JP3974952B2

JP3974952B2 - Method for manufacturing piezoelectric body

Info

Publication number: JP3974952B2
Application number: JP16011995A
Authority: JP
Inventors: 昌子片岡; 徹江崎; 孝宏山川; 繁高橋
Original assignee: Taiheiyo Cement Corp
Current assignee: Taiheiyo Cement Corp
Priority date: 1995-06-05
Filing date: 1995-06-05
Publication date: 2007-09-12
Anticipated expiration: 2022-09-12
Also published as: JPH08333161A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、圧電体に関し、特に主成分にＰｂを含有する圧電体（以下鉛系圧電体と称する）の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
鉛系圧電体は、ペロブスカイト構造を有し、ＡＢＯ₃で表される圧電体であるが、その圧電的特性が非常に優れているため、さまざまな分野で用いられている。例えば電話機のレシーバーやブザーなどの発音体、超音波ソナーやノッキングセンサーなどのセンサー、超音波モータなどのアクチュエーターなどに実用化されている。
【０００３】
この鉛系圧電体を工業的に作る方法としては、ＡサイトのＰｂ源としてＰｂＯやＰｂ₃Ｏ₄などを、ＢサイトのＺｒ源としてＺｒＯ₂やＺｒＣＯ₃などを、同じくＴｉ源としてＴｉＯ₂やＴｉ（ＯＨ）₄などを主原料とし、その他必要に応じてＡサイトの原料にはＢａ、Ｌａ、Ｓｒ、Ｃａなどの元素の酸化物や炭酸塩を、Ｂサイトの原料にはＭｇ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｍｎ、Ｖ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｂｉ、Ｎｉなどの元素の酸化物や炭酸塩を少量加え、それをミルなどで混合した後仮焼し、その仮焼物を粉砕、成形、焼成して製造する方法であった。なお、一般にＡとＢサイトに入る元素イオン及び酸素イオンの半径が、それぞれｒ_A＋ｒ_B＝ｔ√2（ｒ_B＋ｒ_O）（但し、０．９≦ｔ≦１．１）で表される式を満足することができれば、ペロブスカイト型構造を取り得るといわれており、前記に掲げた元素はいずれもこの式を満足している。
【０００４】
しかし、Ａサイトの５０モル％以上がＰｂから成る圧電体の製造方法においては、高温で焼成するとＰｂが揮発するため、組成がずれて焼結し難くなり圧電特性に悪影響を与えたり、緻密な圧電体が得られ難いという問題があった。そのため、できるだけ低い温度で焼結すべく、ＳｉＯ₂やＢ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂ガラス、Ｂｉ₂Ｏ₃−ＣｕＯ系ガラスなどの焼結助剤をさらに添加することが行われている。また、初めからＰｂ分をＡ＞Ｂとなるように多めに配合して焼成温度を下げることも行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この両方法とも低温で焼結し易いものの、仮焼時に粒子間に強固なネッキングを生じ易く、その後の粉砕では壊れない凝集体が残るため、焼結しても緻密化してない部分が残留する。この疎な部分に起因して圧電体が分極時に壊れ易いという問題があった。
【０００６】
本発明は、上述した鉛系圧電体の製造方法が有する課題に鑑みなされたものであって、その目的は、焼結助剤の添加やＰｂを過剰に加えなくても焼結温度を低くすることができ、しかも分極時の破壊を起こり難くすることのできる圧電体の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上記目的を達成するため、様々な実験を繰り返した結果、主構成元素がＰｂであるＡサイトを構成する１種以上の元素の合計が、Ｂサイトを構成する元素の合計より少なくなるよう原料を配合して仮焼し、その仮焼物に不足分のＡサイト元素の原料を加え、それを細かく粉砕した粉末を用いて焼結すれば、焼結温度を低くすることができ、しかもその焼結した圧電体の分極時の破壊が従来より起こり難いとの知見を得て本発明を完成した。
【０００８】
上記Ａサイト元素をＢサイト元素より少なくする組成としては、モル比でＡ＝ｍＢ（但し、０．９５≦ｍ≦０．９９）とし、その組成になるよう原料を配合し、それを単一のペロブスカイト相となるように仮焼することとした。
【０００９】
ｍをこの範囲にしたのは、次の理由による。それは、ｍが１以上の場合には、Ａサイトを構成する元素が充足されているため、元素の一部が仮焼時にＡサイトから粒界や粒子表面などに弾き出され、弾き出された元素によって形成される酸化物により局部的に液相を生じ、その液相によって粒子間に強固なネッキングを作ってしまうものと考えられ、これを上記のようにｍを１より小さく、すなわちＡサイト元素を不足にすれば、粒界や粒子表面に弾き出される元素が少なくなり、仮焼時に生じるネッキングが少なくなって分極時の破壊が改善されるものと思われる。
【００１０】
逆にｍが小さすぎる、すなわち０．９５より小さいと、仮焼時のネッキングは起こり難いが、Ａサイトの元素が少なすぎてペロブスカイト相以外の結晶相が生じ、ペロブスカイトの単一相とすることができないので、仮焼物に不足分を補って焼成してもペロブスカイト相以外の結晶相が残って混在し、高い圧電特性が得られなくなる。なお、ｍが０．９５以上であっても、使用する原料種類や仮焼温度、その時間などの違いでペロブスカイト相以外の結晶相が生成することもあるので、単一相になるかどうかをあらかじめ実験で調べて最適な条件で仮焼するのがよい。
【００１１】
また、上記仮焼後に不足分のＡサイト元素を加える組成としては、モル比でＡ＝ｎＢ（但し、１．００≦ｎ≦１．０２）とした。ｎをこの範囲にしたのは、ｎが１．００未満であるとＡサイトが欠損するため、低温では焼結し難くなり、分極時の破壊が改善されず、逆に１．０２を超えると仮焼時のネッキングは少ないが、その後の焼成でガラスが多くなってネッキングが増え、分極時の破壊も改善されず、その他圧電特性の低下や圧電体中の気孔が消滅し難くなるなど、この範囲を外れると好ましくないからである。
【００１２】
この仮焼後に不足分を加えるのは、Ａサイトの欠損を補うのに加えて、より低温で焼成可能となる働きを持つ。その理由は、Ａサイトを構成する元素は比較的拡散し易いので、仮焼後に添加した元素が焼結助剤の働きをして焼結温度を下げるものと思われ、最終的にはその元素は、焼結終了までに欠損しているＡサイトに入り込み圧電特性に悪影響を与えないものと思われる。これにより、分極時の破壊が改善されることに加えて、焼結助剤の添加やＰｂを過剰に加えなくても低温焼結が可能となる。
【００１３】
この不足分を補う元素、あるいは仮焼前に不足にする元素については、Ａサイトを欠損型にし、それを解消するためだけの元素であるので、前述のＡサイトの元素のいずれを選んでも構わないが、それらの中では、Ｐｂ、Ｌａが特にネッキングを発生させ易く、また仮焼後に焼成した場合に拡散し易い元素であるので、これらを抑え、促進する効果も大きいため、これらの元素を選定することが好ましい。
【００１４】
さらに、上記不足分を加えた仮焼物を粉砕する細かさとしては、比表面積で５ｍ²／ｇ以上とした。これは、比表面積を５ｍ²／ｇ以上にしないと、仮焼時に生じるネッキングが少なくても、それを壊しきれなくなり、同時に、添加する不足分のＡサイト原料の分散が悪くなるので、焼成後に欠陥が残り易く、圧電体が分極時に壊れ易くなることによる。仮焼物のみを細かく粉砕した後、不足分を加えて混合しても構わないが、工程が長くなりメリットはない。
【００１５】
本発明の製造方法をさらに詳細に述べると、先ずＡサイトには、前述の原料の中から、同じくＢサイトにも前述の原料の中から必要な原料を選び、それらの原料をＡサイトが所定の欠損となる組成になるよう配合してミルで混合する。混合が悪いとペロブスカイト相の生成量が少なくなることがあるので、よく混合する。混合した粉末を乾燥して７００〜９００℃の温度で仮焼した後、その仮焼物に所定の組成となるようＡサイト原料を加えた後、慣用の方法、例えば、ボールミルや振動ミルあるいは大量に処理できる強制攪拌ミルなどで比表面積が５ｍ²／ｇ以上になるまで粉砕する。粉砕した粉末を成形（プレス成形、押出し成形、テープ成形など）、加工（所望形状への打抜き、切断、印刷、積層など）、焼成（脱脂、サヤ詰め、焼成など）、電極付け（導体印刷、導体焼き付け、リード線付けなど）、分極（洗浄、分極、洗浄、検査など）などの慣用の工程を経て、圧電体を作製する。
【００１６】
以上、上記のような方法で製造することにより、低温で焼結することができ、しかも分極時に壊れ難い圧電体とすることができる。
【００１７】
【実施例】
以下、本発明の実施例を比較例と共に挙げ、本発明をより詳細に説明する。
【００１８】
（実施例１〜５）
（１）圧電体の作製
原料としてＰｂ₃Ｏ₄、ＳｒＣＯ₃、ＺｒＯ₂、ＴｉＯ₂、ＭｎＣＯ₃、Ｎｂ₂Ｏ₅の粉末を、モル比でＰｂ_xＳｒ_yＺｒ_0.56Ｔｉ_0.41Ｎｂ_0.02Ｍｎ_0.01Ｏ₃（但し、ｘ＋ｙ＝ｍ）で表わされる式中のｘ、ｙが表１に示す組成となるように配合し、それを直径が３〜１０ｍｍのジルコニアボールを充填した樹脂製ポットミルで２４時間混合し、噴霧乾燥機で乾燥した。この乾燥物をアルミナ製のサヤを用いて８００℃で２時間仮焼した。この仮焼物にさらに、Ｐｂ_sＳｒ_jＺｒ_0.56Ｔｉ_0.41Ｎｂ_0.02Ｍｎ_0.01Ｏ₃（但し、ｓ＋ｊ＝ｎ）で表わされる式中のｓ、ｊが表１に示す組成となるように加え、直径が１ｍｍのジルコニアビーズを用いた強制攪拌ミル（コトブキ技研工業社：ＡＭ−１）にて表１に示す比表面積になるまで粉砕した。
【００１９】
この粉末を１トン／ｃｍ²の圧力で、直径２０ｍｍ、厚さ２ｍｍの円板にプレス成形し、その成形体をマグネシアのサヤに入れて１１５０℃で２時間焼成した。その焼成体の表面を＃６００のカーボランダム砥粒にて研磨して０．５ｍｍの厚さに揃え、この両面にＡｇペーストを印刷して７００℃×１０分で焼き付け電極を形成した後、シリコンオイル中で１．７ｋＶの電圧を６０分間印加して分極し、１実施例毎に１００枚の圧電体を作製した。
【００２０】
（２）評価
仮焼した仮焼物の構成相については、Ｘ線回折法にて調べた。仮焼後粉砕した粉末の比表面積については、窒素吸着法によって求めた。分極時の破壊状態については、分極した圧電体を目視で調べ、割れたり、貫通孔が生じたりしたものを破壊されたとした。また、圧電体が緻密に焼結されているか否かをみるためアルキメデス法で焼結体の気孔率を、その焼結体の圧電特性の良否をみるため径方向振動の電気機械結合係数Ｋｒ（０．５５以上が良）を併せて求めた。それらの結果を表１に示す。
【００２１】
（比較例１〜６）
比較のために、仮焼前と仮焼後の組成比を表１に示す組成とする他は実施例と同じにして圧電体を作製し、実施例と同様に評価した。それらの結果を表１に示す。
【００２２】
【表１】

【００２３】
表１から明らかなように、実施例１〜５においては、仮焼前の圧電体の組成が本発明の範囲内にあってしかも仮焼物の構成相が単一のペロブスカイト相となっており、また仮焼後の組成及び粉末の細かさも本発明の範囲内にあるので、従来は１２５０℃前後の温度で焼結しないと緻密にできなかったものが、本発明の１１５０℃の低温でも気孔率が小さく十分緻密に焼結している。また、壊れた圧電体の枚数はいずれも２枚以下と少なく満足できるものであり、さらにＫｒも良であった。
【００２４】
これに対して比較例１、２では、ｍが１以上なので、仮焼物にＡサイトの原料を加えていないため、焼結温度が高く、この焼結温度では焼結不足となっている。そのため、気孔率が高目となり、破壊された圧電体の枚数も多くなっている。
【００２５】
また、比較例３では、ｍが０．９５より小さいため、ジルコニア相が混在しており、仮焼物にＡサイトの原料を加えてｎを１．００にしても、分極時に破壊された圧電体の枚数は実施例より増えており、Ｋｒも不良となっている。
【００２６】
さらに、比較例４、５では、仮焼前の組成は本発明の範囲内にあるものの、仮焼後の組成が本発明の範囲外にあるので、破壊された圧電体の枚数が実施例より増え、気孔率、Ｋｒとも不良であった。
【００２７】
さらにまた、比較例６では、実施例４と組成では同じであるが、焼結する粉末の細かさが粗いため、破壊枚数が大幅に増え、Ｋｒ、気孔率とも大幅に悪化している。
【００２８】
【発明の効果】
以上の通り、本発明にかかる方法で圧電体を製造すれば、焼結助剤の添加やＰｂを過剰に加えなくても、Ｐｂの揮発が少ない低い温度で焼結することができ、しかも従来より分極時の破壊が起こり難い圧電体とすることができた。このことにより、分極時の破壊が少ない圧電体を低温焼結によっても得ることのできる製造方法を提供することができた。[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a piezoelectric body, and more particularly to a method for manufacturing a piezoelectric body (hereinafter referred to as a lead-based piezoelectric body) containing Pb as a main component.
[0002]
[Prior art]
A lead-based piezoelectric body is a piezoelectric body having a perovskite structure and represented by ABO ₃ , but is used in various fields because of its excellent piezoelectric characteristics. For example, it has been put to practical use in sounding bodies such as telephone receivers and buzzers, sensors such as ultrasonic sonar and knocking sensors, and actuators such as ultrasonic motors.
[0003]
As a method for industrially producing this lead-based piezoelectric material, PbO or Pb ₃ O ₄ or the like is used as the Pb source at the A site, ZrO ₂ or ZrCO _{3 is} used as the Zr source at the B site, and TiO ₂ or the like is used as the Ti source. Ti (OH) ₄ or the like is used as a main raw material, and oxides or carbonates of elements such as Ba, La, Sr, and Ca are used as the raw material for the A site, and Mg, Nb, Manufactured by adding a small amount of oxides or carbonates of elements such as Sb, Mn, V, Cr, Fe, Bi, Ni, etc., mixing them with a mill, etc. and calcining, and crushing, molding and firing the calcined product It was a way to do. In general, the radii of element ions and oxygen ions entering the A and B sites are represented by r _A + r _B = t√2 (r _B + r _O ) (where 0.9 ≦ t ≦ 1.1), respectively. If the formula can be satisfied, it is said that a perovskite structure can be taken, and all of the elements listed above satisfy this formula.
[0004]
However, in the method for manufacturing a piezoelectric body in which 50 mol% or more of the A site is made of Pb, Pb volatilizes when fired at a high temperature, so that the composition shifts and it becomes difficult to sinter, and the piezoelectric characteristics are adversely affected. There was a problem that it was difficult to obtain a piezoelectric body. Therefore, in order to sinter at as low a temperature as possible, a sintering aid such as SiO ₂ , B ₂ O ₃ —SiO ₂ glass, Bi ₂ O ₃ —CuO-based glass is further added. In addition, the firing temperature is lowered by adding a large amount of Pb from the beginning so that A> B.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, although both of these methods are easy to sinter at low temperatures, they tend to cause strong necking between the particles during calcination, and agglomerates that remain unbroken by the subsequent pulverization remain. Remains. Due to this sparse portion, there is a problem that the piezoelectric body is easily broken during polarization.
[0006]
The present invention has been made in view of the problems of the above-described method for producing a lead-based piezoelectric body, and its purpose is to lower the sintering temperature without adding a sintering aid or adding excessive Pb. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing a piezoelectric body that can prevent breakdown during polarization.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
As a result of repeating various experiments in order to achieve the above object, the present inventors have found that the total of one or more elements constituting the A site whose main constituent element is Pb is the sum of the elements constituting the B site. If the raw material is mixed and calcined so that the amount is less, and the calcined material is added with a short amount of A-site element raw material and sintered using finely pulverized powder, the sintering temperature can be lowered. In addition, the present invention was completed with the knowledge that the sintered piezoelectric body is less likely to break during polarization than before.
[0008]
The composition for reducing the amount of the A site element to be less than that of the B site element is A = mB (provided that 0.95 ≦ m ≦ 0.99) in terms of a molar ratio. Calcination was carried out so as to obtain a perovskite phase.
[0009]
The reason why m is in this range is as follows. That is, when m is 1 or more, the elements constituting the A site are satisfied, so that part of the elements are ejected from the A site to the grain boundary or the particle surface at the time of calcination, and depending on the ejected elements It is considered that a liquid phase is locally generated by the formed oxide, and that the liquid phase creates a strong necking between the particles. As described above, m is smaller than 1, that is, the A site element is changed. If the amount is insufficient, the number of elements that are ejected to the grain boundaries and the particle surface is reduced, so that necking that occurs during calcination is reduced and the destruction during polarization is expected to be improved.
[0010]
Conversely, if m is too small, that is, less than 0.95, necking during calcination is unlikely to occur, but there are too few elements at the A site, resulting in a crystal phase other than the perovskite phase, resulting in a single phase of perovskite. Therefore, even if the calcined material is fired with a shortage, a crystal phase other than the perovskite phase remains and is mixed, and high piezoelectric characteristics cannot be obtained. Even if m is 0.95 or more, a crystal phase other than the perovskite phase may be generated depending on the type of raw material used, the calcining temperature, the time, etc. It should be preliminarily calcined under the optimum conditions by examining in advance.
[0011]
The composition for adding the deficient A site element after the calcination was A = nB (where 1.00 ≦ n ≦ 1.02) in molar ratio. The reason why n is in this range is that if A is less than 1.00, the A site is deficient, so that it becomes difficult to sinter at low temperatures, and the breakdown during polarization is not improved. Necking at the time of calcination is small, but after firing, the amount of glass increases, necking increases, breakdown at the time of polarization is not improved, other deterioration of piezoelectric properties and pores in the piezoelectric body are difficult to disappear, etc. This is because it is not preferable to fall outside the range.
[0012]
Adding the deficiency after this calcination has the function of making it possible to fire at a lower temperature in addition to compensating for the deficiency of the A site. The reason is that the element constituting the A site is relatively easy to diffuse, so the element added after calcination seems to lower the sintering temperature by acting as a sintering aid. Seems to enter the deficient A site by the end of sintering and not adversely affect the piezoelectric properties. Thereby, in addition to improving the breakdown at the time of polarization, low temperature sintering becomes possible without adding a sintering aid or adding Pb excessively.
[0013]
The element that compensates for this deficiency, or the element that becomes deficient before calcination, is an element for making the A site deficient and eliminating it, so any of the above-mentioned A site elements may be selected. However, among them, Pb and La are elements that are particularly likely to cause necking, and that are easily diffused when calcined after calcination. It is preferable to select.
[0014]
Furthermore, the fineness of pulverizing the calcined product to which the above shortage was added was set to 5 m ² / g or more in terms of specific surface area. This is because if the specific surface area is not more than 5 m ² / g, even if there is little necking that occurs during calcination, it will not be able to break, and at the same time, the dispersion of the A site raw material to be added will be poor. This is because defects tend to remain and the piezoelectric body is easily broken during polarization. After finely pulverizing only the calcined material, it may be mixed by adding a deficiency, but there is no merit because the process becomes longer.
[0015]
The production method of the present invention will be described in more detail. First, necessary raw materials are selected for the A site from the above-mentioned raw materials and also for the B site from the above-mentioned raw materials. Mix in a mill so that the composition becomes deficient. If mixing is poor, the amount of perovskite phase produced may be small, so mix well. After the mixed powder is dried and calcined at a temperature of 700 to 900 ° C., the A-site raw material is added to the calcined product so as to have a predetermined composition, and then a conventional method, for example, a ball mill, a vibration mill, or a large amount It grind | pulverizes until the specific surface area becomes 5 m < ² > / g or more with the forced stirring mill etc. which can be processed. Molding (press molding, extrusion molding, tape molding, etc.), processing (punching to desired shape, cutting, printing, laminating, etc.), firing (degreasing, filling with sheath, firing, etc.), attaching electrodes (conductor printing, A piezoelectric body is manufactured through conventional processes such as conductor baking, lead wire bonding, etc.) and polarization (cleaning, polarization, cleaning, inspection, etc.).
[0016]
As described above, by manufacturing by the above method, a piezoelectric body that can be sintered at a low temperature and that is not easily broken during polarization can be obtained.
[0017]
【Example】
EXAMPLES Hereinafter, the Example of this invention is given with a comparative example, and this invention is demonstrated in detail.
[0018]
(Examples 1-5)
(1) Pb ₃ O ₄ as a manufacturing raw material of the piezoelectric _{_{body, SrCO 3, ZrO 2, TiO}} 2, MnCO 3, the powder of Nb ₂ O _5, Pb molar ratio _{_{_{_{x Sr y Zr 0.56 Ti 0.41 Nb}}}} 0.02 Mn 0.01 O ₃ (x + y = m) where x and y in the formula are mixed so as to have the composition shown in Table 1, and mixed for 24 hours in a resin pot mill filled with zirconia balls having a diameter of 3 to 10 mm. And dried with a spray dryer. This dried product was calcined at 800 ° C. for 2 hours using an alumina sheath. In addition to this calcined material, s and j in the formula represented by Pb _s Sr _j Zr _0.56 Ti _0.41 Nb _0.02 Mn _0.01 O ₃ (where s + j = n) have the composition shown in Table 1, and the diameter is It grind | pulverized until it became the specific surface area shown in Table 1 with the forced stirring mill (Kotobuki Giken Kogyo Co., Ltd .: AM-1) using a 1-mm zirconia bead.
[0019]
This powder was press-molded into a disk having a diameter of 20 mm and a thickness of 2 mm at a pressure of 1 ton / cm ² , and the compact was put in a magnesia sheath and fired at 1150 ° C. for 2 hours. After polishing the surface of the fired body with # 600 carborundum abrasive grains and aligning it to a thickness of 0.5 mm, printing an Ag paste on both sides and forming a baking electrode at 700 ° C. for 10 minutes, silicon A voltage of 1.7 kV was applied in oil for 60 minutes for polarization, and 100 piezoelectric bodies were produced for each example.
[0020]
(2) Evaluation The constituent phase of the calcined calcined material was examined by the X-ray diffraction method. The specific surface area of the powder pulverized after calcination was determined by a nitrogen adsorption method. As for the breakdown state at the time of polarization, the polarized piezoelectric body was visually inspected, and it was assumed that the cracked or through-holed one was destroyed. In addition, the porosity of the sintered body is determined by the Archimedes method in order to check whether the piezoelectric body is densely sintered, and the electromechanical coupling coefficient Kr (radial vibration) in order to check the quality of the piezoelectric characteristics of the sintered body. 0.55 or more is good). The results are shown in Table 1.
[0021]
(Comparative Examples 1-6)
For comparison, a piezoelectric body was prepared in the same manner as in the example except that the composition ratio before and after calcination was changed to the composition shown in Table 1, and evaluated in the same manner as in the example. The results are shown in Table 1.
[0022]
[Table 1]

[0023]
As is apparent from Table 1, in Examples 1 to 5, the composition of the piezoelectric body before calcination is within the scope of the present invention, and the constituent phase of the calcination is a single perovskite phase, Moreover, since the composition after calcining and the fineness of the powder are also within the scope of the present invention, the porosity which has not been able to be dense unless conventionally sintered at a temperature around 1250 ° C. is low even at the low temperature of 1150 ° C. of the present invention. Is small and densely sintered. Also, the number of broken piezoelectric bodies was satisfactory, with all being two or less, and Kr was also good.
[0024]
On the other hand, in Comparative Examples 1 and 2, since m is 1 or more, since the raw material of the A site is not added to the calcined product, the sintering temperature is high, and the sintering temperature is insufficient. For this reason, the porosity is high, and the number of piezoelectric bodies destroyed is also increasing.
[0025]
Further, in Comparative Example 3, since m is smaller than 0.95, a zirconia phase is mixed, and even if n is set to 1.00 by adding the A-site raw material to the calcined material, the piezoelectric material destroyed during polarization The number of sheets is larger than that of the embodiment, and Kr is also poor.
[0026]
Furthermore, in Comparative Examples 4 and 5, the composition before calcination is within the scope of the present invention, but the composition after calcination is outside the scope of the present invention, so the number of piezoelectric bodies destroyed is greater than that of the examples. Increased, porosity and Kr were also poor.
[0027]
Furthermore, in Comparative Example 6, the composition is the same as in Example 4, but since the fineness of the powder to be sintered is coarse, the number of fractures is greatly increased, and both Kr and porosity are greatly deteriorated.
[0028]
【The invention's effect】
As described above, when a piezoelectric body is manufactured by the method according to the present invention, sintering can be performed at a low temperature with little volatilization of Pb without adding a sintering aid or excessive addition of Pb. It was possible to obtain a piezoelectric body that is less likely to break during polarization. As a result, it was possible to provide a manufacturing method capable of obtaining a piezoelectric body with little destruction during polarization by low-temperature sintering.

Claims

In the method of manufacturing a piezoelectric body represented by ABO ₃ as a composition and the main constituent element of the A site is Pb, the elements of the A site are in a molar ratio of A = mB (provided that 0.95 ≦ m ≦ 0.99) After mixing and mixing the raw materials so that the mixture becomes a single perovskite phase, A = nB (where 1.00 ≦ n ≦ 1.02) is further added to the calcined product. A method for producing a piezoelectric body comprising: adding a raw material of the A-site element so that the specific surface area becomes 5 m ² / g or more and then sintering.