JP3968591B2 - Ｍｓｅｃ／ｓｅｃｓプロトコル変換器及び変換方法 - Google Patents

Description

この発明は半導体製造装置のプロトコル変換器及び変換方法に関し、特にＭＳＥＣ（Mitsubishi SEMI equipment
communication）プロトコルとＳＥＣＳ（SEMI equipment
communication standard）プロトコルとの相互変換を実現できる変換器及び変換方法に関する。

半導体製作の効率を高めるため、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment
and Material International）が制定したＳＥＣＳと三菱社のＭＳＥＣなどの通信プロトコルで半導体製造装置を制御して管理することが普通である。ホストコンピューターには半導体製造装置にふさわしいプロトコルインタフェースを採用しなければならない。
図１を参照する。図１は従来のホストコンピューター１０と半導体製造装置を表す説明図である。ホストコンピューター１０は複数のＳＥＣＳ製造装置２２と複数のＭＳＥＣ製造装置２４と接続される。ＳＥＣＳ製造装置２２とはＳＥＣＳプロトコルを使用する半導体製造装置を指し、ＭＳＥＣ製造装置２４とはＭＳＥＣプロトコルを使用する半導体製造装置を指す。ＳＥＣＳ製造装置２２とＭＳＥＣ製造装置２４はいずれも半導体製作工程を実行できる。ホストコンピューター１０は、ＳＥＣＳ製造装置２２と接続されるＳＥＣＳインターフェイス１２と、ＭＳＥＣ製造装置２４と接続されるＭＳＥＣインターフェイス１４と、アプリケーションレイヤー１６とを含む。ＳＥＣＳインターフェイス１２とＳＥＣＳ製造装置２２との間はＲＳ−２３２ポートでＳＥＣＳ信号３２を受発信し、ＭＳＥＣインターフェイス１４とＭＳＥＣ製造装置２４との間はＲＳ−２３２ポートでＭＳＥＣ信号３４を受発信する。アプリケーションレイヤー１６はＳＥＣＳインターフェイス１２とＭＳＥＣインターフェイス１４によって受発信されるデータを処理する。
ＳＥＣＳ製造装置２２、ＭＳＥＣ製造装置２４は相違するプロトコルを使用するため、ホストコンピューター１０が半導体製造装置を制御するには相応する複数のプロトコルインターフェイスを使用しなければならない。単一のプロトコルインターフェイスを使用することは不可能であるため、ＳＥＣＳ製造装置２２とＭＳＥＣ製造装置２４の数量が多い場合、ＳＥＣＳ製造装置２２とＭＳＥＣ製造装置２４の動作を統合するのは極めて複雑である。

この発明は前述の問題を解決するため、ＭＳＥＣプロトコルとＳＥＣＳプロトコルとの相互変換を実現できる変換器及び変換方法を提供することを課題とする。

この発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器は、ＭＳＥＣ信号を受発信する第一受発信モジュールと、ＳＥＣＳ信号を受発信する第二受発信モジュールと、ＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に変換するＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュールと、ＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に変換するＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュールと、第一受発信モジュールと第二受発信モジュールのいずれかが制御文字を受信すると、受信された制御文字をもう一方の受発信モジュールに送信するための制御文字伝送モジュールとを含む。
この発明は更に半導体製造装置のプロトコルの変換方法を提供する。当方法は、第一受発信モジュールでＭＳＥＣ信号を受発信し、第二受発信モジュールでＳＥＣＳ信号を受発信し、ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュールで第一受発信モジュールに受信されたＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に変換して第二受発信モジュールでＳＥＣＳ信号を出力し、ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュールで第二受発信モジュールに受信されたＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に変換して第一受発信モジュールでＭＳＥＣ信号を出力し、制御文字伝送モジュールで第一受発信モジュールと第二受発信モジュールとのいずれかに受信された制御文字をもう一方の受発信モジュールに送信するなどのステップを含む。
この発明は更に半導体製造装置のプロトコルの変換方法を提供する。当方法は、ＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号のいずれかである第一信号を入力し、第一信号が制御文字であるかどうかを判断して第一信号が制御文字であれば、第一信号を出力し、第一信号を受信し、収集された第一信号のチェックサムを照合し、変換ステップを行って第一信号をＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号のもう一方に変換し、変換された第一信号の長さとチェックサムを計算して更新し、変換された第一信号を出力するなどのステップを含む。
この発明は更に、前記の半導体製造装置のプロトコルの変換方法を利用してＭＳＥＣ信号とＳＥＣＳ信号との相互変換を行うための変換器を提供する。

