JP3965780B2

JP3965780B2 - Wafer storage container mounting stage

Info

Publication number: JP3965780B2
Application number: JP14639398A
Authority: JP
Inventors: 元紀稲垣
Original assignee: 神鋼電機株式会社
Priority date: 1998-05-27
Filing date: 1998-05-27
Publication date: 2007-08-29
Anticipated expiration: 2018-05-27
Also published as: JPH11340300A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェーハ収納容器載置用ステージに関し、特に、ウェーハ収納容器をステージ上に載置する際に、前記ウェーハ収納容器を容易に載置することができるウェーハ収納容器載置用ステージに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程等においては、３００ｍｍ径等の大径のウェーハを保管・運搬する際に、ウェーハカセットと称されるウェーハ収納容器が用いられている。
このウェーハカセットは、複数枚のウェーハを搬送、保護すべく、これらのウェーハを横置き状態もしくは縦置き状態で収納するもので、その底部は、図５に示すように、略円筒状のカセット本体（収納容器）１の底面１ａに、３本の位置決め用の溝２ａ〜２ｃが中心３から放射状かつ周方向に等間隔に形成される。
【０００３】
一方、カセットステージは、ウェーハカセットを載置するためにロードポート等に設けられたもので、図６に示すように、アルミニウム板等からなる厚みのある矩形状の平坦なベースプレート４の上面４ａの前記ウェーハカセットの溝２ａ〜２ｃに対応する位置に、キネマティックピン５ａ〜５ｃと称される３本の位置決めピンが設けられる。また、前記ベースプレート４の上面４ａ上には、ウェーハカセットの有無を検出するカセット有無センサ７が取り付けられる。
【０００４】
前記ウェーハカセットをカセットステージ上の所定位置に載置するには、カセット本体１をベースプレート４の上面４ａに移動させた後、該カセット本体１の溝２ａ〜２ｃがベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃにそれぞれ一致するように上方から目視で位置決めを行い、その後、該カセット本体１を下降させてその溝２ａ〜２ｃを対応するベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃにそれぞれ嵌め込む。
【０００５】
この方法では、３点のキネマティックピン５ａ〜５ｃでウェーハカセットの底面１ａの溝２ａ〜２ｃを支持することにより、３点で位置決めがなされる様になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のウェーハカセットを従来のカセットステージ上に載置する場合においては、ウェーハカセットが不透明であった場合や、ウェーハカセットが透明であっても内部にウェーハが収納されている場合、このウェーハカセットの上からでは、ベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃの位置が分からなくなるという問題点があった。
【０００７】
この場合、カセット本体１を下降させてその溝２ａ〜２ｃをキネマティックピン５ａ〜５ｃに嵌め込む際に、溝２ａ〜２ｃとキネマティックピン５ａ〜５ｃとの間に位置ずれが生じ、ウェーハカセットをカセットステージ上に正しく載置することが出来なくなる虞がある。位置ずれが生じた場合、カセット本体１を上げて該カセット本体１とベースプレート４の位置決めを行い、カセット本体１を下降させてその溝２ａ〜２ｃをキネマティックピン５ａ〜５ｃに嵌め込む、という作業を再度繰り返すことになり、作業効率が低下する要因となる。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、ウェーハカセットをカセットステージ上に載置する際の位置決めを容易に行うことができるウェーハ収納容器載置用ステージを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は次の様なウェーハ収納容器載置用ステージを提供する。
すなわち、請求項１記載のウェーハ収納容器載置用ステージは、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることで、前記ウェーハ収納容器を前記ベースプレート上に位置決めして載置するウェーハ収納容器載置用ステージにおいて、前記ベースプレートの上部一辺に断面Ｌ字状のアダプター本体を、該アダプター本体に設けた孔に前記位置決めピンを挿通させて着脱可能に取り付け、該アダプター本体に、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、前記ウェーハ収納容器の底部形状に対応する切り欠きを設けたことを特徴としている。
【００１０】
請求項２記載のウェーハ収納容器載置用ステージは、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることで、前記ウェーハ収納容器を前記ベースプレート上に位置決めして載置するウェーハ収納容器載置用ステージにおいて、前記ベースプレート上にアダプター本体を、該アダプター本体に設けた孔に前記位置決めピンを挿通させて着脱可能に取り付け、該アダプター本体の少なくとも一部を、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、前記ウェーハ収納容器の底部と同一形状に形成したことを特徴としている。
【００１２】
本発明のウェーハ収納容器載置用ステージでは、アダプター本体に、ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、ウェーハ収納容器の底部形状に対応する切り欠きを設けたり、あるいは、アダプター本体の少なくとも一部を、ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、ウェーハ収納容器の底部と同一形状に形成しているため、ウェーハ収納容器をベースプレート上に載置する場合に、ウェーハ収納容器の底部をアタプター本体の所定箇所に合わせるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ステージとの位置決めが行え、もって、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることができる。
【００１３】
また、前記位置決め部を、前記ステージ本体に着脱可能な位置決めアダプターにより構成したことにより、使用するウェーハ収納容器に合った位置決めアダプターを選択し、該位置決めアダプターを前記ステージ本体に容易に取り付け及び取り外しをすることが可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明のウェーハ収納容器載置用ステージの各実施形態について図面に基づき説明する。
