JP3975615B2 - プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3975615B2 JP3975615B2 JP16759299A JP16759299A JP3975615B2 JP 3975615 B2 JP3975615 B2 JP 3975615B2 JP 16759299 A JP16759299 A JP 16759299A JP 16759299 A JP16759299 A JP 16759299A JP 3975615 B2 JP3975615 B2 JP 3975615B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition wall
- material layer
- partition
- forming
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルのガラス基板上に隔壁を形成する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
プラズマディスプレイ(Plasma Display)は気体放電を利用した画像表示装置であって、通常、多数の微小な放電セルが縦横(マトリックス状)に配列され、必要な部分のセルを放電発光させて文字や図形が表示されるようになっている。この平面表示パネルはプラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel:以下、PDPという)と称される。このPDPは構造が簡単で大型化が容易であり、メモリ機能を有し、更にカラー化が可能であるなどの様々な利点を有することから、テレビジョンなどで用いられるブラウン管よりも遥かに大きくかつ奥行きの小さいPDPの開発研究が進められている。
【0003】
上記PDPは、電極構造の点で金属電極がガラス誘電体材料で覆われるAC型と、放電空間に金属電極が露出しているDC型とに分類される。例えばAC型のPDPは図3及び図4に示すように、ガラス基板1上に所定の間隔をあけて形成された隔壁2を介してガラスプレート3を被せることにより構成される。ガラスプレート3のガラス基板1への対向面にはMgO(酸化マグネシウム)等の保護膜3aにより被覆された一対の表示電極3b,3bと誘電体層3cとが形成され、ガラス基板1とガラスプレート3と隔壁2にて区画形成された微細空間4(図4、以下、放電セルという)内にはアドレス電極4a及び蛍光体4bがそれぞれ形成される。また放電セル4内には放電ガス(図示せず)が注入される。
【0004】
このように構成されたPDPでは、一対の表示電極3b,3b間に電圧を印加し、かつアドレス電極4aに電圧を印加して、放電セル4内の蛍光体4bを選択的に放電発光させることにより、文字や図形を表示することができる。ここで、PDPの表示特性上、選択的放電発光を確実に行うことができる独立性の優れた放電セル4を形成するためには、比較的高さの高い隔壁2を精度良く形成することが極めて重要となる。
【0005】
従来、PDPの隔壁形成方法としては、隔壁材料ペーストのスクリーン印刷及びその焼成を数回〜十数回繰り返す多重印刷法,隔壁材料層上に所望のパターンのレジスト膜を形成しサンドブラスト加工により不要部を除去するサンドブラスト法,金型等を用いる一般的なプレス法などが知られている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の多重印刷法では、隔壁が所望の高さになるまで数回〜十数回に及ぶ印刷及び焼成を繰返さなければならず、所望の高さの隔壁を位置精度良く形成することが難しく、製造効率が低下するとともに、スクリーン印刷版の加工精度の限界等のために、大型化及び高精度化が困難であった。
また、上記従来のサンドブラスト法では、ガラス基板上に形成された隔壁材料層の大部分が除去されるため、隔壁材料の使用効率が低く、除去した隔壁材料に含まれる鉛の処理が問題となる。また上記従来のサンドブラスト法では、ブラスト加工の速度が遅い問題点や、ブラスト加工条件の再現性が乏しい問題点や、隔壁材料層を一旦仮焼(ブラスト加工に適した硬度にする。)してブラスト加工した後に本焼成する必要があり、工程が複雑になる問題点もあった。
更に、上記従来の金型等を用いる一般的なプレス法では、金型精度が低い上に、金型コストが高く、繰返しの使用により金型が次第に劣化するため、隔壁の精度が次第に低下する問題点があった。
【0007】
本発明の目的は、隔壁を容易かつ高精度に形成することができる、PDPの隔壁形成方法を提供することにある。
本発明の別の目的は、感光性材料層のセル形成部の殆ど全てを隔壁の焼成時に焼失させることにより、廃棄物となる残渣を低減することができ、またセル形成部の焼失時にこのセル形成部が収縮しても、隔壁の変形を防止することができる、PDPの隔壁形成方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、図1に示すように、PDPのガラス基板11上に放電セル18形成用の隔壁17を形成する方法の改良である。