この発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器及び変換方法はＭＳＥＣ信号とＳＥＣＳ信号との相互変換を実現できるため、ホストコンピューターにはＳＥＣＳインターフェイスのみ使用すれば充分である。したがって、ホストコンピューターの構造は簡素化できる。なお、この発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器及び変換方法を使用すれば、既存の設定を変更せずにホストコンピューターと製造装置を接続することも可能である。

かかる装置及び方法の特徴を詳述するために、具体的な実施例を挙げ、図を参照して以下に説明する。

図２を参照する。図２はこの発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０と、ホストコンピューター４０と、半導体製造装置とを表す説明図である。ホストコンピューター４０は複数のＳＥＣＳ製造装置５２と接続され、ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０を介して１台以上のＭＳＥＣ製造装置５４と接続される。ＳＥＣＳ製造装置５２とはＳＥＣＳプロトコルを使用する半導体製造装置を指し、ＭＳＥＣ製造装置５４とはＭＳＥＣプロトコルを使用する半導体製造装置を指す。ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０は信号をＭＳＥＣプロトコルおよびＳＥＣＳプロトコルの相互に応じるように変換する。これにより、ＳＥＣＳ製造装置５２とＭＳＥＣ製造装置５４はいずれも半導体製作工程を実行できる。ホストコンピューター４０は、ＳＥＣＳ信号６２を受発信することによってＳＥＣＳ製造装置５２とＭＳＥＣ製造装置５４の動作を制御するものであり、ＳＥＣＳインターフェイス４２とアプリケーションレイヤー４６とを含む。ＳＥＣＳインターフェイス４２と、ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０およびＳＥＣＳ製造装置５２との間はＲＳ−２３２ポートでＳＥＣＳ信号６２を受発信し、アプリケーションレイヤー４６はＳＥＣＳインターフェイス４２によって受発信されるデータを処理する。ＭＳＥＣ製造装置５４から出力されたＭＳＥＣ信号６４はＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０によってＳＥＣＳ信号６２に変換されてから、ＳＥＣＳインターフェイス４２によって受信されてホストコンピューター４０のアプリケーションレイヤー４６に送信される。一方、ホストコンピューター４０のＳＥＣＳインターフェイス４２から出力されたＳＥＣＳ信号６２はＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０によってＭＳＥＣ信号６４に変換されてから、ＭＳＥＣ製造装置に送信される。したがって、ＭＳＥＣ製造装置５４の設定を変更せずに、ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０を利用してＭＳＥＣ製造装置５４をＳＥＣＳプロトコルを使用する制御システムと接続することが可能である。

ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０の働きを説明するため、図３を参照する。図３はこの発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０のブロック図である。ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器５０は、ＭＳＥＣ受発信モジュール７０と、ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュール７１と、ＳＥＣＳ受発信モジュール８０と、ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュール８１と、制御文字伝送モジュール９０とを含む。ＭＳＥＣ受発信モジュール７０とＳＥＣＳ受発信モジュール８０はそれぞれ図２におけるＭＳＥＣ信号６４とＳＥＣＳ信号６２を受発信する。図２と図３を参照する。ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュール７１はＭＳＥＣ信号６４をＳＥＣＳ信号６２に変換し、ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュール８１はＳＥＣＳ信号６２をＭＳＥＣ信号６４に変換する。制御文字伝送モジュール９０はＭＳＥＣ受発信モジュール７０とＳＥＣＳ受発信モジュール８０と電気的に接続され、プロトコルに定められる制御文字、例えば問い合わせ（ＥＮＱ）、伝送終了（ＥＯＴ）、肯定応答（ＡＣＫ）、否定応答（ＮＡＫ）などを伝送する。
ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュール７１はＭＳＥＣ収集モジュール７２と、ＭＳＥＣ照合モジュール７４と、ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換モジュール７６と、ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ計算モジュール７８とを含む。ＭＳＥＣ収集モジュール７２はＭＳＥＣ受発信モジュール７０と電気的に接続され、制御文字でないＭＳＥＣ信号を収集するとともに、ＭＳＥＣ信号の長さによってＭＳＥＣ信号の完全性を照合する。ＭＳＥＣ照合モジュール７４はＭＳＥＣ収集モジュール７２と電気的に接続され、ＭＳＥＣ信号の偶数検査とチェックサムを実行する。ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換モジュール７６はＭＳＥＣ照合モジュール７４と電気的に接続され、ＭＳＥＣ信号のヘッダーとデータをＳＥＣＳ形式に変換する。ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ計算モジュール７８はＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換モジュール７６とＳＥＣＳ受発信モジュール８０と電気的に接続され、ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換モジュール７６に変換されたＳＥＣＳ信号の長さを計算して更新するとともにチェックサムを行ってから、ＳＥＣＳ信号をＳＥＣＳ受発信モジュール８０に送信する。
ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュール８１はＳＥＣＳ収集モジュール８２と、ＳＥＣＳ照合モジュール８４と、ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ変換モジュール８６と、ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ計算モジュール８８とを含む。ＳＥＣＳ収集モジュール８２はＳＥＣＳ受発信モジュール８０と電気的に接続され、制御文字でないＳＥＣＳ信号を収集するとともに、ＳＥＣＳ信号の長さによってＳＥＣＳ信号の完全性を照合する。ＳＥＣＳ照合モジュール８４はＳＥＣＳ収集モジュール８２と電気的に接続され、ＳＥＣＳ信号のチェックサムを実行する。ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ変換モジュール８６はＳＥＣＳ照合モジュール８４と電気的に接続され、ＳＥＣＳ信号のヘッダーとデータをＭＳＥＣ形式に変換する。ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ計算モジュール８８はＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ変換モジュール８６とＭＳＥＣ受発信モジュール７０と電気的に接続され、ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ変換モジュール８６に変換されたＭＳＥＣ信号の長さを計算して更新するとともにチェックサムを行ってから、ＭＳＥＣ信号をＭＳＥＣ受発信モジュール７０に送信する。

図３と図４を参照する。図４はこの発明によるＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に変換する方法のフローチャートである。該方法は以下の通りである。
ステップ１００：ＭＳＥＣ受発信モジュール７０からＭＳＥＣ信号を入力する。
ステップ１０２：入力されたＭＳＥＣ信号が、ＥＮＱ、ＥＯＴ、ＡＣＫ、ＮＡＫなどの制御文字であるかどうかを判断する。ＭＳＥＣ信号が制御文字であれば、ステップ１０３を実行し、ＭＳＥＣ信号が制御文字でなければ、ステップ１０４を実行する。
ステップ１０３：制御文字をＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュール７１とＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュール８１の代わりに、制御文字伝送モジュール９０を通してＳＥＣＳ受発信モジュール８０に送信し、ＳＥＣＳ受発信モジュール８０が制御文字をホストコンピューターに送信するようにさせてから、ステップ１００を実行して次のＭＳＥＣ信号を受信する。
ステップ１０４：Ｔ１タイマー１０５をイネーブルしてリセットし、Ｔ１タイマー１０５でＭＳＥＣ収集モジュール７２が予定時間内にＭＳＥＣ信号を受信したかどうかを判断する。予定時間内に受信が未完成であればステップ１０９を実行し、受信終了であればステップ１０６を実行する。
ステップ１０６：Ｔ１タイマー１０５をディスエーブルする。ＭＳＥＣ照合モジュール７４はＭＳＥＣ信号のチェックサムが正確であるかどうかを照合する。正確でなければステップ１０９を実行し、正確であればステップ１０８を実行する。
ステップ１０８：ＭＳＥＣ照合モジュール７４はＭＳＥＣ信号の偶数検査が正確であるかどうかを照合する。正確でなければステップ１０９を実行し、正確であればステップ１１０を実行する。
ステップ１０９：ＭＳＥＣ受発信モジュール７０は制御信号ＮＡＫをＭＳＥＣ製造装置に出力し、ＭＳＥＣ製造装置がＭＳＥＣ信号をＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器に再出力するようにさせてから、ステップ１００を実行する。
ステップ１１０：ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換モジュール７６はＭＳＥＣ信号の偶数検査を実行してから、偶数ビットデコード（ＭＳＥＣ信号の偶数検査ビットを除去すること）を行ってデコードされたデータをＳＥＣＳ信号の関連セクションに保存する。
ステップ１２０：ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換モジュール７６はＳＥＣＳデバイスＩＤ１２１とＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ指令ＩＤ変換表１２３を利用してＭＳＥＣ信号のヘッダーをＳＥＣＳ形式に変換する。
ステップ１３０：ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換モジュール７６はＭＳＥＣ信号のデータセクションをＳＥＣＳ形式に変換する。
ステップ１４０：ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ計算モジュール７８はステップ１２０とステップ１３０において変換されたＳＥＣＳ信号の長さを計算して更新する。
ステップ１５０：ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ計算モジュール７８はステップ１２０とステップ１３０において行われたチェックサムを計算して更新する。
ステップ１６０：変換されたＳＥＣＳ信号をＳＥＣＳ受発信モジュール８０に送信し、ＳＥＣＳ受発信モジュール８０が変換されたＳＥＣＳ信号をホストコンピューターに送信するようにさせてから、ステップ１００を実行して次のＭＳＥＣ信号を受信する。