「第１の実施形態」
図１は本発明の第１の実施形態のウェーハカセットの位置決めアダプターを示す斜視図、図２はこの位置決めアダプターをカセットステージの所定箇所に取り付けた状態を示す斜視図であり、この位置決めアダプター１１は、ベースプレート４の正面側の一辺４ｂに密着するように略長方形状の薄厚の板を断面Ｌ字状に折曲したアダプター本体１２に、位置合わせの対象となるウェーハカセットの底部に対応する形状の切り欠き１３が形成され、この切り欠き１３には、アダプター本体１２より水平外方に延びる突片１４が形成され、該突片１４にはキネマティックピン５ａを挿通する孔１５が形成されている。
【００１５】
この位置決めアダプター１１を用いてウェーハカセットの位置決めを行うには、まず、位置合わせの対象となるウェーハカセットに対応する位置決めアダプター１１を選択し（図１）、この位置決めアダプター１１の孔１５をキネマティックピン５ａに挿通させてアダプター本体１２をベースプレート４の正面側の一辺４ｂに密着、固定させる（図２）。次いで、カセット本体１をベースプレート４の上面４ａに移動させ、カセット本体１の底部２１の背面部２１ａを切り欠き１３に一致させることにより位置決めを行い、カセット本体１の溝２ａ〜２ｃを対応するベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃにそれぞれ嵌め込む（図３）。なお、背面部２１ａは、操作する人から見て手前側になるようにしてある。
【００１６】
このように、ウェーハカセットをカセットステージ上に載置するときに、カセット本体１の底部２１の背面部２１ａに合う切り欠き１３を有する位置決めアダプター１１をベースプレート４に密着、固定し、カセット本体１の背面部２１ａを位置決めアダプター１１の切り欠き１３に合わせることにより、ウェーハカセットの位置決めを容易に行うことができるようになる。
【００１７】
また、位置決めアダプター１１の孔１５をキネマティックピン５ａに挿通させてアダプター本体１２をベースプレート４の正面側の一辺４ｂに密着、固定させるので、位置決めアダプター１１のベースプレート４への取り付け及び取り外しが簡単になり、載置すべきウェーハカセットの外形に応じて位置決めアダプター１１を選択し、交換することが容易になる。
【００１８】
以上説明した様に、本実施形態の位置決めアダプター１１によれば、アダプター本体１２に、位置合わせの対象となるウェーハカセットの底部に対応する形状の切り欠き１３を形成し、この切り欠き１３に突片１４を形成し、該突片１４にキネマティックピン５ａを挿通する孔１５を形成したので、ウェーハカセットを容易に載置することができ、セットミスを減少させることができる。
【００１９】
また、位置決めアダプター１１はベースプレート４に容易に密着、固定させることができるので、各種のウェーハカセットに容易かつ安価に対応することができ、フレキシビリティ（自由度）を増大させることができる。
【００２０】
「第２の実施形態」
図４は本発明の第２の実施形態の位置決めアダプターをカセットステージの所定箇所に取り付けた状態を示す斜視図であり、本実施形態の位置決めアダプター３１が上述した第１の実施形態の位置決めアダプター１１と異なる点は、位置決めアダプター１１が薄厚の板を断面Ｌ字状に折曲したアダプター本体１２に切り欠き１３を形成し、この切り欠き１３に突片１４を形成し、該突片１４にキネマティックピン５ａを挿通する孔１５を形成したのに対し、本実施形態の位置決めアダプター３１は、位置合わせの対象となるウェーハカセットの底部と略同一形状の周縁部３２ａを有するアダプター本体３２に、ベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃ及びカセット有無センサ７を挿通する孔３３ａ〜３３ｄを形成した点である。
【００２１】
アダプター本体３２は、薄厚の板またはシートのいずれかからなるもので、樹脂シート、薄厚のアルミニウム板、接着剤付き樹脂シート等が好適に用いられる。
また、その周縁部３２ａの形状は、少なくともその一部が位置合わせの対象となるウェーハカセットの底部と略同一形状であればよい。
【００２２】
本実施形態の位置決めアダプター３１においても、第１の実施形態の位置決めアダプター１１と同様に、ウェーハカセットを容易に載置することができ、セットミスを減少させることができる。
また、各種のウェーハカセットに容易かつ安価に対応することができ、フレキシビリティ（自由度）を増大させることができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明した様に、請求項１に記載のウェーハ収納容器載置用ステージによれば、アダプター本体に、ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、ウェーハ収納容器の底部形状に対応する切り欠きを設けたため、ウェーハ収納容器をベースプレート上に載置する場合に、ウェーハ収納容器の底部をアタプター本体の切り欠きに合わせるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ステージとの位置決めが行え、もって、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることができる。
【００２４】
請求項２に記載のウェーハ収納容器載置用ステージによれば、アダプター本体の少なくとも一部を、ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、ウェーハ収納容器の底部と同一形状に形成したため、ウェーハ収納容器をベースプレート上に載置する場合に、ウェーハ収納容器の底部をアタプター本体の外形に合わせるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ステージとの位置決めが行え、もって、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の位置決めアダプターを示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の位置決めアダプターをカセットステージに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の位置決めアダプターを用いてウェーハカセットをカセットステージに載置した状態を示す斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の位置決めアダプターをカセットステージに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図５】従来のウェーハカセットを示す下面図である。
【図６】従来のカセットステージを示す斜視図である。
【符号の説明】
１カセット本体（収納容器）
１ａ底面
２ａ〜２ｃ位置決め用の溝
３中心
４ベースプレート
４ａ上面
４ｂ一辺
５ａ〜５ｃキネマティックピン
６中心
