP 3976421B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- light
- sealing body
- optical semiconductor
- resin sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 69
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 48
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 42
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 39
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 39
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/16—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
- H01L25/167—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits comprising optoelectronic devices, e.g. LED, photodiodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
- H01L2924/1815—Shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3025—Electromagnetic shielding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
- H01L33/54—Encapsulations having a particular shape
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光半導体装置を実装した光半導体モジュールに関するもので、特に光半導体装置の構造を薄くし、この薄い樹脂封止体の側面から光を射出(または入射)させるものであり、光の反射による誤動作を防止した光半導体装置のモジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
最近、サブノートパソコン、携帯情報端末、電子スチルカメラ等のマルチメディア機器がめざましい発展を遂げている。
【0003】
しかも携帯機器は、年間700万台も販売され、約8割がIrDA(Infrared Data Association)規格の赤外線方式を採用している。つまり外部機器と本体との赤外線信号を介した送受信が必要で、そこには、赤外線を発光する発光素子、赤外線を受光する受光素子が必要となってくる。
【0004】
またMDやCD等の光学式記録再生装置で用いられる光学ヘッドは、光学記録媒体へビームを照射して光学記録媒体からの変調されたビームを検出することにより、情報の記録や再生を行う。やはりここでも発光素子、受光素子が必要となってくる。
【0005】
しかしこれら発光素子、受光素子は、小型化が実現されていない。
例えば、図10は、特公平7−28085号公報の技術を説明するもので、半導体レーザ1が半導体基板2に直接配置され、断面形状が台形のプリズム3が半導体基板2に固定されている。なお図番4は、光学記録媒体である。
半導体レーザ1と対向しているプリズム3の傾斜面5は半透過反射面で、半導体基板2と対接しているプリズム面6は、光検出器(受光素子)7以外の部分が、また面6と対向しているプリズム面8は、共に反射面となっている。
【0006】
半導体レーザ1から発光され、傾斜面5からプリズム3に入射したビーム9は、反射面6と8で反射されてから、光検出器7で検出される。
【0007】
一方、図11は、赤外線データ通信モジュール11で、赤外線LED、LEDドライバ、PINフォトダイオード、アンプ等が内蔵されている。例えば基板に前記LEDが実装され、ここから射出される光は、レンズ12を介して外部へ放出される。また前記基板に実装されたフォトダイオードには、レンズ13を介してモールド11内に入射される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
前述のモジュールに於いて、半導体基板上に光学機器が実装され、また半導体基板のモールド体の上に更にレンズが実装されたりするため、これらを組み込んだセットは、小型化が実現できない問題があった。
【0009】
そこで本出願人は、特願平10−218196号公報にて図7の如き構造を発明している。詳細な構造は、実施例にて説明するが、その概略は、樹脂封止体を透明樹脂とし、この樹脂封止体に反射面を有する溝を設け、この反射面を介して前記樹脂封止体の側面から光を発光したり、光を入射する光半導体装置である。
【0010】
しかしながら、樹脂は、例えば赤外線870nmまたは950nmを透過する樹脂から成るが、本来この波長の光のみを選択的に透過させることは難しく、光のノイズで誤動作を発生する問題があった。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は前述の課題に鑑みて成され、第1に、光半導体装置を実装する実装基板と前記溝を面対向させ、前記光半導体装置の樹脂封止体に対応する前記実装基板の領域では、配線を回避させる事で解決するものである。
【0012】
第2に、上面を発光面とする半導体チップが前記樹脂封止体に封止され、前記発光面の垂線と所定の角度で交差する反射面が前記樹脂封止体上面に設けられて成る溝とを有する事で解決するものである。
【0013】
第3に、側面を発光面とする半導体装置を前記樹脂封止体に封止することで解決するものである。
【0014】
第4に、前記リードの端部を、前記溝が設けられる表面に延在し、前記光半導体装置の樹脂封止体に対応する前記実装基板の領域には、前記リードの端部が電気的に接続される電極のみを設けることで解決するものである。
【0015】
第5に、前記光が入射および/または発光される前記樹脂封止体の側面にはレンズを設ける事で解決するものである。
【0016】
樹脂モールド体である透明封止体に反射面を有する溝を形成すれば、光は、樹脂封止体の厚みの薄い側面から入射(または発射)させることができ、プリズム等の光学機器を省略できる。しかも支持基板が上になるようにリードを曲げると、半導体チップは、実装基板と支持基板でサンドウィッチされるため、透明な樹脂への光浸入を防止できる。
【0017】
また光半導体装置を実装する実装基板が配置される側の面を上に、溝が形成される側の面を下向きにして実装することで、実装基板が光の遮光板として働く。
【0018】
更には、図3のように、樹脂封止体と実装基板の間にパターン化された配線が通過すると、この配線が反射板となり、光を受光する光半導体装置に入射し、誤動作を引き起こす。そのためこの配線を回避させて、光のノイズによる誤動作を防止した。
【0019】
【発明の実施の形態】
まず、本発明のポイントは、本光半導体装置を例えばプリント基板、セラミック基板、金属基板またはフレキシブルシート等の実装基板に設置する際に非常な効果を有するが、その前に、透明な封止体に溝を形成する事の説明を図5〜図7を参照しながら説明する。
【0020】
図は理解のために、図5には、光の出し入れが行われる側面にレンズが設けられ、実装基板が遮光板として機能するように上に配置された光半導体装置の斜視図を示し、図6は、図5の光半導体装置を上から見た平面図を示す。また図7bは、図5の光半導体装置を下から見た下面図であり、図7aは、図7aを紙面の上から下向かって見た断面図で、半導体装置は、発光素子である。また図7Cは、紙面の下から上に向かって見た断面図で、半導体装置は受光用ホトICである。
【0021】
まず支持基板としては、リードフレーム等の金属基板、また他に回路部品を載せて一体化させるためには、半導体チップを実装させるためのランドパターン、配線パターン等が実装されたプリント基板、セラミック基板、少なくとも表面が絶縁処理された金属基板またはフレキシブルシートでも良い。
【0022】
ここでは、図7で示すようにリードフレームを採用して説明する。このリードフレームは、アイランド21とリード22により構成され、ここではCuより成り、この上に発光部となる半導体チップ23、受光部となる半導体チップ24が半田や銀ペースト等の固着手段を介して固定されている。
【0023】
また半導体チップ23は、例えば赤外LED、レーザ等の発光素子であり、駆動回路が一体になっていても良い。また半導体チップ24は、フォトICであり、PINダイオード等が形成され、やはり駆動回路が一体のものでよい。これらの半導体チップの周囲には、ボンディングパッドが形成され、これに対応して、チップの周囲から外部へ複数のリード22が延在され、この間を金属細線で接続している。
【0024】
そしてリードの先端および半導体チップは、光に対して透明な樹脂封止体25で封止されている。ここで封止材25としては光に対して透明であれば良く、材料は特に選ばない。そしてこの封止体25には、反射面26を持つ溝27が設けられている。
【0025】
本光半導体装置のポイントは、前記反射面26にあり、この反射面は封止体25に溝を形成することで構成され、これにより封止体25の側面Eから光の射出、側面Eへの入射が可能となる。ここでは、レンズL1、L2が一体で形成され、発光素子23から出た光が90度に反射されてレンズL1から発射される。またレンズL2で外部から入ってくる光がまとめられ、90度に曲げられ受光素子に照射される。
【0026】
一般には、発光部や受光部を構成する半導体チップは、従来例で説明したように、この上に、プリズムやレンズを構成して半導体装置となるため、これを使用したモジュールやセットは、セット自身の厚みが厚く、高価となり、しかもこの上や周辺に光学機器が配置されるため、薄型・小型が難しかった。しかし溝の一部分である反射面26により、封止体の側面Eで光の出し入れが可能となるため、プリズムは不要であるし、レンズが必要で有れば、この側面Eに一体成型が可能となる。
【0027】
つまり透明封止体の側面に凸状のレンズを一体成型することも可能であるし、ここに別途レンズを取り付けても良い。従って装置自身の厚みを薄くすることができる。
【0028】
前記リードフレームはCuより成り、厚さは、約0.125mmで、半導体チップの厚みは、例えば250〜300μm程度である。また封止体25は、透明なエポキシ材料で、例えばトランスファーモールドにより成され、全体の厚みは、約1mm〜1.5mmである。当然チップの厚みが薄くなれば、更に薄くできる事は言うまでもない。また金型にも溝を形成する部分が設けられており、透明の樹脂封止体で半導体チップをトランスファーモールドした際に、溝が同時に形成される。
【0029】
ここで溝27は、半導体チップを露出することなく、反射面が構成されればよく、例えば厚みの半分程度、ここでは750μm程度の深さを有し、少なくとも反射面26を構成する部分は45°に成っている。ここの反射面は、界面の両側の空気と透明樹脂の屈折率の違いにより、反射面となる。しかし全ての光が反射されないので、反射面に金属被膜を形成しても良い。
【0030】
本実施例では、光の出し入れ(射出や入射)が行われる側面Eを除いた側面にリードを配置できる。しかし金属細線やリードによる反射を考えると、側面Eと対向する側面が好ましい。
【0031】
図に於いて、受光部である半導体チップは、図7Cの実質左側に受光素子領域(第1の領域)が形成され、右側にこれを駆動する駆動素子領域(第2の領域)が形成される。つまり第2の領域は、光の経路とは成らないため、この領域をリードが導出される領域、金属細線の領域として活用でき、光の反射等によるノイズが第1の領域に浸入することを防止している。また第1の領域が左側にずれているので、当然溝27も左側にずれ、溝から右側の領域は、ワイヤを延在させる領域として確保できる。もし右側や中央に第1の領域があれば、ワイヤは、溝から露出する可能性がある。
【0032】
一方、アイランド21は、二つで成っているが、一体で構成しても良い。既に公知である半導体チップのマルチチップモジュール技術を使うことで実現できる。また樹脂封止体25は、二つの半導体チップを一体でモールドしているが、それぞれを分離して個別にモールドしても良い。
【0033】
またアイランドは共通で、樹脂封止体のみ分離されていても良い。この場合、封止体が連続でないため、受光部と発光部の光の相互干渉が無くなる。しかしアイランドが共通であるため、アイランドを介した電気信号の相互干渉が発生する可能性がある。この場合、例えば混成集積回路装置に応用すると便利である。つまり絶縁処理されたプリント基板、セラミック基板、金属基板等の支持基板に前記アイランドに相当するパターンを形成し、ここに受光素子、発光素子を固着すれば良い。このパターンは、絶縁物質上に被着されているのでそれぞれが電気的に分離されている。またリードは、この支持基板の端部に延在されたリード固着用のパッドと電気的に接続される。またそれぞれの半導体チップは、支持基板に被着された導電パターンと金属細線を介して接続される。混成集積回路装置の場合、他の半導体素子やディスクリートが実装できるため、よりシステムに近い機能を持たせることが出来る。
【0034】
また封止方法は、リードフレーム型、混成集積回路装置型の両者ともに、トランスファーモールド、インジェクションモールド等で実現できる。
【0035】
図5からも判るように、本発明は、光に対して透明な樹脂の周りから浸入する光ノイズに着目したものであり、リードを通常の方法とは逆に曲げ、半導体チップの支持基板、ここではリードフレームのアイランド21を上向きにし、反射面26を有する溝を下側に配置したものである。
【0036】
つまり図1のように、光半導体装置をセットする実装基板30、例えば混成集積回路装置に一般的に採用されるプリント基板、セラミック基板、金属基板は、光に対して遮蔽効果を持つ。また支持基板も同様である。従って支持基板30を上向きに配置すれば、受光素子や発光素子は、上下で遮蔽板によりサンドウィッチされる。従って光のノイズの侵入を抑制することができる。
しかし実装基板30の高密度化に伴い、樹脂封止体25の下層に配線が設けられる場合がある。また反射率の高い表面を有する場合がある。この場合の問題点を説明したものが図3、図4である。図4の点線は、樹脂封止体25の仮想位置であり、配線が樹脂封止体25の下層に配置されると、図3で示したように本来の光の入射光路ではない方向から入る光が、また乱反射した光が透過して配線の表面で反射し、ホトICの受光素子に入射する場合がある。
【0037】
従って、実装基板の表面は、できるだけ非鏡面(例えば梨地にする等)にすること、また樹脂封止体の下層には配線が通過しないよう回避させる必要がある。ここで符号32は、リードが半田付けまたは銀ペースト付けされる電極パッドである。
【0038】
図1、図2は、前述したように、樹脂封止体25の下層には配線が設けられていないものを説明する図である。点線で示す下層領域には、反射しやすい配線が無いため、この配線による光の反射により発生する誤動作が防止できるメリットを有する。図8、図9は、リードがJの字の形状を持ったものである。この場合、点線で示す仮想領域にはどうしても電極パッド32を設けなくては成らないが、それ以外は配置していない。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、第1に、樹脂モールド体である透明封止体に反射面を有する溝を形成すれば、光は、樹脂封止体の厚みの薄い側面から入射(または発射)させることができ、プリズム等の光学機器を省略できる。しかも支持基板が上になるようにリードを曲げると、半導体チップは、実装基板と支持基板でサンドウィッチされるため、透明な樹脂への光浸入を防止できる。
【0040】
また光半導体装置を実装する実装基板が配置される側の面を上に、溝が形成される側の面を下向きにして実装することで、実装基板が光の遮光板として働く。
【0041】
更には、図3のように、樹脂封止体と実装基板の間にパターン化された配線が通過すると、この配線が反射板となり、光を受光する光半導体装置に入射し、誤動作を引き起こす。そのためこの配線を回避させて、光のノイズによる誤動作を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態である光半導体装置を実装基板にセットした際の断面図である。
【図2】図1の実装基板を説明する図である。
【図3】実装基板に設けられた配線による誤動作を説明する図である。
【図4】図3の実装基板を説明する図である。
【図5】光半導体装置を説明する斜視図である。
【図6】図5を上から見た図である。
【図7】図5を下から見た図である。
【図8】本発明の他の実施の形態である光半導体装置を実装基板にセットした際の断面図である。
【図9】図8の実装基板を説明する図である。
【図10】従来の光半導体装置を説明する図である。
【図11】従来の光半導体装置を説明する図である。
Claims (4)
- 上面を受光面とする半導体チップと、前記半導体チップを固着する支持基板と、前記半導体チップと電気的に接続されるリードと、前記半導体チップの受光面上を少なくとも封止する少なくとも所定の光に対して透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と所定の角度で交差する反射面が前記樹脂封止体上面に設けられて成る溝とを有する光半導体装置が少なくとも表面が絶縁性を有する実装基板に設けられた光半導体装置のモジュールであり、
前記光半導体装置を実装する実装基板と前記溝は面対向し、前記光半導体装置の樹脂封止体に対応する前記実装基板の領域は、配線が回避されていることを特徴とした光半導体装置のモジユール。 - 上面を発光面とする半導体チップが前記樹脂封止体に封止され、前記発光面の垂線と所定の角度で交差する反射面が前記樹脂封止体上面に設けられて成る溝とを有する事を特徴とした請求項1記載の光半導体装置のモジュール。