図５を参照する。図５は図４におけるＭＳＥＣ信号６４からＳＥＣＳ信号６２への変換におけるデータ構造を表す対照図である。図４におけるヘッダー変換のステップ１２０は、変換ステップ１２２と、変換ステップ１２４と、変換ステップ１２６と、変換ステップ１２８とを含む。変換ステップ１２２はＭＳＥＣ信号のヘッダーの第一及び第二バイトを使用者によって定義されたＳＥＣＳデバイスＩＤに変換し、リザーブビットを保留する。変換ステップ１２４はＭＳＥＣ信号のヘッダーの第三バイトとデータセクションの第一及び第二バイトによってＳＥＣＳ指令ＩＤを生じさせてから、ＳＥＣＳ指令ＩＤをＳＥＣＳ信号のヘッダーの第三及び第四バイトに保存してＭＳＥＣ信号のウェイトビットを保留する。変換ステップ１２６はＳＥＣＳ信号のヘッダーの第五及び第六バイトをそれぞれ８０Ｈと０１ＨというＡＳＣＩＩコードに設定する。変換ステップ１２８はＭＳＥＣ信号のヘッダーの第七から第十バイトをＳＥＣＳ信号のヘッダーの第七から第十バイトと設定する。データ変換ステップ１３０は変換ステップ１３２と変換ステップ１３４を含む。変換ステップ１３２はＳＥＣＳ信号のデータセクションの第一バイトを４１ＨというＡＳＣＩＩコードに設定する。変換ステップ１３４はＳＥＣＳ信号のデータセクションの第二バイトをデータ長として設定する。