その特徴ある構成は、ガラス基板11上に可塑剤含有の隔壁材料を積層して隔壁材料層12を形成する工程と、隔壁材料層12上に有機感光性材料を積層して感光性材料層13を形成する工程と、感光性材料層13を所定のパターンで露光した後に現像して隔壁形成予定部に対応する部分を除去することにより隔壁形成用溝13a及びセル形成部13bを形成する工程と、セル形成部13bの表面及び隔壁形成用溝13aの内部を離型膜にて被覆する工程と、隔壁材料層12及び感光性材料層13が形成されたガラス基板11を120〜150℃の温度で予備加熱する工程と、この温度に保った状態で感光性材料層13を隔壁材料層12に加熱・加圧することにより隔壁形成用溝13aに隔壁材料を侵入させて隔壁17を形成する工程と、隔壁17を焼成するとともにセル形成部13bを焼失させる工程とを含むところにある。
【0009】
この請求項1に記載されたプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法では、パターニング精度の高い感光性材料のパターン露光及び現像で形成した隔壁形成用溝13aが隔壁17形成用の型となるため、高い寸法精度及び位置精度にて所望の高さ及び幅の隔壁17を容易に形成することができる。また感光性材料層13を隔壁形成層12に加圧することにより隔壁材料層12を変形させて隔壁17を形成するため、隔壁材料の使用効率が高く、発生する残渣(廃棄物)の量は極めて少ない。
また隔壁17の焼成を1回行うだけで済むため、工程が簡易で量産性に優れ、型としての感光性材料層13のセル形成部13bを隔壁17の焼成過程で加熱分解して除去すれば、別途感光性材料を除去するための処理が不要となり、工程数を減少できるとともに、セル形成部13bが隔壁17の焼成時には収縮しながら焼失しても、セル形成部13bと隔壁17との間には離型膜が介在しているため、このセル形成部13bは隔壁17から速やかに離脱し、隔壁17が変形することはない。更に露光マスクの形状を変更するだけで、隔壁17の寸法を変更でき、PDP設計の自由度が大きくなる。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、本発明のPDPの隔壁形成方法では、先ずガラス基板11(背面ガラス基板)上に隔壁材料を積層して隔壁材料層12を形成する(図1(a))。この隔壁材料層12はガラス基板11の上面全てに形成してもよく、また隔壁形成予定部及びその近傍に、形成される隔壁よりも広い幅で形成してもよい。隔壁材料層12を隔壁形成予定部及びその近傍に形成する場合には、隔壁をスクリーン印刷法により直接印刷する場合のような正確性は必要としない。また隔壁材料層12は隔壁材料のペーストを塗布して乾燥することにより形成してもよいが、隔壁材料のシートをガラス基板11上にラミネートすることにより形成してもよい。上記塗布法及びラミネート法のいずれの方法で隔壁材料層12を形成しても、隔壁材料層12は寸法等において高度な制御を必要とせず、容易に形成することができる。更に隔壁材料層12の厚さは隔壁材料層12の面積、形成される隔壁の高さ及び幅等によっても異なるが、通常の場合、50〜200μmの範囲の厚さに形成されることが好ましい。
【0011】
次いで隔壁材料層12上に感光性材料を積層して感光性材料層13を形成する(図1(b))。この感光性材料層13も上記隔壁材料層12と同様に、感光性樹脂ペーストを塗布することにより形成してもよく、また感光性樹脂シートをラミネートすることにより形成してもよい。この感光性材料層13も上記塗布法又はラミネート法等により容易に形成することができる。更に感光性材料層13の厚さは、形成される隔壁の高さとほぼ同程度とし、通常の場合、100〜150μmとすることが好ましい。
【0012】
次に感光性材料層13を所定のパターンで露光し現像して、隔壁形成予定部に対応する部分を除去することにより、隔壁形成用溝13a及びセル形成部13bを形成する(図1(c))。この隔壁形成用溝13aは隔壁形成のための型となるものであり、形成される隔壁と同程度の幅及び間隔で形成され、通常、幅xは30〜100μm、間隔yは100〜300μm程度である。また上記溝13aはパターニング精度の高い露光・現像法により、高い寸法精度及び位置精度にて容易に形成することができる。 上記セル形成部13bの表面及び隔壁形成用溝13aの内部は離型膜にて被覆される。この離型膜はノズル14から無機材料,有機材料又は無機・有機複合体材料を噴霧し乾燥することにより形成される。上記無機材料としては窒化ホウ素(BN),シリカ(SiO2),アルミナ(Al2O3)等、有機材料としてはシリカゾルゲル液等、無機・有機複合体材料としてはシリコーン等を用いることが好ましい。
【0013】
更に隔壁材料層12及び感光性材料層13が形成されたガラス基板11を、120〜150℃の温度で10〜20分間予備加熱した後、120〜150℃の温度に保った状態で、圧力2〜5kgf/cm2で2〜3分間加熱・加圧することにより、隔壁材料層12を変形させて隔壁形成用溝13a内に侵入させる(図1(d))。この加熱・加圧はゴムローラ16,16等を用いて行うことが好ましい。例えば、表面温度が120〜150℃のゴムローラ16,16を用いて、感光性材料層13を隔壁材料層12に上記圧力で押し付けた状態でガラス基板11を0.1〜0.2m/分の速度で移動させることによりプレス加圧する。なお、隔壁形成用溝13aに侵入した隔壁材料は離型膜を介してセル形成部13bの側面に接する。このようなプレス加圧法で隔壁17を形成することにより、隔壁材料の無駄を生じることなく、廃棄物量も低減することができる。
【0014】
隔壁材料を隔壁形成用溝13a内に侵入させた状態で(図1(e))、500〜550℃で10〜20分間保持することにより、隔壁17を焼成するとともに、セル形成部13bを焼失、即ち加熱分解除去する(図1(f))。このとき樹脂により形成されたセル形成部13bは収縮しながら焼失するけれども、セル形成部13bは離型膜を介して隔壁17に接しているため、セル形成部13bが収縮しても速やかに隔壁17から離脱し、隔壁17が変形することはない。このように隔壁17の焼成とセル形成部13bの除去とを同時に行うと効率が良いが、焼成前にセル形成部13bの除去工程を設けて予めセル形成部13bの除去を行った後に、隔壁17を焼成してもよい。図1(f)の符号18は隔壁17,17間に形成された放電セルである。上記方法により、幅60〜70μm程度で高さ100〜150μm程度の隔壁17を、所望の位置に、容易かつ効率的に、高精度に形成することができる。
【0015】
【実施例】
次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく説明する。
<実施例1>
表1に示す組成の隔壁材料をボールミル(直径20mmのボール:1.2kg)に入れ、20時間分散した。その後ドクタブレード法により100μmの膜厚で隔壁材料のシートを作製した。この隔壁材料のシートを100mm×100mm×3mm厚さのガラス基板上に1層ラミネートして隔壁材料層12を形成した(図1(a))。この隔壁材料層12上に、ドライフィルムレジスト「NEF150」(厚さ50μm:日本合成化学工業社製)を2層ラミネートして感光性材料層13を形成し(図1(b))、パターン露光した後に現像して、感光性材料層13に幅xが80μmの隔壁形成用溝13aを200μmの間隔yをあけて形成した(図1(c))。このとき残留するセル形成部13b(レジストライン)の幅及び長さは120μm及び90mmであった。次いでガラス基板11の上方に配設されたノズル14からシリコーンオイル(エアゾル型のシリコーンスプレー:東芝シリコーン社製)を2〜3秒間噴霧した後、室温にて10分間放置することにより溶媒を除去して乾燥し、セル形成部13bの表面及び隔壁形成用溝13aの内部に離型膜を形成した。
【0016】
【表1】
【0017】
上記表1において「DOP」とはフタル酸ジオクチルである。
次にこのガラス基板11を140℃のオーブンで10分間予備加熱した後に、表面温度が140℃の一対のゴムローラ16,16にてガラス基板11,隔壁材料層12及び感光性材料層13を挟んで5kgf/cm2の圧力をかけ、この状態でガラス基板11を速度0.2m/分で移動してプレス加工した(図1(d))。これにより隔壁材料を隔壁形成用溝13a内に侵入させて隔壁17を形成した(図1(e))。この状態で大気中で530℃の温度に10分間保持し、隔壁17を焼成するとともに、セル形成部13bを焼失させた(図(f))。これによりガラス基板11上に形成された隔壁17の幅W及び高さHはそれぞれ約80μm及び約120μmであり、そのピッチPは約200μm(セル幅S:約120μm)であった。この隔壁17を有するガラス基板11を実施例1とした。
【0018】
<比較例1>
実施例1と同一のガラス基板上にペースト(PbO−SiO2−B2O3系ガラス粉末:56重量%,アルミナ粉末:14重量%,エチルセルロース:5重量%,テルピネオール:25重量%)をスクリーン印刷法により所定のパターンで位置合わせをして印刷し、150℃で20分間乾燥する工程を10回繰返して重ね塗りすることにより、隔壁を形成した。このガラス基板上の隔壁を脱バインダのために350℃で60分間加熱した後に、大気中550℃で10分間焼成した。これによりガラス基板上に幅及び高さがそれぞれ約80μm及び約120μmの隔壁を約200μmのピッチで形成した。この隔壁を有するガラス基板を比較例1とした。
【0019】
<比較試験及び評価>
実施例1のガラス基板上の隔壁のそれぞれ任意の100本について、その高さ及び幅を以下のように詳しく測定した。
図2に示すように、実施例1の基板上の任意の100本のセラミックリブの幅の測定は、セラミックリブの高さをHとしたときの高さ(1/2)Hのところのリブの幅WCと、高さ(3/4)Hのところのリブの幅WMと、高さ(9/10)Hのところのリブの幅WTとをそれぞれ測定することにより行った。またこれらの測定値の平均値を算出した後、H,WC,WM及びWTのそれぞれの標準偏差を算出した。比較例1のガラス基板上の隔壁のそれぞれ任意の100本についても、上記と同様にしてH,WC,WM及びWTと、これらの標準偏差をそれぞれ算出した。表2に実施例1の結果(リブの各部の平均値及び標準偏差)を比較例1の結果(リブの各部の平均値及び標準偏差)と対比させて示す。
【0020】
【表2】
【0021】
表2から明らかなように、比較例1の隔壁と比べて、実施例1の隔壁はその高さと幅のばらつきが小さいことが判った。
【0022】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、ガラス基板上に隔壁材料層を介して感光性材料層を形成し、この感光性材料層を所定のパターンで露光した後に現像することにより隔壁形成用溝及びセル形成部を形成し、セル形成部の表面及び隔壁形成用溝の内部を離型膜にて被覆し、感光性材料層を隔壁材料層に加圧することにより隔壁形成用溝に隔壁材料を侵入させて隔壁を形成し、更に隔壁を焼成するとともにセル形成部を焼失させたので、パターニング精度の高い感光性材料のパターン露光及び現像で形成した隔壁形成用溝が隔壁形成のための型となる。この結果、高い寸法精度及び位置精度にて所望の高さ及び幅の隔壁を容易に形成することができる。
また隔壁材料の大部分を除去する従来のサンドブラスト法と比較して、本発明では感光性材料層を隔壁形成層に加圧することにより隔壁材料層を変形させて隔壁を形成するため、隔壁材料及び蛍光材料の使用効率が高く、発生する残渣(廃棄物)の量は極めて少ない。また複数回の焼成を行う従来の多重印刷法やサンドブラスト法と比較して、本発明では隔壁の焼成を1回行うだけで済むため、工程が簡易で量産性に優れている。
【0023】
また型としての感光性材料は隔壁材料の焼成過程で加熱分解して除去されるので、別途感光性材料を除去するための処理が不要となるとともに、セル形成部が隔壁の焼成時に収縮しながら焼失しても、セル形成部と隔壁との間には離型膜が介在しているため、このセル形成部は隔壁から速やかに離脱する。この結果、隔壁の変形を防止することができる。
更に金型の劣化に起因して隔壁精度が低下する従来の一般的なプレス法と比較して、本発明では感光性材料が1回限りの使い捨てであるため、上記のような隔壁精度の低下は生じず、露光マスクの寸法を変更するだけで、隔壁の寸法を変更することができ、PDP設計の自由度が大きくなる利点もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施形態のPDPの隔壁形成方法を工程順に示す断面図。
【図2】図1(f)のA部拡大断面図。
【図3】従来の隔壁を含むPDPの分解斜視図。
【図4】図3のB部拡大断面図。
【符号の説明】
11 ガラス基板
12 隔壁材料層
13 感光性材料層
13a 隔壁形成用溝
13b セル形成部
17 隔壁
18 放電セル
Claims (1)
- プラズマディスプレイパネルのガラス基板(11)上に放電セル(18)形成用の隔壁(17)を形成する方法において、
前記ガラス基板(11)上に可塑剤含有の隔壁材料を積層して隔壁材料層(12)を形成する工程と、
前記隔壁材料層(12)上に有機感光性材料を積層して感光性材料層(13)を形成する工程と、
前記感光性材料層(13)を所定のパターンで露光した後に現像して隔壁形成予定部に対応する部分を除去することにより隔壁形成用溝(13a)及びセル形成部(13b)を形成する工程と、
前記セル形成部(13b)の表面及び前記隔壁形成用溝(13a)の内部を離型膜にて被覆する工程と、
前記隔壁材料層 (12) 及び前記感光性材料層 (13) が形成された前記ガラス基板 (11) を120〜150℃の温度で予備加熱する工程と、
この温度に保った状態で前記感光性材料層(13)を前記隔壁材料層(12)に加熱・加圧することにより前記隔壁形成用溝(13a)に前記隔壁材料を侵入させて隔壁(17)を形成する工程と、
前記隔壁(17)を焼成するとともに前記セル形成部(13b)を焼失させる工程と
を含むプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16759299A JP3975615B2 (ja) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16759299A JP3975615B2 (ja) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000357454A JP2000357454A (ja) | 2000-12-26 |
JP3975615B2 true JP3975615B2 (ja) | 2007-09-12 |
Family
ID=15852628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16759299A Expired - Fee Related JP3975615B2 (ja) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3975615B2 (ja) |