７カセット有無センサ
１１位置決めアダプター
１２アダプター本体
１３切り欠き
１４突片
１５孔
２１底部
２１ａ背面部
３１位置決めアダプター
３２アダプター本体
３２ａ周縁部
３３ａ〜３３ｄ孔[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a wafer storage container mounting stage, and more particularly to a wafer storage container mounting stage that can easily mount the wafer storage container when the wafer storage container is mounted on the stage. It is.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a semiconductor manufacturing process or the like, a wafer storage container called a wafer cassette is used when storing and transporting a wafer having a large diameter of 300 mm or the like.
This wafer cassette is for storing and storing a plurality of wafers in a horizontally or vertically placed state, and its bottom is a substantially cylindrical cassette body as shown in FIG. On the bottom surface 1a of the (container) 1, three positioning grooves 2a to 2c are formed radially from the center 3 at regular intervals in the circumferential direction.
[0003]
On the other hand, the cassette stage is provided at a load port or the like for mounting a wafer cassette. As shown in FIG. 6, the cassette stage is formed on an upper surface 4a of a flat rectangular base plate 4 made of an aluminum plate or the like. Three positioning pins called kinematic pins 5a to 5c are provided at positions corresponding to the grooves 2a to 2c of the wafer cassette. A cassette presence / absence sensor 7 for detecting the presence / absence of a wafer cassette is mounted on the upper surface 4a of the base plate 4.
[0004]
In order to place the wafer cassette at a predetermined position on the cassette stage, after the cassette body 1 is moved to the upper surface 4a of the base plate 4, the grooves 2a to 2c of the cassette body 1 have kinematic pins 5a to 5a. The cassette body 1 is moved downward so as to coincide with 5c, and then the cassette body 1 is lowered to fit the grooves 2a to 2c into the corresponding kinematic pins 5a to 5c of the base plate 4, respectively.
[0005]
In this method, positioning is performed at three points by supporting the grooves 2a to 2c of the bottom surface 1a of the wafer cassette with the three kinematic pins 5a to 5c.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the case where the above-described conventional wafer cassette is placed on the conventional cassette stage, if the wafer cassette is opaque, or if the wafer is stored inside even if the wafer cassette is transparent, From above the wafer cassette, there is a problem that the positions of the kinematic pins 5a to 5c of the base plate 4 are not known.
[0007]
In this case, when the cassette body 1 is lowered and the grooves 2a to 2c are fitted into the kinematic pins 5a to 5c, a positional deviation occurs between the grooves 2a to 2c and the kinematic pins 5a to 5c. May not be correctly placed on the cassette stage. When the misalignment occurs, the cassette body 1 is raised to position the cassette body 1 and the base plate 4, and the cassette body 1 is lowered to fit the grooves 2a to 2c into the kinematic pins 5a to 5c. Will be repeated again, which causes a reduction in work efficiency.
[0008]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a stage for placing a wafer storage container that can easily perform positioning when placing a wafer cassette on a cassette stage. And
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention provides the following stage for placing a wafer storage container.
That is, the stage for placing a wafer storage container according to claim 1 is configured such that a positioning pin provided on an upper surface of a base plate is fitted into a groove provided in a bottom portion of the wafer storage container, thereby placing the wafer storage container on the base plate. In the wafer storage container mounting stage that is positioned and mounted on the base plate, an adapter main body having an L-shaped cross section is attached to the upper side of the base plate, and the positioning pin is inserted into a hole provided in the adapter main body so as to be detachable. The adapter main body is provided with a notch corresponding to the shape of the bottom of the wafer storage container in order to guide and position the wafer storage container .
[0010]
The stage for placing a wafer storage container according to claim 2 positions the wafer storage container on the base plate by fitting a positioning pin provided on the upper surface of the base plate into a groove provided on the bottom of the wafer storage container. In the stage for mounting the wafer storage container, the adapter main body is mounted on the base plate, and the positioning pin is inserted through the hole provided in the adapter main body so as to be detachable, and at least a part of the adapter main body is attached. In order to guide and position the wafer storage container, the wafer storage container is formed in the same shape as the bottom of the wafer storage container .
[0012]
In the wafer storage container mounting stage of the present invention, the adapter main body is provided with a notch corresponding to the bottom shape of the wafer storage container, or at least one of the adapter main body in order to guide and position the wafer storage container. Since the portion is formed in the same shape as the bottom of the wafer storage container so as to guide and position the wafer storage container, when the wafer storage container is placed on the base plate, the bottom of the wafer storage container is The wafer storage container and the stage can be positioned simply by matching with a predetermined position of the main body, and a positioning pin provided on the upper surface of the base plate can be fitted into a groove provided at the bottom of the wafer storage container. .
[0013]
In addition, since the positioning unit is constituted by a positioning adapter that can be attached to and detached from the stage body, a positioning adapter that matches the wafer storage container to be used is selected, and the positioning adapter can be easily attached to and removed from the stage body. It becomes possible to do.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the wafer storage container mounting stage of the present invention will be described with reference to the drawings.
“First Embodiment”
FIG. 1 is a perspective view showing a positioning adapter of a wafer cassette according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing a state where this positioning adapter is attached to a predetermined portion of a cassette stage. The adapter body 12 in which a thin plate having a substantially rectangular shape is bent so as to be in close contact with the side 4b on the front side of the base plate 4 has a shape corresponding to the bottom portion of the wafer cassette to be aligned. A notch 13 is formed. A protrusion 14 extending horizontally outward from the adapter body 12 is formed in the notch 13, and a hole 15 through which the kinematic pin 5a is inserted is formed in the protrusion 14. .
[0015]
In order to position the wafer cassette using the positioning adapter 11, first, the positioning adapter 11 corresponding to the wafer cassette to be aligned is selected (FIG. 1), and the hole 15 of the positioning adapter 11 is kinematic. The adapter main body 12 is brought into close contact with and fixed to the side 4b on the front side of the base plate 4 by inserting the pin 5a (FIG. 2). Next, the cassette body 1 is moved to the upper surface 4a of the base plate 4, and positioning is performed by aligning the back surface portion 21a of the bottom portion 21 of the cassette body 1 with the notch 13, and the grooves 2a to 2c of the cassette body 1 are matched with the corresponding base plate. 4 kinematic pins 5a to 5c (FIG. 3). Note that the back surface portion 21a is on the near side as viewed from the person who operates it.
[0016]
As described above, when the wafer cassette is placed on the cassette stage, the positioning adapter 11 having the notch 13 that fits the back surface portion 21a of the bottom portion 21 of the cassette body 1 is closely attached to the base plate 4 and fixed. By aligning the back surface portion 21a with the notch 13 of the positioning adapter 11, the wafer cassette can be easily positioned.
[0017]
Further, since the hole 15 of the positioning adapter 11 is inserted into the kinematic pin 5a and the adapter main body 12 is closely attached and fixed to the one side 4b on the front side of the base plate 4, the positioning adapter 11 can be easily attached to and detached from the base plate 4. Thus, it becomes easy to select and replace the positioning adapter 11 according to the outer shape of the wafer cassette to be placed.
[0018]
As described above, according to the positioning adapter 11 of the present embodiment, the notch 13 having a shape corresponding to the bottom of the wafer cassette to be aligned is formed in the adapter main body 12, and the notch 13 projects. Since the piece 14 is formed and the hole 15 through which the kinematic pin 5a is inserted is formed in the protruding piece 14, the wafer cassette can be easily placed, and set errors can be reduced.
[0019]
Further, since the positioning adapter 11 can be easily adhered and fixed to the base plate 4, it can be easily and inexpensively adapted to various wafer cassettes, and flexibility (degree of freedom) can be increased.
[0020]
“Second Embodiment”
FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the positioning adapter according to the second embodiment of the present invention is attached to a predetermined portion of the cassette stage. The positioning adapter 31 according to the present embodiment is the positioning adapter 11 according to the first embodiment described above. The difference is that a notch 13 is formed in the adapter body 12 in which the positioning adapter 11 is a thin plate bent into an L-shaped cross section, a protrusion 14 is formed in the notch 13, and the kinema is formed in the protrusion 14. Whereas the hole 15 through which the tick pin 5a is inserted is formed, the positioning adapter 31 of this embodiment has a base plate on the adapter main body 32 having a peripheral portion 32a having substantially the same shape as the bottom of the wafer cassette to be aligned. 4 kinematic pins 5 a to 5 c and holes 33 a to 33 d through which the cassette presence / absence sensor 7 is inserted.
[0021]
The adapter main body 32 is made of either a thin plate or a sheet, and a resin sheet, a thin aluminum plate, a resin sheet with an adhesive, or the like is preferably used.
Further, the shape of the peripheral edge portion 32a may be substantially the same as that of the bottom portion of the wafer cassette to be aligned.
[0022]
Also in the positioning adapter 31 of this embodiment, similarly to the positioning adapter 11 of the first embodiment, the wafer cassette can be easily placed, and set errors can be reduced.
In addition, various wafer cassettes can be handled easily and inexpensively, and flexibility (degree of freedom) can be increased.
[0023]
【The invention's effect】
As described above, according to the stage for placing a wafer storage container according to claim 1, the notch corresponding to the bottom shape of the wafer storage container is used to guide and position the wafer storage container on the adapter body. since the provided, when placing the wafer carrier on the base plate, only align the bottom of the wafer carrier into the cutouts of Ataputa body, it can be positioned between the wafer carrier and the stage, with, wafer housing A positioning pin provided on the upper surface of the base plate can be fitted into a groove provided in the bottom of the container.
[0024]
According to the wafer storage container mounting stage according to claim 2, at least a part of the adapter main body is formed in the same shape as the bottom of the wafer storage container so as to guide and position the wafer storage container. When the storage container is placed on the base plate, the wafer storage container and the stage can be positioned simply by matching the bottom of the wafer storage container to the outer shape of the adapter body, and thus provided at the bottom of the wafer storage container. A positioning pin provided on the upper surface of the base plate can be fitted into the groove.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a positioning adapter according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a state in which the positioning adapter according to the first embodiment of the present invention is attached to the cassette stage.
FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the wafer cassette is mounted on the cassette stage using the positioning adapter according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view showing a state where a positioning adapter according to a second embodiment of the present invention is attached to a cassette stage.
FIG. 5 is a bottom view showing a conventional wafer cassette.
FIG. 6 is a perspective view showing a conventional cassette stage.
[Explanation of symbols]
1 Cassette body (storage container)
1a bottom surface 2a to 2c positioning groove 3 center 4 base plate 4a top surface 4b one side 5a to 5c kinematic pin 6 center 7 cassette presence sensor 11 positioning adapter 12 adapter body 13 notch 14 projecting piece 15 hole 21 bottom 21a back surface 31 positioning Adapter 32 Adapter body 32a Peripheral portions 33a to 33d Hole

Claims

In the wafer storage container mounting stage for positioning and mounting the wafer storage container on the base plate by fitting a positioning pin provided on the upper surface of the base plate into a groove provided in the bottom of the wafer storage container,
An adapter main body having an L-shaped cross section on the upper side of the base plate is detachably attached by inserting the positioning pin into a hole provided in the adapter main body,
A stage for mounting a wafer storage container , wherein the adapter main body is provided with a notch corresponding to the bottom shape of the wafer storage container in order to guide and position the wafer storage container.

In the wafer storage container mounting stage for positioning and mounting the wafer storage container on the base plate by fitting a positioning pin provided on the upper surface of the base plate into a groove provided in the bottom of the wafer storage container,
An adapter body is mounted on the base plate, and the positioning pin is inserted into a hole provided in the adapter body so as to be detachable,
A stage for mounting a wafer storage container , wherein at least a part of the adapter body is formed in the same shape as the bottom of the wafer storage container so as to guide and position the wafer storage container.