図３と図６を参照する。図６はこの発明によるＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に変換する方法のフローチャートである。該方法は以下の通りである。
ステップ２００：ＳＥＣＳ受発信モジュール８０からＳＥＣＳ信号を入力する。
ステップ２０２：入力されたＳＥＣＳ信号が制御文字であるかどうかを判断する。ＳＥＣＳ信号が制御文字であれば、ステップ２０３を実行し、ＳＥＣＳ信号が制御文字でなければ、ステップ２０４を実行する。
ステップ２０３：制御文字をＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュール７１とＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュール８１の代わりに、制御文字伝送モジュール９０を通してＭＳＥＣ受発信モジュール７０に送信し、ＭＳＥＣ受発信モジュール７０が制御文字をホストコンピューターに送信するようにさせてから、ステップ２００を実行して次のＳＥＣＳ信号を受信する。
ステップ２０４：Ｔ１タイマー１０５をイネーブルしてリセットし、Ｔ１タイマー１０５でＳＥＣＳ収集モジュール８２が予定時間内にＳＥＣＳ信号を受信したかどうかを判断する。予定時間内に受信が未完成であればステップ２０８を実行し、受信終了であればステップ２０６を実行する。
ステップ２０６：Ｔ１タイマー１０５をディスエーブルする。ＳＥＣＳ照合モジュール８４はＳＥＣＳ信号のチェックサムが正確であるかどうかを照合する。正確でなければステップ２０８を実行し、正確であればステップ２１０を実行する。
ステップ２０８：ＳＥＣＳ受発信モジュール８０で制御信号ＮＡＫをホストコンピューターに送信し、ホストコンピューターがＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器に再出力するようにさせてから、ステップ２００を実行する。
ステップ２１０：ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ変換モジュール８６はＳＥＣＳ信号のヘッダーをＭＳＥＣ形式に変換する。
ステップ２２０：ＳＥＣＳ／ＭＥＣＳ変換モジュール８６はＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ指令ＩＤ変換表１２３を利用してＳＥＣＳ信号のデータセクションをＭＳＥＣ形式に変換する。
ステップ２３０：ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ変換モジュール８６はステップ２２０において変換されたデータに対して偶数ビットエンコード（偶数検査ビットを変換されたＭＳＥＣ信号に添付すること）を実行する。
ステップ２４０：ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ計算モジュール８８はステップ２１０、ステップ２２０とステップ２３０において変換されたＭＳＥＣ信号の長さを計算して更新する。
ステップ２５０：ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ計算モジュール８８はステップ２１０、ステップ２２０とステップ２３０において行われたチェックサムを計算して更新する。
ステップ２６０：変換されたＭＳＥＣ信号をＭＳＥＣ受発信モジュール７０に送信し、ＭＳＥＣ受発信モジュール７０が変換されたＳＥＣＳ信号をホストコンピューターに送信するようにさせてから、ステップ２００を実行して次のＳＥＣＳ信号を受信する。

図７を参照する。図７は図６におけるＳＥＣＳ信号からＭＳＥＣ信号への変換におけるデータ構造を表す対照図である。図６におけるヘッダー変換のステップ２１０は、変換ステップ２２２と、変換ステップ２２４と、変換ステップ２２６と、変換ステップ２２８とを含む。変換ステップ２２２はＳＥＣＳ信号のヘッダーの第三及び第四バイトを０１ＨというＡＳＣＩＩコードに変換してウェイトビットを保留してから、それをＭＳＥＣ信号のヘッダーの第三及び第四バイトに保存する。変換ステップ２２４はＭＳＥＣ信号のヘッダーの第五バイトを８０Ｈに設定する。変換ステップ２２６はＭＳＥＣ信号のヘッダーの第六バイトを００ＨとＦＦＨのいずれかに設定する。変換ステップ２２８はＭＳＥＣ信号のヘッダーの第一、第二及び第七から第十バイトをＳＥＣＳ信号のヘッダーの第一、第二及び第七から第十バイトとして設定する。データ変換ステップ２２０は変換ステップ２３２を含む。変換ステップ２３２はＳＥＣＳ信号のヘッダーの第三及び第四バイトの指令ＩＤを変換してＭＳＥＣ信号のデータセクションの第一及び第二バイトに保存する。ステップ２３０はステップ２３２において変換された指令ＩＤとＳＥＣＳ信号のデータセクションに対して偶数ビットエンコードを行ってから、エンコードされたデータをＭＳＥＣ信号のデータセクションの第三バイトからのバイトに保存する。
前記図４と図６におけるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換方法はいずれも、ＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号を入力し、ＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号が制御文字であるかどうかを判断し（ＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号が制御文字であれば直接に出力する）、ＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号を受信し、収集されたＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号に対してチェックサムを行い、第一信号をＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号のいずれかに変換し、変換されたＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号の長さを照合してチェックサムを行い、変換されたＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号を出力するなどのステップを含む。両方法の相違点は、ＭＳＥＣデータには偶数検査ビットがあるため、ＭＳＥＣ信号からＳＥＣＳ信号に変換する場合、偶数検査及び関連エンコードを実行しなければならない。それに反してＳＥＣＳデータには偶数検査ビットがないので、エンコードを実行する必要はない。なお、ＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号を受信するに使用されるタイマーを省略するか、タイマーの代わりにその他のプログラム（ループプログラムなど）を使用することも可能である。
この発明による変換器には単一方向のＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ信号変換も適用する。ということは、ＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に一方的に変換するか、またはＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に一方的に変換することを指す。
以上はこの発明に好ましい実施例であって、この発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、この発明の精神の下においてなされ、この発明に対して均等の効果を有するものは、いずれもこの発明の特許請求の範囲に属するものとする。