- 前記リードの端部は、前記溝が設けられる表面に延在され、前記光半導体装置の樹脂封止体に対応する前記実装基板の領域には、前記リードの端部が電気的に接続される電極のみが設けられる請求項1記載の光半導体装置のモジュール。
- 前記光が入射および/または発光される前記樹脂封止体の側面にはレンズが設けられる請求項1、請求項2または請求項3記載の光半導体装置のモジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29700298A JP3976421B2 (ja) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | 光半導体装置のモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29700298A JP3976421B2 (ja) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | 光半導体装置のモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000124481A JP2000124481A (ja) | 2000-04-28 |
JP3976421B2 true JP3976421B2 (ja) | 2007-09-19 |
Family
ID=17840986
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29700298A Expired - Fee Related JP3976421B2 (ja) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | 光半導体装置のモジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3976421B2 (ja) |
-
1998
- 1998-10-19 JP JP29700298A patent/JP3976421B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000124481A (ja) | 2000-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100459347B1 (ko) | 광 반도체 장치 및 이것을 실장한 광 반도체 모듈 | |
US7596289B2 (en) | Optical/electrical hybrid substrate | |
JP2004207639A (ja) | 半導体集積装置 | |
JP3109885B2 (ja) | 光半導体装置 | |
US20060262820A1 (en) | Semiconductor laser device and optical pickup apparatus having the device | |
JP3976421B2 (ja) | 光半導体装置のモジュール | |
JP4969055B2 (ja) | 光通信モジュール | |
JP3440679B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3762545B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP2004220675A (ja) | 半導体集積装置 | |
JP2000133822A (ja) | 光半導体装置 | |
JP2000124480A (ja) | 光半導体装置のモジュール | |
JP4073094B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP2000077689A (ja) | 光半導体装置および光半導体モジュール | |
JP3469776B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP2000058967A (ja) | 光半導体装置および光半導体セット | |
JP3976420B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP4219018B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JPH11307809A (ja) | 光半導体装置 | |
JP2000077720A (ja) | 光半導体装置 | |
JP2000058968A (ja) | 光半導体装置およびこれを実装した光半導体モジュール | |
JP2000036642A (ja) | 光半導体装置 | |
JP4090125B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP3976419B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP2000077684A (ja) | 光半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040914 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20051227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070418 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070619 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120629 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130629 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |