JP2006253138A

JP2006253138A - グリーンシート、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法

Info

Publication number: JP2006253138A
Application number: JP2006062392A
Authority: JP
Inventors: Dae Hyun Park; デヒョンパク
Original assignee: LG Electronics Inc
Current assignee: LG Electronics Inc
Priority date: 2005-03-08
Filing date: 2006-03-08
Publication date: 2006-09-21
Also published as: US20060204900A1; KR20060098903A; KR100738225B1

Abstract

【課題】本発明は、現像液の使用を減らすことができるプラズマディスプレイパネルの製造方法及びグリーンシートを提供するためのものである。
【解決手段】本発明は、ブラックマトリックスパターンが形成された第１マスクを利用してカバーフィルム、ブラックマトリックスドライフィルム及びベースフィルムを含む第１グリーンシートを露光するステップと、前記カバーフィルムを除去して基板上に前記第１グリーンシートをラミネーティングするステップと、前記ベースフィルムを除去して前記基板上にブラックマトリックスを形成するステップと、を含むことを特徴とする。
【選択図】図３ｅ

Description

本発明は、グリーンシート、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。

図１は、一般的なプラズマディスプレイパネルの構造を示すものである。図１に示すように、一般的なプラズマディスプレイパネルは前面パネル１００と後面パネル１１０からなる。前面パネル１００は前面基板１０１を含み、後面パネル１１０は後面基板１１１を含む。前面パネル１００と後面パネル１１０は一定の距離を置いて平行するように結合される。

前面基板１０１上には相互放電によりセルの発光を維持するための維持電極対１０２、１０３が形成される。維持電極対１０２、１０３はスキャン電極１０２とサステイン電極１０３からなる。スキャン電極１０２とサステイン電極１０３の各々は透明電極１０２−ａ、１０３−ａ、金属材質で製作されたバス電極１０２−ｂ、１０３−ｂ及びブラック電極１０２−ｃ、１０３−ｃからなる。

バス電極１０２−ｂ、１０３−ｂを形成する銀（Ａｇ）は放電による光を透過させられないし、外部から入射される光を反射するためにプラズマディスプレイパネルのコントラストを悪化させる。ブラック電極１０２−ｃ、１０３−ｃはプラズマディスプレイパネルのコントラスト悪化を防ぐために透明電極１０２−ａ、１０３−ａとバス電極１０２−ｂ、１０３−ｂとの間に形成される。

スキャン電極１０２はスキャニングのためのスキャンパルスと放電維持のためのサステインパルスの入力を受け付ける。サステイン電極１０３はサステインパルスの入力を主に受ける。上部誘電体層１０４は維持電極対１０２、１０３の上部に形成され、放電電流を制限して電極間を絶縁させる。保護層１０５は上部誘電体層１０４上面に形成され、放電条件を容易にするために酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる。

後面基板１１１上には維持電極対１０２、１０３と交差するようにアドレス電極１１３が配置される。下部誘電体層１１５はアドレス電極１１３の上部に形成され、アドレス電極１１３間を絶縁させる。隔壁１１２は下部誘電体層１１５上に形成され、放電セルを形成する。蛍光層１１４は隔壁１１２と隔壁１１２との間に塗布されて画像表示のための可視光線を放出する。

図２ａ乃至図２fは、一般的なプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。

図２ａに示すように、前面基板１０１上に形成された透明電極１０２−ａ、１０３−ａ上にブラック電極を形成するために印刷されたブラックペースト（ＢＰ）が約１２０℃程度の温度で乾燥される。ブラックペースト（ＢＰ）の印刷方法はスクリーンマスク上に乗せられた感光性ブラックペースト（ＢＰ）をスキージによって押されながらスクリーンマスクの開口部を通過して前面基板１０１上に形成される。

図２ｂに示すように、ブラックペースト（ＢＰ）上にバス電極を形成するための電極材（ＥＭ）が印刷された後、乾燥される。

図２ｃに示すように、バス電極パターンが形成されたフォトマスク３０を利用して電極材（ＥＭ）は紫外線（ＵＶ）に露光される。

図２ｄに示すように、紫外線の露光により硬化した部分の以外の部分がエッチング液により現像され、硬化した部分は約５５０℃以上の温度で焼成される。焼成工程が完了すればブラック電極１０２−ｃ、１０３−ｃ及びバス電極１０２−ｂ、１０３−ｂが形成される。

図２ｅに示すように、透明電極１０２−ａ、１０３−ａ及びバス電極１０２−ｂ、１０３−ｂ上に誘電体ペーストが印刷され、この誘電体ペーストが乾燥されれば上部誘電体層１０４が形成される。

図２ｆに示すように、放電セルと放電セルとの間の非放電領域に該当する上部誘電体層１０４上にブラックマトリックス１０６が形成される。ブラックマトリックス１０６はスクリーンプリンティングにより形成されることができる。

一般的なプラズマディスプレイパネルの電極、誘電層またはブラックマトリックスなどは、スクリーンプリンティングを通じた印刷法により形成される。スクリーンプリンティングを通じた印刷法はプラズマディスプレイパネルの大きさが大型化することによって印刷マスクのサイズも大きくならなければならない。印刷マスクの大きさが大きくなれば印刷回数の増加により印刷マスクの変形が深化する。プラズマディスプレイパネルが持続的に大型化される趨勢であるから印刷法はプラズマディスプレイパネルの製造工程に適用が困難である。

印刷法を代替するためにグリーンシート（green sheet）工法が多くの場合に使われる。グリーンシートはベースフィルム（base film）、ベースフィルム上に形成された上にコーティング層及びコーティング層上に形成されたカバーフィルムを含む。グリーンシートのラミネーション（lamination：積層）、露光、現像工程などを通じて希望する電極やブラックマトリックスなどが形成される。

グリーンシートのラミネーションと露光工程の以後の現像工程がなされる過程で、ウェットエッチング（wet eching）が遂行される。ウェットエッチング（wet eching）が遂行される際、現像液の界面浸透によるエッジカール（edge curl）などが発生することがあるため、現像工程の管理が困難であるという問題が発生する。

また、グリーンシート工法はラミネーション、露光工程及び現像工程を経なければならないので、プラズマディスプレイパネルの製作工程が複雑であるという問題が発生する。

本発明の実施形態は現像液の使用を減らすことができるプラズマディスプレイパネルの製造方法及びグリーンシートを提供するためのものである。

本発明の実施形態はプラズマディスプレイパネルの製作工程数を減らすことができるプラズマディスプレイパネルの製造方法及びグリーンシートを提供するためのものである。

本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、ブラックマトリックスパターンが形成された第１マスクを利用してカバーフィルム、ブラックマトリックスドライフィルム及びベースフィルムを含む第１グリーンシートを露光するステップと、前記カバーフィルムを除去して基板上に前記第１グリーンシートをラミネーティングするステップと、前記ベースフィルムを除去して前記基板上にブラックマトリックスを形成するステップと、を含む。

前記ブラックマトリックスは、前記ベースフィルムを除去する過程で、前記ブラックマトリックスドライフィルムのうち、露光された部分が共に除去されて形成される。

前記基板はガラス基板、透明電極及び誘電体層中の一つでありえる。

前記ブラックマトリックスドライフィルムは、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜５０重量％のポリマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して５重量％〜４０重量％の光反応性モノマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して４重量％〜１５重量％の光重合開始剤、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜２０重量％のコバルトオキサイド及び前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１５重量％〜２５重量％のガラスフリットを含むことができる。

前記ポリマーの分子量は１０００以上１０００００以下でありえる。

前記ポリマーの分子量は１０００以上５００００以下でありえる。

前記モノマーは単官能性モノマー、多官能性モノマーまたはシラン系モノマーのうち、少なくとも一つを含むことができる。

前記光重合開始剤はベンゾフェノン系開始剤またはトリアジン系開始剤でありえる。

前記第１のグリーンシートを露光した後、前記カバーフィルムと前記ブラックマトリックスドライフィルムとの間の接着力は前記ベースフィルムと前記ブラックマトリックスドライフィルムとの間の接着力より小さいことができる。

本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前記第１マスクの光透過部の幅より小さい光透過部の幅を有する第２マスクを利用して前記ブラックマトリックスを露光するステップと、前記ブラックマトリックス上に電極ドライフィルム及び少なくとも一つの離型紙を含む第２グリーンシートをラミネーティングするステップと、前記離型紙を除去して前記ブラックマトリックス上に電極を形成するステップと、を更に含むことができる。

前記電極は前記離型紙を除去する過程で、前記ブラックマトリックスのうち、露光された部分上の電極ドライフィルムが共に除去されて形成される。

前記ブラックマトリックスドライフィルムの残りの部分の中央部を露光することができる。

前記電極ドライフィルムの可塑性は前記ブラックマトリックスドライフィルムの可塑性（plasticity）より小さいことができる。

前記電極ドライフィルムは、前記電極ドライフィルム総重量に対して８１重量％〜８５重量％の導電物質、前記電極ドライフィルム総重量に対して５重量％〜１５重量％のガラスフリット、前記電極ドライフィルム総重量に対して０.１重量％〜３重量％の分散剤及び前記電極ドライフィルム総重量に対して１重量％〜７重量％のバインダーを含むことができる。

前記導電物質は銀を含むことができる。

本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネル用グリーンシートは、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成されるブラックマトリックスドライフィルムと、前記ブラックマトリックスドライフィルム上に形成されたカバーフィルムを含み、前記ブラックマトリックスドライフィルムは、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜５０重量％のポリマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して５重量％〜４０重量％の光反応性モノマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して４重量％〜１５重量％の光重合開始剤、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜２０重量％のコバルトオキサイド及び前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１５重量％〜２５重量％のガラスフリットを含む。

前記ブラックマトリックスドライフィルムと接触する前記ベースフィルムの表面と前記ブラックマトリックスドライフィルムと接触する前記カバーフィルムの表面にシリコン離型剤が塗布されることができる。

前記カバーフィルムに塗布されたシリコン離型剤の量は前記ベースフィルムに塗布されたシリコン離型剤の量より大きいことができる。

本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネル用グリーンシートは、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成される電極ドライフィルムと、前記電極ドライフィルム上に形成されたカバーフィルムを含み、前記電極ドライフィルムは、前記電極ドライフィルム総重量に対して８１重量％〜８５重量％の導電物質、前記電極ドライフィルム総重量に対して５重量％〜１５重量％のガラスフリット、前記電極ドライフィルム総重量に対して０.１重量％〜３重量％の分散剤及び前記電極ドライフィルム総重量に対して１重量％〜７重量％のバインダーを含む。

前記電極ドライフィルムと接触する前記ベースフィルムの表面と前記電極ドライフィルムと接触する前記カバーフィルムの表面にシリコン離型剤が塗布されることができる。

前記導電物質は銀を含むことができる。

本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、基板と、前記基板上に形成された透明電極と、第１グリーンシートにより前記透明電極上に形成されたブラックマトリックスと、前記ブラックマトリックス上に形成されて前記ブラックマトリックスのエッジと実質的に一致するバス電極と、を含む。

本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法及びグリーンシートは、現像液の使用を減らすことによって、プラズマディスプレイパネルの製造工程の管理を容易にすることができる。

本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法及びグリーンシートは、プラズマディスプレイパネルの製造工程数を減らすことができる。

以下、本発明に係る具体的な実施形態を添付の図面を参照しつつ説明する。

（第１実施形態）
図３ａ乃至図３ｉは、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。

図３ａに示すように、ベースフィルム１１０、ベースフィルム１１０上に形成されたブラックマトリックスドライフィルム１２０及びブラックマトリックスドライフィルム１２０上に形成されたカバーフィルム１３０を含むグリーンシート１００が設けられる。

ブラックマトリックスドライフィルム１2０と接触するベースフィルム１１０の表面とブラックマトリックスドライフィルム１２０と接触するカバーフィルム１３０の表面にシリコン離型剤が塗布される。カバーフィルム１３０に塗布されたシリコン離型剤の量はベースフィルム１１０に塗布されたシリコン離型剤の量より大きい。したがって、カバーフィルム１３０がベースフィルム１１０に比べてブラックマトリックスドライフィルム１２０から容易に分離される。

本発明の第１実施形態でのブラックマトリックスドライフィルム１２０は、ポリマー、光反応性モノマー、光重合開始剤、コバルトオキサイド及びガラスフリットを含む。ポリマーは、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜５０重量％である。前記ポリマーの分子量は１０００以上１０００００以下のものが好ましい。より好ましくは、ポリマーの分子量は１０００以上５００００以下である。

光反応性モノマーは前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して５重量％〜４０重量％である。光反応性モノマーは単官能性モノマー、多官能性モノマーまたはシラン系モノマーのうち、少なくとも一つを含む。

光重合開始剤は前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して４重量％〜１５重量％である。光重合開始剤はベンゾフェノン系開始剤またはトリアジン系開始剤を含む。

コバルトオキサイドは前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜２０重量％である。ガラスフリットは前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１５重量％〜２５重量％である。

図３ｂに示すように、カバーフィルム１３０上（over）に第１マスク１４０が配置され、ブラックマトリックスドライフィルム１２０は第１マスク１４０を通過した光に露光される。ブラックマトリックスのパターンが形成された第１マスク１４０はブラックマトリックスドライフィルム１２０の全体領域に、光に露出していない非露光領域１２１と光に露出している露光領域１２２を形成する。非露光領域１２１のブラックマトリックスドライフィルム１２０は光に露出していないので接着力を維持し、露光領域１２２のブラックマトリックスドライフィルム１２０は硬化して接着力が減少する。

露光が完了すれば、図３ｃに示すように、カバーフィルム１３０が除去される。カバーフィルム１３０に塗布されたシリコン離型剤の量はベースフィルム１１０に塗布されたシリコン離型剤の量より大きい。これによって、カバーフィルム１３０とブラックマトリックスドライフィルム１２０との間の接着力はベースフィルム１１０とブラックマトリックスドライフィルム１２０の接着力より小さい。したがってカバーフィルム１３０が除去されてもブラックマトリックスドライフィルム１２０はベースフィルム１１０との接着状態を維持する。

カバーフィルム１３０が除去されることによって空気に露出される露光領域１２２の界面は接着力を完全に失ってベースフィルム１１０によって空気に露出されない露光領域１２２の界面は接着力が存在する。

図３ｄに示すように、ブラックマトリックスドライフィルム１２０がガラス基板１０１にアラインされた後、ラミネーション（lamination）工程を通じてガラス基板１０１に付着される。

図３ｅに示すように、ベースフィルム１１０が除去される過程で接着力が維持された非露光領域１２１のブラックマトリックスドライフィルム１２０はガラス基板１０１に続けて付着されて、光を受けて硬化した露光領域１２２のブラックマトリックスドライフィルム１２０のみガラス基板１０１から除去される。これによって、ブラックマトリックス１２１Ｂが形成される。

即ち、空気に露出された露光領域１２２は接着力を完全に失ったのであり、ベースフィルム１１０により空気に露出していない露光領域１２２は弱い接着力を持っている。これによって、ベースフィルム１１０が除去される過程で露光領域１２２はベースフィルム１１０に付いたまま除去される。また、ベースフィルム１１０に塗布されたシリコン離型剤によりベースフィルム１１０と非露光領域１２１との間の接着力はガラス基板１０１と非露光領域１２１との間の接着力より小さい。したがって、ベースフィルム１１０が除去される際、非露光領域１２１はガラス基板１０１上に残ることになる。

したがって、露光領域１２２のブラックマトリックスドライフィルム１２０はエッチング液を使用する現像工程を通じて除去されるのでなく、非露光領域１２１のブラックマトリックスドライフィルム１２０と露光領域１２２のブラックマトリックスドライフィルム１２０の接着力の差により除去される。エッチング液を通じた現像工程なしにブラックマトリックスが形成されるので、プラズマディスプレイパネルの製造工程数が減るのであり、エッチング液を使用する現像工程の管理を必要としない。

図３ｆに示すように、ブラックマトリックス１２１Ｂ上（over）に第２マスク１５０が配置されてブラックマトリックス１２１Ｂのうち、中央部１２１Ｂ−２のみ第２マスク１５０を通過した光に露光される。これによって、ブラックマトリックス１２１Ｂのうち、光に露光された中央部１２１Ｂ−２は硬化して接着力が減少する。第２マスク１５０の光透光部の幅は第１マスク１４０の光透過部の幅より小さい。光透過部は光が通過する第１マスク１４０または第２マスク１５０の領域を意味する。

図３ｇに示すように、露光が完了すればブラックマトリックス１２１Ｂにカバーフィルム（図示していない）のような離型紙が除去された電極用グリーンシートの電極ドライフィルム１６０がラミネーション過程を通じてブラックマトリックス１２１Ｂにラミネーティングされる。電極用グリーンシートはベースフィルムのみを含むこともでき、ベースフィルム及びカバーフィルムを含むこともできる。電極ドライフィルム１６０と接触するベースフィルムの表面と電極ドライフィルム１６０と接触するカバーフィルムの表面にシリコン離型剤が塗布される。

図３ｈに示すように、ブラックマトリックス１２1Ｂの中央部１２１Ｂ−２上に形成された電極ドライフィルム１６０はベースフィルムのような離型紙１７０に付着されて除去される。これによって、電極ドライフィルム１６０はブラックマトリックスの接着力が残っている両端領域１２１Ｂ−１のみに選択的に残る。ブラックマトリックスドライフィルム１２０上に電極ドライフィルム１６０が形成される過程またエッチング液を使用する現像工程を利用するのでないので、プラズマディスプレイパネルの製造工程数が減って現像工程の管理を必要としない。

ブラックマトリックス１２１Ｂの接着力が残っている両端領域１２１Ｂ−１のみに選択的に電極ドライフィルム１６０が付着されるようにするために、電極ドライフィルム１６０の可塑性はブラックマトリックス１２１Ｂの可塑性（plasticity）がより小さい。

電極ドライフィルム１６０の可塑性がブラックマトリックスドライフィルム１２０の可塑性（plasticity）以上であれば、ベースフィルム１１０の除去過程でブラックマトリックスドライフィルム１２０の接着力が残っていない中央領域１２１Ｂ−２上の電極ドライフィルム１６０までも除去されない可能性がある。

可塑性の差が発生するために、電極ドライフィルム１６０は、電極ドライフィルム総重量に対して８１重量％〜８５重量％の導電物質、前記電極ドライフィルム総重量に対して５重量％〜１５重量％のガラスフリット、前記電極ドライフィルム総重量に対して０.１重量％〜３重量％の分散剤及び前記電極ドライフィルム総重量に対して１重量％〜７重量％のバインダーを含む。

図３ｉに示すように、焼成過程がなされる。

（第２実施形態）
図４ａ乃至図４ｇは、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。

図４ａに示すように、透明電極４２０が形成された前面基板４１０とブラックマトリックス用グリーンシートが設けられる。

図４ｂに示すように、カバーフィルム１３０上（over）にマスク４４０が配置され、ブラックマトリックスドライフィルム１２０がマスク４４０を通過した光に露光される。これによって、ブラックマトリックスドライフィルム１２０は光に露出していない非露光領域１２１と光に露出している露光領域１２２とを含む。非露光領域１２１のブラックマトリックスドライフィルム１２０は光に露出していないので、接着力を維持し、露光領域１２２のブラックマトリックスドライフィルム１２０は硬化して接着力が減少する。ブラックマトリックスドライフィルム１２０の組成物質及び組成比は実施形態１と同一であるので詳細な説明を省略する。

露光が完了すれば、図４ｃに示すように、カバーフィルム１３０が除去される。カバーフィルム１３０がブラックマトリックスドライフィルム１２０と完壁に分離される理由は、図３ｃ及び実施形態１で詳細に説明したので省略する。

図４ｄに示すように、ブラックマトリックスドライフィルム１２０がラミネーション（lamination）工程を通じて透明電極４２０に付着される。

図４ｅに示すように、ベースフィルム１１０が除去される過程で接着力が維持された非露光領域１２１のブラックマトリックスドライフィルム１２０は透明電極４２０に続けて付着され、光を受けて硬化した露光領域１２２のブラックマトリックスドライフィルム１２０のみ透明電極４２０から除去される。これによって、ブラックマトリックス１２１Ｂが形成される。ベースフィルム１１０と露光領域１２２が同時に除去されるメカニズムは実施形態１と同一であるので詳細な説明は省略する。

したがって、エッチング液を使用する現像工程なしにブラックマトリックスが形成されるので、プラズマディスプレイパネルの製造工程数が減って、エッチング液を使用する現像工程の管理を必要としない。

図４ｆに示すように、ブラックマトリックス１２１Ｂ上にバス電極４３０が形成され、誘電体層４５０が形成される。バス電極４３０は前述した本発明の第１実施形態での電極用グリーンシートにより形成されることができる。

図４ｇに示すように、カバーフィルム１３０'上にマスク４６０が配置され、ブラックマトリックスドライフィルム１２０'がマスク４６０を通過した光に露光される。これによって、ブラックマトリックスドライフィルム１２０'は光に露出していない非露光領域１２１'と光に露出している露光領域１２２'とを含む。非露光領域１２１'のブラックマトリックスドライフィルム１２０'は光に露出されなかったので接着力を維持し、露光領域１２２'のブラックマトリックスドライフィルム１２０'は硬化して接着力が減少する。ブラックマトリックスドライフィルム１２０'の組成物質及び組成比は実施形態１と同一であるので詳細な説明を省略する。