この発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器及び変換方法はＭＳＥＣ信号とＳＥＣＳ信号との相互変換を実現できるため、ホストコンピューターにはＳＥＣＳインターフェイスのみ使用すれば充分である。したがって、ホストコンピューターの構造は簡素化できる。なお、この発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器及び変換方法を使用すれば、既存の設定を変更せずにホストコンピューターと製造装置を接続することも可能である。

従来のホストコンピューターと半導体製造装置を表す説明図である。 この発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器と、ホストコンピューターと、半導体製造装置とを表す説明図である。 この発明によるＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器のブロック図である。 この発明によるＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に変換する方法のフローチャートである。 図４におけるＭＳＥＣ信号からＳＥＣＳ信号への変換におけるデータ構造を表す対照図である。 この発明によるＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に変換する方法のフローチャートである。 図６におけるＳＥＣＳ信号からＭＳＥＣ信号への変換におけるデータ構造を表す対照図である。

符号の説明

１０、４０ ホストコンピューター
１２、４２ ＳＥＣＳインターフェイス
１４、４４ ＭＳＥＣインターフェイス
１６、４６ アプリケーションレイヤー
２２、５２ ＳＥＣＳ製造装置
２４、５４ ＭＳＥＣ製造装置
３２、６２ ＳＥＣＳ信号
３４、６４ ＭＳＥＣ信号
５０ ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器
７０ ＭＳＥＣ受発信モジュール
７１ ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュール
７２ ＭＳＥＣ収集モジュール
７４ ＭＳＥＣ照合モジュール
７６ ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ変換モジュール
７８ ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ計算モジュール
８０ ＳＥＣＳ受発信モジュール
８１ ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュール
８２ ＳＥＣＳ収集モジュール
８４ ＳＥＣＳ照合モジュール
８６ ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ変換モジュール
８８ ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣ計算モジュール
９０ 制御文字伝送モジュール
１０５ Ｔ１タイマー
１２１ ＳＥＣＳデバイスＩＤ
１２３ ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳ指令ＩＤ変換表

Claims (15)

1. ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器において、
   ＭＳＥＣ（Mitsubishi SEMI
   equipment communication）信号を受発信する第一受発信モジュールと、
   ＳＥＣＳ（SEMI equipment
   communication standard）信号を受発信する第二受発信モジュールと、
   ＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に変換するＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュールと、
   ＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に変換するＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュールと、
   第一受発信モジュールと第二受発信モジュールのいずれかが制御文字を受信すると、受信された制御文字をもう一方の受発信モジュールに送信するための制御文字伝送モジュールとを含み、
   該制御文字伝送モジュールは受信された制御文字を変換することなくもう一方の受発信モジュールに直接送信することを特徴とするＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器。
2. 前記ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュールは更に、
   第一受発信モジュールと電気的に接続されてＭＳＥＣ信号を収集して完全性を照合するための第一収集モジュールと、
   第一収集モジュールと電気的に接続されて第一収集モジュールに収集されたＭＳＥＣ信号の正確性を照合するための第一照合モジュールと、
   第一照合モジュールと電気的に接続されて第一照合モジュールに照合されたＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に変換するための第一変換モジュールと、
   第一変換モジュールと第二受発信モジュールと電気的に接続されて第一変換モジュールに変換されたＳＥＣＳ信号を計算して更新するための第一計算モジュールとを含み、
   前記ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュールは更に、
   第二受発信モジュールと電気的に接続されてＳＥＣＳ信号を収集して完全性を照合するための第二収集モジュールと、
   第二収集モジュールと電気的に接続されて第二収集モジュールに収集されたＳＥＣＳ信号の正確性を照合するための第二照合モジュールと、
   第二照合モジュールと電気的に接続されて第二照合モジュールに照合されたＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に変換するための第二変換モジュールと、
   第二変換モジュールと第一受発信モジュールと電気的に接続されて第二変換モジュールに変換されたＭＳＥＣ信号を計算して更新するための第二計算モジュールとを含むことを特徴とする請求項１記載のＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器。
3. 前記ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器はタイマーを含み、前記第一収集モジュールはタイマーによってＭＳＥＣ信号を収集し、前記第二収集モジュールはタイマーによってＳＥＣＳ信号を収集することを特徴とする請求項２記載のＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器。
4. 前記第一照合モジュールは第一収集モジュールに収集されたＭＳＥＣ信号の偶数ビットとチェックサムを照合し、前記第一計算モジュールは第一変換モジュールに変換されたＳＥＣＳ信号の長さとチェックサムを計算して更新し、前記第二照合モジュールは第二収集モジュールに収集されたＳＥＣＳ信号のチェックサムを照合し、前記第二計算モジュールは第二変換モジュールに変換されたＭＳＥＣ信号の長さとチェックサムを計算して更新することを特徴とする請求項２記載のＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器。
5. 半導体製造装置のプロトコルの変換方法において、
   第一受発信モジュールからＭＳＥＣ信号を受信し、
   第二受発信モジュールからＳＥＣＳ信号を受信し、
   ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュールで第一受発信モジュールに受信されたＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に変換して第二受発信モジュールでＳＥＣＳ信号を出力し、
   ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュールで第二受発信モジュールに受信されたＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に変換して第一受発信モジュールでＭＳＥＣ信号を出力し、
   制御文字伝送モジュールで第一受発信モジュールと第二受発信モジュールとのいずれかに受信された制御文字を変換することなしに、もう一方の受発信モジュールに直接送信するなどのステップを含むことを特徴とする半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
6. 前記ＭＳＥＣ／ＳＥＣＳモジュールは更に、第一収集モジュールと、第一照合モジュールと、第一変換モジュールと、第一計算モジュールとを含み、前記ＳＥＣＳ／ＭＳＥＣモジュールは更に、第二収集モジュールと、第二照合モジュールと、第二変換モジュールと、第二計算モジュールとを含み、前記方法は更に、
   第一収集モジュールでＭＳＥＣ信号を収集して完全性を照合し、
   第一照合モジュールで第一収集モジュールに収集されたＭＳＥＣ信号の正確性を照合し、
   第一変換モジュールで第一照合モジュールに照合されたＭＳＥＣ信号をＳＥＣＳ信号に変換し、
   第一計算モジュールで第一変換モジュールに変換されたＳＥＣＳ信号を計算して更新し、
   第二収集モジュールでＳＥＣＳ信号を収集して完全性を照合し、
   第二照合モジュールで第二収集モジュールに収集されたＳＥＣＳ信号の正確性を照合し、
   第二変換モジュールで第二照合モジュールに照合されたＳＥＣＳ信号をＭＳＥＣ信号に変換し、
   第二計算モジュールで第二変換モジュールに変換されたＭＳＥＣ信号を計算して更新するなどのステップを含むことを特徴とする請求項５記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
7. 前記第一収集モジュールはタイマーによってＭＳＥＣ信号を収集し、前記第二収集モジュールはタイマーによってＳＥＣＳ信号を収集することを特徴とする請求項５記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
8. 前記第一照合モジュールは第一収集モジュールに収集されたＭＳＥＣ信号の偶数ビットとチェックサムを照合し、前記第一計算モジュールは第一変換モジュールに変換されたＳＥＣＳ信号の長さとチェックサムを計算して更新し、前記第二照合モジュールは第二収集モジュールに収集されたＳＥＣＳ信号のチェックサムを照合し、前記第二計算モジュールは第二変換モジュールに変換されたＭＳＥＣ信号の長さとチェックサムを計算して更新することを特徴とする請求項７記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
9. 半導体製造装置のプロトコルの変換方法において、少なくとも
   ＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号のいずれかである第一信号を入力し、
   第一信号が制御文字であるかどうかを判断して、第一信号が制御文字であれば、第一信号を変換しないで直接に出力し、
   第一信号を受信し、
   収集された第一信号のチェックサムを照合し、変換ステップを行って第一信号をＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号からＭＳＥＣ信号またはＳＥＣＳ信号のもう一方に変換し、
   変換された第一信号の長さとチェックサムを計算して更新し、
   変換された第一信号を出力するなどのステップを含むことを特徴とする半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
10. 前記方法は更に、第一信号を受信するステップにおいて、タイマーをイネーブルしてリセットするステップを含むことを特徴とする請求項９記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
11. 前記第一信号がＭＳＥＣ形式からＳＥＣＳ形式に変換される場合、前記方法は、第一信号をＳＥＣＳ信号に変換するステップが実行される前に更に、収集された第一信号の偶数ビットを照合し、第一信号に対して偶数ビットデコードを実行するステップを含み、前記第一信号がＳＥＣＳ形式からＭＳＥＣ形式に変換される場合、前記方法は、第一信号をＭＳＥＣ信号に変換するステップが実行された後に更に、第一信号に対して偶数ビットエンコードを実行するステップを含むことを特徴とする請求項９記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
12. 前記第一信号がＭＳＥＣ形式からＳＥＣＳ形式に変換される場合、前記変換ステップは少なくとも、
    第一信号のヘッダーの第一及び第二バイトをＳＥＣＳデバイスＩＤに変換して第一信号のリザーブビットを保留し、
    第一信号のヘッダーの第三バイトとデータセクションの第一及び第二バイトによってＳＥＣＳ指令ＩＤを生じさせてから、ＳＥＣＳ指令ＩＤを第一信号のヘッダーの第三及び第四バイトに保存するとともに第一信号のウェイトビットを保留し、
    第一信号のヘッダーの第五及び第六バイトをそれぞれ８０Ｈ、０１ＨというＡＳＣＩＩコードと設定し、
    第一信号のヘッダーの第七から第十バイトを変換された第一信号のヘッダーの第七から第十バイトとして設定するなどのステップを含むことを特徴とする請求項９記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
13. 前記第一信号がＳＥＣＳ形式からＭＳＥＣ形式に変換される場合、前記変換ステップは少なくとも、
    第一信号のヘッダーの第三及び第四バイトを０１ＨというＡＳＣＩＩコードに変換するとともに第一信号のウェイトビットを保留してから、ウェイトビットを第一信号のヘッダーの第三及び第四バイトに保存し、
    第一信号のヘッダーの第五バイトを８０Ｈと設定し、
    第一信号のヘッダーの第六バイトを００ＨからＦＦＨのうちのいずれかと設定し、
    第一信号のヘッダーの第一、第二及び第七から第十バイトを変換された第一信号のヘッダーの第一、第二及び第七から第十バイトとして設定し、
    第一信号のヘッダーの第三及び第四バイトの指令ＩＤを変換して変換された第一信号のデータセクションの第一及び第二バイトに保存することを特徴とする請求項９記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
14. 前記タイマーをイネーブル及びリセットして第一信号を受信するステップは更に、第一信号を予定時間内に完全に受信できるかどうかを判断するステップを含み、予定時間内に受信を完成できない場合はＮＡＫ制御信号を出力し、第一信号のチェックサムと偶数ビットのいずれかが正確でない場合もＮＡＫ制御信号を出力することを特徴とする請求項９記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法。
15. 請求項９記載の半導体製造装置のプロトコルの変換方法を利用してＭＳＥＣ信号とＳＥＣＳ信号との相互変換を行うことを特徴とするＭＳＥＣ／ＳＥＣＳプロトコル変換器。

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