JP3973645B2 - エッチング装置 - Google Patents
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Description
(1)高価なエッチングガスを有効に使用でき、ランニングコストを低減できる。
(3)大半のガスをクローズシステムで使用するので、環境への影響がなくなる。
(4)排気手段は、ガスを循環するだけのパワーを与えれば良いので省エネルギ化できる。
このとき流量計712で流量を測定する。一方、図3の(C)に示すタイミングで、排気ポンプ42を駆動して排気を行う。このとき、真空計73で処理室11内の圧力を見ながら可変コンダクタンスバルブ41を制御して処理室内を所定圧力に制御する。
Claims (3)
- 処理室と、プラズマ発生手段と、エッチング処理手段と、エッチング用のガス供給手段と、排気手段とを備え、前記処理室にエッチング用ガスを導入し、該エッチングガスをプラズマ化し、このプラズマによって前記処理室内に置かれた基板のエッチング処理を行なうエッチング装置において、
前記エッチング装置を複数台設け、前記エッチング装置のそれぞれの排気手段で排気されるガス及び反応生成物を導入し、該導入されたガス及び反応生成物の中から前記エッチングガスを分離する分離手段と、該分離手段で分離したエッチングガスを前記処理手段に循環させる循環手段とを具備し、
前記分離手段が、前記反応生成物にその結合エネルギー以上のエネルギーを与えて前記エッチングガスと被エッチング材に分離する装置であることを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1記載のエッチング装置において、前記分離手段と前記循環手段との間に前記分離手段で分離したエッチングガスを蓄積する蓄積手段を設けたエッチング装置。
- 請求項2記載のエッチング装置において、前記エッチング用のガス供給手段と前記処理室をつなぐ第一の通路に設けられた第一の弁と第一のガス流量計、前記蓄積手段と前記第一の通路をつなぐ第二の通路に設けられた第二の弁及び第二のガス流量計、前記処理室の圧力を測定する圧力測定部及び前記ガス流量及び前記圧力に基づいて前記第一、第二の弁を制御する制御装置を備えたガス流量制御手段を具備し、
前記制御装置が、前記処理室内へ供給されるエッチングガス流量と前記蓄積手段から還流されるエッチングガスの流量を比較し、前記エッチングガス供給手段から不足分を補うように前記第一の通路に設けられた前記第一弁を制御するガス供給制御部を備えたエッチング装置。
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