図４ｈに示すように、カバーフィルム１３０'が除去される。カバーフィルム１３０'がブラックマトリックスドライフィルム１２０'と完壁に分離される理由は、図３ｃ及び実施形態１で詳細に説明したので省略する。

図４ｉに示すように、ブラックマトリックスドライフィルム１２０'が誘電体層４5０にアラインされた後、ラミネーション（lamination）工程を通じて誘電体層４5０に付着される。

図４ｊに示すように、ベースフィルム１１０'が除去される過程で、接着力が維持された非露光領域１２１'のブラックマトリックスドライフィルム１２０'は誘電体層４５０に続けて付着され、光を受けて硬化した露光領域１２２'のブラックマトリックスドライフィルム１２０'のみ誘電体層４５０から除去される。これによって、ブラックマトリックス１２１Ｂ'が形成される。ベースフィルム１１０'と露光領域１２２'が同時に除去されるメカニズムは実施形態１と同一であるので詳細な説明は省略する。

図４ｊに示すように、本発明の実施形態に係る製造方法及びグリーンシートにより製造されたプラズマディスプレイパネルは、基板４１０、基板４１０上に形成された透明電極４２０、本発明の実施形態に係るブラックマトリックス用グリーンシートにより透明電極４２０上に形成されたブラックマトリックス１２１Ｂ及びブラックマトリックス１２１Ｂ上に形成されてブラックマトリックス１２１Ｂのエッジと実質的に一致するバス電極４３０を含む。バス電極４３０は本発明の第１実施形態における電極用グリーンシートにより形成されることができる。

以上のように、本発明に係るプラズマディスプレイ装置を例示した図面を参照して説明したが、本発明は明細書に開示された実施形態と図面により限るのでなく、技術思想が保護される範囲内で応用されることができる。

一般的なプラズマディスプレイパネルの構造を示す図である。一般的なプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。一般的なプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。一般的なプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。一般的なプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。一般的なプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。一般的なプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を示す図である。

符号の説明

１００前面パネル
１０１前面基板
１１０後面パネル
１１１後面基板
１２０ブラックマトリックスドライフィルム
１２１非露光領域
１２１Ｂブラックマトリックス
１２２露光領域
１３０カバーフィルム
１４０第１マスク
１５０第２マスク
１６０電極ドライフィルム
１７０離型紙
４１０前面基板
４２０透明電極
４３０バス電極
４４０、４６０マスク
４５０誘電体層

Claims

プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
ブラックマトリックスパターンが形成された第１マスクを利用してカバーフィルム、ブラックマトリックスドライフィルム及びベースフィルムを含む第１グリーンシートを露光するステップと、
前記カバーフィルムを除去して基板上に前記第１グリーンシートをラミネーティングするステップと、
前記ベースフィルムを除去して前記基板上にブラックマトリックスを形成するステップと、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記ブラックマトリックスは前記ベースフィルムを除去する過程で、前記ブラックマトリックスドライフィルムのうち、露光された部分が共に除去されて形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記基板はガラス基板、透明電極及び誘電体層中の一つであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記ブラックマトリックスドライフィルムは、
前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜５０重量％のポリマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して５重量％〜４０重量％の光反応性モノマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して４重量％〜１５重量％の光重合開始剤、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜２０重量％のコバルトオキサイド及び前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１５重量％〜２５重量％のガラスフリットを含むことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記ポリマーの分子量は１０００以上１０００００以下であることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記ポリマーの分子量は１０００以上５００００以下であることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記モノマーは単官能性モノマー、多官能性モノマーまたはシラン系モノマーのうち、少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記光重合開始剤はベンゾフェノン系開始剤またはトリアジン系開始剤を含むことを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記第１のグリーンシートを露光した後、前記カバーフィルムと前記ブラックマトリックスドライフィルムとの間の接着力は前記ベースフィルムと前記ブラックマトリックスドライフィルムとの間の接着力より小さいことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記第１マスクの光透過部の幅より小さい光透過部の幅を有する第２マスクを利用して前記ブラックマトリックスを露光するステップと、
前記ブラックマトリックス上に電極ドライフィルム及び少なくとも一つの離型紙を含む第２グリーンシートをラミネーティングするステップと、
前記離型紙を除去して前記ブラックマトリックス上に電極を形成するステップと、
を更に含むことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記電極は前記離型紙を除去する過程で、前記ブラックマトリックスのうち、露光された部分上の電極ドライフィルムが共に除去されて形成されることを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記ブラックマトリックスドライフィルムの残りの部分の中央部を露光することを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記電極ドライフィルムの可塑性は前記ブラックマトリックスドライフィルムの可塑性（plasticity）より小さいことを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記電極ドライフィルムは、
前記電極ドライフィルム総重量に対して８１重量％〜８５重量％の導電物質、前記電極ドライフィルム総重量に対して５重量％〜１５重量％のガラスフリット、前記電極ドライフィルム総重量に対して０.１重量％〜３重量％の分散剤及び前記電極ドライフィルム総重量に対して１重量％〜７重量％のバインダーを含むことを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
前記導電物質は銀を含むことを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
ベースフィルムと、
前記ベースフィルム上に形成されるブラックマトリックスドライフィルムと、
前記ブラックマトリックスドライフィルム上に形成されたカバーフィルムを含み、
前記ブラックマトリックスドライフィルムは、
前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜５０重量％のポリマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して５重量％〜４０重量％の光反応性モノマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して４重量％〜１５重量％の光重合開始剤、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜２０重量％のコバルトオキサイド及び前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１５重量％〜２５重量％のガラスフリットを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用グリーンシート。
前記ブラックマトリックスドライフィルムと接触する前記ベースフィルムの表面と前記ブラックマトリックスドライフィルムと接触する前記カバーフィルムの表面にシリコン離型剤が塗布されたことを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル用グリーンシート。
前記カバーフィルムに塗布されたシリコン離型剤の量は前記ベースフィルムに塗布されたシリコン離型剤の量より大きいことを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネル用グリーンシート。
ベースフィルムと、
前記ベースフィルム上に形成される電極ドライフィルムと、
前記電極ドライフィルム上に形成されたカバーフィルムを含み、
前記電極ドライフィルムは、
前記電極ドライフィルム総重量に対して８１重量％〜８５重量％の導電物質、前記電極ドライフィルム総重量に対して５重量％〜１５重量％のガラスフリット、前記電極ドライフィルム総重量に対して０.１重量％〜３重量％の分散剤及び前記電極ドライフィルム総重量に対して１重量％〜７重量％のバインダーを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用グリーンシート。
前記電極ドライフィルムと接触する前記ベースフィルムの表面と前記電極ドライフィルムと接触する前記カバーフィルムの表面にシリコン離型剤が塗布されたことを特徴とする請求項１９に記載のプラズマディスプレイパネル用グリーンシート。
前記カバーフィルムに塗布されたシリコン離型剤の量は前記ベースフィルムに塗布されたシリコン離型剤の量より大きいことを特徴とする請求項２０に記載のプラズマディスプレイパネル用グリーンシート。
前記導電物質は銀を含むことを特徴とする請求項１９に記載のプラズマディスプレイパネル用グリーンシート。
基板と、
前記基板上に形成された透明電極と、
第１グリーンシートにより前記透明電極上に形成されたブラックマトリックスと、
前記ブラックマトリックス上に形成され、前記ブラックマトリックスのエッジと実質的に一致するバス電極と、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
前記第１グリーンシートはブラックマトリックスドライフィルムを含み、
前記ブラックマトリックスドライフィルムは、
前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜５０重量％のポリマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して５重量％〜４０重量％の光反応性モノマー、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して４重量％〜１５重量％の光重合開始剤、前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１０重量％〜２０重量％のコバルトオキサイド及び前記ブラックマトリックスドライフィルム総重量に対して１５重量％〜２５重量％のガラスフリットを含むことを特徴とする請求項２３に記載のプラズマディスプレイパネル。
前記バス電極は電極ドライフィルムを含む第２グリーンシートにより形成され、
前記電極ドライフィルムは、
前記電極ドライフィルム総重量に対して８１重量％〜８５重量％の導電物質、前記電極ドライフィルム総重量に対して５重量％〜１５重量％のガラスフリット、前記電極ドライフィルム総重量に対して０.１重量％〜３重量％の分散剤及び前記電極ドライフィルム総重量に対して１重量％〜７重量％のバインダーを含むことを特徴とする請求項２３に記載のプラズマディスプレイパネル。
前記導電物質は銀を含むことを特徴とする請求項２５に記載のプラズマディスプレイパネル。