JP3971601B2

JP3971601B2 - Substrate delivery apparatus and substrate processing apparatus

Info

Publication number: JP3971601B2
Application number: JP2001362064A
Authority: JP
Inventors: 一郎光▲吉▼
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-11-28
Filing date: 2001-11-28
Publication date: 2007-09-05
Anticipated expiration: 2021-11-28
Also published as: JP2002231785A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate transfer device capable of obtaining a high throughput. SOLUTION: A loader 10 comprises an accommodation part 20 for accommodating FOUP (hermetically sealing accommodation vessel), an opener 40 for carrying out a substrate from the FOUP, and a carrying robot 30 for carrying the FOUP between the accommodation part 20 and the opener 40. When the substrate is carried in the opener 40, the FOUP is mounted on a mounting table 41. The mounting table 41 is formed with a notch 43 in which a carrying arm 35 of the carrying robot 30 can pass along a vertical direction. For this reason, the carrying arm 35 which holds the FOUP passes the notch 43 from above, thereby transferring directly the FOUP to the mounting table 41, and a time required for transfer operations of the FOUP is shortened and a high throughput can be obtained.

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、「基板」と称する）を収納する収納容器を収容するとともに、その収納容器からの基板の搬出またはその収納容器への基板の搬入を行う技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、基板に対してエッチング処理等の表面処理を行う基板処理装置には、装置外部から未処理基板がキャリアに収納された状態で搬入される。キャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ(open cassette)と、容器内部が密閉されたタイプのＦＯＵＰ(front opening unified pod)とがある。
【０００３】
装置間における基板の搬送にＦＯＵＰタイプのカセット（以下、単に「ＦＯＵＰ」と称する）を使用した場合は、基板が密閉された状態で搬送されることとなるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしても基板の清浄度は維持できる。従って、基板処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高くする必要がなくなるため、クリーンルームに要するコストを低減することができる。
【０００４】
このようなＦＯＵＰは基板処理装置に組み込まれた専用の基板受渡装置に収容され、その基板受渡装置においてＦＯＵＰから未処理基板を基板処理装置に取り出したり、ＦＯＵＰに処理済の基板を回収したりする。図１０は、従来のＦＯＵＰ用の基板受渡装置を示す斜視図である。
【０００５】
基板受渡装置１０１は、基板処理装置１００にローダーとして組み込まれており、未処理基板を収納したＦＯＵＰを収容するとともに、そのＦＯＵＰから基板処理装置１００に基板を投入する機能を有する。基板受渡装置１０１は、複数の収容棚１１１、搬送ロボット１２０、載置テーブル１３０およびリフタ１４０を備える。
【０００６】
複数の収容棚１１１のそれぞれは１つのＦＯＵＰを載せて収容することができる。基板処理装置１００の外部から基板受渡装置１０１に搬入されたＦＯＵＰは、複数の収容棚１１１のいずれかに収容される。
【０００７】
載置テーブル１３０は１つのＦＯＵＰを載置することができる。載置テーブル１３０に載置されたＦＯＵＰが開放されることにより、その内部から未処理基板が取り出されて基板処理装置１００の本体内部に投入される。
【０００８】
搬送ロボット１２０は、搬送アーム１２１を備えるとともに、基板処理装置１００の幅方向に沿って移動可能とされている。また、搬送アーム１２１は搬送ロボット１２０に対して上下動可能とされている。これにより、搬送ロボット１２０は、載置テーブル１３０および複数の収容棚１１１のそれぞれに対して搬送アーム１２１をアクセスさせることができる。そして、搬送ロボット１２０は、未処理基板を収納したＦＯＵＰを複数の収容棚１１１のいずれかから載置テーブル１３０に搬送するとともに、基板が取り出された後の空のＦＯＵＰを載置テーブル１３０から複数の収容棚１１１のいずれかに搬送する。
【０００９】
搬送ロボット１２０がＦＯＵＰを搬送するときには、搬送アーム１２１がＦＯＵＰの底部を下方より支持する。これは、搬送ロボット１２０がＦＯＵＰの上部に設けられたフランジを把持して、ＦＯＵＰを吊り下げた状態で搬送を行うと当該フランジの強度の問題から急な加減速ができず高速搬送ができないためである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、搬送アーム１２１がＦＯＵＰの底部を支持したときには、そのＦＯＵＰを直接載置テーブル１３０に置くことができない。そこで、従来においては、搬送アーム１２１によって下方より支持されたＦＯＵＰを一旦リフタ１４０に渡していた。リフタ１４０は、ＦＯＵＰの上部に設けられたフランジを把持して、ＦＯＵＰを吊り下げた状態で保持することができる。また、リフタ１４０は、載置テーブル１３０の上方において鉛直方向に沿って上下方向に移動可能である。よって、リフタ１４０は、搬送ロボット１２０からＦＯＵＰを受け取った後、搬送ロボット１２０が移動して搬送アーム１２１がＦＯＵＰと載置テーブル１３０との間から待避してから保持しているＦＯＵＰを下降させて載置テーブル１３０上に置いていた。その後、載置テーブル１３０に置かれたＦＯＵＰが開放され、その内部から未処理基板が取り出されて基板処理装置１００の本体内部に投入される。
【００１１】
なお、基板が取り出されて空になったＦＯＵＰを載置テーブル１３０から収容棚１１１に搬送するときには、上述と逆の手順が実行されることとなる。すなわち、一旦リフタ１４０が空のＦＯＵＰを保持して持ち上げた後、搬送ロボット１２０が載置テーブル１３０にアクセスし、リフタ１４０から搬送ロボット１２０の搬送アーム１２１にＦＯＵＰが渡される。その後、リフタ１４０がＦＯＵＰの把持を解除し、ＦＯＵＰを受け取った搬送ロボット１２０が収容棚１１１にアクセスする。
【００１２】
以上のように、従来においては、搬送ロボット１２０が直接載置テーブル１３０にＦＯＵＰを置くことができなかったり、また直接載置テーブル１３０からＦＯＵＰを受け取ることができなかったために、一旦リフタ１４０を介して搬送ロボット１２０と載置テーブル１３０との間のＦＯＵＰの受渡しを行わなければならなかった。従って、搬送ロボット１２０と載置テーブル１３０との間のＦＯＵＰの受渡しにリフタ１４０の動作分および搬送ロボット１２０の待避分の時間を必要とし、スループットが低下するという問題が生じていた。
【００１３】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、高いスループットを得ることができる基板受渡装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板を収納する収納容器を収容するとともに、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行う基板受渡装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置台と、前記収容部と前記載置台との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記搬送手段に、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降する搬送アームを有させ、前記載置台には、前記搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部を形成し、前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００１６】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板受渡装置において、前記載置台の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置台に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行う。
【００１７】
また、請求項３の発明は、基板を収納する収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の切り欠き部を形成し、前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００２１】
また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係る基板処理装置において、前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行わせる。
【００２２】
また、請求項５の発明は、請求項３または請求項４の発明に係る基板処理装置において、前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容器を支持する支持位置を前記載置部が前記収納容器を載置する載置位置よりも内側としている。
【００２３】
また、請求項６の発明は、基板を収納する収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段がはまり込んで前記載置部の上面よりも下側まで移動可能な前記搬送手段用の凹部を設け、前記凹部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００２７】
また、請求項７の発明は、請求項６の発明に係る基板処理装置において、前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行わせる。
【００２８】
また、請求項８の発明は、請求項６または請求項７の発明に係る基板処理装置において、前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容器を支持する支持位置を前記載置部が前記収納容器を載置する載置位置よりも内側としている。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００３４】
＜１．第１実施形態＞
図１は、本発明に係る基板受渡装置を組み込んだ基板処理装置の外観斜視図である。図１および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。
【００３５】
この基板処理装置１は、１組の複数の基板（ロット）にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等を順次に行う装置であって、その本体内部に薬液を貯留する薬液槽や純水を貯留する水洗槽を備えている。基板処理装置１の一方側の端部にはローダー１０が設けられるとともに、他方側の端部にはアンローダー９０が設けられている。ローダー１０およびアンローダー９０はともに本発明に係る基板受渡装置であり、同様の構成および機能を備えている。但し、ローダー１０は未処理基板を収納したＦＯＵＰを収容するとともに、そのＦＯＵＰから未処理基板を搬出して基板処理装置１の本体部に投入する役割を有するのに対し、アンローダー９０は空のＦＯＵＰを収容するとともに、基板処理装置１の本体部からそのＦＯＵＰに処理済の基板を搬入する役割を有している。
【００３６】
以下、未処理基板を基板処理装置１の本体部に投入するローダー１０を本発明に係る基板受渡装置の例として詳細に説明する。ローダー１０の外壁には収容口１１，１２が形成されている。未処理基板を収納したＦＯＵＰは、図外のロードポートによって収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入される。
【００３７】
ここでＦＯＵＰについて説明しておく。図２は、ＦＯＵＰの外観斜視図である。ＦＯＵＰ８０は、筐体８１の上部にフランジ８２を形成している。このフランジ８２を把持することによって、ＦＯＵＰ８０を吊り下げた状態にて保持することができる。また、筐体８１の一面（図２中矢印ＡＲ２の向きから見た面）には蓋８３が設けられている。蓋８３には筐体８１に対するロック機構が設けられており、蓋８３を筐体８１に取り付けた状態にてそのロック機構を機能させることによって蓋８３が筐体８１に固定され、筐体８１内部が密閉された閉空間となる。一方、上記のロック機構を解除すると、蓋８３を筐体８１から取り外すことが可能となる。蓋８３を筐体８１から取り外してＦＯＵＰ８０を開放した状態においては、筐体８１の内部から基板を取り出すことおよびその内部に基板を収納することが可能となる。なお、筐体８１には例えば２５枚または１３枚の基板をそれぞれの主面を水平方向に沿わせてまたは鉛直方向に沿わせて収納する。
【００３８】
通常、ローダー１０の内外にてＦＯＵＰ８０を搬送するときには蓋８３を筐体８１に装着してロック機構を機能させた状態、すなわち筐体８１内部を密閉空間とした状態にする。これにより、基板処理装置１が設置されたクリーンルームの清浄度にかかわらず、ＦＯＵＰ８０内部では高い清浄度が維持される。
【００３９】
図３は、ローダー１０の構造を示す斜視図である。ローダー１０は、主としてＦＯＵＰ８０を収容する収容部２０と、ＦＯＵＰ８０を開放してその内部から未処理基板を取り出すオープナー４０と、収容部２０とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０の搬送を行う搬送ロボット３０とを備えている。また、ローダー１０と基板処理装置１の本体部とは隔壁１５を挟んで接続されている。キャリアとしてＦＯＵＰ８０を採用すると、ローダー１０内部まではある程度清浄度が低下することもあるが、そのような場合であっても隔壁１５によってローダー１０内部雰囲気と基板処理装置１本体部の雰囲気とを分離することにより基板処理装置１の本体部においては高い清浄度を維持することができる。
【００４０】
収容部２０は、合計１４個の収容棚２１を備えている。収容棚２１のうちの１つはオープナー４０の上方に設けられ、別の１つはオープナー４０の下方に設けられている。残りの１２個の収容棚２１については、６個ずつ鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って２列に積層されている。各収容棚２１は１つのＦＯＵＰ８０を載置して収容することができる。なお、収容棚２１のそれぞれは未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも収容することができる。
【００４１】
搬送ロボット３０は、搬送アーム３５および水平方向駆動部３１を備えている。また、ローダー１０には、レール３２およびガイドレール３３がいずれもＸ軸方向に沿って延設されている。水平方向駆動部３１は搬送ロボット３０の下端部に固設され、レール３２上をＸ軸方向に沿って移動することができる。一方、搬送ロボット３０の上端部はガイドレール３３に摺動自在に接続されている。従って、水平方向駆動部３１がレール３２上をＸ軸方向に沿って移動すると、それに伴って搬送ロボット３０の全体がＸ軸方向に沿って移動する。
【００４２】
搬送アーム３５は、搬送ロボット３０に取り付けられ、図示を省略する昇降駆動部によって搬送ロボット３０に対し鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降自在とされている。搬送ロボット３０全体がＸ軸方向に沿って移動可能であり、搬送アーム３５が搬送ロボット３０に対しＺ軸方向に沿って移動可能であるため、結局搬送アーム３５はＸＺ平面内にて自在に移動することができる。これにより、搬送ロボット３０は、搬送アーム３５を任意の収容棚２１およびオープナー４０に対してアクセスさせることができる。
【００４３】
オープナー４０は、ＦＯＵＰ８０を載置して蓋８３を取り外す役割を有する。図４は、オープナー４０をＸ方向から見た側面図である。図５は、オープナー４０をＹ方向から見た正面図である。また、図６は、オープナー４０をＺ方向から見た平面図である。
【００４４】
オープナー４０は、載置テーブル４１、ステージ４５および着脱部４９を備える。載置テーブル４１はステージ４５の上面に設けられている。載置テーブル４１は、ステージ４５の内部に設けられた図示を省略するスライド機構によって、図６中矢印ＡＲ６にて示すように、Ｙ方向に沿ったスライド進退移動が可能である。また、載置テーブル４１の上面には３つの支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃが立設されている。載置テーブル４１は、３つの支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を略水平姿勢に載置することができる。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０からの未処理基板の搬出が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。なお、載置テーブル４１の形状についてはさらに後述する。
【００４５】
着脱部４９は、ローダー１０と基板処理装置１の本体部との間の隔壁１５に形成された開口５０を挟んで載置テーブル４１と反対側に設けられている。着脱部４９は、ＦＯＵＰ８０の蓋８３のロック機構を開閉してその蓋８３をＦＯＵＰ８０から着脱することができる。なお、開口５０は隔壁１５に形成された唯一の開口部である。また、着脱部４９は、図示を省略する駆動部によってＹ軸方向に沿った進退移動と、Ｚ軸方向に沿った昇降動作とを行うことができる。
【００４６】
ＦＯＵＰ８０から基板を取り出すときには以下のようにして行われる。まず、ＦＯＵＰ８０を載置した載置テーブル４１が（＋Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の端面（蓋８３が設けられた面）を開口５０に進入させ、蓋８３を着脱部４９に当接させる。着脱部４９は蓋８３のロック機構を解除してその蓋８３をＦＯＵＰ８０から取り外す。次に、着脱部４９は蓋８３を保持したまま（＋Ｙ）向きに後退し、さらに鉛直方向下向きに下降する。このとき蓋８３は、着脱部４９の移動に伴って、ＦＯＵＰ８０から離脱して開口５０を通過し下降する。このようにしてＦＯＵＰ８０が開放された後、基板処理装置１の本体部に設けられた基板移載ロボットが載置テーブル４１に載置されたＦＯＵＰ８０内部にアクセスし、未処理基板を取り出す。
【００４７】
ＦＯＵＰ８０から全ての基板が取り出されると、上記とは逆の動作が実行される。すなわち、蓋８３を保持している着脱部４９が鉛直方向上向きに上昇し、さらに蓋８３を保持したまま（−Ｙ）向きに前進する。このとき蓋８３は、着脱部４９の移動に伴って、開口５０を通過してＦＯＵＰ８０の筐体８１に嵌合する。次に、着脱部４９は蓋８３のロック機構を機能させてその蓋８３をＦＯＵＰ８０に装着する。その後、ＦＯＵＰ８０を載置した載置テーブル４１が（−Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の端面を開口５０から離脱させる。
【００４８】
本実施形態においては、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部４３を載置テーブル４１に形成している（図６参照）。より具体的には、搬送アーム３５と同様の形状の切り欠き部４３を載置テーブル４１に形成している。また、これに対応してステージ４５の形状もＬ字型とし、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って円滑に切り欠き部４３を通過できるようにしている。
【００４９】
一方、搬送アーム３５の上面には３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃが立設されている。従って、搬送アーム３５は３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を下方から略水平姿勢に保持することができるとともに、ＦＯＵＰ８０を下方より保持したまま鉛直方向に沿って昇降することができる。
【００５０】
ＦＯＵＰ８０を下方より略水平姿勢にて保持した搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から鉛直方向に沿って下降し、載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過すると、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃから載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにＦＯＵＰ８０が渡される。すなわち、本実施形態においては、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０を渡すことができるのである。
【００５１】
また、図６に示すように、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃが載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃよりも内側に位置している。すなわち、ＦＯＵＰ８０の底面のうち、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置は載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側とされている。
【００５２】
通常、ＦＯＵＰ８０の正面（蓋８３と反対側の面）には識別のためのＩＤラベルが取り付けられており、オープナー４０にはそのＩＤラベルを読み取るためのリーダが設置される。ＩＤラベルを取り付ける位置は規格によりＦＯＵＰ８０の正面中央と規定されているのであるが、本実施形態のように、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置を載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側としておけば、載置テーブル４１の支持ピン４２ｂの前方（（−Ｙ）側）にリーダを固定設置することができ、そのようにしても該リーダと搬送アーム３５とが干渉するおそれはない。
【００５３】
なお、本実施形態においては、ＦＯＵＰ８０が収納容器に、載置テーブル４１が載置台に、搬送ロボット３０が搬送手段に、それぞれ相当する。
【００５４】
次に、上記構成を有するローダー１０の動作内容について説明する。未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０は、収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入され、１４個の収容棚２１のいずれかに収容される。そのＦＯＵＰ８０から未処理基板を取り出して基板処理装置１の本体部に投入するときには、まず搬送ロボット３０が収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を下方より支持する。既述したように、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０のフランジ８２を把持するのではなく、ＦＯＵＰ８０を下方より支持することによって搬送ロボット３０による高速搬送が可能になる。
【００５５】
次に、搬送ロボット３０が搬送アーム３５にＦＯＵＰ８０を支持させつつ、その搬送アーム３５を載置テーブル４１の上方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直上に位置させる。そして、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を鉛直方向に沿って下降させて切り欠き部４３を通過させると、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０が渡される。その後、上述の如くに載置テーブル４１が（＋Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の蓋８３が取り外され、基板が取り出される。ＦＯＵＰ８０から搬出された基板は、基板処理装置１の本体部に投入され、所定の処理に供される。
【００５６】
ＦＯＵＰ８０から全ての基板が取り出されると、再び蓋８３が装着され、載置テーブル４１が（−Ｙ）向きに移動する。そして、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を載置テーブル４１の下方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直下に位置させる。次に、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を鉛直方向に沿って上昇させて切り欠き部４３を通過させると、載置テーブル４１から搬送アーム３５に空のＦＯＵＰ８０が直接渡される。その後、搬送ロボット３０がいずれかの収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５から収容棚２１に空のＦＯＵＰ８０を渡す。そのＦＯＵＰ８０は収容口１１，１２を介して再びローダー１０外部に搬出される。以上のようにしてローダー１０における一連の処理が終了することとなり、複数のＦＯＵＰ８０について同様の処理が繰り返される。
【００５７】
このようにすれば、搬送ロボット３０の搬送アーム３５が載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過することによって搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができるため、従来必要としていたリフタ１４０の動作分および搬送ロボット１２０の待避分の時間を節約することができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。
【００５８】
また、搬送ロボット３０と載置テーブル４１との間のＦＯＵＰ８０の受け渡しに従来のリフタ１４０が不要となるため、ローダー１０のコストダウンを図ることができる。
【００５９】
また、第１実施形態においては、載置テーブル４１に対して搬送ロボット３０が載置テーブル４１の側方の一方側（（−Ｘ）側）からアクセスする。そして、図６に明示するように、載置テーブル４１の切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されている。このため、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を下降させて搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、搬送アーム３５をＦＯＵＰ８０の底面と接触しない程度にまで若干下降させてから（−Ｘ）向きに移動すれば、切り欠き部４３の開放部分を通過して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させることができる。仮に、切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されていない場合、搬送ロボット３０は、搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、載置テーブル４１との干渉を防ぐべく搬送アーム３５を少なくともステージ４５の下側まで移動させてから（−Ｘ）向きに移動して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させる必要がある。この場合、ステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設けておく必要がある。
【００６０】
これに対して、本実施形態のように載置テーブル４１の切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）を開放すれば、搬送アーム３５が載置テーブル４１と同じ高さ位置にあるときに搬送ロボット３０が（−Ｘ）向きの水平移動を行っても搬送アーム３５と載置テーブル４１との干渉が生じるおそれがないため、搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させる目的でステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができる。例えば、第１実施形態においては、そのスペースにローダー１０のコントローラ６０を配置している。
【００６１】
また、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＸ方向であり、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向はＹ方向であり、ＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向は（−Ｙ）方向である。すなわち、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向または、ＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向と垂直である。このことは、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入を行う搬入方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直であることを意味している。
【００６２】
ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入方向と搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが同じである場合には、搬送アーム３５の移動分だけローダー１０の奥行き（Ｙ方向の幅）を大きくしなければならないが、本実施形態のように、ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入方向と搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直であれば、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００６３】
以上、第１実施形態のローダー１０について説明したが、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを有している。もっとも、アンローダー９０は、ＦＯＵＰ８０に処理済み基板を搬入するものであるため、搬送ロボット３０が空のＦＯＵＰ８０を収容棚２１から載置テーブル４１に搬送する。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。そして、処理済み基板の搬入が終了したＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０の搬送アーム３５が載置テーブル４１から受け取って収容棚２１に搬送する。
【００６４】
アンローダー９０においても、上記ローダー１０と同様に載置テーブル４１に切り欠き部４３を設けることによって、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、アンローダー９０のコストダウンを図れる点や搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も上記ローダー１０と同様である。
【００６５】
＜２．第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図７は、第２実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第２実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのはリフタ７０を備えている点であり、残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００６６】
リフタ７０は、載置テーブル４１の上方に設けられている。リフタ７０はリフタアーム７１を備えており、リフタアーム７１はＦＯＵＰ８０の上部に形成されたフランジ８２（把持部）を把持することおよびその把持状態を解除することができる。また、リフタ７０は、リフタアーム７１を鉛直方向に沿って昇降させることができる。
【００６７】
載置テーブル４１に載置されているＦＯＵＰ８０のフランジ８２をリフタアーム７１が把持して上昇すると、それに伴ってＦＯＵＰ８０も吊り下げられた状態にて上昇し、載置テーブル４１からリフタ７０にそのＦＯＵＰ８０が渡されることとなる。逆に、ＦＯＵＰ８０の底面が載置テーブル４１に接触した状態にてリフタアーム７１がフランジ８２の把持を解除すると、リフタ７０から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０が渡されることとなる。
【００６８】
なお、第２実施形態においては、リフタ７０が昇降手段に相当する。また、リフタ７０のストロークとして、載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を載置してかつリフタアーム７１にも別のＦＯＵＰ８０を把持させた状態でそれら両ＦＯＵＰ８０間に搬送ロボット３０の搬送アーム３５を水平方向に挿脱できるだけの長さを最低限確保しておく。
【００６９】
第２実施形態のローダー１０の動作内容は以下のようなものとなる。まず、第１実施形態と同様に、未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０が収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入され、１４個の収容棚２１のいずれかに収容される。次に、搬送ロボット３０が収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を下方より保持する。
【００７０】
そして、搬送ロボット３０がオープナー４０までＦＯＵＰ８０を搬送するのであるが、このときに載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０が載置されていないときは第１実施形態と同じように直接載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡す。一方、載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０が載置されているときは搬送ロボット３０はＦＯＵＰ８０をリフタ７０に渡す。搬送アーム３５によって下方より保持されたＦＯＵＰ８０の上部に形成されたフランジ８２をリフタアーム７１が把持することによって、搬送ロボット３０からリフタ７０にＦＯＵＰ８０が渡されるため、この受け渡し動作時に搬送アーム３５とリフタアーム７１とが干渉する懸念はない。
【００７１】
載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０（第２の収納容器）が載置されているときは、そのＦＯＵＰ８０から未処理基板が搬出されて基板処理装置１の本体部に投入されているときである。このときに、未処理基板を収納した新たなＦＯＵＰ８０（第１の収納容器）が搬送ロボット３０からリフタ７０に渡されるのである。換言すれば、リフタ７０に新たなＦＯＵＰ８０を保持させた状態にて、載置テーブル４１に載置された他のＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われているのであり、リフタ７０は新たなＦＯＵＰ８０を保持して待機しているのである。
【００７２】
他のＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が終了すると、搬送ロボット３０が載置テーブル４１から空のＦＯＵＰ８０を受け取って収容棚２１に搬送するとともに、リフタ７０がリフタアーム７１を下降させて新たなＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡す。そして、載置テーブル４１に載置された新たなＦＯＵＰ８０からの基板搬出が開始されるとともに、上記空のＦＯＵＰ８０を格納した搬送ロボット３０がさらに別の新たなＦＯＵＰ８０を収容棚２１から搬送してリフタ７０に渡す。以降、同様の動作が繰り返されることとなる。
【００７３】
このようにすれば、基板搬出の終了した空のＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０が載置テーブル４１から取り去った後、直ちにリフタ７０が新たな未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡すため、空のＦＯＵＰ８０の収容棚２１への格納と新たな未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０のオープナー４０への投入がほぼ同時に行われることとなり、第１実施形態よりもＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。また、搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も第１実施形態と同じである。もっとも、リフタ７０を設ける分だけ第１実施形態よりもコストアップが生じるため、そのコストアップの程度とスループットの向上の程度を比較して要求されている仕様を満たすような装置構成にするのが望ましい。
【００７４】
以上、第２実施形態のローダー１０について説明したが、第１実施形態と同じく、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを持たせている。アンローダー９０において、載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０（第２の収納容器）が載置されているときは、そのＦＯＵＰ８０に基板処理装置１の本体部から処理済み基板が搬入されているときである。このときに、新たな空のＦＯＵＰ８０（第１の収納容器）が搬送ロボット３０からリフタ７０に渡されるのである。換言すれば、リフタ７０に新たな空のＦＯＵＰ８０を保持させた状態にて、載置テーブル４１に載置された他のＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われているのであり、リフタ７０は新たな空のＦＯＵＰ８０を保持して待機しているのである。
【００７５】
他のＦＯＵＰ８０への基板の搬入が終了すると、搬送ロボット３０が載置テーブル４１から処理済み基板を収納したＦＯＵＰ８０を受け取って収容棚２１に搬送するとともに、リフタ７０がリフタアーム７１を下降させて新たな空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡す。そして、載置テーブル４１に載置された新たな空のＦＯＵＰ８０への基板搬入が開始されるとともに、上記処理済み基板を収納したＦＯＵＰ８０を格納した搬送ロボット３０がさらに別の新たな空のＦＯＵＰ８０を収容棚２１から搬送してリフタ７０に渡す。以降、同様の動作が繰り返されることとなる。
【００７６】
このようにしても、基板搬入の終了したＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０が載置テーブル４１から取り去った後、直ちにリフタ７０が新たな空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡すため、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【００７７】
＜３．第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図８は、第３実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第３実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのは基板処理装置外部のＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）２００が直接ＦＯＵＰ８０をオープナー４０に対して受け渡しする点であり、残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００７８】
第３実施形態のローダー１０には、ＦＯＵＰ８０を収容する収容部２０および収容部２０とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０の搬送を行う搬送ロボット３０が設けられておらず、ＦＯＵＰ８０を開放してその内部から未処理基板を取り出すオープナー４０のみが設けられている。換言すれば、第１実施形態のローダー１０から収容部２０および搬送ロボット３０を取り外したものが第３実施形態のローダー１０となる。但し、第３実施形態においては、ＡＧＶ２００の搬送時間とオープナー４０における基板取り出し時間との差を調整するためにＦＯＵＰ８０を載置する収容棚２１を１つだけ載置テーブル４１の下方に設けている。
【００７９】
ＡＧＶ２００は、基板処理装置が設置された工場内を走行してＦＯＵＰ８０を搬送する。ＡＧＶ２００は、自走機能を有する本体部２０１に搬送アーム２０２を有する多関節ロボットを備えて構成されている。
【００８０】
ローダー１０の外壁であって、載置テーブル４１と対向する位置には図１の収容口１１，１２と同様の開口（図示省略）が形成されている。ＡＧＶ２００は、その開口を介してオープナー４０にＦＯＵＰ８０を渡すことおよびオープナー４０からＦＯＵＰ８０を取り出すことができる。なお、ＡＧＶ２００はオープナー４０とは異なる位置（例えば、工場内のＦＯＵＰ８０の集積所）とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０を搬送する。
【００８１】
第３実施形態のローダー１０の動作内容は以下のようなものとなる。まず、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２にＦＯＵＰ８０を下方より保持させた状態にてローダー１０の上記開口の正面まで走行移動する。そして、ＡＧＶ２００はその開口から搬送アーム２０２を挿入し、載置テーブル４１の上方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直上に位置させる。そして、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２を鉛直方向に沿って下降させて切り欠き部４３を通過させると、搬送アーム２０２から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０が渡される。
【００８２】
ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が完了すると、ＡＧＶ２００は搬送アーム２０２を載置テーブル４１の下方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直下に位置させる。次に、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２を鉛直方向に沿って上昇させて切り欠き部４３を通過させると、載置テーブル４１から搬送アーム２０２に空のＦＯＵＰ８０が直接渡される。その後、ＡＧＶ２００は上記開口から搬送アーム２０２を抜き出し、ＦＯＵＰ８０を保持して再び走行を開始する。
【００８３】
このようにすれば、ＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過することによって搬送アーム２０２と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができるため、第１実施形態と同様に、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。
【００８４】
以上、第３実施形態のローダー１０について説明したが、第１実施形態と同じく、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを持たせている。もっとも、アンローダー９０は、ＦＯＵＰ８０に処理済み基板を搬入するものであるため、ＡＧＶ２００が空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に搬送する。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。そして、処理済み基板の搬入が終了したＦＯＵＰ８０をＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が載置テーブル４１から受け取って装置外部へと取り出す。
【００８５】
＜４．第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図９は、第４実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第４実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのは、ステージ４５が直方体形状とされているために、搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から下方に通過することが不可能とされている点である。すなわち、載置テーブル４１には搬送アーム３５が鉛直方向に沿ってはまり込むことは出来るものの、通過は不可能な凹部４４が形成されている点である。残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００８６】
第４実施形態においては、搬送アーム３５がはまり込んで少なくとも搬送アーム３５の上面が載置テーブル４１の上面よりも下側まで移動可能な凹部４４が載置テーブル４１に設けられている。より具体的には、搬送アーム３５と同様の形状であってかつ搬送アーム３５の厚さよりも大きな深さを有する凹部４４を載置テーブル４１に形成している。また、ステージ４５の形状は直方体形状としている。従って、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過することはできない。
【００８７】
一方、第１実施形態と同様に、搬送アーム３５は３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を下方から略水平姿勢に保持することができるとともに、ＦＯＵＰ８０を下方より支持したまま鉛直方向に沿って昇降することができる。ＦＯＵＰ８０を下方より略水平姿勢にて支持した搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から鉛直方向に沿って下降し、載置テーブル４１の凹部４４にはまり込んで載置テーブル４１の上面よりも下側に移動すると、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃから載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにＦＯＵＰ８０が渡される。すなわち、第４実施形態においても、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０を渡すことができるのである。
【００８８】
また、第１実施形態と同様に、ＦＯＵＰ８０の底面のうち、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置は載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側とされている。
【００８９】
また、第４実施形態においては、載置テーブル４１に対して搬送ロボット３０が載置テーブル４１の側方の一方側（（−Ｘ）側）からアクセスする。そして、載置テーブル４１の凹部４４の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されている。このため、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を下降させて搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、搬送アーム３５をＦＯＵＰ８０の底面と接触しない程度にまで凹部４４内にて若干下降させてから（−Ｘ）向きに移動すれば、凹部４４の開放部分を通過して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させることができる。
【００９０】
従って、第４実施形態においても、搬送アーム３５が載置テーブル４１と同じ高さ位置にあるときに搬送ロボット３０が（−Ｘ）向きの水平移動を行っても搬送アーム３５と載置テーブル４１との干渉が生じるおそれがないため、ステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができる。
【００９１】
さらに、第４実施形態においても、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向と垂直である。すなわち、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入を行う搬入方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直である。従って、第１実施形態と同様に、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００９２】
なお、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過しない点を除き、ローダー１０の動作内容は第１実施形態と同じである。
【００９３】
以上、第４実施形態のローダー１０について説明したが、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを有している。アンローダー９０においても、上記ローダー１０と同様に載置テーブル４１に凹部４４を設けることによって、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、アンローダー９０のコストダウンを図れる点や搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も上記ローダー１０と同様である。
【００９４】
＜５．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記の各実施形態においては、本発明に係る基板受渡装置の機能がローダー１０とアンローダー９０とに分離されていたが、１つの基板受渡装置にこれらの機能を統合するようにしても良い。すなわち、１つの基板受渡装置がＦＯＵＰ８０からの未処理基板の搬出およびＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入の双方を行うようにしても良い。
【００９５】
また、上記各実施形態においては、基板処理装置１を１組の複数の基板を一括して処理するいわゆるバッチ式の装置としていたが、これに限定されるものではなく、本発明に係る基板受渡装置は基板を１枚ずつ処理するいわゆる枚葉式の基板処理装置に組み込まれるようにしても良い。
【００９６】
また、搬送アーム３５（２０２）をコの字形状とし、載置テーブル４１を長方形の板状としても良い。この場合、載置テーブル４１の両側方を搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過する。このようにしても、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。すなわち、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の通過部が載置テーブル４１に形成されていれば良いのである。
【００９７】
この場合は、載置テーブル４１の厚さを薄くして下方を開放空間とし、搬送アーム３５が載置テーブル４１の下方を通過しつつ載置テーブル４１の側方に移動できるようにする。このようにすれば、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直となり、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００９８】
また、第２実施形態の構成と第３実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図８の構成にリフタ７０（図７）を設ける。このときのローダー１０の動作は、第３実施形態に第２実施形態のリフタ７０の動作を加えたものとなる。
【００９９】
また、第２実施形態の構成と第４実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図９の構成にリフタ７０（図７）を設ける。このときのローダー１０の動作は、第４実施形態に第２実施形態のリフタ７０の動作を加えたものとなる。
【０１００】
さらに、第３実施形態の構成と第４実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図９のオープナー４０を図８のローダー１０に適用する。このときのローダー１０の動作は、ＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過しない点を除き、第３実施形態と同じである。
【０１０１】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１の発明によれば、載置台に、搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部が形成されているため、搬送アームが載置台の切り欠き部を通過することによって搬送アームと載置台との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置台との間で収納容器が搬送され、切り欠き部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置台から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板受渡装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１０３】
また、請求項２の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置台に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置台から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置台に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１０４】
また、請求項３の発明によれば、載置部に、搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な搬送手段用の切り欠き部が形成されているため、搬送手段が載置部の切り欠き部を通過することによって搬送手段と載置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置部との間で収納容器が搬送され、切り欠き部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置部から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板処理装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１０８】
また、請求項４の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置部から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置部に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１０９】
また、請求項５の発明によれば、収納容器の底面のうち、搬送手段が収納容器を支持する支持位置は載置部が収納容器を載置する載置位置よりも内側とされているため、利便性が高い。
【０１１０】
また、請求項６の発明によれば、載置部に、搬送手段がはまり込んで載置部の上面よりも下側まで移動可能な前記搬送手段用の凹部が形成されているため、搬送手段が載置部の凹部にはまり込んで載置部の上面よりも下側まで移動することによって搬送手段と載置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置部との間で収納容器が搬送され、凹部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置部から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板処理装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１１４】
また、請求項７の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置部から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置部に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１１５】
また、請求項８の発明によれば、収納容器の底面のうち、搬送手段が収納容器を支持する支持位置は載置部が収納容器を載置する載置位置よりも内側とされているため、利便性が高い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板受渡装置を組み込んだ基板処理装置の外観斜視図である。
【図２】ＦＯＵＰの外観斜視図である。
【図３】図１の基板処理装置のローダーの構造を示す斜視図である。
【図４】図３のオープナーをＸ方向から見た側面図である。
【図５】図３のオープナーをＹ方向から見た正面図である。
【図６】図３のオープナーをＺ方向から見た平面図である。
【図７】第２実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図８】第３実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図９】第４実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図１０】従来のＦＯＵＰ用の基板受渡装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１基板処理装置
１０ローダー
２０収容部
２１収容棚
３０搬送ロボット
３５搬送アーム
４０オープナー
４１載置テーブル
４３切り欠き部
４４凹部
４５ステージ
７０リフタ
８０ＦＯＵＰ
８２フランジ
９０アンローダー[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention accommodates a storage container for storing a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, a substrate for an optical disk (hereinafter referred to as “substrate”), and the substrate from the storage container. The present invention relates to a technique for carrying out or carrying a substrate into its storage container.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, unprocessed substrates are carried into a substrate processing apparatus that performs surface processing such as etching processing on a substrate while being stored in a carrier from the outside of the apparatus. Carriers include an OC (open cassette) in which a part of the container is released to the outside atmosphere and a FOUP (front opening unified pod) in which the inside of the container is sealed.
[0003]
When a FOUP type cassette (hereinafter simply referred to as “FOUP”) is used for transporting substrates between devices, the substrate is transported in a sealed state, so there are particles in the surrounding atmosphere. Even if it is done, the cleanliness of the substrate can be maintained. Accordingly, since it is not necessary to increase the cleanliness in the clean room where the substrate processing apparatus is installed, the cost required for the clean room can be reduced.
[0004]
Such a FOUP is accommodated in a dedicated substrate delivery apparatus incorporated in the substrate processing apparatus, and an unprocessed substrate is taken out from the FOUP to the substrate processing apparatus in the substrate delivery apparatus, and a processed substrate is collected in the FOUP. . FIG. 10 is a perspective view showing a conventional FOUP substrate delivery apparatus.
[0005]
The substrate delivery apparatus 101 is incorporated in the substrate processing apparatus 100 as a loader, and has a function of storing a FOUP storing unprocessed substrates and loading the substrate into the substrate processing apparatus 100 from the FOUP. The substrate delivery apparatus 101 includes a plurality of storage shelves 111, a transfer robot 120, a placement table 130, and a lifter 140.
[0006]
Each of the plurality of storage shelves 111 can store a single FOUP. The FOUP carried into the substrate delivery apparatus 101 from the outside of the substrate processing apparatus 100 is accommodated in one of the plurality of accommodation shelves 111.
[0007]
The mounting table 130 can mount one FOUP. When the FOUP placed on the placement table 130 is opened, the unprocessed substrate is taken out from the inside and is put into the main body of the substrate processing apparatus 100.
[0008]
The transfer robot 120 includes a transfer arm 121 and is movable along the width direction of the substrate processing apparatus 100. Further, the transfer arm 121 can be moved up and down with respect to the transfer robot 120. Accordingly, the transfer robot 120 can access the transfer arm 121 with respect to each of the placement table 130 and the plurality of storage shelves 111. Then, the transfer robot 120 transfers the FOUP storing the unprocessed substrate from any of the plurality of storage shelves 111 to the mounting table 130 and also transfers a plurality of empty FOUPs after the substrate is taken out from the mounting table 130. To one of the storage shelves 111.
[0009]
When the transfer robot 120 transfers the FOUP, the transfer arm 121 supports the bottom of the FOUP from below. This is because if the transfer robot 120 grips the flange provided at the top of the FOUP and carries it while the FOUP is suspended, rapid acceleration / deceleration cannot be performed due to the strength of the flange, and high-speed transfer cannot be performed. It is.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the transfer arm 121 supports the bottom of the FOUP, the FOUP cannot be placed directly on the placement table 130. Therefore, conventionally, the FOUP supported from below by the transfer arm 121 is once transferred to the lifter 140. The lifter 140 can hold the FOUP in a suspended state by gripping a flange provided at the top of the FOUP. The lifter 140 is movable in the vertical direction along the vertical direction above the mounting table 130. Therefore, after receiving the FOUP from the transfer robot 120, the lifter 140 lowers the FOUP held after the transfer robot 120 moves and the transfer arm 121 is retracted from between the FOUP and the mounting table 130. It was placed on the mounting table 130. Thereafter, the FOUP placed on the mounting table 130 is released, and an unprocessed substrate is taken out from the inside and is put into the main body of the substrate processing apparatus 100.
[0011]
It should be noted that when the FOUP that has been emptied after being taken out of the substrate is transported from the placement table 130 to the storage shelf 111, a procedure reverse to the above is performed. That is, once the lifter 140 holds and lifts an empty FOUP, the transfer robot 120 accesses the placement table 130, and the FOUP is transferred from the lifter 140 to the transfer arm 121 of the transfer robot 120. Thereafter, the lifter 140 releases the FOUP and the transfer robot 120 that has received the FOUP accesses the storage shelf 111.
[0012]
As described above, conventionally, since the transfer robot 120 cannot place the FOUP directly on the placement table 130 or cannot receive the FOUP directly from the placement table 130, the transfer robot 120 once passes through the lifter 140. Therefore, the FOUP must be delivered between the transfer robot 120 and the mounting table 130. Therefore, the FOUP delivery between the transfer robot 120 and the mounting table 130 requires time for the operation of the lifter 140 and the save time for the transfer robot 120, resulting in a problem of reduced throughput.
[0013]
  The present invention has been made in view of the above problems, and provides a substrate delivery apparatus capable of obtaining high throughput.And substrate processing apparatusThe purpose is to provide.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
  In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 is a substrate delivery apparatus for accommodating a storage container for storing a substrate and carrying out a substrate from the storage container or carrying a substrate into the storage container. A storage section for storing the storage container;Arranged on the side of the housing,When the substrate is unloaded from the storage container or the substrate is loaded into the storage container, between the mounting table on which the storage container is mounted and the storage unit and the mounting tableAlong the conveyance direction substantially perpendicular to the direction of carrying out and carrying in the substrate with respect to the storage containerA transfer means for transferring the storage container, the transfer means having a transfer arm that holds the storage container from below and moves up and down along a substantially vertical direction. Forms a notch that can pass along a substantially vertical direction., The housing part side along the transport direction of the notch is opened.
[0016]
  Claims2The invention ofInvention of Claim 1The substrate delivery apparatus according to claim 1, further comprising elevating means provided above the mounting table and elevating and lowering along a substantially vertical direction while holding a grip portion formed on the upper portion of the storage container. In a state where the first storage container is held, the substrate is carried out from the second storage container placed on the mounting table or the substrate is carried into the second storage container.
[0017]
  Claims3The substrate processing apparatus for carrying out a substrate from a storage container for storing a substrate or carrying a substrate into the storage container, a storage unit for storing the storage container;Arranged on the side of the housing,When unloading the substrate from the storage container or loading the substrate into the storage container, the mounting unit for mounting the storage container, and the storage container from below are held along a substantially vertical direction. It can be raised and lowered, and between the storage part and the mounting partAlong the conveyance direction substantially perpendicular to the direction of carrying out and carrying in the substrate with respect to the storage containerA transfer means for transferring the storage container, and a notch for the transfer means through which the transfer means can pass along a substantially vertical direction is formed in the mounting portion., The housing part side along the transport direction of the notch is opened.
[0021]
  Claims4The invention ofInvention of Claim 3In the substrate processing apparatus according to the present invention, the substrate processing apparatus further includes an elevating unit that is provided above the placement unit and that elevates and moves along a substantially vertical direction while holding a grip portion formed on the upper portion of the storage container. In a state where the first storage container is held, the substrate is carried out from the second storage container placed on the placement unit or the substrate is carried into the second storage container.
[0022]
  Claims5The invention ofInvention of Claim 3 or Claim 4In the substrate processing apparatus according to the present invention, a support position at which the transfer unit supports the storage container among the bottom surfaces of the storage container is set to an inner side than the mounting position at which the placement unit places the storage container.
[0023]
  Claims6The substrate processing apparatus for carrying out a substrate from a storage container for storing a substrate or carrying a substrate into the storage container, a storage unit for storing the storage container;Arranged on the side of the housing,When unloading the substrate from the storage container or loading the substrate into the storage container, the mounting unit for mounting the storage container, and the storage container from below are held along a substantially vertical direction. It can be raised and lowered, and between the storage part and the mounting partAlong the conveyance direction substantially perpendicular to the direction of carrying out and carrying in the substrate with respect to the storage containerAnd a transport means for transporting the storage container, and the mounting section is provided with a recess for the transport means in which the transport means fits and is movable below the upper surface of the mounting section.The housing part side along the transport direction of the recess is opened..
[0027]
  Claims7The invention ofInvention of Claim 6In the substrate processing apparatus according to the present invention, the substrate processing apparatus further includes an elevating unit that is provided above the placement unit and that elevates and moves along a substantially vertical direction while holding a grip portion formed on the upper portion of the storage container. In a state where the first storage container is held, the substrate is carried out from the second storage container placed on the placement unit or the substrate is carried into the second storage container.
[0028]
  Claims8The invention ofInvention of Claim 6 or Claim 7In the substrate processing apparatus according to the present invention, a support position at which the transfer unit supports the storage container among the bottom surfaces of the storage container is set to an inner side than the mounting position at which the placement unit places the storage container.
[0033]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0034]
<1. First Embodiment>
FIG. 1 is an external perspective view of a substrate processing apparatus incorporating a substrate delivery apparatus according to the present invention. In FIG. 1 and the subsequent drawings, an XYZ orthogonal coordinate system in which the Z-axis direction is a vertical direction and the XY plane is a horizontal plane is appropriately attached as necessary to clarify the directional relationship.
[0035]
The substrate processing apparatus 1 is an apparatus that sequentially performs etching processing using a chemical solution such as hydrofluoric acid or rinsing processing using pure water on a set of a plurality of substrates (lots), and stores the chemical solution inside the main body. It is equipped with a tank and a washing tank for storing pure water. A loader 10 is provided at one end of the substrate processing apparatus 1, and an unloader 90 is provided at the other end. Both the loader 10 and the unloader 90 are substrate delivery apparatuses according to the present invention, and have the same configuration and function. However, the loader 10 has a role of storing a FOUP containing an unprocessed substrate and unloading the unprocessed substrate from the FOUP and loading it into the main body of the substrate processing apparatus 1, whereas the unloader 90 is empty. While storing the FOUP, it has a role of carrying a processed substrate into the FOUP from the main body of the substrate processing apparatus 1.
[0036]
Hereinafter, a loader 10 for loading an unprocessed substrate into the main body of the substrate processing apparatus 1 will be described in detail as an example of a substrate delivery apparatus according to the present invention. Storage ports 11 and 12 are formed on the outer wall of the loader 10. The FOUP storing the unprocessed substrate is carried into the loader 10 through the storage ports 11 and 12 by a load port (not shown).
[0037]
Here, FOUP will be described. FIG. 2 is an external perspective view of the FOUP. The FOUP 80 has a flange 82 formed on the top of the housing 81. By holding the flange 82, the FOUP 80 can be held in a suspended state. A lid 83 is provided on one surface of the housing 81 (the surface viewed from the direction of the arrow AR2 in FIG. 2). The lid 83 is provided with a locking mechanism for the casing 81. The lid 83 is fixed to the casing 81 by operating the locking mechanism in a state where the lid 83 is attached to the casing 81. Becomes a closed space. On the other hand, when the lock mechanism is released, the lid 83 can be removed from the housing 81. In a state where the lid 83 is removed from the housing 81 and the FOUP 80 is opened, it is possible to take out the substrate from the inside of the housing 81 and store the substrate in the inside. In addition, for example, 25 or 13 substrates are stored in the housing 81 with their main surfaces along the horizontal direction or along the vertical direction.
[0038]
Normally, when the FOUP 80 is transported inside and outside the loader 10, the lid 83 is attached to the housing 81 to make the lock mechanism function, that is, the inside of the housing 81 is in a sealed space. Thereby, high cleanliness is maintained inside the FOUP 80 regardless of the cleanliness of the clean room in which the substrate processing apparatus 1 is installed.
[0039]
FIG. 3 is a perspective view showing the structure of the loader 10. The loader 10 mainly includes a storage unit 20 that stores the FOUP 80, an opener 40 that opens the FOUP 80 and takes out an unprocessed substrate from the inside, and a transfer robot 30 that transfers the FOUP 80 between the storage unit 20 and the opener 40. It has. The loader 10 and the main body of the substrate processing apparatus 1 are connected with a partition wall 15 interposed therebetween. When the FOUP 80 is used as a carrier, the cleanliness may be reduced to some extent up to the loader 10. Even in such a case, the inner space of the loader 10 and the atmosphere of the main body of the substrate processing apparatus 1 are separated by the partition wall 15. By doing so, high cleanliness can be maintained in the main body of the substrate processing apparatus 1.
[0040]
The storage unit 20 includes a total of 14 storage shelves 21. One of the storage shelves 21 is provided above the opener 40, and the other one is provided below the opener 40. The remaining 12 storage shelves 21 are stacked in two rows along the vertical direction (Z-axis direction). Each storage shelf 21 can store and store one FOUP 80. Each of the storage shelves 21 can store either the FOUP 80 storing an unprocessed substrate or the empty FOUP 80 after the substrate is taken out.
[0041]
The transfer robot 30 includes a transfer arm 35 and a horizontal driving unit 31. Further, the loader 10 has a rail 32 and a guide rail 33 both extending along the X-axis direction. The horizontal drive unit 31 is fixed to the lower end of the transfer robot 30 and can move on the rail 32 along the X-axis direction. On the other hand, the upper end portion of the transfer robot 30 is slidably connected to the guide rail 33. Accordingly, when the horizontal driving unit 31 moves on the rail 32 along the X-axis direction, the entire transfer robot 30 moves along the X-axis direction accordingly.
[0042]
The transfer arm 35 is attached to the transfer robot 30 and is movable up and down along the vertical direction (Z-axis direction) with respect to the transfer robot 30 by an elevating drive unit (not shown). Since the entire transfer robot 30 can move along the X-axis direction, and the transfer arm 35 can move along the Z-axis direction with respect to the transfer robot 30, the transfer arm 35 eventually moves freely in the XZ plane. can do. Thereby, the transfer robot 30 can access the transfer arm 35 to the arbitrary storage rack 21 and the opener 40.
[0043]
The opener 40 has a role of placing the FOUP 80 and removing the lid 83. FIG. 4 is a side view of the opener 40 as viewed from the X direction. FIG. 5 is a front view of the opener 40 as viewed from the Y direction. FIG. 6 is a plan view of the opener 40 as viewed from the Z direction.
[0044]
The opener 40 includes a mounting table 41, a stage 45, and an attaching / detaching unit 49. The mounting table 41 is provided on the upper surface of the stage 45. The mounting table 41 can be moved back and forth along the Y direction by a slide mechanism (not shown) provided inside the stage 45, as indicated by an arrow AR6 in FIG. Further, three support pins 42 a, 42 b, 42 c are erected on the upper surface of the mounting table 41. The mounting table 41 can mount the FOUP 80 in a substantially horizontal posture at three points by the three support pins 42a, 42b, and 42c. The placement table 41 places the FOUP 80 when unprocessed substrates are unloaded from the FOUP 80. The shape of the mounting table 41 will be further described later.
[0045]
The detachable portion 49 is provided on the opposite side of the mounting table 41 with an opening 50 formed in the partition wall 15 between the loader 10 and the main body of the substrate processing apparatus 1 interposed therebetween. The attaching / detaching portion 49 can open and close the lock mechanism of the lid 83 of the FOUP 80 to attach / detach the lid 83 from the FOUP 80. The opening 50 is the only opening formed in the partition wall 15. Further, the attaching / detaching portion 49 can perform forward / backward movement along the Y-axis direction and lifting / lowering operation along the Z-axis direction by a driving unit (not shown).
[0046]
When the substrate is taken out from the FOUP 80, it is performed as follows. First, the mounting table 41 on which the FOUP 80 is mounted moves in the (+ Y) direction, the end surface of the FOUP 80 (the surface provided with the lid 83) enters the opening 50, and the lid 83 is brought into contact with the detachable portion 49. The detachable part 49 releases the lock mechanism of the lid 83 and removes the lid 83 from the FOUP 80. Next, the attaching / detaching part 49 moves backward (+ Y) while holding the lid 83 and further descends downward in the vertical direction. At this time, the lid 83 separates from the FOUP 80 with the movement of the attaching / detaching portion 49, passes through the opening 50, and descends. After the FOUP 80 is thus opened, the substrate transfer robot provided in the main body of the substrate processing apparatus 1 accesses the inside of the FOUP 80 placed on the placement table 41 and takes out the unprocessed substrate.
[0047]
When all the substrates are taken out from the FOUP 80, the reverse operation is performed. That is, the attaching / detaching portion 49 holding the lid 83 rises upward in the vertical direction, and further advances in the (−Y) direction while holding the lid 83. At this time, the lid 83 passes through the opening 50 and fits into the housing 81 of the FOUP 80 as the attaching / detaching portion 49 moves. Next, the attaching / detaching portion 49 causes the lock mechanism of the lid 83 to function and attaches the lid 83 to the FOUP 80. Thereafter, the placement table 41 on which the FOUP 80 is placed moves in the (−Y) direction, and the end face of the FOUP 80 is detached from the opening 50.
[0048]
In the present embodiment, the mounting table 41 is formed with a notch 43 through which the transport arm 35 can pass along the vertical direction (see FIG. 6). More specifically, a notch 43 having the same shape as that of the transfer arm 35 is formed in the mounting table 41. Correspondingly, the shape of the stage 45 is also L-shaped so that the transfer arm 35 can pass through the notch 43 smoothly along the vertical direction.
[0049]
On the other hand, three support pins 36 a, 36 b, and 36 c are erected on the upper surface of the transfer arm 35. Accordingly, the transfer arm 35 can hold the FOUP 80 in a substantially horizontal position from below by three support pins 36a, 36b, and 36c, and can move up and down along the vertical direction while holding the FOUP 80 from below. Can do.
[0050]
When the transport arm 35 holding the FOUP 80 in a substantially horizontal posture from below is lowered along the vertical direction from above the mounting table 41 and passes through the notch 43 of the mounting table 41, the support pins 36a of the transport arm 35 are supported. , 36b, 36c are transferred to the support pins 42a, 42b, 42c of the mounting table 41. That is, in the present embodiment, the FOUP 80 can be directly transferred from the transfer arm 35 to the mounting table 41.
[0051]
In addition, as shown in FIG. 6, the support pins 36 a, 36 b, 36 c of the transport arm 35 are located inside the support pins 42 a, 42 b, 42 c of the mounting table 41. That is, on the bottom surface of the FOUP 80, the support position where the transfer arm 35 supports the FOUP 80 is set inside the mounting position where the mounting table 41 places the FOUP 80.
[0052]
Usually, an ID label for identification is attached to the front surface (the surface opposite to the lid 83) of the FOUP 80, and a reader for reading the ID label is installed in the opener 40. The position where the ID label is attached is defined by the standard as the front center of the FOUP 80. However, as in this embodiment, the mounting table 41 places the FOUP 80 on the support position where the transfer arm 35 supports the FOUP 80. If it is set inside the mounting position, the reader can be fixedly installed in front of the support pin 42b ((−Y) side) of the mounting table 41, and even in such a case, the reader and the transport arm 35 interfere with each other. There is no risk.
[0053]
In the present embodiment, the FOUP 80 corresponds to a storage container, the mounting table 41 corresponds to a mounting table, and the transfer robot 30 corresponds to a transfer unit.
[0054]
Next, the operation content of the loader 10 having the above configuration will be described. The FOUP 80 storing unprocessed substrates is carried into the loader 10 through the storage ports 11 and 12 and stored in one of the 14 storage shelves 21. When an unprocessed substrate is taken out from the FOUP 80 and put into the main body of the substrate processing apparatus 1, the transfer robot 30 first accesses the storage shelf 21 and the transfer arm 35 supports the FOUP 80 from below. As described above, the transfer arm 35 does not hold the flange 82 of the FOUP 80 but supports the FOUP 80 from below, so that the transfer robot 30 can perform high-speed transfer.
[0055]
Next, while the transport robot 30 supports the FOUP 80 on the transport arm 35, the transport arm 35 is positioned above the mounting table 41, more precisely, directly above the notch 43 of the mounting table 41. Then, when the transfer robot 30 lowers the transfer arm 35 along the vertical direction and passes the cutout portion 43, the FOUP 80 is directly transferred from the transfer arm 35 to the mounting table 41. Thereafter, the mounting table 41 moves in the (+ Y) direction as described above, the lid 83 of the FOUP 80 is removed, and the substrate is taken out. The substrate carried out from the FOUP 80 is loaded into the main body of the substrate processing apparatus 1 and subjected to a predetermined process.
[0056]
When all the substrates are taken out from the FOUP 80, the lid 83 is mounted again, and the mounting table 41 moves in the (−Y) direction. Then, the transfer robot 30 positions the transfer arm 35 below the mounting table 41, more precisely, directly below the notch 43 of the mounting table 41. Next, when the transfer robot 30 raises the transfer arm 35 along the vertical direction and passes through the notch 43, an empty FOUP 80 is directly passed from the placement table 41 to the transfer arm 35. Thereafter, the transfer robot 30 accesses one of the storage shelves 21 and passes an empty FOUP 80 from the transfer arm 35 to the storage rack 21. The FOUP 80 is again carried out of the loader 10 through the storage ports 11 and 12. As described above, a series of processing in the loader 10 is completed, and the same processing is repeated for a plurality of FOUPs 80.
[0057]
In this way, since the transfer arm 35 of the transfer robot 30 passes through the cutout portion 43 of the mounting table 41, the FOUP 80 can be directly transferred between the transfer arm 35 and the mounting table 41. Thus, it is possible to save the time required for the operation of the lifter 140 and the saving time of the transfer robot 120, which are conventionally required, and the time required for the delivery operation of the FOUP 80 can be shortened to obtain a high throughput.
[0058]
In addition, since the conventional lifter 140 is not required for delivery of the FOUP 80 between the transfer robot 30 and the mounting table 41, the cost of the loader 10 can be reduced.
[0059]
In the first embodiment, the transfer robot 30 accesses the mounting table 41 from one side ((−X) side) of the mounting table 41. And as clearly shown in FIG. 6, the said one side ((-X) side) of the notch part 43 of the mounting table 41 is open | released. For this reason, after the transfer robot 30 lowers the transfer arm 35 and passes the FOUP 80 from the transfer arm 35 to the mounting table 41, the transfer robot 35 is slightly lowered to the extent that it does not come into contact with the bottom surface of the FOUP 80 (−X ), The transfer arm 35 can be detached from the opener 40 through the open portion of the notch 43. If the one side ((−X) side) of the notch 43 is not opened, the transfer robot 30 transfers the FOUP 80 from the transfer arm 35 to the setting table 41, and then contacts the mounting table 41. In order to prevent interference, it is necessary to move the transfer arm 35 to at least the lower side of the stage 45 and then move in the (−X) direction to separate the transfer arm 35 from the opener 40. In this case, it is necessary to provide a special space for the transfer arm 35 to pass under the stage 45.
[0060]
On the other hand, if the said one side ((-X) side) of the notch part 43 of the mounting table 41 is open | released like this embodiment, the conveyance arm 35 will be in the same height position as the mounting table 41. FIG. Even if the transfer robot 30 performs horizontal movement in the (−X) direction at a certain time, there is no possibility that the transfer arm 35 and the mounting table 41 interfere with each other. Therefore, the stage 45 is used for the purpose of separating the transfer arm 35 from the opener 40. It is not necessary to provide a special space for the transfer arm 35 to pass below, and the space can be used effectively. For example, in the first embodiment, the controller 60 of the loader 10 is arranged in the space.
[0061]
Further, the one side direction as viewed from the mounting table 41 is the X direction, the unloading direction in which the substrate is unloaded from the FOUP 80 through the opening 50 is the Y direction, and the substrate is loaded into the FOUP 80. The loading direction is the (−Y) direction. That is, the one side direction viewed from the mounting table 41 is perpendicular to the carry-out direction in which the substrate is carried out from the FOUP 80 or the carry-in direction in which the substrate is carried into the FOUP 80. This means that the carrying-out direction for carrying out the substrate from the FOUP 80 through the opening 50 or the carrying-in direction for carrying the substrate into the FOUP 80 is perpendicular to the direction in which the carrying arm 35 separates from the opener 40 after passing the FOUP 80. It means that there is.
[0062]
In the case where the substrate carry-out direction from the FOUP 80 or the substrate carry-in direction to the FOUP 80 is the same as the direction in which the transfer arm 35 is detached from the opener 40, the depth of the loader 10 (in the Y direction) (Width) must be increased, as in the present embodiment, if the substrate carry-out direction from the FOUP 80 or the substrate carry-in direction to the FOUP 80 and the direction in which the transfer arm 35 separates from the opener 40 are perpendicular to each other, The depth of the loader 10 can be reduced to suppress an increase in footprint.
[0063]
Although the loader 10 of the first embodiment has been described above, the unloader 90 (see FIG. 1) has the same configuration and function. However, since the unloader 90 carries the processed substrate into the FOUP 80, the transfer robot 30 transfers the empty FOUP 80 from the storage shelf 21 to the mounting table 41. The placement table 41 places the FOUP 80 when the processed substrate is carried into the FOUP 80. Then, the transport arm 35 of the transport robot 30 receives the FOUP 80 in which the processed substrate has been loaded from the mounting table 41 and transports it to the storage shelf 21.
[0064]
In the unloader 90 as well, the FOUP 80 can be directly transferred between the transfer arm 35 and the mounting table 41 by providing the mounting table 41 with the notch 43 similarly to the loader 10. A high throughput can be obtained by shortening the time required for the delivery operation. In addition, the loader 10 is similar to the loader 10 in that the cost of the unloader 90 can be reduced and no special space is required for the transfer arm 35 to pass.
[0065]
<2. Second Embodiment>
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 7 is a perspective view showing the structure of the loader 10 of the second embodiment. The loader 10 of the second embodiment is different from the first embodiment in that it includes a lifter 70. The remaining points are the same as those in the first embodiment, so the same reference numerals are given and explanations thereof are omitted. Omitted.
[0066]
The lifter 70 is provided above the mounting table 41. The lifter 70 includes a lifter arm 71. The lifter arm 71 can grip a flange 82 (gripping portion) formed on the top of the FOUP 80 and can release the gripping state. Further, the lifter 70 can raise and lower the lifter arm 71 along the vertical direction.
[0067]
When the lifter arm 71 grips and raises the flange 82 of the FOUP 80 placed on the placement table 41, the FOUP 80 also rises in a suspended state, and the FOUP 80 is moved from the placement table 41 to the lifter 70. Will be passed. Conversely, when the lifter arm 71 releases the grip of the flange 82 in a state where the bottom surface of the FOUP 80 is in contact with the mounting table 41, the FOUP 80 is transferred from the lifter 70 to the mounting table 41.
[0068]
In the second embodiment, the lifter 70 corresponds to the lifting means. Further, as the stroke of the lifter 70, the transfer arm 35 of the transfer robot 30 is inserted in the horizontal direction between the two FOUPs 80 with the FOUP 80 mounted on the mounting table 41 and the lifter arm 71 holding another FOUP 80. Secure a minimum length that can be removed.
[0069]
The operation content of the loader 10 of the second embodiment is as follows. First, as in the first embodiment, the FOUP 80 storing unprocessed substrates is loaded into the loader 10 through the storage ports 11 and 12 and stored in one of the 14 storage shelves 21. Next, the transfer robot 30 accesses the storage shelf 21 and the transfer arm 35 holds the FOUP 80 from below.
[0070]
Then, the transport robot 30 transports the FOUP 80 to the opener 40. If no other FOUP 80 is placed on the placement table 41 at this time, the placement table 41 directly as in the first embodiment. FOUP80 is passed to. On the other hand, when another FOUP 80 is placed on the placement table 41, the transfer robot 30 delivers the FOUP 80 to the lifter 70. Since the lifter arm 71 grips the flange 82 formed on the upper part of the FOUP 80 held from below by the transfer arm 35, the FOUP 80 is transferred from the transfer robot 30 to the lifter 70. There is no concern of interference.
[0071]
When another FOUP 80 (second storage container) is placed on the placement table 41, it is when an unprocessed substrate is unloaded from the FOUP 80 and loaded into the main body of the substrate processing apparatus 1. . At this time, a new FOUP 80 (first storage container) storing unprocessed substrates is transferred from the transfer robot 30 to the lifter 70. In other words, the substrate is unloaded from another FOUP 80 placed on the placement table 41 in a state where the new FOUP 80 is held by the lifter 70, and the lifter 70 removes the new FOUP 80. Hold and wait.
[0072]
When the unloading of the substrate from the other FOUP 80 is completed, the transfer robot 30 receives the empty FOUP 80 from the mounting table 41 and transfers it to the storage shelf 21, and the lifter 70 lowers the lifter arm 71 to mount a new FOUP 80. Pass to table 41. Then, substrate unloading from the new FOUP 80 placed on the placement table 41 is started, and the transport robot 30 storing the empty FOUP 80 transports another new FOUP 80 from the storage shelf 21 to lift the lifter. Pass to 70. Thereafter, the same operation is repeated.
[0073]
In this way, after the transfer robot 30 removes the empty FOUP 80 from which the substrate has been unloaded from the placement table 41, the lifter 70 immediately passes the FOUP 80 containing a new unprocessed substrate to the placement table 41. The storage of the empty FOUP 80 in the storage shelf 21 and the loading of the FOUP 80 storing new unprocessed substrates into the opener 40 are performed almost simultaneously, further reducing the time required for the delivery operation of the FOUP 80 than in the first embodiment. Higher throughput can be obtained. Moreover, it is the same as that of 1st Embodiment that it is not necessary to provide the special space for the conveyance arm 35 to pass. However, since the cost increases as compared with the first embodiment by providing the lifter 70, it is necessary to compare the degree of cost increase and the degree of improvement in throughput to make the device configuration satisfying the required specifications. desirable.
[0074]
Although the loader 10 of the second embodiment has been described above, the unloader 90 (see FIG. 1) has the same configuration and function as in the first embodiment. In the unloader 90, when another FOUP 80 (second storage container) is placed on the placement table 41, a processed substrate is carried into the FOUP 80 from the main body of the substrate processing apparatus 1. It is. At this time, a new empty FOUP 80 (first storage container) is transferred from the transfer robot 30 to the lifter 70. In other words, the substrate is carried into another FOUP 80 placed on the placement table 41 in a state where the lifter 70 holds a new empty FOUP 80. It is waiting while holding an empty FOUP 80.
[0075]
When the loading of the substrate to the other FOUP 80 is completed, the transfer robot 30 receives the FOUP 80 storing the processed substrate from the mounting table 41 and transfers it to the storage shelf 21, and the lifter 70 lowers the lifter arm 71 to newly add a new FOUP 80. An empty FOUP 80 is transferred to the mounting table 41. Then, the carry-in of the substrate to the new empty FOUP 80 mounted on the mounting table 41 is started, and the transfer robot 30 storing the FOUP 80 storing the processed substrate further transfers another new empty FOUP 80. It is conveyed from the storage shelf 21 and transferred to the lifter 70. Thereafter, the same operation is repeated.
[0076]
Even in this case, since the lifter 70 immediately delivers a new empty FOUP 80 to the placement table 41 after the transport robot 30 removes the FOUP 80 that has been loaded into the substrate from the placement table 41, it is necessary for the delivery operation of the FOUP 80. Time can be further shortened to obtain higher throughput.
[0077]
<3. Third Embodiment>
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 8 is a perspective view showing the structure of the loader 10 of the third embodiment. The difference between the loader 10 of the third embodiment and the first embodiment is that an AGV (Automatic Guided Vehicle) 200 outside the substrate processing apparatus directly delivers the FOUP 80 to the opener 40. Since it is the same as 1 embodiment, the same code | symbol is attached and the description is abbreviate | omitted.
[0078]
The loader 10 according to the third embodiment is not provided with the storage unit 20 that stores the FOUP 80 and the transport robot 30 that transports the FOUP 80 between the storage unit 20 and the opener 40. Only an opener 40 for taking out an unprocessed substrate from is provided. In other words, the loader 10 of the third embodiment is obtained by removing the storage unit 20 and the transfer robot 30 from the loader 10 of the first embodiment. However, in the third embodiment, only one storage shelf 21 on which the FOUP 80 is placed is provided below the placement table 41 in order to adjust the difference between the transport time of the AGV 200 and the substrate removal time in the opener 40. .
[0079]
The AGV 200 travels in the factory where the substrate processing apparatus is installed and conveys the FOUP 80. The AGV 200 includes a body part 201 having a self-running function and an articulated robot having a transfer arm 202.
[0080]
Openings (not shown) similar to the storage ports 11 and 12 of FIG. 1 are formed on the outer wall of the loader 10 at positions facing the mounting table 41. The AGV 200 can pass the FOUP 80 to the opener 40 through the opening and take out the FOUP 80 from the opener 40. Note that the AGV 200 transports the FOUP 80 between a position different from the opener 40 (for example, the FOUP 80 collection site in the factory) and the opener 40.
[0081]
The operation content of the loader 10 of the third embodiment is as follows. First, the AGV 200 travels to the front of the opening of the loader 10 with the transfer arm 202 holding the FOUP 80 from below. Then, the AGV 200 inserts the transfer arm 202 through the opening, and is positioned above the mounting table 41, more precisely, directly above the notch 43 of the mounting table 41. Then, when the AGV 200 lowers the transport arm 202 along the vertical direction and passes the cutout portion 43, the FOUP 80 is directly transferred from the transport arm 202 to the mounting table 41.
[0082]
When the unloading of the substrate from the FOUP 80 is completed, the AGV 200 positions the transfer arm 202 below the mounting table 41, more strictly below the notch 43 of the mounting table 41. Next, when the AGV 200 raises the transfer arm 202 along the vertical direction and passes through the notch 43, an empty FOUP 80 is directly passed from the mounting table 41 to the transfer arm 202. Thereafter, the AGV 200 extracts the transfer arm 202 from the opening, holds the FOUP 80, and starts running again.
[0083]
In this way, since the transfer arm 202 of the AGV 200 passes through the cutout portion 43 of the mounting table 41, the FOUP 80 can be directly transferred between the transfer arm 202 and the mounting table 41. Similar to the first embodiment, it is possible to shorten the time required for the delivery operation of the FOUP 80 and obtain high throughput.
[0084]
Although the loader 10 of the third embodiment has been described above, the unloader 90 (see FIG. 1) has the same configuration and function as in the first embodiment. However, since the unloader 90 carries the processed substrate into the FOUP 80, the AGV 200 transports the empty FOUP 80 to the mounting table 41. The placement table 41 places the FOUP 80 when the processed substrate is carried into the FOUP 80. Then, the transport arm 202 of the AGV 200 receives the FOUP 80 in which the processed substrate has been loaded from the mounting table 41 and takes it out of the apparatus.
[0085]
<4. Fourth Embodiment>
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 9 is a perspective view showing the structure of the loader 10 of the fourth embodiment. The difference between the loader 10 of the fourth embodiment and the first embodiment is that the transfer arm 35 cannot pass from above the mounting table 41 downward because the stage 45 has a rectangular parallelepiped shape. It is a point that has been. That is, the mounting table 41 is provided with a recess 44 that allows the transfer arm 35 to fit in the vertical direction but cannot pass through. Since the remaining points are the same as those in the first embodiment, the same reference numerals are given and description thereof is omitted.
[0086]
In the fourth embodiment, the mounting table 41 is provided with a recess 44 in which the transfer arm 35 is fitted and at least the upper surface of the transfer arm 35 is movable below the upper surface of the mounting table 41. More specifically, a recess 44 having a shape similar to that of the transfer arm 35 and having a depth larger than the thickness of the transfer arm 35 is formed in the mounting table 41. The shape of the stage 45 is a rectangular parallelepiped shape. Therefore, the transfer arm 35 cannot pass through the mounting table 41 along the vertical direction.
[0087]
On the other hand, as in the first embodiment, the transfer arm 35 can hold the FOUP 80 in a substantially horizontal position from below at three points by the three support pins 36a, 36b, and 36c, and the FOUP 80 is supported from below. It can be moved up and down along the vertical direction. The transfer arm 35 that supports the FOUP 80 in a substantially horizontal posture from below is lowered along the vertical direction from above the mounting table 41 and fits into the concave portion 44 of the mounting table 41 and below the upper surface of the mounting table 41. When moved to the side, the FOUP 80 is transferred from the support pins 36a, 36b, 36c of the transfer arm 35 to the support pins 42a, 42b, 42c of the mounting table 41. That is, also in the fourth embodiment, the FOUP 80 can be directly transferred from the transfer arm 35 to the mounting table 41.
[0088]
Similarly to the first embodiment, on the bottom surface of the FOUP 80, the support position where the transfer arm 35 supports the FOUP 80 is set inside the mounting position where the mounting table 41 places the FOUP 80.
[0089]
In the fourth embodiment, the transfer robot 30 accesses the mounting table 41 from one side ((−X) side) of the mounting table 41. And the said one side ((-X) side) of the recessed part 44 of the mounting table 41 is open | released. For this reason, after the transfer robot 30 lowers the transfer arm 35 and passes the FOUP 80 from the transfer arm 35 to the mounting table 41, the transfer arm 35 is slightly lowered in the recess 44 so as not to contact the bottom surface of the FOUP 80. If it moves in the (−X) direction, the transfer arm 35 can be detached from the opener 40 through the open portion of the recess 44.
[0090]
Therefore, also in the fourth embodiment, even when the transport robot 30 performs horizontal movement in the (−X) direction when the transport arm 35 is at the same height position as the mounting table 41, the transport arm 35 and the mounting table 41. Therefore, it is not necessary to provide a special space for the transfer arm 35 to pass under the stage 45, and the space can be used effectively.
[0091]
Further, also in the fourth embodiment, the one side direction viewed from the mounting table 41 is perpendicular to the carry-out direction in which the substrate is carried out from the FOUP 80 or the carry-in direction in which the substrate is carried into the FOUP 80. That is, the carry-out direction for carrying out the substrate from the FOUP 80 through the opening 50 or the carry-in direction for carrying the substrate into the FOUP 80 is perpendicular to the direction in which the transfer arm 35 separates from the opener 40 after passing the FOUP 80. Therefore, similarly to the first embodiment, the depth of the loader 10 can be reduced to suppress an increase in footprint.
[0092]
The operation content of the loader 10 is the same as that of the first embodiment except that the transfer arm 35 does not pass through the mounting table 41 along the vertical direction.
[0093]
Although the loader 10 of the fourth embodiment has been described above, the unloader 90 (see FIG. 1) has the same configuration and function. Also in the unloader 90, by providing the mounting table 41 with the recess 44 in the same manner as the loader 10, the FOUP 80 can be directly transferred between the transfer arm 35 and the mounting table 41, and the FOUP 80 is transferred. Time can be shortened and high throughput can be obtained. In addition, the loader 10 is similar to the loader 10 in that the cost of the unloader 90 can be reduced and no special space is required for the transfer arm 35 to pass.
[0094]
<5. Modification>
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above examples. For example, in each of the above embodiments, the functions of the board delivery device according to the present invention are separated into the loader 10 and the unloader 90. However, these functions may be integrated into one board delivery device. good. That is, one substrate delivery apparatus may both carry out unprocessed substrates from the FOUP 80 and carry in processed substrates into the FOUP 80.
[0095]
Further, in each of the above embodiments, the substrate processing apparatus 1 is a so-called batch type apparatus that collectively processes a set of a plurality of substrates. However, the present invention is not limited to this, and the substrate delivery according to the present invention is performed. The apparatus may be incorporated into a so-called single-wafer type substrate processing apparatus that processes substrates one by one.
[0096]
Further, the transfer arm 35 (202) may be U-shaped and the mounting table 41 may be a rectangular plate. In this case, the transfer arm 35 passes along both sides of the mounting table 41 along the vertical direction. Even in this case, the FOUP 80 can be directly transferred between the transfer arm 35 and the mounting table 41, and the time required for the transfer operation of the FOUP 80 can be shortened to obtain a high throughput. In other words, it is only necessary that the transfer table 35 is formed on the mounting table 41 so that the transfer arm 35 can pass along the vertical direction.
[0097]
In this case, the thickness of the mounting table 41 is reduced so that the lower part is an open space so that the transfer arm 35 can move to the side of the mounting table 41 while passing below the mounting table 41. In this way, the unloading direction for unloading the substrate from the FOUP 80 through the opening 50 and the direction in which the transfer arm 35 separates from the opener 40 after passing the FOUP 80 are perpendicular, and the depth of the loader 10 is reduced. An increase in footprint can be suppressed.
[0098]
Moreover, you may make it combine the structure of 2nd Embodiment and the structure of 3rd Embodiment. Specifically, a lifter 70 (FIG. 7) is provided in the configuration of FIG. The operation of the loader 10 at this time is obtained by adding the operation of the lifter 70 of the second embodiment to the third embodiment.
[0099]
Moreover, you may make it combine the structure of 2nd Embodiment and the structure of 4th Embodiment. Specifically, a lifter 70 (FIG. 7) is provided in the configuration of FIG. The operation of the loader 10 at this time is obtained by adding the operation of the lifter 70 of the second embodiment to the fourth embodiment.
[0100]
Furthermore, you may make it combine the structure of 3rd Embodiment and the structure of 4th Embodiment. Specifically, the opener 40 of FIG. 9 is applied to the loader 10 of FIG. The operation of the loader 10 at this time is the same as that of the third embodiment except that the transfer arm 202 of the AGV 200 does not pass through the mounting table 41 along the vertical direction.
[0101]
【The invention's effect】
  As described above, according to the first aspect of the present invention, since the mounting table is formed with the cutout portion through which the transfer arm can pass along the substantially vertical direction, the transfer arm is notched in the mounting table. By passing through the section, the storage container can be directly delivered between the transfer arm and the mounting table, and the time required for the delivery operation of the storage container can be shortened and high throughput can be obtained.Further, the storage container is transported between the storage section and the mounting table along a transport direction substantially perpendicular to the direction in which the substrate is carried out and carried into the storage container, and the storage section side along the transport direction of the notch section is Since it is open, the transfer arm can be easily detached from the mounting table, there is no need to provide a special space for the transfer arm to pass through, and the space can be used effectively. The depth can be reduced and the size can be reduced.
[0103]
  Claims2According to the invention, in the state where the first storage container is held by the elevating means, the substrate is carried out from the second storage container placed on the mounting table or the substrate is carried into the second storage container. Therefore, after the conveying means removes the second storage container from the mounting table, the lifting means can immediately transfer the first storage container to the mounting table, further reducing the time required for the delivery operation of the storage container. Higher throughput can be obtained.
[0104]
  Claims3According to the invention, the mounting portion is formed with the notch portion for the conveying means through which the conveying means can pass along the substantially vertical direction.PleaseTherefore, the transfer means can pass the storage container directly between the transfer means and the placement section by passing the notch portion of the placement section, and the time required for the delivery operation of the storage container can be shortened. High throughput.Further, the storage container is transported between the storage section and the placement section along a transport direction substantially perpendicular to the direction of carrying out and loading the substrate with respect to the storage container, and the storage section along the transport direction of the notch section Since the side is open, the transfer arm can be easily detached from the mounting portion, and there is no need to provide a special space for the transfer arm to pass through. The depth of the processing device can be reduced and the size can be reduced.
[0108]
  Claims4According to this invention, in a state where the first storage container is held by the elevating means, the substrate is carried out from the second storage container placed on the placement portion or the substrate is transferred to the second storage container. Since the carry-in is performed, after the conveying means removes the second storage container from the placement unit, the lifting means can immediately pass the first storage container to the placement unit, and the time required for the delivery operation of the storage container Can be further shortened to obtain a higher throughput.
[0109]
  Claims5According to the invention, the support position where the conveying means supports the storage container in the bottom surface of the storage container is higher than the mounting position where the mounting portion mounts the storage container, which is highly convenient. .
[0110]
  Claims6According to this invention, the concave portion for the conveying means is formed in the mounting portion so that the conveying means fits in and can be moved to a position below the upper surface of the mounting portion.PleaseTherefore, the transfer unit can be directly transferred between the transfer unit and the mounting unit by moving into the recess of the mounting unit and moving below the upper surface of the mounting unit, A high throughput can be obtained by shortening the time required for the delivery operation of the storage container.Further, the storage container is transported between the storage section and the mounting section along the transport direction substantially perpendicular to the direction of carrying out and loading the substrate with respect to the storage container, and the storage section side along the transport direction of the recess is opened. Therefore, the transfer arm can be easily detached from the mounting portion, and there is no need to provide a special space for the transfer arm to pass, and the space can be used effectively, and the substrate processing apparatus can be used. The depth can be reduced and the size can be reduced.
[0114]
  Claims7According to this invention, in a state where the first storage container is held by the elevating means, the substrate is carried out from the second storage container placed on the placement portion or the substrate is transferred to the second storage container. Since the carry-in is performed, after the conveying means removes the second storage container from the placement unit, the lifting means can immediately pass the first storage container to the placement unit, and the time required for the delivery operation of the storage container Can be further shortened to obtain a higher throughput.
[0115]
  Claims8According to the invention, the support position at which the conveying means supports the storage container in the bottom surface of the storage container is higher than the mounting position at which the mounting portion places the storage container, which is highly convenient. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external perspective view of a substrate processing apparatus incorporating a substrate delivery apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is an external perspective view of a FOUP.
3 is a perspective view showing a structure of a loader of the substrate processing apparatus of FIG. 1. FIG.
4 is a side view of the opener of FIG. 3 as viewed from the X direction. FIG.
FIG. 5 is a front view of the opener of FIG. 3 as viewed from the Y direction.
6 is a plan view of the opener of FIG. 3 as viewed from the Z direction.
FIG. 7 is a perspective view showing a structure of a loader according to a second embodiment.
FIG. 8 is a perspective view illustrating a structure of a loader according to a third embodiment.
FIG. 9 is a perspective view showing a structure of a loader according to a fourth embodiment.
FIG. 10 is a perspective view showing a conventional FOUP substrate delivery apparatus.
[Explanation of symbols]
1 Substrate processing equipment
10 Loader
20 containment section
21 containment shelf
30 Transport robot
35 Transfer arm
40 opener
41 Placement table
43 Notch
44 recess
45 stages
70 Lifter
80 FOUP
82 Flange
90 Unloader

Claims

A substrate delivery device for storing a storage container for storing a substrate and carrying out the substrate from the storage container or carrying the substrate into the storage container,
A storage section for storing the storage container;
Placed on the side of the storage unit, when carrying out the substrate from the storage container or carrying the substrate into the storage container, a mounting table for mounting the storage container;
Transport means for transporting the storage container along a transport direction substantially perpendicular to the direction of unloading and transporting the substrate to and from the storage container between the storage section and the mounting table;
With
The transport means has a transport arm that holds the storage container from below and moves up and down along a substantially vertical direction,
In the mounting table, a notch portion through which the transfer arm can pass along a substantially vertical direction is formed ,
The board | substrate delivery apparatus characterized by the said accommodating part side along the said conveyance direction of the said notch part being open | released .

The substrate delivery device according to claim 1,
It further includes elevating means that is provided above the mounting table and that elevates and lowers along a substantially vertical direction while holding a grip portion formed on the upper portion of the storage container.
The substrate is carried out from the second storage container placed on the mounting table or carried into the second storage container in a state where the first storage container is held by the lifting means. A board delivery device characterized by the above.

A substrate processing apparatus for carrying out a substrate from a storage container for storing a substrate or carrying a substrate into the storage container,
A storage section for storing the storage container;
A placement portion that is disposed on a side of the housing portion and places the housing container when the substrate is unloaded from the housing container or the substrate is carried into the housing container;
The storage container is held from below and can be moved up and down along a substantially vertical direction, and is substantially perpendicular to the direction in which the substrate is carried out and carried into the storage container between the storage section and the mounting section. Conveying means for conveying the storage container along a conveying direction;
With
The placement portion is formed with a notch for the transport means through which the transport means can pass along a substantially vertical direction.
The substrate processing apparatus, wherein the accommodating portion side along the transport direction of the notch is opened .

The substrate processing apparatus according to claim 3, wherein
It further includes elevating means that is provided above the placing portion and that moves up and down along a substantially vertical direction while holding a grip portion formed on the upper portion of the storage container.
In a state where the first storage container is held by the elevating means, the substrate is carried out from the second storage container placed on the placement unit or the substrate is carried into the second storage container. A substrate processing apparatus.

In the substrate processing apparatus of Claim 3 or Claim 4,
Of the bottom surface of the storage container, the support position where the transport means supports the storage container is a substrate processing characterized in that the mounting portion is located inside the mounting position where the storage container is mounted. apparatus.

A substrate processing apparatus for carrying out a substrate from a storage container for storing a substrate or carrying a substrate into the storage container,
A storage section for storing the storage container;
A placement portion that is disposed on a side of the housing portion and places the housing container when the substrate is unloaded from the housing container or the substrate is carried into the housing container;
The storage container is held from below and can be moved up and down along a substantially vertical direction, and is substantially perpendicular to the direction in which the substrate is carried out and carried into the storage container between the storage section and the mounting section. Conveying means for conveying the storage container along a conveying direction;
With
The placement unit is provided with a recess for the transport unit that is inserted into the transport unit and is movable below the upper surface of the placement unit.
The substrate processing apparatus , wherein the accommodating portion side of the concave portion along the transport direction is opened .

The substrate processing apparatus according to claim 6, wherein
It further includes elevating means that is provided above the placing portion and that moves up and down along a substantially vertical direction while holding a grip portion formed on the upper portion of the storage container.
In a state where the first storage container is held by the elevating means, the substrate is carried out from the second storage container placed on the placement unit or the substrate is carried into the second storage container. A substrate processing apparatus.

In the substrate processing apparatus of Claim 6 or Claim 7 ,
Of the bottom surface of the storage container, the support position where the transport means supports the storage container is a substrate processing characterized in that the mounting portion is located inside the mounting position where the storage container is mounted. apparatus.