-
1999
- 1999-06-15 JP JP16759299A patent/JP3975615B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000357454A (ja) | 2000-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4162039B2 (ja) | 表示パネルの組立てに用いる基板構体の製造方法 | |
EP0722179A2 (en) | Insulator composition, green tape, and method for forming plasma display apparatus barrier-rib | |
JP3975615B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 | |
EP0893813A2 (en) | Composite and method for forming plasma display apparatus barrier rib | |
TW200405390A (en) | Method for manufacturing substrate for flat panel display | |
JP4116676B2 (ja) | 絶縁体組成物、グリーンテープおよびそれらを用いるプラズマディスプレイ装置の隔壁形成方法 | |
JP2006253138A (ja) | グリーンシート、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP2001189127A (ja) | プラズマディスプレーパネルの隔壁製造方法 | |
KR100565190B1 (ko) | 격벽 제조방법 및 격벽 성형용 금형 | |
JP2000277011A (ja) | 放電型表示装置の背面側基板の製造方法 | |
JP3427764B2 (ja) | プラズマディスプレイ(pdp)用リブ組成物 | |
JP3427710B2 (ja) | プラズマディスプレーパネルの隔壁形成方法 | |
JPH11283506A (ja) | プラズマ表示装置用基板及びその製造方法 | |
JP3918897B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル隔壁形成方法 | |
JP3601936B2 (ja) | 表示パネルの隔壁形成方法 | |
JP3246469B2 (ja) | プラズマディスプレイ(pdp)用隔壁形成方法 | |
JPH1116490A (ja) | プラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法及びプラズマディスプレイパネル用基板 | |
KR100267553B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널용 하부패널 제조방법 | |
JP2001185038A (ja) | プラズマ表示装置用基板 | |
JP2003208851A (ja) | Ac型ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
JP2000067745A (ja) | プラズマディスプレ―パネルの隔壁の製造方法及び隔壁の組成物 | |
JP2000208042A (ja) | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 | |
JP2008027800A (ja) | プラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成する方法 | |
KR100433220B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법 | |
JP2002093313A (ja) | 表示パネルの製造方法およびその製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040929 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070227 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20070412 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20070529 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20070611 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |